一种定位热场的炉底盘的制作方法

1.本实用新型涉及单晶炉技术领域，具体涉及一种定位热场的炉底盘。


背景技术：

2.单晶炉是一种在惰性气体（氮气、氦气为主）环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备。
3.现有技术中，随着单晶炉的炉型及热场越来越大，并且运行时间较长，往往超过400h，合炉时，热场对中要求越来越高。由于炉底装配的电极护套与电极之间存在间隙，导致热场底固毡定位困难，目前，没有高效准确定位热场的方法，合炉时，只能依靠拆清人员使用卷尺等测量工具对热场各个距离进行测量并校准对中，这种方法耗费时间长，作业效率低，热场对中和重复性很差，十分影响拉晶作业的标准化、自动化推行。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的是开发一种可快速完成热场对中，提高作业效率的定位热场的炉底盘。
5.本实用新型通过如下的技术方案实现：
6.一种定位热场的炉底盘，包括：
7.炉底盘本体；
8.铜电极，设于炉底盘本体上；
9.热场底固毡，设置于炉底盘本体上；
10.电极护套，设于热场底固毡上；
11.定位组件，设于铜电极外围的炉底盘本体上；
12.其中，所述定位组件具有与电极护套侧壁适配的定位部，所述电极护套与所述定位部接触实现与铜电极同轴。
13.可选的，所述定位组件为设于炉底盘本体上的定位环，所述定位环为与铜电极同轴的圆环，所述定位环的内壁与电极护套底端外壁适配。
14.可选的，所述定位环顶面为圆角结构。
15.可选的，所述定位环的内壁上部为斜面结构，斜面的顶端向外侧倾斜。
16.可选的，所述定位组件包括多个定位块，多个所述定位块呈与铜电极同轴的圆形设置，所述定位块的内壁与电极护套底端外壁接触。
17.可选的，所述定位块的内壁为形状与电极护套底端外壁适配的圆弧面。
18.可选的，所述定位块的数量至少为三个，多个所述定位块在其布置的圆周方向上等间距均匀设置。
19.可选的，所述炉底盘本体上设有开孔，所述开孔内设有气筒，所述气筒中心设有气孔，所述开孔上设有将气筒固定在开孔内的压环。
20.可选的，所述开孔从上至下包括顺次同轴连接且内径逐渐减小的第一开孔、第二
开孔、第三开孔及第四开孔，所述气筒安装于第二开孔、第三开孔及第四开孔内，所述气筒外壁的形状与第二开孔、第三开孔及第四开孔适配，所述压环设于所述第一开孔内。
21.可选的，所述第二开孔及第三开孔底端设有锥槽，所述锥槽为斜面并且内侧为较低端，所述气筒外壁对应位置设有与锥槽适配的锥环。
22.本实用新型的有益效果是：
23.本实用新型电极护套卡入定位环或多个定位块即可实现热场底固毡的位置定位，使热场对中，无需作业人员使用测量工具即可快速完成对热场的对中，作业效率大幅提高，单晶炉运行中产生的杂质聚集在气筒的气孔内，清理时，取下气筒进行更换即可，无需更换整个炉底盘本体，大幅降低生产成本。
附图说明
24.为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
25.图1为实施例1结构图；
26.图2为图1中a处放大图；
27.图3为实施例3结构图；
28.图4为图3中b处放大图；
29.图5为实施例4结构图；
30.图6为图5中c处放大图。
具体实施方式
31.在下文中，仅简单地描述了某些示例性实施例。正如本领域技术人员可认识到的那样，在不脱离本发明创造的精神或范围的情况下，可通过各种不同方式修改所描述的实施例。因此，附图和描述被认为本质上是示例性的而非限制性的。
32.在本发明创造的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明创造和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明创造的限制。
