脱吸装置的制作方法

本实用新型涉及解吸技术领域，具体而言，涉及一种脱吸装置。

背景技术：

随着多晶硅价格的不断走低，迫使生产企业采用更加节能的生产工艺及装置来降低生产成本。而在多晶硅生产过程中不可避免的产生了一些氯化氢需要分离出来，一般是采用“吸收-脱吸”的方法利用脱吸塔进行分离的。根据生产需求，可以得到高纯的液体氯化氢、或者纯度较高的气体氯化氢。

一般情况下，结合冷媒的温度及二次蒸汽的温度的条件，可以从脱吸塔得到气态氯化氢，这时塔顶压力一般为0.6mpag，塔顶冷凝器温度一般都在-45～-50℃、进料板温度一般在60～80℃、塔低再沸器温度一般在110℃，塔内物料温度的梯度分布较大。若要得到液态氯化氢，则塔顶压力一般高于0.85mpa比较有利，塔底再沸器温度一般高于130℃，这时塔底需要高压蒸汽加热。若对氯化氢的纯度(气态采出氯化氢时氯化氢中会含有较多的氢气，液体采出氯化氢时氯化氢纯度较高)没有特殊要求的话，一般都采用低压脱吸的方案，但无论采用何种方案，塔顶冷凝器都需要使用运行成本很高的低温冷媒作为冷源，塔底再沸器则需要使用蒸汽作为热源，造成整个塔的温度分布变化较大，同时也造成整个塔的物料分布差别较大，由于氯化氢的量较少，造成了脱吸塔外型上表现为进料板以上的塔体逐渐变细，在进料板以下的位置上塔体较粗。

由于脱吸塔的温度分布较大，就可以使用不同品位的冷源，通过使用低运行成本的冷源代替高运行成本的冷源来达到降低脱吸塔运行成本的目的，特别是对于物料处理量较大的塔，塔顶对冷媒的需求量变得很大，导致冷媒成本较高。

技术实现要素：

本实用新型的主要目的在于提供一种脱吸装置，以解决现有技术中的氯化氢解吸时塔顶冷媒成本较高的问题。

为了实现上述目的，根据本实用新型的一个方面，提供了一种脱吸装置，脱吸装置包括脱吸塔，脱吸塔包括塔底再沸器、塔体、设置在塔体内腔的塔顶冷凝器，塔体具有进料口，待脱吸物料经过塔底再沸器闪蒸后形成气态脱吸物和液态塔底物经进料口进入塔体，气态脱吸物向塔顶冷凝器移动，脱吸装置还包括中冷器，中冷器为循环水冷却器、冷冻水冷却器、低温待脱吸物料换热器中的一种或者几种的组合，沿气态脱吸物的流动方向，中冷器设置在进料口和塔顶冷凝器之间。

进一步地，上述中冷器设置在塔体内腔中。

进一步地，上述中冷器包括循环水冷却器和冷冻水冷却器，循环水冷却器和冷冻水冷却器设置在塔体内腔中，且冷冻水冷却器位于循环水冷却器的上方。

进一步地，上述进料口以下的塔体的内径为d1，进料口以上的塔体的内径为d2，d1＞d2。

进一步地，上述进料口以下的塔体的内径为d1，进料口以上的塔体由内径为d2的第一塔体段、内径为d3的第二塔体段、内径为d4的第三塔体段连接而成，循环水冷却器设置在第一塔体段的内腔中，冷冻水冷却器设置在第二塔体段的内腔中，塔顶冷凝器设置在第三塔体段的内腔中，其中，d1＞d2＞d3＞d4。

进一步地，上述循环水冷却器设置在第一塔体段的上半部内腔中，冷冻水冷却器设置在第二塔体段的上半部内腔中，塔顶冷凝器设置在第三塔体段的上半部内腔中。

进一步地，上述中冷器连接设置在脱吸塔的塔体外，且中冷器与脱吸塔之间具有第一接口和第二接口，塔体内腔中设置有隔板，第一接口、隔板、第二接口依次远离进料口设置。

进一步地，上述中冷器包括循环水冷却器和冷冻水冷却器，循环水冷却器设置在冷冻水冷却器的上游且与脱吸塔之间具有第一接口，冷冻水冷却器设置在塔顶冷凝器的上游且与脱吸塔之间具有第二接口。

