树脂组合物、膜、滤光器、固体摄像元件及图像显示装置的制作方法

文档序号:33415332发布日期:2023-03-10 22:33阅读:269来源:国知局

1.本发明涉及一种树脂组合物。并且,本发明涉及一种使用树脂组合物的膜、滤光器、固体摄像元件及图像显示装置。


背景技术:

2.在摄影机、数码相机、附相机功能的移动电话等中使用ccd(电荷耦合元件)或cmos(互补金属氧化膜半导体)等固体摄像元件。并且,在固体摄像元件具备有滤色器等滤光器。滤光器例如使用树脂组合物等来制造(参考专利文献1)。
3.以往技术文献
4.专利文献
5.专利文献1:日本特开2020-086222号公报


技术实现要素:

6.发明要解决的技术课题
7.近年来,对于用于固体摄像元件等的滤光器,图案尺寸的微细化得到发展。然而,随着图案尺寸变得精细,与支承体的密合性趋于不足。
8.并且,本发明人对专利文献1中所记载的组合物进行了研究,结果发现对于与所获得的膜的支承体的密合性,存在改善的余地。
9.由此,本发明的目的在于提供一种能够形成与支承体的密合性优异的膜的树脂组合物、膜、滤光器、固体摄像元件及图像显示装置。
10.用于解决技术课题的手段
11.根据本发明人的研究,发现能够通过后述的树脂组合物来实现上述目的,从而完成了本发明。因此,本发明提供如下内容。
12.《1》一种树脂组合物,其包含树脂、由式(1)表示的分子量300以下的化合物a及有机溶剂,
13.[化学式1]
[0014][0015]
在式(1)中,q1表示含有烯属不饱和键的基团,l1表示2价的连结基团。
[0016]
《2》根据《1》所述的树脂组合物,其中,上述树脂组合物的总固体成分中的上述化合物a的含量为0.1~2000质量ppm。
[0017]
《3》根据《1》或《2》所述的树脂组合物,其中,上述化合物a为由式(1-1)表示的化合物、由式(1-2)表示的化合物、由式(1-3)表示的化合物或由式(1-4)表示的化合物。
[0018]
[化学式2]
[0019][0020]
《4》根据《1》至《3》中任一项所述的树脂组合物,其进一步在树脂组合物的总固体成分中包含0.1~300质量ppm的由式(2)表示的分子量300以下的化合物b,
[0021]
[化学式3]
[0022][0023]
在式(2)中,q2表示含有烯属不饱和键的基团,l2表示2价的连结基团。
[0024]
《5》根据《1》或《2》所述的树脂组合物,其中,上述化合物b为由式(2-1)表示的化合物、由式(2-2)表示的化合物、由式(2-3)表示的化合物或由式(2-4)表示的化合物。
[0025]
[化学式4]
[0026][0027]
《6》根据《4》或《5》所述的树脂组合物,其中,相对于100质量份的上述化合物a,包含0.1~120质量份的上述化合物b。
[0028]
《7》根据《4》至《6》中任一项所述的树脂组合物,其中,上述树脂组合物的总固体成分中的上述化合物a和上述化合物b的合计含量为1~300质量ppm。
[0029]
《8》根据《1》至《7》中任一项所述的树脂组合物,其中,上述树脂包含由式(3)表示的基团,
[0030]
[化学式5]
[0031][0032]
在式(3)中,q
31
表示含有烯属不饱和键的基团,l
31
表示2价的连结基团,r
31
表示氢原子或取代基,*表示连接键。
[0033]
《9》根据《1》至《8》中任一项所述的树脂组合物,其中,上述树脂含有包含由式(3-1)表示的重复单元的树脂,
[0034]
[化学式6]
[0035][0036]
在式(3-1)中,q
31
表示含有烯属不饱和键的基团,l
31
及l
32
分别独立地表示2价的连结基团,r
