一种单晶炉热场埚托装卸设备的制作方法

文档序号:21684629发布日期:2020-07-31 21:58阅读:333来源:国知局
一种单晶炉热场埚托装卸设备的制作方法

本实用新型涉及单晶硅生产技术领域,尤其涉及一种单晶炉热场埚托装卸工装。



背景技术:

随着光伏行业技术的进步发展,市场竞争激烈,如何高效、低廉的生产出高品质的单晶硅片是行业发展的方向。提拉法单晶硅生长,是在真空腔室中充入惰性气体(氩气),将多晶硅块料放入石英坩埚后,一并放入真空腔室的石墨热场内,通过石墨电阻加热的方式,将多晶硅块料熔化,在特定温区内,通过晶体传动机构带动籽晶运动,通过坩埚传动机构带动熔液运动,形成晶体的固液交界面,并产生一个适合硅晶体生长的温度场,实现生长成无位错的单晶硅棒。

大尺寸的热场,连续的长晶拉制单晶硅棒,造成炉内挥发物增多,开炉清理工作费时费力,因此制作工装,节省人力,提高清理效率,缩短开炉清理时间,也是行业里必须重视的问题。



技术实现要素:

本实用新型提供一种单晶炉热场埚托装卸设备,以实现在热场未完全冷却的阶段可装卸并清理单晶炉,提高了清理效率,缩短了开炉清理时间。

本实用新型提供一种单晶炉热场埚托装卸设备,包括:

提手、提拉杆、上固定板、下固定板、至少三个拉绳、至少三个拉杆、至少三个连杆及至少三个拉钩;

所述提手与提拉杆的上端连接,所述提拉杆穿过所述上固定板,所述下固定板与提拉杆的下端连接;

所述至少三个拉杆的第一端与上固定板连接,所述至少三个拉杆的第二端分别与一个拉钩连接,所述至少三个拉杆沿上固定板周向分布,所述拉钩用于夹持热场埚托;

所述至少三个连杆的第一端与下固定板连接,所述至少三个连杆的第二端分别与一个拉钩连接,所述至少三个连杆沿下固定板周向分布;

所述至少三个拉绳分别连接于提拉杆和至少三个拉杆的第二端之间。

进一步的,所述至少三个拉绳沿提拉杆周向分布。

进一步的,所述设备还包括:至少三个撑杆;

每个撑杆的第一端分别与下固定板连接,每个撑杆的第二端分别与一个拉钩连接。

进一步的,撑杆设置于与同一个拉钩连接的连杆的下部。

进一步的,与同一个拉钩连接的撑杆和连杆的第一端通过接板与下固定板连接;

所述接板的第一端与下固定板连接;

所述连杆的第一端与接板的第二端的上面连接;

所述撑杆的第一端与接板的第二端的下面连接。

进一步的,所述拉钩下端还包括挂钩台。

进一步的,所述上固定板可沿提拉杆上下滑动。

进一步的,所述拉杆的第一端与上固定板通过合页连接,所述拉杆的第二端与拉钩通过合页连接。

进一步的,所述接板与下固定板通过合页连接。

进一步的,所述接板通过销轴与连杆和撑杆连接。

本实用新型一种单晶炉热场埚托装卸设备,通过拉钩夹持热场埚,提手提起可轻松拆卸热场埚,实现在热场未完全冷却的阶段可装卸并清理单晶炉,提高了清理效率,缩短了开炉清理时间。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作一简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图是本实用新型的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动性的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型一种单晶炉热场埚托装卸设备实施例一的整体结构示意图;

图2为本实用新型一种单晶炉热场埚托装卸设备拉绳未提起的示意图;

图3为本实用新型一种单晶炉热场埚托装卸设备拉绳提起热场埚的示意图。

具体实施方式

为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚,下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。

本实用新型的说明书和权利要求书及上述附图中的术语“第一”、“第二”、“第三”“第四”等(如果存在)是用于区别类似的对象,而不必用于描述特定的顺序或先后次序。应该理解这样使用的数据在适当情况下可以互换,以便这里描述的本实用新型的实施例例如能够以除了在这里图示或描述的那些以外的顺序实施。此外,术语“包括”和“具有”以及他们的任何变形,意图在于覆盖不排他的包含,例如,包含了一系列步骤或单元的过程、方法、系统、产品或设备不必限于清楚地列出的那些步骤或单元,而是可包括没有清楚地列出的或对于这些过程、方法、产品或设备固有的其它步骤或单元。

图1为本实用新型一种单晶炉热场埚托装卸设备实施例一的整体结构示意图;如图1所示,本实施例一种单晶炉热场埚托装卸设备,包括:

提手1、提拉杆2、上固定板3、下固定板4、至少三个拉绳19、至少三个拉杆5、至少三个连杆7及至少三个拉钩13;

所述提手1与提拉杆2的上端连接,所述提拉杆2穿过所述上固定板3,所述下固定板4与提拉杆2的下端连接;

所述至少三个拉杆5的第一端与上固定板3连接,所述至少三个拉杆5的第二端分别与一个拉钩13连接,所述至少三个拉杆5沿上固定板3周向分布,所述拉钩13用于夹持热场埚;

