酰亚胺系树脂膜制造系统及酰亚胺系树脂膜制造方法与流程

本发明涉及酰亚胺系树脂膜制造系统及酰亚胺系树脂膜制造方法。

背景技术：

锂离子电池是一种二次电池，其形成为下述结构：在浸渍于电解液中的正极和负极之间配置有隔膜，通过隔膜来防止正极和负极之间的直接电接触。正极中使用锂过渡金属氧化物，负极中使用例如锂、碳(石墨)等。充电时，锂离子从正极通过隔膜向负极移动，放电时，锂离子从负极通过隔膜向正极移动。作为这样的隔膜，近年来使用由耐热性高且安全性高的多孔性聚酰亚胺膜形成的隔膜是已知的(例如，参见专利文献1等)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2011-111470号公报

技术实现要素：

发明要解决的课题

然而，现有的多孔性聚酰亚胺膜在多孔部的开孔率方面并不充分，有时会妨碍锂离子的移动。因此，将多孔性聚酰亚胺膜用作隔膜时，存在电池的内阻变高的问题。此外，不仅限于聚酰亚胺膜，对于酰亚胺系树脂膜也在寻求开孔率优异的高品质的多孔性膜。

鉴于如上所述的情况，本发明的目的在于提供能够高效地制造开孔率优异的高品质的酰亚胺系树脂膜的酰亚胺系树脂膜制造系统及酰亚胺系树脂膜制造方法。

用于解决课题的手段

本发明的第一方式涉及的酰亚胺系树脂膜制造系统为制造多孔性酰亚胺系树脂膜的制造系统，其具备下述单元：膜形成单元，所述膜形成单元从包含聚酰胺酸、聚酰亚胺、聚酰胺酰亚胺或聚酰胺、及微粒的膜中将微粒除去，从而形成多孔性酰亚胺系树脂膜；和化学浸蚀单元(chemical etching unit)，所述化学浸蚀单元将酰亚胺系树脂膜的一部分溶解。

本发明的第二方式涉及的酰亚胺系树脂膜制造方法为制造多孔性酰亚胺系树脂膜的制造方法，其包括下述工序：从包含聚酰胺酸、聚酰亚胺、聚酰胺酰亚胺或聚酰胺、及微粒的膜中将微粒除去，从而形成多孔性酰亚胺系树脂膜的工序；和进行化学浸蚀处理的工序，所述化学浸蚀处理将酰亚胺系树脂膜的一部分溶解。

发明的效果

根据本发明的方式，能够高效地制造开孔率优异的高品质的酰亚胺系树脂膜。

附图说明

[图1]为示出本发明的实施方式涉及的制造系统的一个例子的图。

[图2]为示出本实施方式涉及的膜形成单元的一个例子的图。

[图3]为示出在本实施方式涉及的涂布单元上设置的喷嘴的一个例子的图。

[图4]为示出本实施方式涉及的卷绕部的一个例子的立体图。

[图5]为示出本实施方式涉及的烧成单元的一个例子的立体图。

[图6]为示出本实施方式涉及的化学浸蚀单元的一个例子的立体图。

[图7]为示意性地示出本实施方式涉及的化学浸蚀单元的一个例子的图。

[图8]为示出本实施方式涉及的卷绕部的一个例子的立体图。

[图9]为示出本实施方式涉及的酰亚胺系树脂膜的制造过程的一个例子的图。

[图10]为示出变形例涉及的制造系统的一个例子的图。

[图11]为示出变形例涉及的卷绕装置的一个例子的图。

[图12]为示出实施方式涉及的隔膜的一个例子的图。

具体实施方式

以下，参照附图对本发明的实施方式进行说明。以下，使用XYZ坐标系对图中的方向进行说明。在该XYZ坐标系中，将与水平面平行的平面作为XY平面。将与该XY平面平行的一个方向标示为X方向，将与X方向正交的方向标示为Y方向。此外，将与XY平面正交的方向标示为Z方向。在此说明：对X方向、Y方向及Z方向各自而言，图中的箭头方向为+方向，与箭头方向相反的方向为-方向。

图1为示出制造系统SYS的一个例子的图。图1示出的制造系统SYS为制造多孔性树脂膜F(多孔性酰亚胺系树脂膜)的制造系统。制造系统SYS具备：涂布单元10，所述涂布单元10将规定的涂布液进行涂布而形成未烧成膜FA；烧成单元20，所述烧成单元20对未烧成膜FA进行烧成，从而形成烧成膜FB；除去单元30，所述除去单元30将微粒从烧成膜FB中除去，从而形成多孔性树脂膜F；化学浸蚀单元40，所述化学浸蚀单元40将多孔性树脂膜F的一部分除去；和控制装置(未图示)，所述控制装置统筹控制上述各单元。需要说明的是，涂布单元10、烧成单元20及除去单元30构成了形成多孔性树脂膜F的膜形成单元70。

制造系统SYS例如构成为上下2个阶层，涂布单元10配置在第2层部分，烧成单元20、除去单元30及化学浸蚀单元40配置在第1层部分。配置在同一层中的烧成单元20、除去单元30及化学浸蚀单元40例如在Y方向上并列配置，但并不限定于此，例如也可以在X方向或X方向与Y方向的合成方向上并列配置。

需要说明的是，关于制造系统SYS的阶层结构、各层中的各单元的配置等，并不限定于上述方式，例如也可以将涂布单元10及烧成单元20配置在第2层部分，将除去单元30及化学浸蚀单元40配置在第1层部分。此外，也可以将所有的单元配置在同一层中。该情况下，可以将各单元配置为一列，也可以以多列进行配置。此外，还可以将所有的单元配置在不同的阶层中。

制造系统SYS中，未烧成膜FA是以带状形成的。在涂布单元10的+Y侧(未烧成膜FA的输送方向的前方)，设置有将带状的未烧成膜FA卷绕成卷状的卷绕部50。在烧成单元20的-Y侧(未烧成膜FA的输送方向的后方)，设置有将卷状的未烧成膜FA向烧成单元20送出的送出部60。在化学浸蚀单元40的+Y侧(多孔性树脂膜F的输送方向的前方)，设置有将多孔性树脂膜F卷绕成卷状的卷绕部80。

如上述那样，在从送出部60经过烧成单元20、除去单元30及化学浸蚀单元40而到达卷绕部80的区间(第1层部分)内，以所谓的卷对卷(Roll-to-roll)方式进行处理。因此，在该区间内，未烧成膜FA、烧成膜FB及多孔性树脂膜F中的各膜是以不间断的状态被输送的。

[涂布液]

这里，在对各单元进行说明之前，对作为多孔性树脂膜F的原料的涂布液进行说明。涂布液包含规定的树脂材料、微粒、和溶剂。作为规定的树脂材料，可举出例如聚酰胺酸、聚酰亚胺、聚酰胺酰亚胺、或聚酰胺。作为溶剂，可使用能够将这些树脂材料溶解的有机溶剂。

本实施方式中，作为涂布液，可使用微粒含有率不同的2种涂布液(第一涂布液及第二涂布液)。具体而言，以第一涂布液的微粒含有率比第二涂布液高的方式进行制备。由此，可以保证未烧成膜FA、烧成膜FB及多孔性树脂膜F的强度及柔软性。此外，通过设置微粒含有率低的层，能够实现多孔性树脂膜F的制造成本的降低。

例如，在第一涂布液中，树脂材料和微粒以体积比成为19：81～45：65的方式被含有。此外，在第二涂布液中，树脂材料和微粒以体积比成为20：80～50：50的方式被含有。但是，以使得第一涂布液的微粒含有率高于第二涂布液的微粒含有率的方式设定体积比。需要说明的是，关于各树脂材料的体积，可使用各树脂材料的质量乘以其比重而求得的值。

在上述情况下，将第一涂布液的总体积作为100时，若微粒的体积为65以上，则粒子均匀地分散，此外，若微粒的体积为81以内，则粒子彼此也不发生凝集地分散。因此，能够在多孔性树脂膜F中均匀地形成孔。此外，若微粒的体积比率在该范围内，则能够确保对未烧成膜FA进行成膜时的剥离性。

将第二涂布液的总体积作为100时，若微粒的体积为50以上，则微粒单体均匀地分散，此外，若微粒的体积为80以内，则微粒既不会彼此凝集，并且也不会在表面产生裂纹等，因此能够稳定地形成电特性良好的多孔性树脂膜F。

上述的2种涂布液例如可通过将预先分散有微粒的溶剂和聚酰胺酸、聚酰亚胺、聚酰胺酰亚胺或聚酰胺以任意的比率进行混合而制备。此外，也可以在预先分散有微粒的溶剂中将聚酰胺酸、聚酰亚胺、聚酰胺酰亚胺或聚酰胺进行聚合而制备。例如，可通过下述方式制造：在预先分散有微粒的有机溶剂中将四羧酸二酐及二胺进行聚合而形成聚酰胺酸，或者进一步进行酰亚胺化而形成聚酰亚胺。

关于涂布液的粘度，优选使其最终为300～2000cP，更优选为400～1500cP的范围，进一步优选为600～1200cP的范围。若涂布液的粘度在该范围内，则能够均匀地进行成膜。

对于上述涂布液而言，在对微粒和聚酰胺酸或聚酰亚胺进行干燥而制成未烧成膜FA的情况下，当微粒的材质为下文所述的无机材料时，优选以微粒/聚酰亚胺的比率成为2～6(质量比)的方式将微粒与聚酰胺酸或聚酰亚胺混合。进一步优选为3～5(质量比)。当微粒的材质为下文所述的有机材料时，优选以微粒/聚酰亚胺的比率成为1～3.5(质量比)的方式将微粒与聚酰胺酸或聚酰亚胺混合。进一步优选为1.2～3(质量比)。此外，在制成未烧成膜FA时，优选以微粒/聚酰亚胺的体积比率成为1.5～4.5的方式将微粒与聚酰胺酸或聚酰亚胺混合。进一步优选为1.8～3(体积比)。在制成未烧成膜FA时，若微粒/聚酰亚胺的质量比或体积比为下限值以上，则能够得到适合作为隔膜的密度的孔，若为上限值以下，则能够在不发生粘度增加、膜中裂纹等问题的情况下稳定地进行成膜。在代替聚酰胺酸或聚酰亚胺而使树脂材料为聚酰胺酰亚胺或聚酰胺的情况下，质量比也与上文所述同样。

