一种延长聚酰亚胺介质阻挡放电等离子体激励器使用寿命的表层改性装置的制作方法

文档序号:17199088发布日期:2019-03-27 09:48阅读:来源:国知局
技术总结
公开一种延长聚酰亚胺介质阻挡放电等离子体激励器使用寿命的表层改性装置,包括:充有惰性气体的第一气瓶(101)、充有氟气/惰性气体混合气体的第二气瓶(102)、反应釜(103)、第二阀门(105)、第四阀门(106)、第三阀门(107)、第一阀门(109)、气压计(108)、测温元件(110)、加热装置(113)、真空泵(111)和尾气处理装置(112)。利用该装置可以较大幅度地提高等离子激励器的放电使用寿命。

技术研发人员:吴云;卞栋梁;贾敏;龙昌柏
受保护的技术使用者:中国人民解放军空军工程大学
技术研发日:2017.12.13
技术公布日:2019.03.26

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