磺酸衍生物化合物、光产酸剂、抗蚀剂组合物、阳离子聚合引发剂和阳离子聚合性组合物的制作方法

文档序号:11330951阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明提供对365nm波长的光的吸收大且在有机溶剂中的溶解性高、显示出良好的产酸率的磺酸衍生物化合物、光产酸剂、抗蚀剂组合物、阳离子聚合引发剂和阳离子聚合性组合物。一种磺酸衍生物化合物,其由下述通式(I)表示。(式(I)中,X表示碳原子数1~14的直链或支链的烷基,R由碳原子数1~18的脂肪族烃基、碳原子数6~20的芳基、碳原子数7~20的芳基烷基、被酰基取代的碳原子数7~20的芳基、碳原子数3~12的脂环式烃基、10‑樟脑基等表示。

技术研发人员:柳泽智史;木村正树;户田瞳;滋野浩一
受保护的技术使用者:株式会社ADEKA
技术研发日:2015.03.18
技术公布日:2017.10.13
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