以下，对各树脂材料进行具体说明。

<聚酰胺酸>

对于本实施方式中使用的聚酰胺酸而言，可以不受特别限定地使用将任意的四羧酸二酐与二胺聚合而得到的聚酰胺酸。四羧酸二酐及二胺的使用量没有特别限定，但相对于1摩尔四羧酸二酐，优选使用0.50～1.50摩尔的二胺，更优选使用0.60～1.30摩尔，特别优选使用0.70～1.20摩尔。

四羧酸二酐可以从一直以来作为聚酰胺酸的合成原料而使用的四羧酸二酐中适宜选择。四羧酸二酐可以为芳香族四羧酸二酐，也可以为脂肪族四羧酸二酐，但从得到的聚酰亚胺树脂的耐热性的观点考虑，优选使用芳香族四羧酸二酐。四羧酸二酐可以组合2种以上而使用。

作为芳香族四羧酸二酐的合适的具体例，可举出均苯四甲酸二酐、1,1-双(2,3-二羧基苯基)乙烷二酐、双(2,3-二羧基苯基)甲烷二酐、双(3,4-二羧基苯基)甲烷二酐、3,3’,4,4’-联苯四甲酸二酐、2,3,3’,4’-联苯四甲酸二酐、2,2,6,6-联苯四甲酸二酐、2,2-双(3,4-二羧基苯基)丙烷二酐、2,2-双(2,3-二羧基苯基)丙烷二酐、2,2-双(3,4-二羧基苯基)-1,1,1,3,3,3-六氟丙烷二酐、2,2-双(2,3-二羧基苯基)-1,1,1,3,3,3-六氟丙烷二酐、3,3’,4,4’-二苯甲酮四甲酸二酐、双(3,4-二羧基苯基)醚二酐、双(2,3-二羧基苯基)醚二酐、2,2’,3,3’-二苯甲酮四甲酸二酐、4,4-(对亚苯基二氧基)二邻苯二甲酸二酐、4,4-(间亚苯基二氧基)二邻苯二甲酸二酐、1,2,5,6-萘四甲酸二酐、1,4,5,8-萘四甲酸二酐、2,3,6,7-萘四甲酸二酐、1,2,3,4-苯四甲酸二酐、3,4,9,10-苝四甲酸二酐、2,3,6,7-蒽四甲酸二酐、1,2,7,8-菲四甲酸二酐、9,9-双邻苯二甲酸酐芴、3,3’,4,4’-二苯基砜四甲酸二酐等。作为脂肪族四羧酸二酐，可举出例如乙烯四甲酸二酐、丁烷四甲酸二酐、环戊烷四甲酸二酐、环己烷四甲酸二酐、1,2,4,5-环己烷四甲酸二酐、1,2,3,4-环己烷四甲酸二酐等。其中，从价格、获得的容易性等观点考虑，优选3,3’,4,4’-联苯四甲酸二酐及均苯四甲酸二酐。此外，这些四羧酸二酐既可以单独使用或者混合两种以上而使用。

二胺可以从一直以来作为聚酰胺酸的合成原料而使用的二胺中适宜选择。二胺可以为芳香族二胺，也可以为脂肪族二胺，但从得到的聚酰亚胺树脂的耐热性的观点考虑，优选芳香族二胺。这些二胺可以组合2种以上而使用。

作为芳香族二胺，可举出键合有1个或2～10个左右的苯基的二氨基化合物。具体而言，为苯二胺及其衍生物、二氨基联苯化合物及其衍生物、二氨基二苯基化合物及其衍生物、二氨基三苯基化合物及其衍生物、二氨基萘及其衍生物、氨基苯基氨基茚满及其衍生物、二氨基四苯基化合物及其衍生物、二氨基六苯基化合物及其衍生物、Cardo型芴二胺衍生物。

苯二胺为间苯二胺、对苯二胺等，作为苯二胺衍生物，为键合有甲基、乙基等烷基的二胺，例如2,4-二氨基甲苯、2,4-三亚苯基二胺(2,4-triphenylenediamine)等。

二氨基联苯化合物为2个氨基苯基以彼此的苯基键合而成的化合物。例如，为4,4’-二氨基联苯、4,4’-二氨基-2,2’-双(三氟甲基)联苯等。

二氨基二苯基化合物为2个氨基苯基中彼此的苯基介由其他基团键合而成的化合物。键为醚键、磺酰键、硫醚键、基于亚烷基或其衍生基团的键、亚氨基键、偶氮键、氧膦(phosphine oxide)键、酰胺键、脲撑(ureylene)键等。亚烷基键是碳原子数为1～6左右的亚烷基键，其衍生基团为亚烷基中的1个以上的氢原子被卤素原子等取代而成的基团。

作为二氨基二苯基化合物的例子，可举出3,3’-二氨基二苯基醚、3,4’-二氨基二苯基醚、4,4’-二氨基二苯基醚、3,3’-二氨基二苯基砜、3,4’-二氨基二苯基砜、4,4’-二氨基二苯基砜、3,3’-二氨基二苯基甲烷、3,4’-二氨基二苯基甲烷、4,4’-二氨基二苯基甲烷、4,4’-二氨基二苯基硫醚、3,3’-二氨基二苯基酮、3,4’-二氨基二苯基酮、2,2-双(对氨基苯基)丙烷、2,2’-双(对氨基苯基)六氟丙烷、4-甲基-2,4-双(对氨基苯基)-1-戊烯、4-甲基-2,4-双(对氨基苯基)-2-戊烯、亚氨基二苯胺、4-甲基-2,4-双(对氨基苯基)戊烷、双(对氨基苯基)氧化膦、4,4’-二氨基偶氮苯、4,4’-二氨基二苯基脲、4,4’-二氨基二苯基酰胺、1,4-双(4-氨基苯氧基)苯、1,3-双(4-氨基苯氧基)苯、1,3-双(3-氨基苯氧基)苯、4,4’-双(4-氨基苯氧基)联苯、双[4-(4-氨基苯氧基)苯基]砜、双[4-(3-氨基苯氧基)苯基]砜、2,2-双[4-(4-氨基苯氧基)苯基]丙烷、2,2-双[4-(4-氨基苯氧基)苯基]六氟丙烷等。

其中，从价格、获得的容易性等观点考虑，优选对苯二胺、间苯二胺、2,4-二氨基甲苯、及4,4’-二氨基二苯基醚。

二氨基三苯基化合物为2个氨基苯基与1个亚苯基均介由其他的基团键合而成的化合物，其他的基团可选择与针对二氨基二苯基化合物所述的同样的基团。作为二氨基三苯基化合物的例子，可举出1,3-双(间氨基苯氧基)苯、1,3-双(对氨基苯氧基)苯、1,4-双(对氨基苯氧基)苯等。

作为二氨基萘的例子，可举出1,5-二氨基萘及2,6-二氨基萘。

作为氨基苯基氨基茚满的例子，可举出5-氨基-1-(对氨基苯基)-1,3,3-三甲基茚满或6-氨基-1-(对氨基苯基)-1,3,3-三甲基茚满。

作为二氨基四苯基化合物的例子，可举出4,4’-双(对氨基苯氧基)联苯、2,2’-双[4-(4’-氨基苯氧基)苯基]丙烷、2,2’-双[4-(4’-氨基苯氧基)联苯基]丙烷、2,2’-双[对(间氨基苯氧基)苯基]二苯甲酮等。

关于Cardo型芴二胺衍生物，可举出9,9-双苯胺芴等。

脂肪族二胺例如可以是碳原子数为2～15左右的脂肪族二胺，具体而言，可举出五亚甲基二胺、六亚甲基二胺、七亚甲基二胺等。

需要说明的是，也可以为这些二胺的氢原子被选自卤素原子、甲基、甲氧基、氰基、苯基等的组中的至少1种取代基取代而成的化合物。

制造本实施方式中使用的聚酰胺酸的手段没有特别限制，例如，可以使用在有机溶剂中使酸、二胺成分进行反应的方法等已知的方法。

四羧酸二酐与二胺的反应通常在有机溶剂中进行。对于四羧酸二酐与二胺的反应中使用的有机溶剂而言，只要是能够使四羧酸二酐及二胺溶解、且不与四羧酸二酐及二胺反应的有机溶剂即可，没有特别限定。有机溶剂可以单独使用或混合2种以上而使用。

作为四羧酸二酐与二胺的反应中使用的有机溶剂的例子，可举出N-甲基-2-吡咯烷酮、N,N-二甲基乙酰胺、N,N-二乙基乙酰胺、N,N-二甲基甲酰胺、N,N-二乙基甲酰胺、N-甲基己内酰胺、N,N,N’,N’-四甲基脲等含氮极性溶剂；β-丙内酯、γ-丁内酯、γ-戊内酯、δ-戊内酯、γ-己内酯、ε-己内酯等内酯系极性溶剂；二甲基亚砜；乙腈；乳酸乙酯、乳酸丁酯等脂肪酸酯类；二甘醇二甲基醚、二甘醇二乙基醚、二氧杂环己烷、四氢呋喃、甲基溶纤剂乙酸酯、乙基溶纤剂乙酸酯等醚类；甲酚类等酚系溶剂。这些有机溶剂可以单独使用或混合2种以上而使用。有机溶剂的使用量没有特别限制，但优选使生成的聚酰胺酸的含量为5～50质量％。

这些有机溶剂中，从生成的聚酰胺酸的溶解性的观点考虑，优选N-甲基-2-吡咯烷酮、N,N-二甲基乙酰胺、N,N-二乙基乙酰胺、N,N-二甲基甲酰胺、N,N-二乙基甲酰胺、N-甲基己内酰胺、N,N,N’,N’-四甲基脲等含氮极性溶剂。

聚合温度一般为-10～120℃，优选为5～30℃。聚合时间根据使用的原料组成的不同而不同，但通常为3～24Hr(小时)。此外，在这样的条件下得到的聚酰胺酸的有机溶剂溶液的固有粘度优选为1000～10万cP(厘泊)的范围，进一步优选为5000～7万cP的范围。

<聚酰亚胺>

对于本实施方式中使用的聚酰亚胺而言，只要是能够溶解在用于涂布液的有机溶剂中的可溶性聚酰亚胺，则对其结构、分子量没有限定，可以使用已知的聚酰亚胺。关于聚酰亚胺，可以在侧链上具有羧基等能够缩合的官能团或在烧成时能促进交联反应等的官能团。

