单晶炉的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及晶体硅生产领域，特别是涉及一种单晶炉。
【背景技术】
[0002]太阳能光伏发电是目前发展最快的可持续能源利用的形式之一，近些年来在各国都得到了迅速的发展。目前，应用最为普遍的是晶体硅太阳能电池，而晶体硅分为多晶硅和单晶硅两种；当前制备单晶硅主要由两种技术，根据晶体生长方式的不同，可以分为区熔单晶硅和直拉单晶硅。其中直拉单晶硅主要应用于微电子集成和太阳能电池方面，是单晶硅的主体。
[0003]直拉法是运用熔体的冷凝结晶驱动原理，在固液界面处，通过熔体温度下降，将产生由液态转换成固态的相变化。为了生长质量合格的单晶硅棒，首先就要选择合乎技术要求的单晶炉。直拉单晶炉由立柱、主炉体、副炉体、隔离阀、升降机构、坩祸轴驱动机构、籽晶旋转及提升机构、真空系统、充气系统、水冷系统等部分组成。
[0004]副炉体包括副炉筒、籽晶旋转机构、软轴提拉室、精密蜗轮蜗杆减速器及晶升伺服机组等部件，同时它也是直拉单晶的收纳室。副炉体能够进行升降和旋转，用于取晶棒或开启炉盖。副炉体升降是通过电动推杆进行的，但副炉体的旋转目前都是依靠人力进行的，这样不但增加人力成本，而且降低了生产效率。
【实用新型内容】
[0005]基于此，有必要针对上述副炉体的旋转是依靠人力，从而增加了人力成本，降低了生产效率的技术问题，提出一种能够使副炉体不依靠人力推动的新型单晶炉。
[0006]—种单晶炉，该单晶炉包括:主炉体；副炉体，装配在所述主炉体的上部；支撑柱，位于所述主炉体与所述副炉体的一侧；连接机构用以连接所述支撑柱与所述副炉体，其中，该连接机构包括旋转轴与连接板，所述旋转轴固定在所述支撑柱的侧壁，所述连接板与副炉体固定连接，与支撑柱转动连接，，其特征在于，还包括旋转驱动机构，连接所述连接板，所述旋转驱动机构可驱动连接板带动所述副炉体以垂直于所述旋转轴的轴线方向转动。
[0007]这样，单晶炉由于旋转驱动机构的存在，工作人员可通过控制旋转驱动机构推动连接板带动副炉体转动，旋替代了传统意义上要通过人力推动副炉体转动，这样降低了人力的成本，提尚了生广效率。
[0008]在其中一实施例中，所述旋转驱动机构具有驱动部件，所述驱动机构能够推动所述连接板绕支撑柱转动。
[0009]在其中一实施例中，所述驱动部件为螺杆，所述旋转驱动机构还包括:驱动电机，传动装置，所述驱动电机通过所述传动装置驱动所述螺杆转动，进而使所述螺杆沿所述螺杆的长度的方向移动；所述螺杆的一端滑动固定于所述连接板的侧面，使所述螺杆的一端在所述连接板的侧面相对滑动。
[0010]在其中一实施例中，还包括十字滑块与方向调节机构，十字滑块固定于所述连接板的侧面，所述螺杆的端面通过所述方向调节结构与所述十字滑块连接，所述螺杆的端面可利用十字滑块与方向调节机构在所述连接板的侧面滑动。
[0011]在其中一实施例中，所述方向调节机构为万向节联轴器。
[0012]在其中一实施例中，所述传动装置为传动齿轮。
[0013]在其中一实施例中，所述传动齿轮为换向齿轮。
[0014]在其中一实施例中，还包括承载平台，固定于所述支撑柱的外侧壁，所述支撑平台用于固定并支撑所述驱动电机与所述传动装置。
[0015]在其中一实施例中，其特征在于，所述驱动电机为同步电机。
[0016]在其中一实施例中，其特征在于，支撑结构位于所述主炉体的下方，用以支撑所述主炉体。
【附图说明】
[0017]图1为本实用新型一优选实施例中单晶炉前视角立体结构示意图；
[0018]图2为本实用新型一优选实施例中单晶炉后视角立体结构示意图；
[0019]图3为本实用新型一优选实施例中旋转驱动机构局部放大图。
【具体实施方式】
[0020]下面结合附图对本实用新型的【具体实施方式】进行详细表述。
[0021]参阅图1及图2，图1为本实施例中单晶炉前视角立体结构示意图；图2为本实施例中单晶炉后视角立体结构示意图，本实用新型公开了一种单晶炉100，该单晶炉100包括主炉体110，副炉体120，副炉体120装配在主炉体110的上部。隔离阀130，设置在主炉体110与副炉体120之间，一个支撑柱140直立在主炉体110与副炉体120的一侧，且该支撑柱140与主炉体110及副炉体120保持适当的距离。连接机构150固定在支撑柱140与副炉体120之间，用以连接支撑柱140与所述副炉体120，
[0022]进一步说，如图2所示，该连接机构150包括旋转轴152与连接板151，所述旋转轴152固定于所述支撑柱140的侧壁，连接板151的一端固定于副炉体120的外侧壁，另一端连接于旋转轴152上，连接板151可围绕旋转轴152转动。旋转驱动机构160，该旋转驱动机构160由一操作机台控制(图未示)，该操作机台可控制旋转驱动机构160驱动连接板151以垂直于所述旋转轴152的轴线方向进行转动。
[0023]驱动机构160包括驱动电机161、传动装置162、滚珠丝杠163，滚珠丝杠163具有螺杆1631及螺母(图未示)，驱动电机161可通过传动装置162控制滚珠丝杠163的螺杆1631在螺母内转动，进而使螺杆1631在螺母内沿螺杆1631的长度方向移动，至于螺杆1631怎样在螺母内将转动运动转变为线性移动，这是滚珠丝杠163的固有性质及现有技术，因而在此不再赘述。
[0024]螺杆1631的一端滑动连接于连接板151的侧面，具体地，例如在该螺杆1631的一端与连接板的侧面之间连接十字滑块165与方向调节机构164，该十字滑块165具有第一活动件1651与第二活动件1652，第一活动件1651与第二活动件1652相互连接，且可以在彼此表面上相对滑动。第一活动件1651固定在连接板的侧面，螺杆1631的端面通过方向调节机构164与第二活动件1652连接，这样随着螺杆1