进一步地，上述脱吸装置还包括原料预热器和塔底产物输送管线，原料预热器与进料口相连通，塔底产物输送管线穿过原料预热器为原料预热器提供至少部分热源。

进一步地，上述脱吸装置还包括塔底产物输送管线、塔顶产物换热器和塔顶产物输送管线，塔顶产物输送管线和塔底产物输送管线与塔顶产物换热器相连以实现塔底产物与塔顶产物的换热。

进一步地，上述脱吸塔的塔顶具有气体分离物出口和液体分离物出口，塔顶产物输送管线包括气体管线和液体管线，塔顶产物换热器包括：第一塔顶换热器，与气体分离物出口通过气体管线相连；第二塔顶换热器，与液体分离物出口通过液体管线相连，塔底产物输送管线穿过第一塔顶换热器和/或第二塔顶换热器为第一塔顶换热器和/或第二塔顶换热器提供至少部分热源。

进一步地，上述塔底再沸器为热虹吸式再沸器。

应用本实用新型的技术方案，本申请的脱吸装置设置的中冷器对气态脱吸物进行预冷却，使得进入塔顶冷凝器的气态脱吸物的量和气态脱吸物中的氯硅烷的含量都大为减少，从而在很大程度上减少了塔顶冷凝器对低温冷媒的需求量，经过测算至多可以节省78％的塔顶低温冷媒需求量，进而降低了脱吸塔的运行成本；同时采用本申请的脱吸装置与设置中冷器之前，塔底再沸器使用的蒸汽温度和蒸汽消耗量并没有发生太大的变化，且无论是塔顶产品、还是塔底产品的产品都维持较高的质量。

附图说明

构成本申请的一部分的说明书附图用来提供对本实用新型的进一步理解，本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的不当限定。在附图中：

图1示出了根据本实用新型的实施例1提供的脱吸装置的结构示意图；以及

图2示出了根据本实用新型的实施例2提供的脱吸装置的结构示意图；

图3示出了根据本实用新型的实施例3提供的脱吸装置的结构示意图；

图4示出了根据本实用新型的实施例4提供的脱吸装置的结构示意图；

图5示出了根据本实用新型的实施例5提供的脱吸装置的结构示意图；

图6示出了根据本实用新型的实施例6提供的脱吸装置的结构示意图。

其中，上述附图包括以下附图标记：

10、脱吸塔；11、塔底再沸器；12、塔体；13、塔顶冷凝器；14、隔板；

21、循环水冷却器；22、冷冻水冷却器；23、低温待脱吸物料换热器；30、原料预热器；40、塔底产物输送管线；51、第一塔顶换热器；52、第二塔顶换热器；61、气体管线；62、液体管线。

具体实施方式

需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本实用新型。

如本申请背景技术所分析的，由于塔顶冷凝器温度、进料板温度和塔低再沸器温度相差较大，为了使脱吸出来的氯化氢中氯硅烷的含量控制在较低的浓度，需要使用大量的低温冷媒以使塔顶冷凝器保持在较低的温度，导致氯化氢脱吸塔的运行成本较高，为了解决该问题，本申请提供了一种脱吸装置。

在本申请一种典型的实施方式中，提供了一种脱吸装置，如图1至6所示，该脱吸装置包括脱吸塔10，脱吸塔10包括塔底再沸器11、塔体12、设置在塔体12内腔的塔顶冷凝器13，塔体12具有进料口，待脱吸物料经过塔底再沸器11闪蒸后形成气态脱吸物和液态塔底物经进料口进入塔体12后，气态脱吸物向塔顶冷凝器13移动，该脱吸装置还包括中冷器，中冷器为循环水冷却器21、冷冻水冷却器22、低温待脱吸物料换热器23中的一种或者几种的组合，沿所述气态脱吸物的流动方向，中冷器设置在进料口和塔顶冷凝器13之间。