31
表示氢原子或取代基,r
32
表示氢原子或甲基。
[0037]
《10》根据《1》至《9》中任一项所述的树脂组合物,其中,在上述树脂组合物中包含0.3~2.0质量%的水。
[0038]
《11》根据《1》至《10》中任一项所述的树脂组合物,其还包含色料。
[0039]
《12》根据《1》至《11》中任一项所述的树脂组合物,其还包含具有2个以上的含有烯属不饱和键的基团的多官能聚合性单体及光聚合引发剂。
[0040]
《13》一种膜,其是使用《1》至《12》中任一项所述的树脂组合物获得的。
[0041]
《14》一种滤光器,其包含《13》所述的膜。
[0042]
《15》一种固体摄像元件,其包含《13》所述的膜。
[0043]
《16》一种图像显示装置,其包含《13》所述的膜。
[0044]
发明效果
[0045]
根据本发明,能够提供一种能够形成与支承体的密合性优异的膜的树脂组合物、膜、滤光器、固体摄像元件及图像显示装置。
具体实施方式
[0046]
以下,对本发明的内容进行详细说明。
[0047]
在本说明书中,“~”是以包含记载于其前后的数值作为下限值及上限值的含义来使用。
[0048]
关于本说明书中的基团(原子团)的标记,未标注经取代及未经取代的标记还包含不具有取代基的基团(原子团)和具有取代基的基团(原子团)。例如,“烷基”不仅包含不具有取代基的烷基(未经取代的烷基),还包含具有取代基的烷基(经取代的烷基)。
[0049]
在本说明书中,“曝光”只要没有特别指定,不仅包含使用光的曝光,而且使用电子束、离子束等粒子束的描画也包含于曝光中。并且,作为使用于曝光的光,可以举出以汞灯的明线光谱、准分子激光为代表的远紫外线、极紫外线(euv光)、x射线、电子束等活化光线或放射线。
[0050]
在本说明书中,“(甲基)丙烯酸酯”表示丙烯酸酯及甲基丙烯酸酯两者或任一个,“(甲基)丙烯酸”表示丙烯酸及甲基丙烯酸两者或任一个,“(甲基)丙烯酰基”表示丙烯酰基及甲基丙烯酰基两者或任一个。
[0051]
在本说明书中,结构式中的me表示甲基,et表示乙基,bu表示丁基,ph表示苯基。
[0052]
本说明书中,重均分子量及数均分子量为通过gpc(凝胶渗透色谱)法测量出的聚苯乙烯换算值。
[0053]
在本说明书中,近红外线是指波长700~2500nm的光。
[0054]
在本说明书中,总固体成分是指从组合物的所有成分中去除溶剂的成分的总质量。
[0055]
本说明书中,“工序”这一用语不仅是独立的工序,而且即使在无法与其他工序明确地进行区分的情况下,只要可实现该工序的所期望的作用,则也包含于本用语中。
[0056]
《树脂组合物》
[0057]
本发明的树脂组合物的特征为,其包含树脂、由式(1)表示的分子量300以下的化合物a及有机溶剂。
[0058]
根据本发明的树脂组合物,能够形成与支承体的密合性优异的膜。虽然得到这种效果的详细理由并不明确,但是通过树脂组合物包含上述化合物a,可以推测为制膜时化合物a的羟基和存在于支承体表面的硅烷醇基(sioh)等引起脱水稠合反应而形成化学键,并且化合物a的含有烯属不饱和键的基团与树脂等膜中的成分发生反应形成化学键。因此,推测能够形成与支承体的密合性优异的膜。
[0059]
并且,本发明的树脂组合物进一步包含上述化合物b的情况下,能够更加提高与所获得的膜的支承体的密合性。
[0060]
