一种多晶硅还原炉石墨件的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及多晶硅生产设备领域，特别是涉及一种多晶硅还原炉石墨件。
【背景技术】
[0002]目前在多晶硅生产领域中，大多是采用改良西门子法生产多晶硅，在进行多晶硅还原反应之前，将娃芯插在石墨件上，石墨件套在铜电极上，娃芯按照一定的电极连接方式进行安装，安装完成后，按照工艺程序进行置换、击穿、进料并进而发生气相沉积反应，反应产生的晶粒沉积在硅芯上，经过规定时间生长后形成多晶硅棒。
[0003]石墨件包括石墨卡座、石墨卡帽和用于夹持硅芯的石墨卡瓣，石墨卡瓣设置在石墨卡座上，石墨卡座与电气设备的电极连接，石墨卡帽套设在石墨卡座的顶部，石墨卡帽与石墨卡座通过螺纹连接将石墨卡瓣固定于石墨卡座上，从而保证石墨卡瓣将硅芯加紧。
[0004]多晶硅还原反应完成后，石墨卡瓣与硅芯的根部完全融合，无法回收，而在摘除硅芯后，石墨卡座和石墨卡帽可以分离重复利用，通常，是由人工不借助任何工具直接将石墨卡座与石墨卡帽手动分离。但是，由于石墨卡座和石墨卡帽二者是螺纹连接，螺纹之间有缝隙，在沉积多晶硅的过程中，部分多晶硅会沉积在螺纹的缝隙中，人员通过手动旋转石墨卡座和石墨卡帽很难将二者分离，费时费力。为了顺利分离石墨卡座和石墨卡帽，通常先使用小锤子轻轻敲击石墨卡帽，使得沉积在螺纹缝隙中的多晶硅脱落，再手动旋转将二者分离。然而每个人的用力大小有差异，在敲击石墨卡帽的过程中，就有可能造成石墨件的损坏，降低石墨件的回收利用率。
[0005]因此，亟需一种多晶硅还原炉石墨件以解决上述技术问题。
【实用新型内容】
[0006]本实用新型针对现有技术中存在的上述不足，提供一种多晶硅还原炉石墨件，用以解决多晶硅还原炉石墨件回收效率低、工人工作强度大，以及回收利用率低的问题。
[0007]本实用新型为解决上述技术问题，采用如下技术方案:
[0008]本实用新型提供一种多晶硅还原炉石墨件，包括石墨卡座和石墨卡帽，石墨卡座与石墨卡帽螺纹连接，石墨卡座的侧壁外侧中心对称设置有至少一对第一凹槽，和/或，石墨卡帽的侧壁外侧中心对称设置有至少一对第二凹槽。
[0009]优选的，所述第一凹槽设置于所述石墨卡座的侧壁的下部，并竖直贯通所述石墨卡座的底端。
[0010]优选的，所述第一凹槽的深度小于或等于5mm，且大于或等于3mm。
[0011]优选的，所述第一凹槽的高度小于或等于石墨卡座的外螺纹的底端到石墨卡座的底端的距离的一半。
[0012]优选的，所述第一凹槽为两对。
[0013]优选的，所述第二凹槽设置于所述石墨卡帽的侧壁的中部。
[0014]优选的，所述第二凹槽的深度小于或等于5mm，且大于或等于3mm。
[0015]优选的，所述第二凹槽的高度小于或等于所述石墨卡帽的高度的一半。
[0016]优选的，所述第二凹槽为两对。
[0017]本实用新型具有如下有益效果:
[0018]本实用新型通过在石墨卡座的侧壁外侧中心对称设置至少一对第一凹槽，和/或在石墨卡帽的侧壁外侧中心对称设置至少一对第二凹槽，可以借助扳手分离石墨卡座和石墨卡帽，相对手动旋转分离，更为省时省力，石墨件的回收时间可以缩短70%，并可降低80 %的工作强度；在分离石墨卡座和石墨卡帽的过程中，也无需再敲击石墨卡帽，避免敲击造成的石墨件损毁，提高石墨件的回收利用率，进而降低生产成本。
【附图说明】
[0019]图1为本实用新型实施例提供的石墨卡座的主视图；
[0020]图2为本实用新型实施例提供的石墨卡座的俯视图；
[0021]图3为本实用新型实施例提供的石墨卡帽的主视图；
[0022]图4为本实用新型实施例提供的石墨卡帽的俯视图；
[0023]图5为回收本实用新型实施例提供的多晶硅还原炉石墨件所使用的扳手结构示意图之一；
[0024]图6为回收本实用新型实施例提供的多晶硅还原炉石墨件所使用的扳手结构示意图之二。
[0025]图例说明:
[0026]1、石墨卡座2、石墨卡帽 11、外螺纹
[0027]12、第一凹槽21、内螺纹 22、第二凹槽
[0028]51、套筒61、开口dl、第一凹槽的深度
[0029]d2、第二凹槽的深度11、第一凹槽的高度
[0030]12、第二凹槽的高度L、石墨卡帽的高度
[0031]H、石墨卡座的外螺纹的底端到石墨卡座的底端的距离
【具体实施方式】
[0032]为使本领域技术人员更好地理解本实用新型的技术方案，下面结合附图和【具体实施方式】对本实用新型作进一步详细描述。
[0033]本实用新型提供一种多晶硅还原炉石墨件，通过在石墨卡座与石墨卡帽二者中至少一个的侧壁外侧中心对称设置至少一对凹槽，可以借助扳手分离石墨卡座和石墨卡帽，解决多晶硅还原炉石墨件回收效率低、工人工作强度大，以及回收利用率低的问题。
[0034]以下结合图1-4详细说明本实用新型的多晶硅还原炉石墨件的结构。如图1、3所示，一种多晶硅还原炉石墨件包括石墨卡座I和石墨卡帽2，石墨卡座I的侧壁外侧的上部设置有外螺纹11，石墨卡帽2的侧壁内侧设置有内螺纹21，石墨卡座I与石墨卡帽2螺纹连接。石墨卡座I的侧壁外侧上中心对称设置有至少一对第一凹槽12，和/或，石墨卡帽2的侧壁外侧中心对称设置有至少一对第二凹槽22。第一凹槽12和/或第二凹槽22均呈中心对称设置，用以配合扳手夹持。需要说明的是，石墨卡座I和石墨卡帽2均为圆柱状，每对第一凹槽12在石墨卡座I的侧壁外侧，以石墨卡座I的横截面的圆心为对称点呈中心对称设置，每对第二凹槽22在石墨卡帽2的侧壁外侧，以石墨卡帽2的横截面的圆心为对称点呈中心对称设置。
[0035]可以仅在石墨卡座I上设置至少一对第一凹槽12 (不在石墨卡帽2上设置第二凹槽22)，也可以仅在石墨卡帽2上设置至少一对第二凹槽22 (不在石墨卡座I上设置第一凹槽12)，也可以既在石墨卡座I上设置至少一对第一凹槽12，又在石墨卡帽2上设置至少一对第二凹槽22。在本实用新型实施例中，为了清楚说明技术方案，以第一凹槽12和第二凹槽22同时设置的方案为例进行说明。
[0036]通过在石墨卡座的侧壁外侧中心对称设置至少一对第一凹槽，和/或在石墨卡帽的侧壁外侧中心对称设置至少一对第二凹槽，可以借助扳手分离石墨卡座和石墨卡帽，相对手动旋转分离，更为省时省力，石墨件的回收时间可以缩短70%，并可降低80%的