本申请的脱吸装置设置的中冷器对气态脱吸物进行预冷却，使得进入塔顶冷凝器13的气态脱吸物的量和气态脱吸物中的氯硅烷的含量都大为减少，从而在很大程度上减少了塔顶冷凝器13对低温冷媒的需求量，经过测算至多可以节省78％的塔顶低温冷媒需求量，进而降低了脱吸塔10的运行成本；同时采用本申请的脱吸装置与设置中冷器之前，塔底再沸器11使用的蒸汽温度和蒸汽消耗量并没有发生太大的变化，且无论是塔顶产品、还是塔底产品的产品都维持较高的质量。

为了更好地理解上述成本说明，以下以低温冷媒和冷冻水的运行成本为例进行说明：低温冷媒与冷冻水的运行成本是不同的，同样是1wkcal的换热量，-55℃的r507就需要17度电，而冷冻水才需要3度电。比如脱吸塔10原来需要-55℃的冷媒的话需要100wkcal换热量，用电量是100*17＝1700kwh；但采用本实用新型的方法，则需要40wkcal的-55℃冷媒和60wkcal的冷冻水，用电量是40*17+60*3＝860，成本降低了1700-860＝840kwh，约49.4％，节能效果显著

上述中冷器的数量可以根据可使用的公用工程种类、脱吸塔10负荷、塔高度、设备造价等因素综合考虑，如果是多个中冷器可以将多个中冷器串联。对于中冷器的安装位置，则可以将中冷器放置在塔体12内、或者将中冷器放置在建筑物上的合适高度能使液体靠重力回流到脱吸塔10中、或者放置在较低的位置使用泵将液体送回脱吸塔10中，具体采用哪种形式要根据具体情况确定，冷冻水冷却器22的安装位置灵活，适合旧装置改造。

为了增加脱吸装置的设备集成程度，优选上述中冷器设置在塔体12内腔中。在一种实施例中，如图1和2，上述中冷器包括循环水冷却器21和冷冻水冷却器22，上述循环水冷却器21和冷冻水冷却器22设置在塔体12内腔中，且冷冻水冷却器22位于循环水冷却器21的上方。冷冻水冷却器22可以对循环水冷却器21冷却后的气态脱吸物进行进一步深度冷却，实现了以对各冷却器的冷量进行充分利用。

为了进一步控制塔内温度和物料分布，优选上述进料口以下的塔体12的内径为d1，进料口以上的塔体12的内径为d2，d1＞d2。

在一种实施例中，如图1或2所示，进料口以下的塔体12的内径为d1，进料口以上的塔体12由内径为d2的第一塔体段、内径为d3的第二塔体段、内径为d4的第三塔体段连接而成，循环水冷却器21设置在第一塔体段的内腔中，冷冻水冷却器22设置在第二塔体段的内腔中，塔顶冷凝器13设置在第三塔体段的内腔中，其中，d1＞d2＞d3＞d4。通过塔体12内径的设置提高各冷却器的冷却后物料的气液分离效果。

进一步优选如图1和2所示，上述循环水冷却器21设置在第一塔体段的上半部内腔中，冷冻水冷却器22设置在第二塔体段的上半部内腔中，塔顶冷凝器13设置在第三塔体段的上半部内腔中。以提高各冷却器和冷凝器的降温分离效果。

为了提高本申请的脱吸装置的通用性，优选如图5和6，上述中冷器连接设置在脱吸塔10的塔体12外，且中冷器与脱吸塔10之间具有第一接口和第二接口，塔体12内腔中设置有隔板14，第一接口、隔板14、第二接口依次远离进料口设置。当中冷器连接设置在脱吸塔10的塔体12外时，在塔体12内腔中设置隔板14，从而使得气态脱吸物不再在脱吸塔10内腔中向上移动而是进入中冷器进行换热。该结构改动相对较少，适用性较广。