为了形成可溶于有机溶剂的聚酰亚胺，使用用于在主链上导入柔软的弯曲结构的单体，例如，使用乙二胺、六亚甲基二胺、1,4-二氨基环己烷、1,3-二氨基环己烷、4,4’-二氨基二环己基甲烷等脂肪族二胺；2-甲基-1,4-苯二胺、邻联甲苯胺、间联甲苯胺、3,3’-二甲氧基联苯胺、4,4’-二氨基苯甲酰苯胺等芳香族二胺；聚氧乙烯二胺、聚氧丙烯二胺、聚氧丁烯二胺等聚氧化烯二胺；聚硅氧烷二胺；2,3,3’,4’-氧双邻苯二甲酸酐、3,4,3’,4’-氧双邻苯二甲酸酐、2,2-双(4-羟基苯基)丙烷二苯甲酸酯基-3,3’,4,4’-四甲酸二酐等是有效的。此外，使用具有提高在有机溶剂中的溶解性的官能团的单体、例如使用2,2’-双(三氟甲基)-4,4’-二氨基联苯、2-三氟甲基-1,4-苯二胺等氟化二胺也是有效的。此外，除了上述用于提高聚酰亚胺的溶解性的单体以外，还可以在不妨碍溶解性的范围内，并用与上述<聚酰胺酸>栏中记载的单体相同的单体。

对本发明中使用的、制造能够溶解于有机溶剂中的聚酰亚胺的手段没有特别限制，例如可以使用下述已知的方法：针对聚酰胺酸进行化学酰亚胺化或加热酰亚胺化，并使其溶解于有机溶剂中的方法等。作为这样的聚酰亚胺，可举出脂肪族聚酰亚胺(全脂肪族聚酰亚胺)、芳香族聚酰亚胺等，优选芳香族聚酰亚胺。作为芳香族聚酰亚胺，可以为将具有式(1)表示的重复单元的聚酰胺酸经热或化学性闭环反应而获得的物质、或者将具有式(2)表示的重复单元的聚酰亚胺溶解于溶剂中而得到的物质。式中，Ar表示芳基。

<聚酰胺酰亚胺>

对于本实施方式中使用的聚酰胺酰亚胺而言，只要是能够溶解在用于涂布液的有机溶剂中的可溶性聚酰胺酰亚胺，则对其结构、分子量没有限定，可以使用已知的聚酰胺酰亚胺。关于聚酰胺酰亚胺，可以在侧链上具有羧基等能够缩合的官能团或在烧成时能促进交联反应等的官能团。

本实施方式中使用的聚酰胺酰亚胺可以不受特别限定地使用下述物质：使任意的偏苯三酸酐和二异氰酸酯反应而得到的物质、将通过任意的偏苯三酸酐的反应性衍生物与二胺的反应而得到的前体聚合物进行酰亚胺化而得到的物质。

作为上述任意的偏苯三酸酐或其反应性衍生物，可举出例如偏苯三酸酐、偏苯三酸酐氯化物等偏苯三酸酐卤化物、偏苯三酸酐酯等。

作为二异氰酸酯，可举出例如间苯二异氰酸酯、对苯二异氰酸酯、4,4’-氧化双(苯基异氰酸酯)、4,4’-二异氰酸酯二苯基甲烷、双[4-(4-异氰酸酯苯氧基)苯基]砜、2,2’-双[4-(4-异氰酸酯苯氧基)苯基]丙烷等。

作为二胺，可举出与在上述聚酰胺酸的说明中例示的二胺相同的二胺。

<聚酰胺>

作为聚酰胺，优选由二羧酸和二胺得到的聚酰胺，特别优选芳香族聚酰胺。

作为二羧酸，可举出马来酸、富马酸、衣康酸、甲基马来酸、二甲基马来酸、苯基马来酸、氯代马来酸、二氯代马来酸、氟代马来酸、邻苯二甲酸、间苯二甲酸、对苯二甲酸、及联苯甲酸等。

作为二胺，可举出与在上述聚酰胺酸的说明中例示的二胺相同的二胺。

<微粒>

接下来，对微粒进行说明。对微粒而言，可使用例如圆球率高、粒径分布指数小的微粒。这样的微粒在液体中的分散性优异，成为不彼此凝集的状态。作为微粒的粒径(平均直径)，例如，可设定为100～2000nm左右。通过使用如上所述的微粒，能够使通过在后续的工序中除去微粒而得到的多孔性树脂膜F的孔径一致。因此，能够使向利用多孔性树脂膜F形成的隔膜施加的电场均匀。

需要说明的是，作为微粒的材质，只要是在涂布液所含有的溶剂中不溶、且在后续的工序中能够从多孔性树脂膜F中除去的材质，则可以不受特别限定地采用已知的材质。例如，无机材料中，可举出二氧化硅(silica)、氧化钛、氧化铝(Al₂O₃)等金属氧化物。此外，有机材料中，可举出高分子量烯烃(聚丙烯、聚乙烯等)、聚苯乙烯、环氧树脂、纤维素、聚乙烯醇、聚乙烯醇缩丁醛、聚酯、聚甲基丙烯酸甲酯、聚醚等有机高分子微粒。此外，作为微粒的一个例子，可举出(单分散)球形二氧化硅粒子等胶体二氧化硅、碳酸钙等。该情况下，能够使多孔性树脂膜F的孔径更均匀。

此外，对于第一涂布液中包含的微粒和第二涂布液中包含的微粒而言，圆球率、粒径、材料等各种规格可以相同，也可以彼此不同。优选地，第一涂布液中包含的微粒的粒径分布指数比第二涂布液中包含的微粒小或者与之相同。或者，优选地，第一涂布液中包含的微粒的圆球率比第二涂布液中包含的微粒小或者与之相同。此外，优选地，第一涂布液中包含的微粒与第二涂布液中包含的微粒相比微粒的粒径(平均直径)更小，特别优选地，第一涂布液中包含的微粒为100～1000nm(更优选为100～600nm)，第二涂布液中包含的微粒为500～2000nm(更优选为700～2000nm)。通过采用比第二涂布液中包含的微粒的粒径小的粒径作为第一涂布膜中包含的微粒的粒径，能够使多孔性树脂膜F表面的孔的开口比例高且均匀。此外，与使多孔性树脂膜F整体为第一涂布液中包含的微粒的粒径的情况相比，还能够提高膜的强度。

需要说明的是，对于上述涂布液而言，除了包含规定的树脂材料、微粒和溶剂之外，还可以根据需要而包含脱模剂、分散剂、缩合剂、酰亚胺化剂、表面活性剂等各种添加剂。

[涂布单元]

涂布单元10具有输送部11、第一喷嘴12、第二喷嘴13、干燥部14和剥离部15。

输送部11具有输送基材(基材)S、基材送出辊11a、支承辊11b～11d、基材卷绕辊11e和输出辊11f。

输送基材S是以带状形成的。将输送基材S从基材送出辊11a送出，以具有张力的方式架设于支承辊11b～11d，利用基材卷绕辊11e进行卷绕。作为输送基材S的材质，可举出例如聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)等，但并不限定于此，也可以为不锈钢等金属材料。

各辊11a～11f例如形成为圆筒状，各自沿X方向平行地配置。需要说明的是，各辊11a～11f并不限定于沿X方向平行的配置，也可以将至少1个辊以相对于X方向倾斜的方式配置。例如，也可以将各辊11a～11f沿Z方向平行地配置，以Z方向上的高度位置相同的方式配置。该情况下，输送基材S将以相对于水平面(XY平面)竖立的状态沿着水平面移动。

基材送出辊11a以卷绕有输送基材S的状态而配置。支承辊11b 被配置于基材送出辊11a的+Z侧，并且被配置于比基材送出辊11a更靠-Y侧。此外，支承辊11c被配置于支承辊11b的+Z侧，并且被配置于比支承辊11b更靠+Y侧。通过这3个辊(基材送出辊11a、支承辊11b、11c)的配置，输送基材S由包含支承辊11b的-Y侧端部的面所支撑。

此外，支承辊11d被配置于支承辊11c的+Y侧，并且被配置于支承辊11c的-Z侧。该情况下，通过支承辊11b～11d这3个辊的配置，输送基材S由包含支承辊11c的+Z侧端部的面所支撑。

需要说明的是，也可将支承辊11d配置在与支承辊11c的高度位置(Z方向上的位置)大致相等的高度位置。该情况下，输送基材S是以与XY平面大致平行的状态沿+Y方向从支承辊11c向支承辊11d输送的。

基材卷绕辊11e被配置于支承辊11d的-Z侧。输送基材S是沿-Z方向从支承辊11d向基材卷绕辊11e输送的。输出辊11f被配置于支承辊11d的+Y侧且-Z侧。输出辊11f将利用干燥部14形成的未烧成膜FA沿+Y方向输送。该未烧成膜FA被输出辊11f输出至涂布单元10的外部。

需要说明的是，上述的辊11a～11f不限于圆筒形，也可以形成有圆锥型的冠顶(crown)。该情况下，对于辊11a～11f的挠性校正而言是有效的，输送基材S或下文所述的未烧成膜FA能够与辊11a～11f均等地接触。此外，在辊11a～11f上可以形成有辐射型的冠顶。该情况下，对于防止输送基材S或未烧成膜FA的曲折而言是有效的。此外，在辊11a～11f上也可以形成有凹型的冠顶(X方向上的中央部以凹形弯曲的部分)。该情况下，能够在沿X方向赋予张力的同时对输送基材S或未烧成膜FA加以输送，因此，对于防止褶皱的产生而言是有效的。对于以下的辊而言，也可以与上述同样地为具有圆锥型、辐射型、凹型等的冠顶的构成。

图2(a)为示出第一喷嘴12的一个例子的立体图。如图1及图2(a)所示，第一喷嘴12在输送基材S上形成第一涂布液Q1的涂布膜(以下，记为第一涂布膜F1)。第一喷嘴12具有喷出第一涂布液Q1的喷出口12a。喷出口12a以例如长度方向上的尺寸与输送基材S的X方向上的尺寸大致相同的方式而形成。

第一喷嘴12被配置于喷出位置P1。喷出位置P1为相对于支承辊11b的-Y方向上的位置。第一喷嘴12以喷出口12a朝向+Y方向的方式而倾斜配置。因此，喷出口12a朝向输送基材S中的被支承辊11b的-Y侧端部支撑的部分。第一喷嘴12针对该输送基材S，沿水平方向从喷出口12a喷出第一涂布液Q1。