并且,本发明的树脂组合物优选包含0.3~2.0质量%的水。根据该方式,能够更加提高与所获得的膜的支承体的密合性。虽然得到这种效果的详细理由并不明确,但是可推测为如下。即,可推测为树脂组合物中所含的水在刚使用旋涂机等涂布之后的阶段未完全挥发,而残留在膜中。推测为残留在该膜中的水在预烘烤时,作为与化合物a的羟基(在还包含化合物b的情况下,化合物a的羟基或化合物b的环氧基)、存在于支承体表面的硅烷醇基(sioh)等引起脱水稠合反应而形成化学键时的催化剂发挥作用。另一方面,若树脂组合物中包含的水超过规定量,则残留在刚涂布后的膜中的水的量也增加。推测为若膜中残留的水的量过多,则在预烘烤时,化合物a的羟基(还包含化合物b的情况下,化合物a的羟基或化合物b的环氧基)与存在于支承体表面的硅烷醇基(sioh)等形成化学键的脱水稠合反应的
逆反应、即水解反应具有优势,导致在支承体表面与化合物a等之间形成的化学键解离,变得难以获得充分的密合性。根据这种理由,推测为通过在上述范围内包含水,可获得更优异的密合性。
[0061]
树脂组合物中的水的含量(含水量)的上限优选为1.5质量%以下,更优选为1.3质量%以下。含水量的下限优选为0.4质量%以上,更优选为0.5质量%以上。在本说明书中,树脂组合物的含水量为利用卡尔费歇尔测量法所测量的值。
[0062]
本发明的树脂组合物可优选地用作滤光器用树脂组合物。作为滤光器,可以举出滤色器、近红外线透过滤波器、近红外线截止滤波器等,优选为滤色器。并且,本发明的树脂组合物优选地用作固体摄像元件。更详细而言,优选地用作使用于固体摄像元件的滤光器用树脂组合物,更优选地用作使用于固体摄像元件的滤色器的着色像素形成用树脂组合物。
[0063]
作为滤色器,可以举出具有使特定波长的光透过的着色像素的滤波器。作为着色像素,可以举出红色像素、绿色像素、蓝色像素、品红色像素、青色像素、黄色像素等。滤色器的着色像素能够使用包含彩色色料的树脂组合物来形成。
[0064]
近红外线截止滤波器的极大吸收波长优选存在于波长700~1800nm的范围,更优选存在于波长700~1300nm的范围,进一步优选存在于波长700~1000nm的范围。并且,近红外线截止滤波器的在波长400~650nm的整个范围内的透射率优选为70%以上,更优选为80%以上,进一步优选为90%以上。并且,波长700~1800nm的范围内的至少1点上的透射率优选为20%以下。并且,近红外线截止滤波器的极大吸收波长下的吸光度amax与波长550nm下的吸光度a550之比(吸光度amax/吸光度a550)优选为20~500,更优选为50~500,进一步优选为70~450,尤其优选为100~400。近红外线截止滤波器能够使用包含近红外线吸收色料的树脂组合物来形成。
[0065]
近红外线透过滤波器为透过近红外线中的至少一部分的滤波器。近红外线透过滤波器可以为透射可见光和近红外线中的任一种的滤波器(透明膜),也可以为遮蔽可见光的至少一部分而透射近红外线的至少一部分的滤波器。作为近红外线透过滤波器,可优选地举出满足波长400~640nm的范围内的透射率的最大值为20%以下(优选为15%以下,更优选为10%以下)且波长1100~1300nm的范围内的透射率的最小值为70%以上(优选为75%以上,更优选为80%以上)的光谱特性的滤波器等。近红外线透过滤波器优选为满足以下(1)~(5)的任一个光谱特性的滤波器。
[0066]
(1):波长400~640nm的范围内的透射率的最大值为20%以下(优选为15%以下,更优选为10%以下)且波长800~1500nm的范围内的透射率的最小值为70%以上(优选为75%以上,更优选为80%以上)的滤波器。
[0067]
(2):波长400~750nm的范围内的透射率的最大值为20%以下(优选为15%以下,更优选为10%以下)且波长900~1500nm的范围内的透射率的最小值为70%以上(优选为75%以上,更优选为80%以上)的滤波器。
