一种夹持稳定的单晶硅片加工用夹紧机构的制作方法

本发明涉及单晶硅片加工技术领域，具体为一种夹持稳定的单晶硅片加工用夹紧机构。

背景技术：

单晶硅片是硅的单晶体，是一种具有基本完整的点阵结构的晶体，不同的方向具有不同的性质，是一种良好的半导材料，用于制造半导体器件、太阳能电池等，用高纯度的多晶硅在单晶炉内拉制而成，单晶硅是一种比较活泼的非金属元素，是晶体材料的重要组成部分，处于新材料发展的前沿，其主要用途是用作半导体材料和利用太阳能光伏发电、供热等。

单晶硅片是单晶硅棒经由一系列工艺切割而成的，而单晶硅棒从单晶炉中取出时需要对其进行夹持，但是现有的夹紧机构在夹持时只是通过摩擦力进行夹持，无法保证夹持稳定性，而且夹持取出后无法对单晶硅棒的角度方向进行调节，不便于安放，故而提出了一种夹持稳定的单晶硅片加工用夹紧机构来解决上述所提出的问题。

技术实现要素：

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足，本发明提供了一种夹持稳定的单晶硅片加工用夹紧机构，具备夹持稳定，可以调节角度的优点，解决了单晶硅片是单晶硅棒经由一系列工艺切割而成的，而单晶硅棒从单晶炉中取出时需要对其进行夹持，但是现有的夹紧机构在夹持时只是通过摩擦力进行夹持，无法保证夹持稳定性，而且夹持取出后无法对单晶硅棒的角度方向进行调节，不便于安放的问题。

(二)技术方案

为实现上述夹持稳定，可以调节角度目的，本发明提供如下技术方案：一种夹持稳定的单晶硅片加工用夹紧机构，包括移动底座，所述移动底座顶部左侧固定安装有第一电动滑台，所述第一电动滑台的滑块转动连接有位于第一电动滑台右侧的转动板，所述转动板底部滑动连接有连接杆，所述连接杆底部固定连接有连接头，所述连接头前侧固定安装有控制装置，所述连接头内开设有安装腔，所述连接头左侧转动连接有贯穿安装腔并延伸至连接头右侧的转动杆，所述转动杆外壁固定连接有位于安装腔内的限位齿轮，所述安装腔底壁固定安装有位于限位齿轮右侧的限位装置，所述安装腔底壁固定安装有位于限位装置右侧的电磁铁，所述转动杆左侧固定连接有第一手轮，所述连接头左侧固定连接有与转动杆相套接的握持座，所述转动杆右侧固定连接有夹持座，所述夹持座右侧开设有安装槽，所述夹持座前侧转动连接有贯穿夹持座并延伸至安装槽内的双向丝杆，所述双向丝杆前侧固定连接有第二手轮，所述双向丝杆的输出轴螺纹连接有位于安装槽内且数量为两个的丝杆螺母，所述丝杆螺母右侧固定连接有夹持装置，所述夹持座底部固定连接有第二电动滑台，所述第二电动滑台的滑块固定连接有托举装置，所述移动底座顶部固定安装有位于第一电动滑台右侧的电气控制柜。

优选的，所述移动底座底部前后两侧均固定安装有数量为两个的可刹车式移动轮，所述第一电动滑台左侧固定连接有手推杆。

优选的，所述第一电动滑台的滑块右侧固定连接有与转动板相适配的转动座，所述转动板通过旋转阻尼器与转动座转动连接。

优选的，所述转动板底部开设有与连接杆相适配的滑槽，所述连接杆前后两侧均固定连接有贯穿转动板并延伸至转动板内的导轮，所述转动板内固定安装有与导轮相适配的导轨。

优选的，所述控制装置由第一升降控制器、第二升降控制器和控制开关组成，所述第一升降控制器与第一电动滑台电连接，所述第二升降控制器与第二电动滑台电连接，所述控制开关与电磁铁电连接。

优选的，所述限位装置由第一固定板、第二固定板、限位插杆、推板和复位弹簧组成，所述安装腔底壁固定安装有位于限位齿轮右侧的第一固定板，所述安装腔底壁固定安装有位于第一固定板右侧的第二固定板，所述第二固定板右侧插接有依次贯穿第二固定板和第一固定板并与限位齿轮齿槽向卡接的限位插杆，所述限位插杆外壁固定连接有位于第一固定板与第二固定板之间的推板，所述限位插杆外套接有位于推板与第二固定板之间的复位弹簧。