图2(b)为示出第二喷嘴13的一个例子的立体图。如图1及图2(b)所示，第二喷嘴13在输送基材S上以与第一涂布膜F1重叠的方式形成第二涂布液Q2的涂布膜(以下，记为第二涂布膜F2)。第二喷嘴13具有喷出第二涂布液Q2的喷出口13a。喷出口13a以例如长度方向上的尺寸与输送基材S的X方向上的尺寸大致相同的方式而形成。

第二喷嘴13被配置于喷出位置P2。喷出位置P2为相对于支承辊11c的+Z方向上的位置。第二喷嘴13以喷出口13a朝向-Z方向的方式而配置。因此，喷出口13a朝向输送基材S中的被支承辊11c的+Z侧端部支撑的部分。第二喷嘴13针对该输送基材S，沿重力方向从喷出口13a喷出第二涂布液Q2。

需要说明的是，第一喷嘴12及第二喷嘴13可以是能够在X方向、Y方向及Z方向中的至少一个方向上移动的。此外，也可将第一喷嘴12及第二喷嘴13设置为能够围绕着与X方向平行的轴线旋转。此外，第一喷嘴12及第二喷嘴13也可按下述方式设置：在不喷出涂布液时，被配置于未图示的待机位置，在喷出涂布液时，从待机位置分别移动至上述的喷出位置P1、P2。此外，也可设置进行第一喷嘴12及第二喷嘴13的预备喷出动作的部分。

第一喷嘴12及第二喷嘴13分别介由连接配管(未图示)等而与涂布液供给源(未图示)连接。对于第一喷嘴12及第二喷嘴13而言，例如可在内部设置有保持规定量的涂布液的保持部(未图示)。该情况下，第一喷嘴12及第二喷嘴13还可以具有对保持在上述保持部中的液状体的温度进行调节的调温部。

对于从第一喷嘴12或第二喷嘴13喷出的各涂布液的涂出量、第一涂布膜F1或第二涂布膜F2的膜厚，可以通过各喷嘴、各连接配管(未图示)、或与涂布液供给源(未图示)连接的泵(未图示)的压力、输送速度、各喷嘴位置或输送基材S与喷嘴的距离等来进行调节。第一涂布膜F1或第二涂布膜F2的膜厚例如分别为0.5μm～500μm。

如本实施方式这样使用2种涂布液(第一涂布液Q1及第二涂布液Q2)的情况下，优选的是，在例如0.5μm～10μm的范围内调节由第一涂布液Q1形成的第一涂布膜F1的膜厚，在例如1μm～50μm的范围内调节由第二涂布液Q2形成的第二涂布膜F2的膜厚。

需要说明的是，在第一喷嘴12及第二喷嘴13之间，还可以配置用于使第一涂布膜F1干燥的干燥部(未图示)。该干燥部优选具备加热干燥部。作为加热干燥部，优选使用热风送风部、红外线加热器。加热温度为例如50℃～150℃的范围，优选为50℃～100℃的范围。通过在使第一涂布膜F1干燥之后形成第二涂布膜F2，从而能够抑制第一涂布膜F1产生条纹痕迹。

如图1所示，干燥部14被配置在第二喷嘴13的+Y侧的、位于支承辊11c和支承辊11d之间的位置。干燥部14使涂布于输送基材S上的两层涂布膜(第一涂布膜F1及第二涂布膜F2)干燥，从而形成未烧成膜FA。

干燥部14具有腔室14a和加热部14b。腔室14a收容输送基材S及加热部14b。加热部14b对在输送基材S上形成的第一涂布膜F1及第二涂布膜F2进行加热。作为加热部14b，可使用例如红外线加热器等。加热部14b以50℃～100℃左右的温度对涂布膜进行加热。

剥离部15是将未烧成膜FA从输送基材S剥离的部分。本实施方式中，通过操作者的手工操作来进行未烧成膜FA的剥离，但并不限定于此，也可以使用机械手(manipulator)等自动地进行。将从输送基材S剥离的未烧成膜FA利用输出辊11f输出至涂布单元10的外部，并输送至卷绕部50。此外，将剥离未烧成膜FA后的输送基材S利用基材卷绕辊11e进行卷绕。

[卷绕部(1)]

图3为示意性地示出涂布单元10的+Y侧的构成的立体图。

如图3所示，在涂布单元10的+Y侧，设置有将未烧成膜FA输出的输出口10b。将从输出口10b输出的未烧成膜FA利用卷绕部50进行卷绕。

卷绕部50构成为在轴承51中安装有轴构件SF。轴构件SF将从输出口10b输出的未烧成膜FA进行卷绕而形成卷状体R。轴构件SF设置为能针对轴承51进行装卸。轴构件SF被安装于轴承51中时，其以能够围绕着与X方向平行的轴线旋转的方式而被支撑。卷绕部50具有使安装于轴承51的轴构件SF旋转的驱动机构(未图示)。

需要说明的是，卷绕部50中，以未烧成膜FA中的第一涂布膜F1侧的面配置于外侧的方式对未烧成膜FA进行卷绕。例如，通过利用驱动机构使轴构件SF沿图1的逆时针方向旋转，从而使得未烧成膜FA被卷绕。通过以形成了卷状体R的状态将轴构件SF从轴承51卸下，从而能够使卷状体R移动至其他的单元。

需要说明的是，在图1及图3中，卷绕部50以与涂布单元10独立的方式配置，但并不限定于此。例如，也可将卷绕部50配置于涂布单元10的内部。该情况下，可以不在涂布单元10中配置输出口10b，而从输出辊11f(或从支承辊11d)开始对未烧成膜FA进行卷绕从而形成卷状体R。

[送出部]

图4为示意性地示出烧成单元20的-Y侧的构成的立体图。

如图4所示，在烧成单元20的-Y侧，设置有将未烧成膜FA输入的输入口20a。送出部60针对输入口20a送出未烧成膜FA。

送出部60构成为可在轴承61中安装轴构件SF。轴构件SF能够与安装于卷绕部50的轴承51中的轴构件SF通用。因此，能够将从卷绕部50卸下的轴构件SF安装于送出部60的轴承61中。由此，能够将利用卷绕部50而形成的卷状体R配置于送出部60。需要说明的是，对于轴承61及卷绕部50的轴承51而言，可以设定为各自距离台面的高度相等，也可以设定在高度不同的位置。

轴构件SF被安装于轴承61中时，其以能够围绕着与X方向平行的轴线旋转的方式而被支撑。送出部60具有使安装于轴承61中的轴构件SF旋转的驱动机构(未图示)。通过利用驱动机构使轴构件SF沿图1的顺时针方向旋转，从而使得构成卷状体R的未烧成膜FA向输入口20a送出。需要说明的是，由于在上述的卷绕部50中，以未烧成膜FA中的第一涂布膜F1侧的面配置于外侧的方式对未烧成膜FA进行卷绕，因此，在从卷状体R中将未烧成膜FA拉出时，第一涂布膜F1侧将被配置于上方。

[烧成单元]

在本实施方式中，烧成单元20为对未烧成膜FA进行高温处理的单元。烧成单元20对未烧成膜FA进行烧成，从而形成包含微粒的烧成膜FB。烧成单元20具有腔室21、加热部22和输送部23。腔室21具有将未烧成膜FA输入的输入口20a、和将烧成膜FB输出的输出口20b。腔室21收容加热部22及输送部23。

加热部22对输入至腔室31内的未烧成膜FA进行加热。加热部22具有在Y方向上并列配置的多个加热器22a。作为该加热器22a，可以使用例如红外线加热器等。加热部22遍及从腔室21的内部的-Y侧端部至+Y侧端部的范围而配置。加热部22能够在Y方向的大致整体范围内对未烧成膜FA进行加热。加热部22可以于120℃～450℃左右对未烧成膜FA进行加热。利用加热部22进行加热的加热温度根据未烧成膜FA的输送速度、未烧成膜FA的构成成分等来进行适宜调节。

输送部23具有输送带23a、驱动辊23b、从动辊23c和张力辊23d、23e。输送带23a是以无端状形成的，沿Y方向配置。输送带23a是使用对未烧成膜FA的烧成温度具有耐久性的材料而形成的。输送带23a在具有张力的状态下以与XY平面大致平行的方式架设于驱动辊23b和从动辊23c之间。将未烧成膜FA及烧成膜FB以载置于输送带23a上的状态沿+Y方向输送。

驱动辊23b被配置于腔室21的内部的+Y侧端部。驱动辊23b例如形成为圆筒状，与X方向平行地配置。在驱动辊23b中设置有例如马达(motor)等旋转驱动装置。驱动辊23b设置为：通过该旋转驱动装置，能够围绕着与X方向平行的轴线旋转。通过驱动辊23b旋转，使得输送带23a沿图1的顺时针方向旋转。通过输送带23a旋转，从而将载置于输送带23a上的未烧成膜FA及烧成膜FB沿+Y方向输送。

从动辊23c被配置于腔室21的内部的-Y侧端部。从动辊23c例如形成为圆筒状，与X方向平行地配置。从动辊23c以与驱动辊23b相同的直径而形成，以Z方向上的位置(高度位置)与驱动辊23b大致相等的方式配置。从动辊23c设置为能够围绕着与X方向平行的轴线旋转。从动辊23c追随输送带23a的旋转而旋转。

张力辊23d被配置于从动辊23c的+Z侧。张力辊23d与X方向平行地配置，且设置为能够围绕着X轴旋转。张力辊23d设置为能够沿Z方向进行上下移动。张力辊23d能够在其与从动辊23c之间夹住未烧成膜FA。张力辊23d能够以夹住未烧成膜FA的状态而旋转。

张力辊23e被配置于驱动辊23b的+Z侧。张力辊23e与X方向平行地配置，且设置为能够围绕着X轴旋转。张力辊23e设置为能够沿Z方向进行上下移动。张力辊23e能够在其与驱动辊23b之间夹住烧成膜FB。张力辊23e能够以夹住烧成膜FB的状态而旋转。

通过形成为张力辊23d、23e在各自与从动辊23c及驱动辊23b之间分别夹住未烧成膜FA及烧成膜FB的状态，从而在不间断的未烧成膜FA及烧成膜FB中的被夹住的2个位置之间的部分中，来自外部的张力将被削弱。由此，能够防止对未烧成膜FA及烧成膜FB 施加过度的负荷。可以对张力辊23d、23e进行调节以使得不向配置于腔室21内的未烧成膜FA及烧成膜FB施加张力。

