技术特征：
1.外延生长装置，其特征在于包括反应腔室和真空锁，反应腔室具有若干个加热器排列成圆圈，反应腔室具有进气和排气通路，反应腔室还设有分隔装置能够喷出气体来屏蔽每个加热器，反应腔室还设有晶圆装卸器装卸加热器上的晶圆；真空锁中具有晶圆匣用于运送晶圆。2.如权利要求1所述的外延生长装置，其特征在于所述的加热器是碳化硅包覆的石墨电阻加热器，加热器的形状是圆柱状并且顶部是平的。3.如权利要求1所述的外延生长装置，其特征在于所述的加热器顶部具有一凹陷部，该凹陷部用于放置晶圆，该凹陷部的形状是纵深向轮廓为近似弧线。4.如权利要求3所述的外延生长装置，其特征在于所述的加热器在凹陷部设有若干个孔，顶针可以通过这些孔上下移动，以托起或降下晶圆。5.如权利要求1所述的外延生长装置，其特征在于所述的加热器底部的截面积最大，并且由下至上逐渐变小。6.如权利要求1所述的外延生长装置，其特征在于所述的分隔装置喷出的气体是氢气或者氩气或者氦气中的一种或其组合。7.如权利要求1所述的外延生长装置，其特征在于所述的排气通路位于加热器之间。8.如权利要求1所述的外延生长装置，其特征在于所述的反应腔室的壳体是一个水冷壁腔室，其腔体内壁是包覆石墨层的碳化硅。9.如权利要求1所述的外延生长装置，其特征在于所述的进气通路是一个倒扣的漏斗状的气体扩散器，将源气体引入正对下方的晶圆。10.如权利要求1所述的外延生长装置，其特征在于所述的晶圆装卸器可辐射状地伸缩，对应匹配加热器的数量；收缩时，晶圆装卸器位于加热器之间；在装卸晶圆的过程中，晶圆装卸器旋转伸入相应的加热器位置卸下原有晶圆再旋转一个加热器的位置将取出的晶圆放到下一个加热器的位置上装上。11.如权利要求1所述的外延生长装置，其特征在于所述的晶圆装卸器在其底部设有晶圆夹持卡盘或者晶圆叉或者伯努利吸盘。12.如权利要求1所述的外延生长装置，其特征在于所述的晶圆装卸器的侧面由多孔材料制成，或者设有若干个孔能够喷出气体来屏蔽不同气体以免产生副产品沉积。13.如权利要求1所述的外延生长装置，其特征在于所述的反应腔室有四个加热器围成一个圆圈，真空锁里有一个晶圆匣。14.如权利要求1所述的外延生长装置，其特征在于所述的反应腔室有六个加热器围成一个圆圈，真空锁里有两个晶圆匣。15.如权利要求1所述的外延生长装置，其特征在于所述的反应腔室有两个每个反应腔室有六个加热器围成一个圆圈，真空锁里有三个晶圆匣。16.如权利要求1所述的外延生长装置，其特征在于所述的反应腔室有两个每个反应腔室有六个加热器围成一个圆圈，真空锁里有三个晶圆匣。17.如权利要求14至16任一权利要求所述的外延生长装置，其特征在于所述的反应腔室与真空锁之间还设有预处理腔室。18.如权利要求1所述的外延生长装置，其特征在于所述的反应腔室有三个每个反应腔室有两个加热器；三个反应腔室围成三面，另一面是真空锁有三个晶圆匣；机械臂被围在中
间，机械臂有两个机械手，可以一次从一个反应腔室装卸两片晶圆。
技术总结
本发明提供了外延生长装置，其特征在于包括反应腔室和真空锁，反应腔室具有若干个加热器排列成圆圈，反应腔室具有进气和排气通路，反应腔室还设有分隔装置能够喷出气体来屏蔽每个加热器，反应腔室还设有晶圆装卸器装卸加热器上的晶圆；真空锁中具有晶圆匣用于运送晶圆。本发明提高了外延工艺的产能通量。本发明提高了外延工艺的产能通量。本发明提高了外延工艺的产能通量。
技术研发人员：三重野文健
受保护的技术使用者：顾赢速科技（合肥）有限公司
技术研发日：2021.05.13
技术公布日：2021/10/8