[0068]
(3):波长400~850nm的范围内的透射率的最大值为20%以下(优选为15%以下,更优选为10%以下)且波长1000~1500nm的范围内的透射率的最小值为70%以上(优选为75%以上,更优选为80%以上)的滤波器。
[0069]
(4):波长400~950nm的范围内的透射率的最大值为20%以下(优选为15%以下,
更优选为10%以下)且波长1100~1500nm的范围内的透射率的最小值为70%以上(优选为75%以上,更优选为80%以上)的滤波器。
[0070]
(5):波长400~1050nm的范围内的透射率的最大值为20%以下(优选为15%以下,更优选为10%以下)且波长1200~1500nm的范围内的透射率的最小值为70%以上(优选为75%以上,更优选为80%以上)的滤波器。
[0071]
本发明的树脂组合物能够用作用于形成透明膜、遮光膜等的树脂组合物。
[0072]
以下,对本发明的树脂组合物中所使用的各成分进行说明。
[0073]
《树脂》
[0074]
本发明的树脂组合物含有树脂。树脂例如以在树脂组合物分散颜料等的用途或粘合剂的用途进行配合。另外,将主要用于分散颜料的树脂也称为分散剂。然而,树脂的这种用途为一例,也能够以除了这种用途以外的目的使用。
[0075]
树脂的重均分子量(mw)优选为3000~2000000。上限优选为1000000以下,更优选为500000以下。下限优选为4000以上,更优选为5000以上。
[0076]
作为树脂,可以举出(甲基)丙烯酸树脂、烯/硫醇树脂、聚碳酸酯树脂、聚醚树脂、聚芳酯树脂、聚砜树脂、聚醚砜树脂、聚亚苯基树脂、聚亚芳基醚氧化膦树脂、聚酰亚胺树脂、聚酰胺酰亚胺树脂、聚亚胺树脂、聚烯烃树脂、环状烯烃树脂、聚酯树脂、苯乙烯树脂等。可以从这些树脂中单独使用1种,也可以混合2种以上来使用。并且,也能够使用日本特开2017-206689号公报的0041~0060段落号中所记载的树脂、日本特开2018-010856号公报的0022~0071段落号中所记载的树脂。
[0077]
本发明的树脂组合物优选包含含有由式(3)表示的基团的树脂(以下,也称为树脂(3))。根据该方式,能够形成与支承体的密合性优异的膜。
[0078]
[化学式7]
[0079][0080]
在式(3)中,q
31
表示含有烯属不饱和键的基团,l
31
表示2价的连结基团,q
31
表示氢原子或取代基,*表示连接键。
[0081]
作为式(3)的q
31
所表示的含有烯属不饱和键的基团,可以举出乙烯基、(甲基)烯丙基、(甲基)丙烯酰基、(甲基)丙烯酰氧基、(甲基)丙烯酰胺基等,优选为(甲基)烯丙基、(甲基)丙烯酰基及(甲基)丙烯酰氧基,更优选为(甲基)丙烯酰氧基。
[0082]
作为式(3)的l
31
所表示的2价的连结基团,可以举出亚烷基、-o-、-co-、-coo-、-oco-、-nh-、-s-及组合这些中的2种以上的基团。亚烷基的碳原子数优选为1~15,更优选为1~10,进一步优选为1~5。亚烷基可以为直链、支链、环状中的任一种,但优选为直链或环状。亚烷基可以具有取代基。作为取代基,可以举出羟基等。l
31
所表示的2价的连结基团优选为亚烷基或经由连结基团键合2个以上的亚烷基的基团,更优选为亚烷基。作为键合上述亚烷基彼此的连结基团,可以举出-nh-、-co-、-o-、-coo-、-oco-、-s-、-nhco-及-conh-。
[0083]
式(3)的r
31
表示氢原子或取代基。作为r
31
所表示的取代基,可以举出琥珀酸酐、马来酸酐、邻苯二甲酸酐、四氢邻苯二甲酸等各种酸酐的残基等。式(3)的r
31