所述至少三个连杆7的第一端与下固定板4连接,所述至少三个连杆7的第二端分别与一个拉钩13连接,所述至少三个连杆7沿下固定板周向分布;

所述至少三个拉绳分别连接于提拉杆和至少三个拉杆的第二端之间。

本实施例中提手可为环形。提手也可以为其他形状,如为钩状,可以为圆环,也可以椭圆环。

本实施例中上固定板可为圆形板,提拉杆从圆心处穿过,可选的,本实施例中,上固定板可沿提拉杆上下滑动。

本实施例中,下固定板可为圆形板,提拉杆的下端与下固定板连接。

本实施例中,拉杆、拉绳、拉钩、连杆数量相同,可以均为3个,一个拉钩对应一个拉杆、一个拉绳、一个拉钩、一个连杆,每一组沿周向均匀分布。

本实施例中,拉绳的一端与提拉杆连接,拉绳与提拉杆连接的一端位于提手和上固定板之间的位置。

可选的,所述至少三个拉绳沿提拉杆周向分布。具体的,所述至少三个拉绳沿提拉杆周向均匀分布。

本实施例中的一种单晶炉热场埚托装卸设备,通过拉钩夹持热场埚,提手提起可轻松拆卸热场埚,实现在热场未完全冷却的阶段可装卸并清理单晶炉,提高了清理效率,缩短了开炉清理时间。

可选的,所述设备还包括:至少三个撑杆15;

每个撑杆15的第一端分别与下固定板连接,每个撑杆15的第二端分别与一个拉钩连接。

本实施例中,撑杆15用于在提起热场埚时支撑设备撑开,使得设备夹持更稳定。

具体的,撑杆15设置于与同一个拉钩连接的连杆的下部。

撑杆的数量与连杆7的数量相同。

本实施例中,与同一个拉钩连接的撑杆和连杆的第一端通过接板16与下固定板4连接;

所述接板16的第一端与下固定板4连接;

所述连杆7的第一端与接板16的第二端的上面连接;

所述撑杆15的第一端与接板16的第二端的下面连接。

本实施例中,连杆的第一端与撑杆的第一端分别设置于接板的上下侧,连接的第二端也设置于撑杆的第二端之上,即连杆的第二端与拉钩连接的位置也高于撑杆与拉钩连接的位置。

本实施例中,所述拉钩13下端还包括挂钩台14。挂钩台14可以为平板状,即挂钩的钩部为平板状。

可选的,所述拉杆5的第一端与上固定板通过合页6连接,所述拉杆5的第二端与拉钩13通过合页10连接。

合页包括合页左半和合页右半,合页右半和合页左半可绕固定轴相对转动。

合页6包括合页右半8和合页左半9,上固定板与合页6的合页左半9连接,拉杆的第一端连接合页6的合页右半8。

合页10包括合页左半11和合页右半12,拉杆5的第二端与合页10的合页左半11连接,合页10的合页右半与拉钩13连接。

可选的,所述接板16与下固定板4通过合页22连接,接板与合页22的合页右半连接,下固定板与合页22的合页左半连接。

可选的,所述接板16通过销轴18与连杆7和撑杆15连接。

具体的,所述拉杆上设有销轴18,所述接板16上设有限位孔17,销轴18穿过接板16上的限位孔,销轴18的另一端与撑杆15固定。

本实施例中的一种单晶炉热场埚托装卸设备,通过拉钩夹持热场埚,提手提起可轻松拆卸热场埚,实现在热场未完全冷却的阶段可装卸并清理单晶炉,提高了清理效率,缩短了开炉清理时间。

图2为本实用新型一种单晶炉热场埚托装卸设备拉绳未提起的示意图;

图3为本实用新型一种单晶炉热场埚托装卸设备拉绳提起热场埚的示意图。参考图2、图3所示,本实施例中具体使用时,提起提手1,同时拉住提拉杆2上圆周均布3根拉绳19,拉绳19拉动拉杆5,通过合页10拉动拉钩13,撑杆15及拉钩7上的销轴18在接板16上的限位孔17中滑动,使得拉钩13上的挂钩台14向外侧移动,然后将3个圆周分布的挂钩台14放入热场埚托20和加热器21之间,处于图2的状态,松开3根拉绳19,挂钩台14及相连件因为自身重力,处于图3所示的状态,向上提起提手1,挂钩台14与热场埚托20的底面接触,将热场埚托20提起。

本实施例提供的一种单晶炉热场埚托装卸设备,可在清理热场的时候,不拆卸加热器的情况,节省人力,安全可靠的拆卸热场埚托。结构简单,操作简易;借助装卸设备拆卸热场组件-热场埚托,即可在热场未完全冷却的阶段装卸并清理,还具有节省人力、缩短自然冷却时间的特点。

最后应说明的是:以上各实施例仅用以说明本实用新型的技术方案,而非对其限制;尽管参照前述各实施例对本实用新型进行了详细的说明,本领域的普通技术人员应当理解:其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改,或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换;而这些修改或者替换,并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的范围。

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