[除去单元]

除去单元30具有腔室31、浸蚀部32、清洗部33、排液部34和输送部35。腔室31具有将烧成膜FB输入的输入口30a、和将多孔性树脂膜F输出的输出口30b。腔室31收容浸蚀部32、清洗部33、排液部34及输送部35。

浸蚀部32对烧成膜FB进行浸蚀，将烧成膜FB中包含的微粒除去，从而形成多孔性树脂膜F。浸蚀部32中，通过将烧成膜FB浸渍于能够将微粒溶解或分解的浸蚀液中从而除去微粒。浸蚀部32中设置有供给这样的浸蚀液的供给部(未图示)、能够储存浸蚀液的储存部。由于在浸蚀部32和清洗部33中、内部所包含的液体不同，因此可以在从浸蚀部32输出的近前的位置设置下文所述的给水辊。吸水辊配置于相对于多孔性树脂膜F而言的+Z侧及-Z侧中的至少一方，优选配置于+Z侧及-Z侧这两方。

清洗部33对浸蚀后的多孔性树脂膜F进行清洗。清洗部33被配置于浸蚀部32的+Y侧(多孔性树脂膜F的输送方向的前方)。清洗部33具有供给清洗液的供给部(未图示)。此外，还可以具有对清洗多孔性树脂膜F后的废液进行回收的回收部(未图示)等。

排液部34将附着于清洗后的多孔性树脂膜F上的液体除去。也可以进行预备干燥等。排液部34被配置于清洗部33的+Y侧(多孔性树脂膜F的输送方向的前方)。排液部34中设置有吸水辊等。通过使吸水辊与多孔性树脂膜F接触，从而能够在输送多孔性树脂膜F的同时吸收附着于多孔性树脂膜F上的液体。关于吸水辊在输送方向上的配置，只要在从排液部34中输出的近前就没有特别限制。此外，吸水辊配置于相对于多孔性树脂膜F而言的+Z侧及-Z侧中的至少一方，优选配置于+Z侧及-Z侧这两方。

输送部35经过浸蚀部32、清洗部33及排液部34而输送烧成膜FB及多孔性树脂膜F。输送部35具有输送带35a、驱动辊35b和从动辊35c。需要说明的是，除了驱动辊35b及从动辊35c以外，还可以在浸蚀部32、清洗部33、排液部34的内部配置支撑输送带35a的支承辊。

输送带35a是以无端状形成的，沿Y方向配置。输送带35a是使用对上述浸蚀液具有耐久性的材料而形成的。输送带35a在具有张力的状态下以与XY平面大致平行的方式架设于驱动辊35b和从动辊35c之间。烧成膜FB及多孔性树脂膜F载置于输送带35a上。

驱动辊35b被配置于腔室31的内部的+Y侧端部。驱动辊35b例如形成为圆筒状，与X方向平行地配置。在驱动辊35b中设置有例如马达等旋转驱动装置。驱动辊35b设置为：通过该旋转驱动装置，能够围绕着与X方向平行的轴线旋转。通过驱动辊35b旋转，使得输送带35a沿图1的顺时针方向旋转。通过输送带35a旋转，从而将载置于输送带35a上的烧成膜FB及多孔性树脂膜F沿+Y方向输送。

从动辊35c被配置于腔室31的内部的-Y侧端部。从动辊35c例如形成为圆筒状，与X方向平行地配置。从动辊35c以与驱动辊35b相同的直径而形成，以Z方向上的位置(高度位置)与驱动辊35b大致相等的方式配置。从动辊35c设置为能够围绕着与X方向平行的轴线旋转。从动辊35c追随输送带35a的旋转而旋转。

需要说明的是，对于除去单元30而言，并不限定于通过浸蚀而将微粒除去的情况。例如，使用与聚酰亚胺相比能在更低的温度下分解的有机材料作为微粒的材质的情况下，可以通过对烧成膜FB进行加热从而使微粒分解。作为这样的有机材料，只要是与聚酰亚胺相比能在更低的温度下分解的有机材料，则可不受特别限定地使用。例如，可举出由线性聚合物、已知的解聚性聚合物形成的树脂微粒。通常的线性聚合物在热分解时聚合物的分子链会被随机地切断，解聚性聚合物是在热分解时聚合物分解成单体的聚合物。两者均通过分解至成为低分子量体或CO₂而从烧成膜FB中消失。该情况下的微粒的分解温度优选为200～320℃，更优选为230～260℃。若分解温度为200℃以上，则即使在涂布液中使用了高沸点溶剂的情况下也能够进行成膜，烧成单元20中的烧成条件的选择幅度变宽。此外，若分解温度低于320℃，则能够不对烧成膜FB施以热损伤地仅使微粒消失。

[化学浸蚀单元]

化学浸蚀单元40被配置于除去单元30的+Y侧。图6为示出化学浸蚀单元40及卷绕部80的一个例子的图。如图6所示，化学浸蚀单元40具有腔室41、输送部42、化学浸蚀部43、清洗部44、排液部45和加热部46。腔室41具有将多孔性树脂膜F输入的输入口40a、和将多孔性树脂膜F输出的输出口40b。腔室41收容输送部42、化学浸蚀部43、清洗部44及排液部45。

输送部42经过化学浸蚀部43、清洗部44及排液部45而将多孔性树脂膜F沿+Y方向输送。输送部42具有输送带42a、驱动辊42b、和从动辊42c～42e。需要说明的是，除了驱动辊42b及从动辊42c～42e以外，还可以在化学浸蚀部43、清洗部44、排液部45的内部配置支撑输送带42a的支承辊。

输送带42a是以无端状形成的，沿Y方向配置。输送带42a是使用对下文所述的浸蚀液(EQ)具有耐久性的材料而形成的。输送带42a的例如整个表面是以网状形成的，使得浸蚀液能够通过输送带42a。输送带42a以与XY平面大致平行的方式在具有张力的状态下架设于驱动辊42b和从动辊42c之间。将多孔性树脂膜F载置于输送带42a上而进行输送。

驱动辊42b被配置于腔室41的内部的+Y侧端部。驱动辊42b例如形成为圆筒状，与X方向平行地配置。在驱动辊42b中设置有例如马达等旋转驱动装置。驱动辊42b设置为：通过该旋转驱动装置，能够围绕着与X方向平行的轴线旋转。通过驱动辊42b旋转，使得输送带42a沿图6的顺时针方向旋转。通过输送带42a旋转，从而将载置于输送带42a上的多孔性树脂膜F沿+Y方向输送。

从动辊42c被配置于腔室41的内部的-Y侧端部。从动辊42d及42e分别被配置于从动辊42c及驱动辊42b的-Z侧。从动辊42c～42e例如形成为圆筒状，与X方向平行地配置。从动辊42c以与驱动辊42b相同的直径而形成，以Z方向上的位置(高度位置)与驱动辊42b大致相等的方式配置。从动辊42d以与驱动辊42e相同的直径而形成，以Z方向上的位置(高度位置)与驱动辊42e大致相等的方式配置。从动辊42c～42e设置为能够围绕着与X方向平行的轴线旋转。从动辊42c～42e追随输送带42a的旋转而旋转。

化学浸蚀部43对多孔性树脂膜F进行化学浸蚀，将多孔性树脂膜F的一部分溶解。图7为示意性地示出化学浸蚀部43的一个例子的图。如图7所示，化学浸蚀部43具有上侧喷嘴43a、下侧喷嘴43b、和辊43c。

上侧喷嘴43a被配置于输送带42a的+Z侧。上侧喷嘴43a例如在Y方向上并列配置有多个。各上侧喷嘴43a在X方向上具有多个喷出口43d。各喷出口43d朝向-Z侧。使得喷雾状的浸蚀液EQ从各喷出口43d向-Z方向喷出。各上侧喷嘴43a上连接有浸蚀液EQ的供给源(未图示)。

下侧喷嘴43b被配置于输送带42a的-Z侧。下侧喷嘴43b例如在Y方向上并列配置有多个。需要说明的是，虽然在图7中显示为上侧喷嘴43a及下侧喷嘴43b沿Y方向交替并列的状态，但是并不限定于该配置。各下侧喷嘴43b在X方向上具有多个喷出口43e。使得喷雾状的浸蚀液EQ从各喷出口43e向+Z方向喷出。各下侧喷嘴43b上连接有浸蚀液EQ的供给源(未图示)。

关于辊43c，例如在化学浸蚀部43的+Y侧端部及-Y侧端部分别各配置有1个。辊43c能够在其与输送带42a之间夹持多孔性树脂膜F。需要说明的是，辊43c能够伴随输送带42a的旋转而旋转。

需要说明的是，化学浸蚀部43可以具有对浸蚀液EQ的废液进行回收的回收部(未图示)等。此外，化学浸蚀部43还可以具有对内部进行排气的排气部(未图示)等。

化学浸蚀部43中，在2个辊43c同时与多孔性树脂膜F接触的情况下，若从上侧喷嘴43a喷出浸蚀液EQ，则浸蚀液EQ变得容易在Y方向上积聚于2个辊43c之间的区间。通过从上侧喷嘴43a连续地喷出浸蚀液EQ，从而在该区间内形成储存浸蚀液EQ的储存部47。此外，从下侧喷嘴43b喷出的浸蚀液EQ通过输送带42a的网眼，到达多孔性树脂膜F的-Z侧的面。到达多孔性树脂膜F的-Z侧的浸蚀液EQ将多孔性树脂膜F向+Z方向顶起。该情况下，在被顶起的多孔性树脂膜F和输送带42a之间配置有从下侧喷嘴43b喷出的浸蚀液EQ。因此，多孔性树脂膜F以看似浮起的状态浸渍于储存部47中储存的浸蚀液EQ中，在该状态下进行化学浸蚀处理。如上所述，输送部42使多孔性树脂膜F浸渍于储存部47内的浸蚀液EQ中。

需要说明的是，作为浸蚀液EQ，可使用例如无机碱溶液或有机碱溶液等。作为无机碱溶液，可举出例如包含水合肼和乙二胺的肼溶液、氢氧化钾、氢氧化钠、碳酸钠、硅酸钠、偏硅酸钠等碱金属氢氧化物的溶液、氨溶液、以碱性氢氧化物和肼和1,3-二甲基-2-咪唑啉酮为主成分的浸蚀液等。作为有机碱溶液，可举出下述碱溶液：乙胺、正丙胺等伯胺类；二乙胺、二正丁胺等仲胺类；三乙胺、甲基二乙胺等叔胺类；二甲基乙醇胺、三乙醇胺等醇胺类；四甲基氢氧化铵、四乙基氢氧化铵等季铵盐；吡咯、哌啶等环状胺类等。需要说明的是，关于上述各溶液的溶剂，可以适宜选择纯水、醇类。此外，也可以使用添加了适量的表面活性剂的溶液。碱浓度为例如0.01～20质量％。