在一种实施例中，如图5和6所示，上述中冷器包括循环水冷却器21和冷冻水冷却器22，循环水冷却器21设置在冷冻水冷却器22的上游且与脱吸塔10之间具有第一接口，冷冻水冷却器22设置在塔顶冷凝器13的上游且与脱吸塔10之间具有所述第二接口。冷冻水冷却器22可以对循环水冷却器21冷却后的气态脱吸物进行进一步深度冷却，实现了以对各冷却器的冷量进行充分利用。

本申请的脱吸塔10的塔底产物温度较高，为了对该部分热量进行回收利用，优选如图1或2所示，上述脱吸装置还包括原料预热器30和塔底产物输送管线40，原料预热器30与进料口相连通，塔底产物输送管线40穿过原料预热器30为原料预热器30提供至少部分热源。利用塔底产物对原料进行预热，实现了塔底产物热量的回收，降低了工艺整体的能耗。

上述低温待脱吸物料换热器23的冷媒为没有经过预热的待脱吸物料，利用该换热器使待脱吸物料与气态脱吸物进行换热，实现了待脱吸物料的预热，因此，如果采用低温待脱吸物料换热器23作为中冷器时，可以不单独设置上述的原料预热器30。如图3和4所示。

脱吸塔10可以通过控制塔顶压力对塔顶产物进行进一步处理，比如在对氯硅烷液体中氯化氢脱吸处理时，塔顶物主要为氯化氢和氢气的混合物，通过塔顶压力的控制可以得到氯化氢和氢气的液态混合物，也可以得到液态的氯化氢和气态的氢气。

在本申请一种实施例中，如图1至6所示，上述脱吸装置还包括塔底产物输送管线40、塔顶产物换热器和塔顶产物输送管线，塔顶产物输送管线和塔底产物输送管线40与塔顶产物换热器相连以实现塔底产物与塔顶产物的换热。利用塔底产物在塔顶产物换热器中对塔顶产物进行加热，一方面回收了塔底产物热量，另一方面提高了塔顶氯化氢和氢气的混合物的温度以对其进行回收或利用。

在本申请另一种实施例中，如图2所示，脱吸塔10的塔顶具有气体分离物出口和液体分离物出口，塔顶产物输送管线包括气体管线61和液体管线62，塔顶产物换热器还包括第一塔顶换热器51和第二塔顶换热器52，第一塔顶换热器51与气体分离物出口通过气体管线61相连；第二塔顶换热器52与液体分离物出口通过液体管线62相连，塔底产物输送管线40穿过第一塔顶换热器51和/或第二塔顶换热器52为第一塔顶换热器51和/或第二塔顶换热器52提供至少部分热源。对气体分离物和液体分离物分别进行换热处理，以利于各自的回收和利用。

用于本申请的塔底再沸器11可以为现有技术中常用结构形式的塔底再沸器11，优选塔底再沸器11为热虹吸式再沸器，以提高物料处理效率。

上述脱吸装置用于氯硅烷的脱吸。在本申请另一种典型的实施方式中，提供了一种氯硅烷中氯化氢的分离方法，该分离方法包括：利用脱吸塔10的塔底再沸器11对含有氯化氢的氯硅烷液体进行闪蒸，得到气态脱吸物和液态塔底物；将气态脱吸物依次进行中冷器冷却和塔顶冷凝器13冷凝，得到塔顶物和回流物，中冷器为循环水冷却器21、冷冻水冷却器22、低温待脱吸物料换热器23中的一种或者几种的组合。该分离方法优选采用前述的脱吸装置来实施。

利用中冷器对气态脱吸物进行预冷却，使得进入塔顶冷凝器13的气态脱吸物的量和气态脱吸物中的氯硅烷的含量都大为减少，从而在很大程度上减少了塔顶冷凝器13对低温冷媒的需求量，经过测算至多可以节省78％的塔顶低温冷媒需求量，进而降低了脱吸塔10的运行成本；同时采用本申请的脱吸方法与采用中冷器之前，塔底再沸器11使用的蒸汽温度和蒸汽消耗量并没有发生明显的变化，且无论是塔顶产品、还是塔底产品的产品质量都维持较高的质量。

