一种自动称重晶体提拉生长装置的制作方法

文档序号:20982496发布日期:2020-06-05 20:11阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种自动称重晶体提拉生长装置,其特征在于,包括支架(11)、升降机构,旋转机构、称重机构(17)、生长炉和控制器;

升降机构包括导向柱(12)、滑轮(13)、提拉绳(14)、连接杆(15)和收卷组件(16),称重机构(17)安装在支架(11)上,滑轮(13)转动安装在称重机构(17)上,提拉绳(14)绕过滑轮(13)与收卷组件(16)固定连接,收卷组件(16)安装在支架(11)上,提拉绳(14)另一端与连接杆(15)固定连接,连接杆(15)第一端与导向柱(12)滑动连接,导向柱(12)竖直布置;

旋转机构包括电机(18)和籽晶杆(19),电机(18)安装在连接杆(15)第二端顶部,电机(18)的输出轴贯穿连接杆(15)并与籽晶杆(19)第一端可拆卸固定,籽晶杆(19)第二端设有用于装夹籽晶的夹头;

生长炉包括炉体,炉体具有炉腔,炉腔内设有坩埚,称重机构信号连接控制器,控制器分别控制连接收卷组件(16)、炉体和电机(18)。

2.根据权利要求1所述的自动称重晶体提拉生长装置,其特征在于,炉体包括壳体(1)、内筒体(8)和至少一个隔热毡(4),内筒体(8)采用绝缘保温材料制成,隔热毡(4)设置在内筒体(8)内并将内筒体(8)隔成多个温度区,隔热毡(4)中部均设有用于容纳籽晶杆和晶体通过的通孔,每个温度区设有用于测量该温度区温度的温度传感器;

每个温度区的内筒体(8)内侧上均设有用于加热该温度区的加热组件,每个温度区对应的内筒体(8)和壳体(1)之间设有用于冷却该温度区的冷却组件,每个温度区内设有至少一个导热杆(7),导热杆(7)穿过内筒体(8)与冷却组件固定连接;

温度传感器信号连接控制器,控制器分别控制连接每个温度区的加热组件和冷却组件。

3.根据权利要求2所述的自动称重晶体提拉生长装置,其特征在于,加热组件包括环设于内筒体(8)内侧的发热体(10)和环设于发热体(10)和内筒体(8)内壁之间的感应加热圈(9),控制器控制连接感应加热圈(9)。

4.根据权利要求2所述的自动称重晶体提拉生长装置,其特征在于,冷却组件包括冷却管道(5),冷却管道(5)底部设有进液口,冷却管道(5)上端设有出液口,冷却管道(5)上设有散热板(6),导热杆(7)与散热板(6)固定连接。

5.根据权利要求3所述的自动称重晶体提拉生长装置,其特征在于,还包括循环组件,循环组件包括冷水箱、循环泵和冷凝器,冷水箱、循环泵和进液口依次通过管道连接,出液口、冷凝器和冷水箱依次通过管道连接,循环泵和进液口之间的管道上设有进液阀,出液阀和进液口之间的管道上设有流量调节阀,出液口和冷凝器之间的管道上设有出液阀,控制器分别控制连接循环泵、进液阀、出液阀、冷凝器和流量调节阀。

6.根据权利要求3所述的自动称重晶体提拉生长装置,其特征在于,壳体内侧依次设有第一保温层(2)和第二保温层(3),每一个冷却组件的冷水管道(5)的进液端设置在第一保温层(2)和第二保温层(3)之间。


技术总结
本实用新型提出的一种自动称重晶体提拉生长装置,包括支架、升降机构,旋转机构、称重机构、生长炉和控制器,升降机构包括导向柱、滑轮、提拉绳、连接杆和收卷组件,称重机构安装在支架上,滑轮转动安装在称重机构上,提拉绳绕过滑轮与收卷组件固定连接,收卷组件安装在支架上,提拉绳另一端与连接杆固定连接,连接杆第一端与导向柱滑动连接,导向柱竖直布置,旋转机构包括电机和籽晶杆,电机安装在连接杆第二端顶部,电机的输出轴贯穿连接杆并与籽晶杆可拆卸固定,生长炉包括炉体,炉体具有炉腔,炉腔内设有坩埚,称重机构信号连接控制器,控制器分别控制连接收卷组件、炉体和电机。本实用新型可有效提高晶体质量,适应不同的晶体生产要求。

技术研发人员:胡卫东;杨利涛;刘侃;王冬
受保护的技术使用者:合肥嘉东光学股份有限公司
技术研发日:2019.08.02
技术公布日:2020.06.05
当前第2页1 2 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1