一种水平砷化镓单晶双舟生长的装置的制作方法

1.本实用新型涉及半导体制备技术领域，具体涉及一种水平砷化镓单晶双舟生长的装置。


背景技术：

2.水平布里奇曼法，简称hb，是生长砷化镓单晶的主要方法之一，其原理是：将生长单晶的砷化镓原料水平放置于一个舟型器皿中，舟型器皿一般选择石英材质，舟的一端为尖细条型便于放置籽晶，将石英舟放置于生长管中，生长管一般采用石英材质，将生长管抽成真空之后水平放置于水平布里奇曼单晶生长炉内。
3.但是其在实际使用时，现有的水平砷化镓单晶双舟生长的装置都是直接将舟型器皿放入生长管内部，导致舟型器皿的稳定性较差，不方便使用。
4.因此，发明一种水平砷化镓单晶双舟生长的装置来解决上述问题很有必要。


技术实现要素：

5.本实用新型的目的是提供一种水平砷化镓单晶双舟生长的装置，通过两个螺纹杆转动带动两个移动块滑动，通过两个移动块滑动便于将两个舟型器皿固定在生长管内部，避免舟型器皿没有固定导致不稳定的现象出现，便于保证两个舟型器皿的稳定性，通过两个舟型器皿的设置，便于提高单舟长晶的生产效率，以解决技术中的上述不足之处。
6.为了实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种水平砷化镓单晶双舟生长的装置，包括生长管，所述生长管底部设有底座，所述生长管内部设有两个舟型器皿，所述生长管内部开设有两个第一滑槽，两个所述舟型器皿分别与两个第一滑槽滑动连接，所述生长管内部固定连接有固定块，所述固定块数量设置为两组，两组所述固定块数量设置为两个，两个所述固定块关于舟型器皿轴线对称设置，每个所述固定块内部底端均设有电机，所述电机输出端均固定连接有转轴，所述转轴贯穿固定块一侧延伸至固定块内部，所述固定块与转轴转动连接，所述转轴外壁固定连接有两个第一锥齿轮，所述固定块内部转动连接有两个螺纹杆，两个所述螺纹杆一端均固定连接有第二锥齿轮，两个所述第二锥齿轮分别与两个第一锥齿轮相啮合，所述固定块内部一侧固定连接有两个支撑块，两个所述支撑块内部均开设有第二滑槽，两个所述螺纹杆外壁均螺纹连接有移动块，两个所述移动块分别与两个第二滑槽滑动连接，所述固定块一侧开设有两个通口，两个所述移动块一端分别贯穿两个通口延伸至固定块外侧，两个所述移动块一端分别与两个舟型器皿外壁相贴合。
7.优选的，两个所述移动块靠近舟型器皿一侧设有第一防护垫，所述第一防护垫由橡胶材料制成。
8.优选的，两个所述舟型器皿一端均固定连接有籽晶腔，两个所述籽晶腔外壁均套接有防滑套，所述防滑套由橡胶材料制成。
9.优选的，两个所述籽晶腔一侧均固定连接有推块，两个所述籽晶腔分别与两个推
块呈垂直分布。
10.优选的，两个所述第一滑槽远离籽晶腔一侧均固定连接有挡块，所述挡块与舟型器皿相互垂直。
11.优选的，两个所述挡块一侧均设有第二防护垫，所述第二防护垫由海绵材料制成。
12.在上述技术方案中，本实用新型提供的技术效果和优点：
13.1、通过两个螺纹杆转动带动两个移动块滑动，通过两个移动块滑动便于将两个舟型器皿固定在生长管内部，避免舟型器皿没有固定导致不稳定的现象出现，便于保证两个舟型器皿的稳定性，通过两个舟型器皿的设置，便于提高单舟长晶的生产效率；
14.2、通过第一防护垫的设置，便于在固定舟型器皿时对舟型器皿起到防护的作用，通过第一防护垫的设置，便于在固定舟型器皿时对舟型器皿起到防护的作用，通过挡块的设置，便于在滑动舟型器皿时起到限位的作用，通过第二防护垫的设置，便于对舟型器皿一端起到保护的作用。
附图说明
15.为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型中记载的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，还可以根据这些附图获得其他的附图。
16.图1为本实用新型的整体结构示意图；
17.图2为本实用新型的整体结构侧剖图；
18.图3为本实用新型固定块的内部结构示意图；
19.图4为本实用新型转轴与螺纹杆的连接结构示意图。
20.附图标记说明：
21.1、生长管；2、底座；3、舟型器皿；4、第一滑槽；5、固定块；6、电机；7、转轴；8、第一锥齿轮；9、螺纹杆；10、第二锥齿轮；11、支撑块； 12、第二滑槽；13、移动块；14、通口；15、第一防护垫；16、籽晶腔； 17、防滑套；18、推块；19、挡块；20、第二防护垫。
具体实施方式