为了节省脱吸塔10的运行能耗，优选上述分离方法还包括对氯硅烷液体在进入脱吸塔10之前进行预热，优选采用液态塔底物对氯硅烷液体进行预热。比如将低于常温、吸收了氯化氢的氯硅烷液体送入脱吸塔10，在氯硅烷液体进入脱吸塔10之前被液态塔底物加热到接近泡点温度然后进入脱吸塔10后发生闪蒸得到气态脱吸物和液态塔底物。在一种实施例中，优选进入脱吸塔10的氯硅烷液体的温度为60～70℃，优选氯硅烷液体预热前的温度为0～30℃。

在一种实施例中，为了实现对液态塔底物的热量回收，优选上述分离方法还包括采用液态塔底物对塔顶物进行加热。液态塔底物为不含氯化氢的氯硅烷液体，经过对氯硅烷液体预热后对塔顶物进行加热，液态塔底物的温度降温后一部分可以被送到氯化氢吸收装置中，剩余的部分被送到氯硅烷精馏塔中。

通过控制塔顶压力可以得到不同的塔顶物，比如控制脱吸塔10的塔顶压力为0.5～1.4mpa时，得到的塔顶物为氢气和氯化氢的混合物。控制脱吸塔10的塔顶压力在0.85mpa以上时，比如0.95mpa时，得到的塔顶物为氢气气体和液态氯化氢。

上述中冷器的数量可以根据可使用的公用工程种类、脱吸塔10负荷、塔高度、设备造价等因素综合考虑，如果是多个中冷器可以将多个中冷器串联。对于中冷器的安装位置，则可以将中冷器放置在塔体12内、或者将中冷器放置在建筑物上的合适高度能使液体靠重力回流到脱吸塔10中、或者放置在较低的位置使用泵将液体送回脱吸塔10中，具体采用哪种形式要根据具体情况确定，冷冻水冷却器22的安装位置灵活，适合旧装置改造。

为了增加设备集成程度，优选中冷器设置在脱吸塔10的塔体12内腔中。进一步优选中冷器包括依次设置的循环水冷却器21和冷冻水冷却器22，且冷冻水冷却器22位于循环水冷却器21的上方。冷冻水冷却器22可以对循环水冷却器21冷却后的气态脱吸物进行进一步深度冷却，实现了以对各冷却器的冷量进行充分利用。

为了提高本申请的分离方法的通用性，优选中冷器与脱吸塔10连接设置在脱吸塔10的塔体12外，且中冷器与脱吸塔10之间具有第一接口和第二接口，脱吸塔10的塔体12内腔中设置有隔板14，第一接口、隔板14、第二接口依次远离塔底再沸器11设置。当中冷器连接设置在脱吸塔10的塔体12外时，在塔体12内腔中设置隔板14，从而使得气态脱吸物不再在脱吸塔10内腔中向上移动而是进入中冷器进行换热。该结构改动相对较少，适用性较广。优选中冷器包括循环水冷却器21和冷冻水冷却器22，且循环水冷却器21与脱吸塔10之间具有第一接口，冷冻水冷却器22设置在塔顶冷凝器13的上游且与脱吸塔10之间具有第二接口。冷冻水冷却器22可以对循环水冷却器21冷却后的气态脱吸物进行进一步深度冷却，实现了以对各冷却器的冷量进行充分利用。

为了提高各冷却器的冷却效率，优选上述循环水冷却器21的循环水供水温度为30～35℃，以使经循环水冷却器21冷却后的气态脱吸物的温度在45℃以下。优选冷冻水冷却器22的冷冻水供水温度为5～10℃，以使经冷冻水冷却器22冷却后的气态脱吸物的温度在15℃以下。优选塔顶冷凝器13的冷媒温度为-70～-50℃。

