技术总结
本发明涉及一种从单晶硅、多晶硅炉放空尾气中回收制备超纯氩的装置和方法，属于气体生产与应用领域。主要技术方案如下：一种从单晶硅、多晶硅炉放空尾气中回收制备超纯氩的装置，包括依次通过管路串连的前置缓冲罐、压缩机、尾气预处理系统和低温再沸液化氩气系统；所述的尾气预处理系统包括催化塔、热交换器、吸附干燥塔；所述的催化塔包括第一催化塔和第二催化塔，所述的第一催化塔连接第一热交换器，所述的第二催化塔连接第二热交换器；本发明可根据产品的纯度要求灵活调节。该方法特别适用于用氩气做保护气的工业炉放空废气中回收氩气，具有十分良好的经济效益和环保效益。具有十分良好的经济效益和环保效益。具有十分良好的经济效益和环保效益。
技术研发人员：邱浩铭 乐韵 赵霖 于洋 丛维军 金万宇 刘智超 邱长春
受保护的技术使用者：大连中鼎化学有限公司
技术研发日：2019.12.31
技术公布日：2021/7/15