处理用于显示面板的超薄玻璃的方法
【技术领域】
[0001] 本发明涉及一种处理用于显示面板的超薄玻璃的方法，更具体地，涉及一种处理 用于显示面板的超薄玻璃的方法，该方法能够使得所述超薄玻璃被容易地附接于承载玻璃 并从所述承载玻璃脱离，所述承载玻璃在所述超薄玻璃为了应用于所述显示面板而需要的 表面处理之前和之后支撑所述超薄玻璃。
【背景技术】
[0002] 目前，显示器工业中最大的议题之一是纤薄化。为了这个目的，用于液晶显示器 (LCD)的加工工艺采用具有0.3_或更小厚度的超薄玻璃作为玻璃基底，以最小化液晶显示 器的厚度。
[0003] 为了加工这种超薄玻璃，在相关领域，具有0.5mm或更小厚度的玻璃板被蚀刻成具 有0.1mm厚度的超薄玻璃板。然而，由于相关领域的这种方法遭受高成本，所以需要其它改 进。
[0004] 近来，响应超薄玻璃的发展，研究了能够处理超薄玻璃的方法。例如，在相关领域， 超薄玻璃被附接于承载玻璃，超薄玻璃经受该超薄玻璃为了应用于显示面板而需要的表面 处理，然后经表面处理过的超薄玻璃与承载玻璃分离。然而，由于超薄玻璃是柔性的，所以 超薄玻璃在加工或与承载玻璃分离的过程中遭受例如刮伤、翘曲或者断裂之类的常见问 题。也就是说，难于处理超薄玻璃。
[0005] 这样，在相关领域处理超薄玻璃遇到了巨大的困难，这导致缺陷和加工成本的增 加。
[0006] 相关领域文献：
[0007] 专利文献1:韩国专利No. 10-0590724(2006年6月9日）
【发明内容】
[0008] 本发明的各个方面提供一种处理用于显示面板的超薄玻璃的方法，该方法能够使 得所述超薄玻璃被容易地附接于承载玻璃并从所述承载玻璃脱离，在使所述超薄玻璃能够 被用于所述显示面板而进行的表面处理之前和之后，所述承载玻璃支撑所述超薄玻璃。
[0009] 在本发明一方面，提供一种处理用于显示面板的超薄玻璃的方法。该方法包括以 下步骤:通过相变材料将超薄玻璃与承载玻璃结合在一起，使得所述承载玻璃支撑所述超 薄玻璃;对所述超薄玻璃进行表面处理；以及将所述超薄玻璃从所述承载玻璃分离。
[0010] 根据本发明的实施例，所述相变材料可以是导电材料。
[0011] 所述相变材料可以是添加有掺杂剂的氧化铟锡。
[0012] 所述掺杂剂可以是从由Ga、Zn、Ce、Mg、Zr和Nb组成的元素组中选择的一个或者从 该元素组中选择的至少两个的组合。
[0013] 添加到氧化铟锡的所述掺杂剂可以是Ga2〇3,所述Ga2〇3的含量的重量百分比在 0.5%至7%的范围内。
[0014] 所述Ga2〇3的含量的重量百分比可以为2.9%。
[0015] 设置在所述超薄玻璃和所述承载玻璃之间的所述相变材料的厚度可以是100nm或 更小。
[0016] 设置在所述超薄玻璃和所述承载玻璃之间的所述相变材料的厚度可以在30nm至 50nm的范围内。
[0017] 将所述超薄玻璃与所述承载玻璃结合在一起的所述步骤可以包括用所述相变材 料涂覆所述承载玻璃的结合表面。
[0018] 在这种情况下，所述超薄玻璃可以从所述相变材料的已经结合到所述超薄玻璃的 一个表面分离，所述相变材料的所述一个表面的粗糙度大于所述相变材料的结合到所述承 载玻璃的另一表面的粗糙度。
[0019] 将所述超薄玻璃与所述承载玻璃结合在一起的步骤可以包括用所述相变材料涂 覆所述超薄玻璃的结合表面。
[0020] 所述承载玻璃可以从所述相变材料的已经结合到所述承载玻璃的一个表面分离， 所述相变材料的所述一个表面的粗糙度大于所述相变材料的结合到所述超薄玻璃的另一 表面的粗糙度。
[0021] 对所述超薄玻璃进行表面处理可以伴随有在等于或高于所述相变材料的相变温 度的温度的热处理。
[0022] 所述超薄玻璃可以是具有0.3_或更小的厚度的玻璃。
[0023]根据本发明的实施例，当承载玻璃被附接于超薄玻璃使得在对所述超薄玻璃进行 使得所述超薄玻璃能够用于显示面板的表面处理过程中所述超薄玻璃被处理时，所述超薄 玻璃和所述承载玻璃通过相变材料附接在一起。因此，能够在表面处理过程中在所述超薄 玻璃和所述承载玻璃之间获得较高的附着力。在该表面处理之后，由于所述相变材料通过 表面处理过程中的热处理而结晶，所述超薄玻璃能够容易地从所述承载玻璃分离。