优选的，所述限位插杆右侧固定连接有金属片，所述电磁铁与金属片之间的距离大于限位插杆位于限位齿轮齿槽内的长度，所述电磁铁开启时金属片与电磁铁相接触。

优选的，所述双向丝杆转动时两个丝杆螺母的运动方向相反，所述夹持装置由连接块、连接条和夹持爪组成，所述丝杆螺母右侧固定连接有连接块，所述连接块右侧固定连接有连接条，所述连接条右侧固定连接有夹持爪，两个所述夹持爪相对面的一侧均固定连接有防滑海绵垫。

优选的，所述托举装置由连杆和托环组成，所述第二电动滑台的滑块右侧固定连接有连杆，所述连杆右侧固定连接有托环，所述托环顶部固定连接有海绵垫，所述第一电动滑台、控制装置、电磁铁和第二电动滑台均与电气控制柜电连接，所述电气控制柜内固定安装有蓄电池组。

(三)有益效果

与现有技术相比，本发明提供了一种夹持稳定的单晶硅片加工用夹紧机构，具备以下有益效果：

1、该夹持稳定的单晶硅片加工用夹紧机构，通过推动移动底座至需要夹持的单晶炉旁，通过调节第一电动滑台和转动板来使夹持座对准需要夹持的单晶硅棒，然后向前推动连接杆使两个夹持装置分别移动至单晶硅棒两侧，同时使托举装置位于单晶硅棒底部，然后转动第二手轮带动两个夹持装置对单晶硅棒进行夹持，再控制第二电动滑台的滑块带动托举装置上移，使托举装置套接至单晶硅棒外侧，从而可以对单晶硅棒进行支撑，从而可以避免单晶硅棒滑落，达到了夹持稳定的目的。

2、该夹持稳定的单晶硅片加工用夹紧机构，通过设置连接头、转动杆、限位齿轮、限位装置和电磁铁，由于第一手轮和夹持座均与转动杆固定连接，当转动第一手轮时会带动夹持座进行转动，从而可以对夹持装置夹持的单晶硅棒的角度进行调节，同时由于限位装置的限位插杆在电磁铁未通电时是卡接在限位齿轮的齿槽内，使得转动杆在电磁铁未通电无法旋转，进而可以避免夹持座随意转动，影响使用的问题，达到了可以调节角度目的。

附图说明

图1为本发明提出的一种夹持稳定的单晶硅片加工用夹紧机构结构示意图；

图2为本发明局部剖视图；

图3为本发明图2所示a处的局部放大示意图。

图中：1移动底座、2第一电动滑台、3转动板、4连接杆、5连接头、6控制装置、7安装腔、8转动杆、9限位齿轮、10限位装置、11电磁铁、12第一手轮、13握持座、14夹持座、15安装槽、16双向丝杆、17第二手轮、18丝杆螺母、19夹持装置、20第二电动滑台、21托举装置、22电气控制柜。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

请参阅图1-3，一种夹持稳定的单晶硅片加工用夹紧机构，包括移动底座1，移动底座1底部前后两侧均固定安装有数量为两个的可刹车式移动轮，移动底座1顶部左侧固定安装有第一电动滑台2，第一电动滑台2左侧固定连接有手推杆，第一电动滑台2的滑块转动连接有位于第一电动滑台2右侧的转动板3，第一电动滑台2的滑块右侧固定连接有与转动板3相适配的转动座，转动板3通过旋转阻尼器与转动座转动连接，转动板3底部滑动连接有连接杆4，转动板3底部开设有与连接杆4相适配的滑槽，连接杆4前后两侧均固定连接有贯穿转动板3并延伸至转动板3内的导轮，转动板3内固定安装有与导轮相适配的导轨，连接杆4底部固定连接有连接头5，连接头5前侧固定安装有控制装置6，连接头5内开设有安装腔7，连接头5左侧转动连接有贯穿安装腔7并延伸至连接头5右侧的转动杆8，转动杆8外壁固定连接有位于安装腔7内的限位齿轮9，安装腔7底壁固定安装有位于限位齿轮9右侧的限位装置10，限位装置10由第一固定板、第二固定板、限位插杆、推板和复位弹簧组成，安装腔7底壁固定安装有位于限位齿轮9右侧的第一固定板，安装腔7底壁固定安装有位于第一固定板右侧的第二固定板，第二固定板右侧插接有依次贯穿第二固定板和第一固定板并与限位齿轮9齿槽向卡接的限位插杆，限位插杆外壁固定连接有位于第一固定板与第二固定板之间的推板，限位插杆外套接有位于推板与第二固定板之间的复位弹簧，安装腔7底壁固定安装有位于限位装置10右侧的电磁铁11，限位插杆右侧固定连接有金属片，电磁铁11与金属片之间的距离大于限位插杆位于限位齿轮9齿槽内的长度，电磁铁11开启时金属片与电磁铁11相接触，转动杆8左侧固定连接有第一手轮12，连接头5左侧固定连接有与转动杆8相套接的握持座13，转动杆8右侧固定连接有夹持座14，夹持座14右侧开设有安装槽15，夹持座14前侧转动连接有贯穿夹持座14并延伸至安装槽15内的双向丝杆16，双向丝杆16前侧固定连接有第二手轮17，双向丝杆16的输出轴螺纹连接有位于安装槽15内且数量为两个的丝杆螺母18，双向丝杆16转动时两个丝杆螺母18的运动方向相反，丝杆螺母18右侧固定连接有夹持装置19，夹持装置19由连接块、连接条和夹持爪组成，丝杆螺母18右侧固定连接有连接块，连接块右侧固定连接有连接条，连接条右侧固定连接有夹持爪，两个夹持爪相对面的一侧均固定连接有防滑海绵垫，夹持座14底部固定连接有第二电动滑台20，控制装置6由第一升降控制器、第二升降控制器和控制开关组成，第一升降控制器与第一电动滑台2电连接，第二升降控制器与第二电动滑台20电连接，控制开关与电磁铁11电连接，第二电动滑台20的滑块固定连接有托举装置21，托举装置21由连杆和托环组成，第二电动滑台20的滑块右侧固定连接有连杆，连杆右侧固定连接有托环，托环顶部固定连接有海绵垫，移动底座1顶部固定安装有位于第一电动滑台2右侧的电气控制柜22，第一电动滑台2、控制装置6、电磁铁11和第二电动滑台20均与电气控制柜22电连接，电气控制柜22内固定安装有蓄电池组。