33.下面结合附图对本实用新型的实施例进行详细说明。
34.实施例1
35.如图1和图2所示，本实施例公开了一种定位热场的炉底盘，包括炉底盘本体1，炉底盘本体1上设有铜电极4，热场底固毡2设置于炉底盘本体1上。
36.热场底固毡2上设有与铜电极4配合的电极护套3，电极护套3为石墨，呈圆柱形竖直设置。
37.热场底固毡2安装于炉底盘本体1上时，电极护套3套设在铜电极4外围。铜电极4外
围的炉底盘本体1上设有与电极护套3配合的定位组件，定位组件具有与电极护套3接触的定位部。电极护套3与定位组件的定位部接触时，定位组件实现对电极护套3位置的定位与固定。
38.本实施例中定位组件为定位环5，定位环5为圆环结构，定位环5顶面为圆角结构。定位环5与铜电极4处于同轴状态，定位环5的内径与电极护套3底端外径适配，定位环5的内壁即为定位部，电极护套3底端卡入定位环5后，电极护套3与定位环5同轴，使得电极护套3与铜电极4对正，实现热场底固毡2对正，达到快速完成热场对中的效果。
39.本实施例电极护套3卡入定位环5即可实现热场底固毡2的位置定位，使热场对中，无需作业人员使用测量工具即可快速完成对热场的对中，作业效率大幅提高。
40.实施例2
41.本实施例与实施例1不同的是，本实施例中，定位组件为多个定位块，多个定位块呈与铜电极4同轴的圆形设置，并且多个定位块在圆周方向上等间距均匀设置，定位块的数量至少为三个。定位块内壁为定位部，定位块内壁为形状与电极护套3底端外壁适配的圆弧面，电极护套3卡入多个定位块之间，定位块的内壁与电极护套3底端外壁接触实现对其定位和固定。本实施例定位组件的体积及占用空间更小，成本降低。
42.实施例3
43.如图3和图4所示，本实施例与实施例1不同的是，本实施例中，定位环5内壁的上部为导向部，定位环5内壁的下部为定位部，导向部为斜面结构，斜面的顶端向外侧倾斜，使得导向部形状为圆台形且上部内径较大。定位部仍然为与电极护套3底端外壁适配的圆柱形，电极护套3底端内壁与定位部接触。
44.导向部为喇叭口结构，电极护套3在卡入定位环5的过程中，导向部为电极护套3定位，使电极护套3底端滑入定位部中。设置了导向部，使得电极护套3与定位环5的对正可存在一定偏差，电极护套3可快速通过导向部插入定位部内，提高电极护套3与定位环5的卡接效率。
45.实施例4
46.如图5和图6所示，本实施例与实施例1不同的是，本实施例中，在炉底盘本体1上设置有开孔，开孔内设有气筒7，气筒7中心设有气孔8，开孔上设有将气筒7固定在开孔内的压环6。
47.开孔从上至下包括顺次同轴连接且内径逐渐减小的第一开孔9、第二开孔10、第三开孔11及第四开孔12，气筒7安装于第二开孔10、第三开孔11及第四开孔12内，第二开孔10及第三开孔11底端皆为斜面并且内侧为较低端，使得第二开孔10及第三开孔11底端为锥槽结构。气筒7外壁的形状与第二开孔10、第三开孔11及第四开孔12适配，气筒7外壁对应位置设有与第二开孔10及第三开孔11底端锥槽适配的锥环。气筒7安装后，气筒7底端与第四开孔12底端平齐，气筒7顶端与第二开孔10顶端平齐。压环6安装于第一开孔9内，压环6压在气筒7上，实现对气筒7的固定，压环6与第一开孔9可通过螺栓或螺纹实现活动连接。
48.本实施例中，单晶炉运行中产生的杂质聚集在气筒7的气孔8内，清理时，取下气筒7进行更换即可，锥槽与锥环配合增强气筒7与开孔间的气密性。
49.上述实施例只是本实用新型的较佳实施例，并不是对本实用新型技术方案的限制，只要是不经过创造性劳动即可在上述实施例的基础上实现的技术方案，均应视为落入
本实用新型专利的权利保护范围内。