[0024] 此外，由于所述超薄玻璃能够容易地从所述承载玻璃分离，所以能够防止所述承 载玻璃被损坏，从而所述承载玻璃能够被重新用于处理另外的超薄玻璃，其带来成本的降 低。
[0025] 此外，所述超薄玻璃在被附接到所述承载玻璃之前被涂覆导电的相变材料，从而 从所述承载玻璃分离的所述超薄玻璃可以具有抗静电功能。
【附图说明】
[0026]图1是顺序显示根据本发明的示例性实施例的处理用于显示面板的超薄玻璃的方 法的工序的流程图；
[0027]图2至图5是顺序显示根据本发明的示例性实施例的处理用于显示面板的超薄玻 璃的方法的工序的剖视图；以及
[0028]图6至图9是顺序显示根据本发明的另一示例性实施例的处理用于显示面板的超 薄玻璃的方法的工序的剖视图。
【具体实施方式】
[0029]现在将详细参考根据本发明的处理用于显示面板的超薄玻璃的方法，其实施例被 例示在附图中并在下面进行描述，从而本发明所涉及领域中的技术人员能够容易地实现本 发明。
[0030] 贯穿该文献，应当参考附图，在附图中，相同的附图标记和符号在不同的附图中使 用以表示相同或相似的部件。在本发明的以下描述中，当本文包含的已知功能和部件的详 细描述可能使得本发明的主题不清楚时，将省略该详细描述。
[0031] 如图1所示，根据本发明的示例性实施例的处理用于显示面板的超薄玻璃的方法 是一种在对超薄玻璃110进行表面处理时能够防止超薄玻璃110的表面被刮伤或者能够防 止超薄玻璃断裂的处理方法，该表面处理使得超薄玻璃能够用作例如液晶显示(LCD)面板 之类的显示面板中的相互面对的上基底和下基底中的任意一个。如图1所示，该处理方法包 括结合步骤S1、表面处理步骤S2以及分离步骤S3。
[0032] 首先，如图2和图3所示，结合步骤S1通过将超薄玻璃110与承载玻璃120结合在一 起而被执行。在结合步骤S1，能够用于液晶显示面板的玻璃基底的超薄玻璃110可以是从硅 酸盐玻璃、石英玻璃、硼硅酸盐玻璃以及无碱玻璃中选择的玻璃但是不限于此，其厚度为 0.3mm或更小。承载玻璃120可以与超薄玻璃110为相同类型的玻璃。由于承载玻璃120用于 在超薄玻璃110进行表面处理时支撑超薄玻璃110,所以承载玻璃120的厚度优选大于超薄 玻璃110的厚度。
[0033] 在根据该示例性实施例的结合步骤S1，超薄玻璃110和承载玻璃120通过相变材料 130结合在一起。根据该示例性实施例，相变材料130可以是导电材料。例如，相变材料130可 以是添加有掺杂剂的氧化铟锡（ΙΤ0)。掺杂剂可以是从Ga、Zn、Ce、Mg、Zr和Nb组成的元素组 中选择的一个或者从该元素组中选择的至少两个的组合，但是不限于此。例如，相变材料 130可以是添加有Ga2〇3的II^GaW的含量的重量百分比在0.5%至7%的范围内，优选为 2.9%〇
[0034] 由于即使相变材料130的厚度为几十纳米，相变材料130在低于其相变温度的温度 下仍然保持非晶态，所以相变材料130常常容易附接于超薄玻璃110和承载玻璃120。相比之 下，当相变材料130通过随后的表面处理步骤S2过程中的热处理而结晶时，相变材料130变 得可容易脱离。
[0035] 相变材料130的这些特性可在超薄玻璃110附接于承载玻璃120时提供较高的附着 力，承载玻璃120旨在在表面处理步骤S2之前牢固地支撑超薄玻璃110，表面处理步骤S2是 将在超薄玻璃110的表面上实施的随后的工序。因此，能够防止超薄玻璃110在表面处理步 骤S2中从承载玻璃120脱离或者被损坏。也能够在表面处理步骤S2之后使超薄玻璃110从承 载玻璃120容易地脱离。
[0036] 根据该示例性实施例，相变材料130可在超薄玻璃110与承载玻璃120之间被形成 为使得其厚度为l〇〇nm或者更小，并且优选地，在30nm至50nm的范围内。
[0037] 如图2所示，根据该示例性实施例，在超薄玻璃110和承载玻璃120结合在一起之 前，相变材料130可被应用于涂覆承载玻璃120的一个表面，即承载玻璃120的将被结合到超 薄玻璃110的结合表面。根据该示例性实施例，相变材料130可通过例如溅射方法、沉积方 法、化学汽相淀积(CVD)方法和溶胶-凝胶方法之类的涂覆方法形成在承载玻璃120的结合 表面上。
[0038] 此后，如图3所示，实施结合步骤S1，从而产生超薄玻璃110和承载玻璃120通过相 变材料130附接在一起的多