此外，作为化学浸蚀部43的其他方式，可以为具有上侧喷嘴43a、辊43c和基座构件(未图示)的构成。需要说明的是，在该方式中，上侧喷嘴43a和辊43c的各部分的构成与上述实施方式相同，因此省略其说明。该方式涉及的化学浸蚀部43的基座构件被设置于输送带42a的网的-Z侧，沿着XY平面而形成。将该基座构件与输送带42a相对地配置。基座构件可以与输送带42a接触，也可以不与输送带42a接触。将基座构件以与输送带42a接触的方式配置的情况下，在2个辊43c之间的区间内形成有能够储存浸蚀液EQ的上述储存部47。此外，即使在将基座构件以不与输送带42a接触的方式配置的情况下，也能够形成上述储存部47。该情况下，通过例如形成为由2个辊43c的下部和基座构件夹住输送带42a的网的状态，从而输送带42a与2个辊43c及基座构件接触。因此，能够在2个辊43c之间的区间内储存浸蚀液EQ，可形成储存部47。利用这样的基座构件，使得更容易在Y方向上于2个辊43c之间的区间内形成浸蚀液EQ的储存部47。因此，变得容易维持使多孔性树脂膜F浸渍于储存在储存部47中的浸蚀液EQ中的状态。作为基座构件的材料，与输送带42a同样地，根据浸蚀液EQ的种类或浓度而适宜选择具有耐久性的材料即可，例如可使用氯乙烯等而形成。此外，可以在基座构件中设置沿Z方向贯通的多个孔。由此，可以从浸蚀液EQ的供给源通过基座构件的孔而将浸蚀液EQ供给至储存部47。在设置基座构件的孔的情况下，可以不设置上侧喷嘴43a。

接着，如图6所示，清洗部44对化学浸蚀后的多孔性树脂膜F进行清洗。清洗部44被配置于化学浸蚀部43的+Y侧(多孔性树脂膜F的输送方向的前方)。清洗部44具有供给清洗液的供给部(未图示)。此外，还可具有对清洗多孔性树脂膜F后的废液进行回收的回收部(未图示)等。由于在化学浸蚀部43和清洗部44中、内部所包含的液体不同，因此可以在从化学浸蚀部43中输出的近前的位置设置前述的给水辊。吸水辊配置于相对于多孔性树脂膜F而言的+Z侧及-Z侧中的至少一方，优选配置于+Z侧及-Z侧这两方。

排液部45将附着于清洗后的多孔性树脂膜F上的液体除去。也可以进行预备干燥等。排液部45被配置于清洗部44的+Y侧(多孔性树脂膜F的输送方向的前方)。排液部45中设置有吸水辊等。通过使吸水辊与多孔性树脂膜F接触，从而能够在输送多孔性树脂膜F的同时吸收附着于多孔性树脂膜F上的液体。关于吸水辊在输送方向上的配置，只要在从排液部34中输出的近前就没有特别限制。

加热部46被配置于腔室41的+Y侧(多孔性树脂膜F的输送方向的前方)。加热部46于100℃～300℃左右对利用排液部45进行排液后的多孔性树脂膜F进行加热，并进行干燥工序或后烘烤处理工序。加热部46中设置有对多孔性树脂膜F进行加热的加热部等。在加热部46的+Y侧设置有将多孔性树脂膜F输出的输出口46b。

[卷绕部(2)]

图8为示意性地示出化学浸蚀单元40的+Y侧的构成的立体图。

如图8所示，在化学浸蚀单元40的+Y侧，设置有将多孔性树脂膜F输出的输出口46b。将从输出口46b输出的多孔性树脂膜F利用卷绕部80进行卷绕。

卷绕部80构成为在轴承81中安装有轴构件SF。轴构件SF将从输出口40b输出的多孔性树脂膜F进行卷绕而形成卷状体RF。轴构件SF设置为能针对轴承81进行装卸。轴构件SF被安装于轴承81中时，其以能够围绕着与X方向平行的轴线旋转的方式而被支撑。卷绕部80具有使安装于轴承81中的轴构件SF旋转的驱动机构(未图示)。通过利用驱动机构使轴构件SF旋转，从而将多孔性树脂膜F进行卷绕。通过以形成了卷状体RF的状态将轴构件SF从轴承81卸下，从而能够回收卷状体RF。

[制造方法]

接下来，对使用如上所述地构成的制造系统SYS来制造多孔性树脂膜F的运作的一个例子进行说明。图9(a)～(f)为示出多孔性树脂膜F的制造过程的一个例子的图。

首先，在涂布单元10中形成未烧成膜FA。在涂布单元10中，使基材送出辊11a旋转而送出输送基材S，将输送基材S搭挂于支承辊11b～11d后，利用基材卷绕辊11e进行卷绕。然后，从基材送出辊11a开始依次送出输送基材S，同时利用基材卷绕辊11e进行卷绕。

在该状态下，使第一喷嘴12配置于第一位置P1，将喷出口12a朝向+Y方向。由此，使喷出口12a朝向输送基材S中被支承辊11b支撑的部分。然后，使第一涂布液Q1从喷出口12a喷出。将第一涂布液Q1从喷出口12a向+Y方向喷出，到达输送基材S后，伴随输送基材S的移动而涂布于输送基材S上。由此，在输送基材S上形成由第一涂布液Q1形成的第一涂布膜F1。

接着，使第二喷嘴12配置于第二位置P2，将喷出口13a朝向-Z方向。由此，使喷出口13a朝向输送基材S中被支承辊11c支撑的部分。然后，使第二涂布液Q2从喷出口13a喷出。将第二涂布液Q2从喷出口13a向-Z方向喷出，到达形成于输送基材S上的第一涂布膜F1上后，伴随输送基材S的移动而涂布于第一涂布膜F1上。由此，如图9(a)所示，在第一涂布膜F1上形成由第二涂布液形成的第二涂布膜F2。需要说明的是，在第一涂布膜F1及第二涂布膜F2中，树脂材料A1中以彼此不同的体积比含有微粒A2。需要说明的是，对于微粒含有率而言，设定为第一涂布膜F1较第二涂布膜F2大。

需要说明的是，由于在将喷出口12a、13a朝向输送基材S中被支承辊11b、11c支撑的部分的状态下涂布第一涂布液Q1及第二涂布液Q2，因而在第一涂布液Q1及第二涂布液Q2到达输送基材S时，作用于输送基材S的力由支承辊11b、11c承受。因此，能够抑制输送基材S发生挠曲、振动等，能够在输送基材S上以均匀的厚度稳定地形成第一涂布膜F1及第二涂布膜F2。

接着，输送基材S移动而将第一涂布膜F1及第二涂布膜F2的层叠部分输入至干燥部14的腔室14a内时，在干燥部14中进行第一涂布膜F1及第二涂布膜F2的干燥。干燥部14中，使用加热部14b，以例如50℃～100℃左右的温度对第一涂布膜F1及第二涂布膜F2进行加热。若为该温度范围，则能够在输送基材S中不产生翘曲、变形等的情况下对第一涂布膜F1及第二涂布膜F2进行加热。通过对第一涂布膜F1及第二涂布膜F2的层叠体进行干燥，从而如图9(b)所示那样形成了未烧成膜FA。

需要说明的是，本说明书中，所谓层叠体，是指包含上述第一涂布膜F1及上述第二涂布膜F2的未烧成膜。形成本发明涉及的多孔性酰亚胺系树脂膜时，在第一液体及第二液体中分别使用聚酰胺酸、聚酰亚胺、聚酰胺酰亚胺或聚酰胺中的同种树脂的情况下，包含形成的上述第一涂布膜F1及上述第二涂布膜F2的未烧成膜(或多孔性酰亚胺系树脂膜)虽然实质上为1层，但是由于形成了微粒含有率不同的未烧成膜(或具有孔隙率不同的区域的多孔性酰亚胺系树脂膜)，因此在本说明书中，将包括第一液体及第二液体中使用了同种树脂的情况在内的情况均称为层叠体。

接着，输送基材S移动，未烧成膜FA的前端部分到达支承辊11d(剥离部15)时，通过例如操作者的手工操作，将该前端部分从输送基材S剥离。本实施方式中，由于作为输送基材S的材料使用的是例如PET，因此在使第一涂布膜F1及第二涂布膜F2干燥而形成未烧成膜FA时，变得容易从输送基材S剥离，因而操作者能够容易地进行剥离。

将未烧成膜FA的前端部分剥离后，输送基材S继续移动，利用第一喷嘴12形成第一涂布膜F1。此外，继续利用第二喷嘴13形成第二涂布膜F2，并利用干燥部14形成未烧成膜FA。由此，以带状形成未烧成膜FA，从干燥部14向+Y侧输出的未烧成膜FA的长度逐渐变长。操作者在剥离部15中持续对未烧成膜FA进行剥离。然后，被剥离的未烧成膜FA的前端变为到达卷绕部50的轴构件SF的长度时，操作者通过手工操作而将未烧成膜FA搭挂于输出辊11f，同时将未烧成膜FA的前端部分安装至轴构件SF。然后，随着未烧成膜FA依次形成并被剥离，在卷绕部50中使轴构件SF旋转。由此，将剥离的未烧成膜FA依次从涂布单元10中输出，并利用卷绕部50的轴构件SF进行卷绕而形成卷状体R。如图9(c)所示，构成卷状体R的未烧成膜FA为从输送基材S剥离的状态，表面及背面同时露出。

需要说明的是，对于将未烧成膜FA的前端部分剥离的操作、及将剥离的前端部分安装至轴构件SF的操作等而言，并不限于操作者通过手工操作而进行的方式，例如也可使用机械手等自动地进行。此外，为了提高未烧成膜FA的剥离性，也可以预先在输送基材S 的表面形成脱模层。

将规定的长度的未烧成膜FA卷绕在轴构件SF上后，将未烧成膜FA切断，同时将轴构件SF连同卷状体R一起从轴承51卸下。然后，将新的轴构件SF安装于卷绕部50的轴承51，将未烧成膜FA的切取端部安装至该轴构件SF并使其旋转，继续形成未烧成膜FA，由此能够制作新的卷状体R。

