技术总结
图案处理组合物包含嵌段共聚物和有机溶剂。所述嵌段共聚物包含第一嵌段和第二嵌段。所述第一嵌段包含由第一单体形成的单元，所述第一单体包含烯系不饱和可聚合基团和氢受体基团，其中所述氢受体基团是含氮基团。所述第二嵌段包含由第二单体形成的单元，所述第二单体包含烯系不饱和可聚合基团和环状脂肪族基团。其中：(i)所述第二嵌段包含由第三单体形成的单元，所述第三单体包含烯系不饱和可聚合基团，并且所述第二单体与所述第三单体不同；和/或(ii)所述嵌段共聚物包含第三嵌段，所述第三嵌段包含由第四单体形成的单元，所述第四单体包含烯系不饱和可聚合基团，其中所述第四单体与所述第一单体和所述第二单体不同。还提供使用所描述的组合物的图案处理方法。所述图案处理组合物和方法在半导体装置制造中发现特定可应用性，用于提供高分辨率图案。
技术研发人员：V·吉安;M·李;H·X·周;J·K·朴;P·D·赫斯泰达;J·W·成
受保护的技术使用者：陶氏环球技术有限责任公司;罗门哈斯电子材料有限责任公司
文档号码：201610382359
技术研发日：2016.06.01
技术公布日：2016.12.21