22.为了使本领域的技术人员更好地理解本实用新型的技术方案，下面将结合附图对本实用新型作进一步的详细介绍。
23.本实用新型提供了如图1
‑
4所示的一种水平砷化镓单晶双舟生长的装置，包括生长管1，所述生长管1底部设有底座2，所述生长管1内部设有两个舟型器皿3，所述生长管1内部开设有两个第一滑槽4，两个所述舟型器皿 3分别与两个第一滑槽4滑动连接，所述生长管1内部固定连接有固定块 5，所述固定块5数量设置为两组，两组所述固定块5数量设置为两个，两个所述固定块5关于舟型器皿3轴线对称设置，每个所述固定块5内部底端均设有电机6，所述电机6输出端均固定连接有转轴7，所述转轴7贯穿固定块5一侧延伸至固定块5内部，所述固定块5与转轴7转动连接，所述转轴7外壁固定连接有两个第一锥齿轮8，所述固定块5内部转动连接有两个螺纹杆9，两个所述螺纹杆9一端均固定连接有第二锥齿轮10，两个所述第二锥齿轮10分别与两个第一锥齿轮8相啮合，所述固定块5内部一侧固定连接有两个支撑块11，两个所述支撑块11内部均开设有第二滑槽12，两个所述螺纹杆9外壁均螺纹连接
有移动块13，两个所述移动块13 分别与两个第二滑槽12滑动连接，所述固定块5一侧开设有两个通口14，两个所述移动块13一端分别贯穿两个通口14延伸至固定块5外侧，两个所述移动块13一端分别与两个舟型器皿3外壁相贴合，首先使用者将两个舟型器皿3滑入生长管1内部，再驱动电机6，电机6输出端转动带动转轴 7转动，转轴7转动带动两个第一锥齿轮8转动，两个第一锥齿轮8转动带动两个第二锥齿轮10转动，两个第二锥齿轮10转动带动两个螺纹杆9转动，两个螺纹杆9转动带动两个移动块13滑动，通过两个移动块13滑动便于将两个舟型器皿3固定在生长管1内部，避免舟型器皿3没有固定导致不稳定的现象出现，便于保证两个舟型器皿3的稳定性，通过两个舟型器皿3的设置，便于提高单舟长晶的生产效率。
24.进一步的，在上述技术方案中，两个所述移动块13靠近舟型器皿3一侧设有第一防护垫15，所述第一防护垫15由橡胶材料制成，通过第一防护垫15的设置，便于在固定舟型器皿3时对舟型器皿3起到防护的作用。
25.进一步的，在上述技术方案中，两个所述舟型器皿3一端均固定连接有籽晶腔16，两个所述籽晶腔16外壁均套接有防滑套17，所述防滑套17由橡胶材料制成，通过防滑套17的设置，便于使用者拿取舟型器皿3，便于使用者使用。
26.进一步的，在上述技术方案中，两个所述籽晶腔16一侧均固定连接有推块18，两个所述籽晶腔16分别与两个推块18呈垂直分布，通过推块18 的设置，便于在舟型器皿3滑动时起到推动的作用。
27.进一步的，在上述技术方案中，两个所述第一滑槽4远离籽晶腔16一侧均固定连接有挡块19，所述挡块19与舟型器皿3相互垂直，通过挡块 19的设置，便于在滑动舟型器皿3时起到限位的作用。
28.进一步的，在上述技术方案中，两个所述挡块19一侧均设有第二防护垫20，所述第二防护垫20由海绵材料制成，通过第二防护垫20的设置，便于对舟型器皿3一端起到保护的作用。
29.本实用工作原理：
30.参照说明书附图1
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4，在使用本装置时，首先使用者将两个舟型器皿3 滑入生长管1内部，再驱动电机6，电机6输出端转动带动转轴7转动，转轴7转动带动两个第一锥齿轮8转动，两个第一锥齿轮8转动带动两个第二锥齿轮10转动，两个第二锥齿轮10转动带动两个螺纹杆9转动，两个螺纹杆9转动带动两个移动块13滑动，通过两个移动块13滑动便于将两个舟型器皿3固定在生长管1内部；
31.参照说明书附图1
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4，在使用本装置时，通过第一防护垫15的设置，便于在固定舟型器皿3时对舟型器皿3起到防护的作用，通过第一防护垫15 的设置，便于在固定舟型器皿3时对舟型器皿3起到防护的作用，通过挡块19的设置，便于在滑动舟型器皿3时起到限位的作用，通过第二防护垫 20的设置，便于对舟型器皿3一端起到保护的作用。
32.以上只通过说明的方式描述了本实用新型的某些示范性实施例，毋庸置疑，对于本领域的普通技术人员，在不偏离本实用新型的精神和范围的情况下，可以用各种不同的方式对所描述的实施例进行修正。因此，上述附图和描述在本质上是说明性的，不应理解为对本实用新型权利要求保护范围的限制。