另一方面，例如操作者将从轴承51中连同卷状体R一起卸下的轴构件SF输送至送出部60，并安装于轴承61。该轴构件SF的输送动作及安装动作也可以使用机械手、输送装置等自动地进行。将轴构件SF安装于轴承61后，通过使轴构件SF旋转，将未烧成膜FA从卷状体R中依次拉出，并将未烧成膜FA输入至烧成单元20的腔室21内。需要说明的是，在将未烧成膜FA的前端输入至腔室21时，可以通过操作者手工操作而进行，也可以使用机械手等自动地进行。

将输入至腔室21内的未烧成膜FA载置于输送带23a上，随着输送带23a的旋转而向+Y方向输送。需要说明的是，可以使用张力辊23d、23e对张力进行调节。然后，在输送未烧成膜FA的同时使用加热部22对未烧成膜FA进行烧成。

烧成时的温度根据未烧成膜FA的结构的不同而不同，优选为120℃～375℃左右，更优选为150℃～350℃。此外，在微粒中包含有机材料的情况下，必须设定为比其热分解温度更低的温度。需要说明的是，在涂布液包含聚酰胺酸的情况下，优选在该烧成中使其完成亚胺化，但未烧成膜FA由聚酰亚胺、聚酰胺酰亚胺或聚酰胺构成、利用烧成单元20对未烧成膜FA进行高温处理的情况不在此限。

此外，对于烧成条件而言，例如，在涂布液包含聚酰胺酸及/或聚酰亚胺的情况下，可以采用经3小时从室温升温至375℃后、于375℃保持20分钟的方法，或者可以进行如下所述的阶段性加热：以50℃的幅度从室温阶段性地升温至375℃(各步骤保持20分钟)，最终于375℃保持20分钟等。此外，也可以将未烧成膜FA的端部固定于SUS制的模板等中从而防止变形。

通过这样的烧成，从而如图9(d)所示那样形成了烧成膜FB。在烧成膜FB中，在经酰亚胺化或高温处理的树脂层A3的内部包含微粒A2。烧成膜FB的膜厚可以通过用例如测微计等测定多个位置的厚度并取平均值而求得。作为优选的平均膜厚，在用于隔膜等的情况下，优选为3μm～500μm，更优选为5μm～100μm，进一步优选为10μm～30μm。

对于在烧成单元20中形成的烧成膜FB，若从烧成单元20中输出，则将其不经卷绕地输入至除去单元30。需要说明的是，在将烧成膜FB的前端部分输入至除去单元30时，可以通过操作者手工操作而进行，也可以使用机械手等自动地进行。

将输入至除去单元30的烧成膜FB载置于输送带35a上，随着输送带35a的旋转而向+Y方向输送。在除去单元30中，随着烧成膜FB的输送，首先在浸蚀部32中进行微粒A2的除去。作为微粒A2的材质使用例如二氧化硅的情况下，在浸蚀部32中将烧成膜FB浸渍于低浓度的氟化氢水溶液等浸蚀液中。由此，微粒A2溶解于浸蚀液中而被除去，如图9(e)所示，形成了在树脂层A3的内部包含多孔部A4的多孔性树脂膜F。

然后，随着输送带35a的旋转，将多孔性树脂膜F依次输入至清洗部33及排液部34中。在清洗部33中，利用清洗液对多孔性树脂膜F进行清洗。此外，在排液部34中，进行多孔性树脂膜F的排液，除去清洗液。然后，将多孔性树脂膜F从除去单元30中输出，并输入至化学浸蚀单元40中。

将输入至化学浸蚀单元40中的多孔性树脂膜F载置于输送带42a上，随着输送带42a的旋转而沿+Y方向输送。在化学浸蚀单元40中，伴随多孔性树脂膜F的输送，首先在化学浸蚀部43中对多孔部A4的内部进行化学浸蚀处理。在化学浸蚀部43中，将多孔性树脂膜F浸渍于浸蚀液EQ的储存部47中，如图9(f)所示，多孔部A4的内部被除去。该情况下，多孔部A4的毛边被除去，并且连通性得以确保。

然后，随着输送带42a的旋转，将多孔性树脂膜F依次输入至清洗部44及排液部45中。在清洗部44中，利用清洗液对多孔性树脂膜F进行清洗，在排液部45中进行排液。此外，在排液部45中，进行多孔性树脂膜F的排液。然后，在加热部46中，于100℃～300℃左右对排液后的多孔性树脂膜F进行加热，将清洗液除去。将多孔性树脂膜F从化学浸蚀单元40中输出，并利用卷绕部80的轴构件SF进行卷绕。

如前文所述，由于本实施方式涉及的制造系统SYS具备：膜形成单元70，其从对包含聚酰胺酸、聚酰亚胺、聚酰胺酰亚胺或聚酰胺的树脂材料A1、及微粒A2的未烧成膜FA进行烧成而得到烧成膜FB中将微粒A2除去，从而形成多孔性树脂膜F；和化学浸蚀单元40，其将多孔性树脂膜F的一部分溶解，因此，能够以一套流程进行未烧成膜FA的形成、未烧成膜FA的烧成(烧成膜FB的形成)、及微粒A2的除去(多孔性树脂膜F的形成)这3个工序。由此，能够高效地制造多孔性树脂膜F。此外，由于利用化学浸蚀单元40将多孔部A4的内部除去，因此能够提高多孔部A4的开孔率，能够确保多孔部A4的连通性。在将这样的多孔性树脂膜F用作锂离子电池等的隔膜的情况下，离子能够顺利地移动，因此能够提高电池的电特性。由此，能够得到开孔率优异的高品质的多孔性树脂膜F。

此外，由于化学浸蚀单元(40)具备对浸蚀液(EQ)进行储存的储存部(47)、和使酰亚胺系树脂膜(多孔性树脂膜F)浸渍于储存部内的浸蚀液中的膜输送部(输送部42)，因此能够高效地对酰亚胺系树脂膜进行化学浸蚀处理。

此外，由于酰亚胺系树脂膜(多孔性树脂膜F)是以带状形成的，且化学浸蚀单元(49)将从膜形成单元(70)中送出的酰亚胺系树脂膜(多孔性树脂膜F)依次引入，因此能够适用于卷对卷方式等的制造工序中，能够高效地形成酰亚胺系树脂膜(多孔性树脂膜F)。

此外，由于具备将从化学浸蚀单元(40)中排出的带状的酰亚胺系树脂膜(多孔性树脂膜F)进行卷绕的卷绕部(80)，因此能够对进行了化学浸蚀处理的酰亚胺系树脂膜进行卷绕并高效地回收。

此外，对于本实施方式涉及的多孔性树脂膜F的制造方法而言，由于其包括：从包含聚酰胺酸、聚酰亚胺、聚酰胺酰亚胺或聚酰胺、及微粒(A2)的膜(烧成膜FB)中将微粒除去，从而形成多孔性酰亚胺系树脂膜(多孔性树脂膜F)的工序；和进行将酰亚胺系树脂膜的一部分溶解的化学浸蚀处理的工序，因此，能够以一套流程进行未烧成膜FA的形成、未烧成膜FA的烧成(烧成膜FB的形成)、及微粒A2的除去(多孔性树脂膜F的形成)这3个工序。由此，能够提高多孔性树脂膜F的制造效率。此外，由于利用化学浸蚀单元40将多孔部A4的内部除去，因此能够提高多孔部A4的开孔率，能够确保多孔部A4的连通性。

[变形例]

虽然在上述实施方式中，举出将除去单元30和化学浸蚀单元40作为独立的单元以在Y方向上隔开排列的方式设置的构成为例而进行了说明，但并不限定于此。图10为示出变形例涉及的制造系统SYS2的一部分的例子的图。如图10所示，制造系统SYS2为将除去单元230和化学浸蚀单元240在Y方向上连接而成的构成。

除去单元230具有浸蚀部32、清洗部33和排液部34。浸蚀部32、清洗部33及排液部34在Y方向上并列配置。需要说明的是，由于浸蚀部32、清洗部33及排液部34的各部分的构成与上述实施方式相同，因此省略其说明。

化学浸蚀单元240具有化学浸蚀部43、清洗部44和排液部45。化学浸蚀部43、清洗部44及排液部45在Y方向上并列配置。需要说明的是，化学浸蚀部43、清洗部44及排液部45的各部分的构成与上述实施方式相同，因此省略其说明。

除去单元230及化学浸蚀单元240具有共用的腔室241、和共用的输送部242。腔室241收容除去单元230的各构成(浸蚀部32、清洗部33及排液部34)、和化学浸蚀单元240的各构成(化学浸蚀部43、清洗部44及排液部45)。腔室241中具有将烧成膜FB输入的输入口241a、和将多孔性树脂膜F输出的输出口241b。

输送部242经过除去单元230和化学浸蚀单元240而将烧成膜FB及多孔性树脂膜F沿+Y方向输送。输送部242具有输送带242a、驱动辊242b和从动辊242c～42e。需要说明的是，除了驱动辊242b及从动辊242c～242e以外，还可以在除去单元230或化学浸蚀单元240的内部配置支撑输送带242a的支承辊。

输送带242a是以无端状形成的，沿Y方向配置。输送带242a是使用对下述各溶液具有耐久性的材料而形成的，所述溶液为：浸蚀部32中使用的浸蚀液及化学浸蚀部43中使用的化学浸蚀液。输送带242a例如是以网状形成的。输送带242a在具有张力的状态下以与XY平面大致平行的方式架设于驱动辊242b和从动辊242c～242e之间。将多孔性树脂膜F载置于输送带242a上而进行输送。

需要说明的是，虽然输送带242a可以形成为在除去单元230与化学浸蚀单元240之间是不间断的，但是也可以根据各单元中使用的浸蚀液及化学浸蚀液、或者根据各单元的输送距离，进行适宜分割而形成。

驱动辊242b被配置于腔室241的内部的+Y侧端部。驱动辊242b设置为能够围绕着与X方向平行的轴线旋转。通过驱动辊242b旋转，使得输送带242a沿图10的顺时针方向旋转。通过输送带242a旋转，从而将载置于输送带242a上的多孔性树脂膜F沿+Y方向输送。