以下将结合实施例和对比例，进一步说明本申请的有益效果。

实施例1

见图1，脱吸塔10塔顶采出气体氯化氢。将温度为0～30℃、压力大于0.65mpa的吸收了氯化氢的氯硅烷液体送入脱吸塔10，氯硅烷液体中氯化氢的质量含量约为0.004，在氯硅烷液体进入脱吸塔10之前在原料预热器30被加热到接近泡点温度60～70℃，氯硅烷液体进入脱吸塔10后发生闪蒸，得到气态脱吸物和液态塔底物，液态塔底物为不含氯化氢和氢气的氯硅烷液体，气态脱吸物为夹杂有部分氯硅烷液体的氢气和氯化氢混合物。气态脱吸物经过常温的循环水冷却器21和温度较低的冷冻水冷却器22，二者依次可以同时将上升蒸汽和下落液体冷却到足够低的温度后，使得进入塔顶冷凝器13的蒸汽量和气相中的氯硅烷的含量都相对于设置冷冻水冷却器22之前为减少，气相继续上升至塔顶冷凝器13被冷凝，塔顶气体从脱吸塔10中排出，液体回流，塔顶冷凝器13的冷媒为低温冷媒。

其中，设置脱吸塔10的塔高约33m，原料进料口位置位于塔中部，塔内填料为乱堆填料或者规整填料，优选不锈钢鲍尔环，塔底再沸器11为热虹吸式再沸器，循环水温度为32℃供/42回℃、冷冻水温度为7℃供/12回℃、低温冷媒温度为-55℃，脱吸塔10的塔顶压力在0.6mpa左右，塔顶冷凝器13得到氯硅烷体积含量小于1％、压力为0.6mpa、温度为-45～-50℃的氯化氢与氢气的混合物，经过氯化氢加热器后气体温度可以升高至40～60℃。液态塔底物的温度为110～120℃，经过原料预热器30、氯化氢加热器后氯硅烷的温度被降低到50～70℃，一部分送到氯化氢吸收装置中、剩余的送到氯硅烷精馏塔中。从塔顶冷凝器13得到的低温塔顶产品氯化氢和氢气混合物通过氯化氢加热器升温后送到罐区或者其它工序。

其中，经过计算，若不采用本实用新型工艺及设备，每处理100m³-氯硅烷液体塔顶冷媒需求量为11万kcal；采用本实用新型工艺及设备后，每处理100m³-氯硅烷液体塔顶冷媒需求量为3.3万kcal，冷冻水需求量为16m³，因此整体冷媒需求量减少。

实施例2

见图2，脱吸塔10塔顶采出液体氯化氢。将温度为10～30℃、压力大于0.95mpa的吸收了氯化氢的氯硅烷液体送入脱吸塔10，氯硅烷液体中氯化氢的质量含量约为0.004，在氯硅烷液体进入脱吸塔10之前在原料预热器30被加热到接近泡点温度60～70℃，氯硅烷液体进入脱吸塔10后发生闪蒸，得到气态脱吸物和液态塔底物，液态塔底物为不含氯化氢和氢气的氯硅烷液体，气态脱吸物为夹杂有部分氯硅烷液体的氢气和氯化氢混合物。气态脱吸物经过常温的循环水冷却器21和温度较低的冷冻水冷却器22，二者依次可以同时将上升蒸汽和下落液体冷却到足够低的温度后，使得进入塔顶冷凝器13的蒸汽量和气相中的氯硅烷的含量都相对于设置冷冻水冷却器22之前为减少，气相继续上升至塔顶冷凝器13被冷凝，塔顶气体从脱吸塔10中排出，液体回流。塔顶冷凝器13的冷媒为低温冷媒。