在使用时，通过推动移动底座1至需要夹持的单晶炉旁，通过调节第一电动滑台2和转动板3来使夹持座14对准需要夹持的单晶硅棒，然后向前推动连接杆4使两个夹持装置19分别移动至单晶硅棒两侧，同时使托举装置21位于单晶硅棒底部，然后转动第二手轮17带动两个夹持装置19对单晶硅棒进行夹持，再控制第二电动滑台20的滑块带动托举装置21上移，使托举装置21套接至单晶硅棒外侧，从而可以对单晶硅棒进行支撑，从而可以避免单晶硅棒滑落，达到了夹持稳定的目的，通过设置连接头5、转动杆8、限位齿轮9、限位装置10和电磁铁11，由于第一手轮12和夹持座14均与转动杆8固定连接，当转动第一手轮12时会带动夹持座14进行转动，从而可以对夹持装置19夹持的单晶硅棒的角度进行调节，同时由于限位装置10的限位插杆在电磁铁11未通电时是卡接在限位齿轮9的齿槽内，使得转动杆8在电磁铁11未通电无法旋转，进而可以避免夹持座14随意转动，影响使用的问题，达到了可以调节角度目的。

综上所述，该夹持稳定的单晶硅片加工用夹紧机构，通过推动移动底座1至需要夹持的单晶炉旁，通过调节第一电动滑台2和转动板3来使夹持座14对准需要夹持的单晶硅棒，然后向前推动连接杆4使两个夹持装置19分别移动至单晶硅棒两侧，同时使托举装置21位于单晶硅棒底部，然后转动第二手轮17带动两个夹持装置19对单晶硅棒进行夹持，再控制第二电动滑台20的滑块带动托举装置21上移，使托举装置21套接至单晶硅棒外侧，从而可以对单晶硅棒进行支撑，从而可以避免单晶硅棒滑落，达到了夹持稳定的目的。

并且，通过设置连接头5、转动杆8、限位齿轮9、限位装置10和电磁铁11，由于第一手轮12和夹持座14均与转动杆8固定连接，当转动第一手轮12时会带动夹持座14进行转动，从而可以对夹持装置19夹持的单晶硅棒的角度进行调节，同时由于限位装置10的限位插杆在电磁铁11未通电时是卡接在限位齿轮9的齿槽内，使得转动杆8在电磁铁11未通电无法旋转，进而可以避免夹持座14随意转动，影响使用的问题，达到了可以调节角度目的，从而解决了单晶硅片是单晶硅棒经由一系列工艺切割而成的，而单晶硅棒从单晶炉中取出时需要对其进行夹持，但是现有的夹紧机构在夹持时只是通过摩擦力进行夹持，无法保证夹持稳定性，而且夹持取出后无法对单晶硅棒的角度方向进行调节，不便于安放的问题。

需要说明的是，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。

尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。