从动辊242c被配置于腔室241的内部的-Y侧端部。从动辊242d及242e分别配置于从动辊242c及驱动辊242b的-Z侧。从动辊242c～242e设置为能够围绕着与X方向平行的轴线旋转。从动辊242c～242e追随输送带42a的旋转而旋转。

如前文所述，由于膜形成单元(70)包含：涂布单元(10)，其将包含聚酰胺酸、聚酰亚胺、聚酰胺酰亚胺或聚酰胺、及微粒的液体(第一涂布液Q1、第二涂布液Q2)涂布于基材(输送基材S) 而形成未烧成膜(FA)；烧成单元(20)，其对在涂布单元内或涂布单元外从基材剥离的未烧成膜进行烧成，从而形成包含微粒的烧成膜(FB)；和除去单元(30)，其将微粒从烧成膜中除去从而形成多孔性酰亚胺系树脂膜(多孔性树脂膜F)，并且，将化学浸蚀单元(40)与除去单元连接，因此，能够高效地对酰亚胺系树脂膜进行化学浸蚀。

此外，通过上述输送部242，可利用1条输送带242a将多孔性树脂膜F从除去单元230输送至化学浸蚀单元240。因此，也可以不在除去单元230和化学浸蚀单元240之间进行多孔性树脂膜F的传递。由此，能够尽可能地抑制外力对多孔性树脂膜F的作用。

此外，虽然在上述实施方式中，作为卷绕部50、80，举出使轴构件SF在轴承51、81中进行装卸的构成为例而进行了说明，但并不限定于此，例如，也可使用如图12所示的卷绕装置90。以下，举出使用卷绕装置90代替卷绕部50的情况为例来进行说明。

如图11所示，卷绕装置90具有框架91、轴构件SF、轴承92、驱动部93、中继辊94a～94e、和辊支承部95。框架91支撑轴构件SF、轴承92、驱动部93、中继辊94a～94e、辊支承部95的各部分。

轴构件SF将从涂布单元10中输出的未烧成膜FA进行卷绕而形成卷状体R。轴构件SF设置为能针对轴承92进行装卸。轴构件SF被安装于轴承92时，其以能够围绕着与X方向平行的轴线旋转的方式而被轴承92支撑。通过以形成了卷状体R的状态将轴构件SF从轴承92卸下，从而能够将卷状体R移动或回收至其他的单元中。

中继辊94a～94e在调节未烧成膜FA的张力的同时将未烧成膜FA输送至轴构件SF。中继辊94a～94e例如形成为圆筒状，各自与X方向平行地配置。本实施方式中，未烧成膜FA按照中继辊94a、94b、94c、94d、94e的顺序而架设，但并不限定于此，也可以不使用一部分中继辊。需要说明的是，也可以使中继辊94a～94e中的至少1个能够通过辊支承部95而移动。例如，可以使辊支承部95能够将中继辊94b沿Z方向或Y方向移动。此外，也可以构成为通过辊支承部95使中继辊94b围绕着与X轴平行的轴线AX旋转。该情况下，通过使中继辊94b移动(转动)的量(距离)反馈到轴承92的卷绕速度中，从而能够使未烧成膜FA的张力保持恒定。此外，也可以为下述的构成：使位于中继辊94b的-Y侧的、介由支轴而配置的可移动的重物(未图示)移动，从而变更对中继辊94b施加的负荷。该情况下，通过利用上述重物来调节对中继辊94b施加的负荷，从而能够调节未烧成膜FA的张力。

对于中继辊94a～94e而言，并不限于与X方向平行地配置，也可以相对于X方向倾斜地配置。此外，中继辊R21～R25不限于圆筒形，也可以使用形成有圆锥型、辐射型、凹型等的冠顶的中继辊。

需要说明的是，上述的卷绕装置90也可以代替卷绕部80而使用。此外，通过使轴构件SF向与卷绕未烧成膜FA等膜时相反的方向旋转，能够将未烧成膜FA等膜送出。因此，也可以使用卷绕装置90代替例如上述的送出部60。

[隔膜]

接下来，对实施方式涉及的隔膜100进行说明。图12为示出锂离子电池200的一个例子的模式图，其示出的是一部分被切开的状态。如图12所示，锂离子电池200具有兼具正极端子的金属壳体201、和负极端子202。在金属壳体201的内部设置有正极201a、负极202a、和隔膜100，它们浸渍于未图示的电解液中。将隔膜100配置于正极201a和负极202a之间，防止正极201a和负极202a之间的电接触。作为正极201a，使用锂过渡金属氧化物，作为负极202a，使用例如锂、碳(石墨)等。

上述实施方式中记载的多孔性树脂膜F可作为该锂离子电池200的隔膜100使用。该情况下，通过使例如形成有第一涂布膜F1的面为锂离子电池的负极202a侧，从而能够提高电池性能。需要说明的是，虽然图12中举出方型的锂离子电池200的隔膜100为例进行了说明，但并不限定于此。上述的多孔性树脂膜F在圆筒型、层压型等任意类型的锂离子电池的隔膜中均可使用。需要说明的是，除了锂离子电池的隔膜以外，上述的多孔性树脂膜F还可以作为燃料电池电解质膜、气体或液体的分离用膜、低介电常数材料而使用。

以上，对实施方式进行了说明，但是本发明并不限定于上文所作的说明，可以在不脱离本发明的主旨的范围内进行各种变更。

例如，虽然在上述实施方式及变形例中，举出在将多孔性树脂膜F的一部分除去时仅进行化学浸蚀法的情况为例而进行了说明，但并不限定于此。例如，也可以利用组合了化学浸蚀法和物理性除去方法的方法而将多孔性树脂膜F的一部分除去。作为物理性方法，例如，可使用下述方法等：利用等离子体(氧气、氩气等)、电晕放电等进行的干法刻蚀(dry etching)；将研磨剂(例如，氧化铝(硬度9)等)分散于液体中，将其以30m/s～100m/s的速度向芳香族聚酰亚胺膜的表面照射，由此对聚酰亚胺膜表面进行处理。这些方法可以适用于在除去单元30中将微粒从烧成膜FB中除去之前及除去微粒之后的任一情况。此外，作为仅能适用于在除去微粒之后进行的情况的物理性方法，也可以采用下述方法：将对象表面压接在用液体浸湿后的衬纸膜(例如，PET膜等聚脂膜)上后，不进行干燥或在进行干燥后，将多孔性树脂膜F从衬纸膜上剥离。由于液体的表面张力或静电附着力的作用，使得能够以仅将多孔性树脂膜F的表面层残留于衬纸膜上的状态将多孔性树脂膜F从衬纸膜上剥离。

例如，虽然在上述实施方式及变形例中，举出使用微粒含有率不同的2种涂布液来形成未烧成膜FA的情况为例而进行了说明，但并不限定于此，也可以使用1种涂布液形成未烧成膜。该情况下，可以不使用第一喷嘴12及第二喷嘴13中的任意一方，也可以将一个喷嘴省去。将一个喷嘴省去的情况下，优选将第一喷嘴12省去而使用第二喷嘴13。

此外，虽然在上述实施方式及变形例中，举出涂布单元10、烧成单元20、除去单元30及化学浸蚀单元40各配置1台的构成为例而进行了说明，但并不限定于此。例如，也可以将上述单元中的至少1个单元设置为多台。该情况下，通过将例如每单位时间内能处理的未烧成膜FA、烧成膜FB或多孔性树脂膜F的分量(例如长度等)少的单元配置地较多，从而能够提高制造系统SYS整体的制造效率。

此外，虽然在上述实施方式及变形例中，举出涂布单元10、烧成单元20、除去单元30、及化学浸蚀单元40中的各单元将未烧成膜FA、烧成膜FB或多孔性树脂膜F中的各膜沿Y方向输送的情况为例而进行了说明，但并不限定于此。例如，可以使任意的单元将膜沿X方向、Y方向、Z方向或它们的合成方向输送，也可以在1个单元内适宜变更输送方向。

此外，除了上述实施方式的构成以外，还可以设置后处理单元，其对利用化学浸蚀单元40而将一部分除去后的多孔性树脂膜F进行后处理。作为该后处理单元，可举出例如对多孔性树脂膜F进行除电处理的防静电单元等。防静电单元中搭载有例如电离器(Ionizer)等除电装置。

此外，虽然在上述实施方式及变形例中，举出进行涂布单元10中的涂布、烧成单元20中的烧成、除去单元30中的除去这3个工序的情况为例而进行了说明，但并不限定于此。例如，在作为涂布膜的材料使用聚酰亚胺、聚酰胺酰亚胺、或聚酰胺的情况下，可以不进行烧成。因此，在不进行烧成的情况下，通过例如在烧成单元20和除去单元30之间设置卷绕装置及送出装置等，从而能够将涂布单元10中形成的未烧成膜FA以不经过烧成单元20的方式输入至除去单元30中。此外，不进行烧成的情况下，制造多孔性酰亚胺系树脂膜的制造系统可以为包含下述单元的制造系统：涂布单元，所述涂布单元将包含聚酰胺酸、聚酰亚胺、聚酰胺酰亚胺或聚酰胺、及微粒的液体涂布于基材而形成未烧成膜；和除去单元，所述除去单元从在所述涂布单元内或所述涂布单元外从所述基材剥离的所述未烧成膜中除去所述微粒。需要说明的是，在不进行烧成的情况下，将多孔性树脂膜F从除去微粒的除去单元30中输出后，可以进行上述的后烘烤处理工序。此外，在后烘烤处理工序前，可以经过化学浸蚀单元40。该情况下，后烘烤处理工序可以利用加热部46来进行。

此外，虽然在上述实施方式及变形例中，举出通过所谓的卷对卷方式形成多孔性树脂膜F的构成为例而进行了说明，但并不限定于此。例如，在化学浸蚀单元40中的处理结束后将多孔性树脂膜F从化学浸蚀单元40中输出的情况下，可以不利用卷绕部80进行卷绕，而是以规定的长度切断，并回收切断后的膜。

附图标记说明

SYS、SYS2…制造系统 F…多孔性树脂膜(酰亚胺系树脂膜) FA…未烧成膜 FB…烧成膜 S…输送基材(基材) Q1…第一涂布液(液体) Q2…第二涂布液(液体) EQ…浸蚀液 A1…树脂材料 A2…微粒 A4…多孔部 10…涂布单元 20…烧成单元 30、230…除去单元 40、240…化学浸蚀单元 42…输送部 43…化学浸蚀部 47…储存部 70…膜形成单元 100…隔膜 200…锂离子电池。