其中，设置脱吸塔10的塔高约33m，原料进料口位置位于塔中部，塔内填料为不锈钢鲍尔环，塔底再沸器11为热虹吸式再沸器，循环水温度为32℃供/42回℃、冷冻水温度为7℃供/12回℃、低温冷媒温度为-55℃，脱吸塔10的塔顶压力在0.9mpa左右，塔顶冷凝器13得到氯硅烷体积含量小于1％、压力为0.9mpa、温度约为-50℃的氯化氢与氢气的混合物以及液态hcl，液态hcl经过氯化氢加热器后液体温度可以升高至40～60℃。液态塔底物的温度约为130℃，经过原料预热器30、氯化氢加热器后氯硅烷的温度被降低到50～70℃，一部分送到氯化氢吸收装置中、剩余的送到氯硅烷精馏塔中。

其中，经过计算，若不采用本实用新型工艺及设备，每处理100m³-氯硅烷液体塔顶冷媒需求量为10万kcal；采用本实用新型工艺及设备后，每处理100m³氯硅烷液体塔顶冷媒需求量为6.6万kcal，冷冻水冷却器22需求量为6.7m³，因此整体冷媒需求量减少。

需要说明的是，脱吸塔10塔顶采出液体氯化氢时，原料中的氯化氢大约只有10～40％以液体的形式采出，另剩余的氯化氢仍然要以气体的形式与氢气一起采出。若要增大液体氯化氢的采出量，可以提高脱吸塔10的压力，或者继续降低塔顶冷凝器13的温度，脱吸塔10的运行成本会进一步的增加。

实施例3

见图3，脱吸塔10塔顶采出气体氯化氢。

与实施例1不同的是，在脱吸塔10只设置了低温待脱吸物料换热器23作为中冷器，该低温物料是未被预热的原料，其温度大约3℃，原料经过低温待脱吸物料换热器23后再进入原料预热器30。

其中，经过计算，若不采用本实用新型工艺及设备，每处理100m³氯硅烷液体塔顶冷媒需求量为11万kcal；采用本实用新型工艺及设备后，每处理100m³氯硅烷液体塔顶冷媒需求量为2.4万kcal，不再需要冷冻水和循环水，因此整体冷媒需求量减少。

实施例4

见图4，脱吸塔10塔顶采出液体氯化氢。

与实施例2不同的是，在脱吸塔10只设置了低温待脱吸物料换热器23作为中冷器，该低温物料是未被预热的原料，其温度大约3℃，原料经过中冷器换热后再进入原料预热器30。

其中，经过计算，若不采用本实用新型工艺及设备，每处理100m³氯硅烷液体塔顶冷媒需求量为10万kcal；采用本实用新型工艺及设备后，每处理100m³氯硅烷液体塔顶冷媒需求量为3.3万kcal，不再需要冷冻水和循环水，因此整体冷媒需求量减少。

实施例5

见图5，脱吸塔10塔顶采出气体氯化氢。

与实施例1不同的是，采用外置的循环水冷却器21和冷冻水冷却器22替换内置的循环水冷却器21和冷冻水冷却器22，脱吸塔10内设置隔板14。其中，经过计算，其能效和实施例1基本相当。

实施例6

见图6，脱吸塔10塔顶采出液体氯化氢。

与实施例2不同的是，采用外置的循环水冷却器21和冷冻水冷却器22替换内置的循环水冷却器21和冷冻水冷却器22，脱吸塔10内设置隔板14。其中，经过计算，其能效和实施例2基本相当。

从以上的描述中，可以看出，本实用新型上述的实施例实现了如下技术效果：

本申请的脱吸装置设置的中冷器对气态脱吸物进行预冷却，使得进入塔顶冷凝器的气态脱吸物的量和气态脱吸物中的氯硅烷的含量都大为减少，从而在很大程度上减少了塔顶冷凝器对低温冷媒的需求量，经过测算至多可以节省78％的塔顶低温冷媒需求量，进而降低了脱吸塔的运行成本；同时采用本申请的脱吸装置与设置中冷器之前，塔底再沸器使用的蒸汽温度和蒸汽消耗量并没有发生太大的变化，且无论是塔顶产品、还是塔底产品的产品都维持较高的质量。

以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，对于本领域的技术人员来说，本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。