优选为氢原子。根据该方式,能够形成与支承体的密合性优异的膜。
[0084]
上述树脂(3)优选为包含由式(3-1)表示的重复单元的树脂。
[0085]
[化学式8]
[0086][0087]
在式(3-1)中,q
31
表示含有烯属不饱和键的基团,l
31
及l
32
分别独立地表示2价的连结基团,q
31
表示氢原子或取代基,r
32
表示氢原子或甲基。
[0088]
式(3-1)的q
31
、l
31
及r
31
的含义分别与(3)的q
31
、l
31
及r
31
相同。
[0089]
作为式(3-1)的l
32
所表示的2价的连结基团,可以举出烃基、-o-、-co-、-coo-、-oco-、-nh-、-s-及组合这些中的2种以上的基团。烃基可以举出脂肪族烃基、芳香族烃基,优选为脂肪族烃基。脂肪族烃基的碳原子数优选为1~20,更优选为1~10,进一步优选为1~5。脂肪族烃基可以为直链、支链、环状中的任一种,但优选为直链或环状。芳香族烃基的碳原子数优选为6~30,更优选为6~20,进一步优选为6~10。烃基可以具有取代基。作为取代基,可以举出羟基等。l
31
所表示的2价的连结基团优选为烃基或经由连结基团键合2个以上的烃基的基团。作为键合上述烃基彼此的连结基团,可以举出-nh-、-co-、-o-、-coo-、-oco-、-s-、-nhco-及-conh-。
[0090]
本发明的树脂组合物优选包含具有酸基的树脂。作为酸基,可以举出羧基、磷酸基、磺酸基、酚性羟基等,优选为羧基。具有酸基的树脂例如能够用作碱溶性树脂。上述树脂(3)可以为具有酸基的树脂。即,上述树脂(3)可以进一步具有酸基。
[0091]
具有酸基的树脂优选包含在侧链具有酸基的重复单元,更优选在树脂的总重复单元中包含5~70摩尔%的在侧链具有酸基的重复单元。在侧链上具有酸基的重复单元的含量的上限优选为50摩尔%以下,更优选为30摩尔%以下。在侧链上具有酸基的重复单元的含量的下限优选为10摩尔%以上,更优选为20摩尔%以上。
[0092]
具有酸基的树脂也优选包含源自包含由下述式(ed1)表示的化合物及/或由下述式(ed2)表示的化合物(以下,有时将这些化合物也称为“醚二聚体”。)的单体成分的重复单元。
[0093]
[化学式9]
[0094][0095]
式(ed1)中,r1及r2分别独立地表示氢原子或可以具有取代基的碳原子数1~25的烃基。
[0096]
[化学式10]
[0097][0098]
式(ed2)中,r表示氢原子或碳原子数1~30的有机基团。关于式(ed2)的详细内容,能够参考日本特开2010-168539号公报的记载,该内容被编入本说明书中。
[0099]
作为醚二聚体的具体例,例如能够参考日本特开2013-029760号公报的0317段落号中的记载,该内容被编入本说明书中。
[0100]
在本发明中所使用的树脂也优选包含源自由下述式(x)表示的化合物的重复单元。
[0101]
[化学式11]
[0102][0103]
在式(x)中,r1表示氢原子或甲基,r2表示碳原子数2~10的亚烷基,r3表示氢原子或可以包含苯环的碳原子数1~20的烷基。n表示1~15的整数。
[0104]
关于具有酸基的树脂,能够参考日本特开2012-208494号公报的0558~0571段落号(对应的美国专利申请公开第2012/0235099号说明书的0685~0700段落号)的记载、日本特开2012-198408号公报的0076~0099段落号的记载,这些内容被编入本说明书中。并且,关于具有酸基的树脂,也能够使用市售品。
[0105]
具有酸基的树脂的酸值优选为5~200mgkoh/g。上限优选为150mgkoh/g以下,更优选为100mgkoh/g以下,进一步优选为80mgkoh/g以下。下限优选为1omgkoh/g以上,更优选为15mgkoh/g以上,进一步优选为20mgkoh/g以上。具有酸基的树脂的重均分子量(mw)优选为3000~35000。上限优选为25000以下,更优选为20000以下,进一步优选为15000以下。下限优选为4000以上,更优选为6000以上,进一步优选为7000以上。
[0106]
本发明的树脂组合物也能够使用具有碱性基团的树脂。具有碱性基团的树脂优选为包含在侧链具有碱性基团的重复单元的树脂,更优选为具有在侧链具有碱性基团的重复单元和不包含碱性基团的重复单元的共聚物,进一步优选为具有在侧链具有碱性基团的重复单元和不包含碱性基团的重复单元的嵌段共聚物。具有碱性基团的树脂也能够用作分散剂。具有碱性基团的树脂的胺值优选为5~300mgkoh/g。下限优选为10mgkoh/g以上,更优选为20mgkoh/g以上。上限优选为200mgkoh/g以下,更优选为100mgkoh/g以下。作为具有碱性
基团的树脂,可以举出日本特开2014-219665号公报的0063~0112段落号中所记载的嵌段共聚物(b)、日本特开2018-156021号公报的0046~0076段落号中所记载的嵌段共聚物a1。
[0107]
本发明的树脂组合物优选包含具有酸基的接枝树脂(以下,也称为酸性接枝树脂)。酸性接枝树脂能够优选地用作分散剂。在此,接枝树脂是指包含具有接枝链的重复单元的树脂。并且,接枝链是指从重复单元的主链分支并延伸的聚合物链。
[0108]
接枝链优选为包含选自聚酯结构、聚醚结构、聚(甲基)丙烯酸结构、聚苯乙烯结构、聚氨酯结构、聚脲结构及聚酰胺结构的至少一种结构的聚合物链,更优选为包含选自聚酯结构、聚醚结构及聚(甲基)丙烯酸结构的至少一种结构的聚合物链。
[0109]
作为接枝链的末端结构,并无特别限定。可以为氢原子,也可以为取代基。作为取代基,可以举出烷基、芳基、杂芳基、烷氧基、芳氧基、杂芳氧基、烷基硫醚基、芳基硫醚基、杂芳硫基醚基、羟基、氨基等。其中,从提高颜料等的分散性的观点出发,优选具有空间排斥效果的基团,优选为碳原子数5~24的烷基或烷氧基。烷基及烷氧基可以为直链、支链及环状中的任一种,优选为直链或支链。
[0110]
接枝链的重均分子量优选为500~10000。上限优选为5000以下,更优选为3000以下。下限优选为800以上,更优选为1000以上。另外,在本说明书中,接枝链的重均分子量为由原料单体的重均分子量计算出的值,该原料单体用于聚合具有接枝链的重复单元。例如,具有接枝链的重复单元能够通过聚合大分子单体来形成。在此,大分子单体是指在聚合物末端引入聚合性基团的高分子化合物。并且,原料单体的重均分子量的值使用通过gpc(凝胶渗透色谱)法测量的聚苯乙烯换算值。
[0111]
作为酸性接枝树脂所具有的酸基,可以举出羧基、磺基、磷酸基,优选为羧基。酸性接枝树脂的酸值优选为20~150mgkoh/g。上限优选为120mgkoh/g以下,更优选为100mgkoh/g以下,进一步优选为80mgkoh/g以下。下限优选为25mgkoh/g以上,更优选为30mgkoh/g以上,进一步优选为35mgkoh/g以上。
[0112]
酸性接枝树脂的重均分子量优选为3000~35000。上限优选为25000以下,更优选为20000以下,进一步优选为15000以下。下限优选为4000以上,更优选为6000以上,进一步优选为7000以上。
[0113]
作为酸性接枝树脂,可以举出包含具有接枝链的重复单元和具有酸基的重复单元的树脂、具有由下述式(ac-2)表示的重复单元的树脂等。酸性接枝树脂可以进一步包含具有聚合性基团的重复单元等其他重复单元。作为聚合性基团,可以举出含有烯属不饱和键的基团及环状醚基等。
[0114]
在酸性接枝树脂为包含具有接枝链的重复单元和具有酸基的重复单元的树脂的情况下,酸性接枝树脂优选在酸性接枝树脂的总重复单元中包含1摩尔%以上具有接枝链的重复单元,更优选含有2摩尔%以上,进一步优选含有3摩尔%以上。上限也能够设为90摩尔%,也能够设为80摩尔%以下,也能够设为70摩尔%以下,也能够设为60摩尔%以下,也能够设为50摩尔%以下。并且,酸性接枝树脂优选在酸性接枝树脂的总重复单元中包含1摩尔%以上具有酸基的重复单元,更优选含有2摩尔%以上,进一步优选含有3摩尔%以上。上限也能够设为90摩尔%,也能够设为80摩尔%以下,也能够设为70摩尔%以下,也能够设为60摩尔%以下,也能够设为50摩尔%以下。
[0115]
接着,对由式(ac-2)表示的重复单元进行说明。
[0116]
[化学式12]
[0117][0118]
在式(ac-2)中,ar
10
表示包含芳香族羧基的基团,l
11
表示-coo-或-conh-,l
12
表示3价的连结基团,p
10
表示聚合物链。
[0119]
在式(ac-2)中,作为包含ar
10
所表示的芳香族羧基的基团,可以举出源自芳香族三羧酸酐的结构、源自芳香族四羧酸酐的结构等。作为芳香族三羧酸酐及芳香族四羧酸酐,可以举出下述结构的化合物。
[0120]
[化学式13]
[0121][0122]
在上述式中,q1表示单键、-o-、-co-、-cooch2ch2oco-、-so
2-、-c(cf3)
2-、由下述式(q-1)表示的基团或由下述式(q-2)表示的基团。
[0123]
[化学式14]
[0124][0125]
包含ar
10
所表示的芳香族羧基的基团可以具有聚合性基团。聚合性基团优选为含有烯属不饱和键的基团及环状醚基,更优选为含有烯属不饱和键的基团。作为包含ar
10
所表示的芳香族羧基的基团的具体例,可以举出由式(ar-11)表示的基团、由式(ar-12)表示的基团、由式(ar-13)表示的基团等。
[0126]
[化学式15]
[0127][0128]
在式(ar-11)中,n1表示1~4的整数,优选为1或2,更优选为2。
[0129]
在式(ar-12)中,n2表示1~8的整数,优选为1~4的整数,更优选为1或2,进一步优选为2。
[0130]
在式(ar-13)中,n3及n4分别独立地表示0~4的整数,优选为0~2的整数,更优选为1或2,进一步优选为1。但是,n3及n4中的至少一个为1以上的整数。
[0131]
在式(ar-13)中,q1表示单键、-o-、-co-、-cooch2ch2oco-、-so
2-、-c(cf3)
2-、由上述式(q-1)表示的基团或由上述式(q-2)表示的基团。
[0132]
在式(ar-11)~(ar-13)中,*1表示与l
11
的键合位置。
[0133]
在式(ac-2)中,l
11
优选为-coo-。
[0134]
在式(ac-2)中,作为l
12
所表示的3价的连结基团,可以举出烃基、-o-、-co-、-coo-、-oco-、-nh-、-s-及组合这些中的2种以上的基团。烃基可以举出脂肪族烃基、芳香族烃基。脂肪族烃基的碳原子数优选为1~30,更优选为1~20,进一步优选为1~15。脂肪族烃基可以为直链、支链、环状中的任一种。芳香族烃基的碳原子数优选为6~30,更优选为6~20,进一步优选为6~10。烃基可以具有取代基。作为取代基,可以举出羟基等。l
12
所表示的3价的连结基团优选为由式(l12-1)表示的基团,更优选为由式(l12-2)表示的基团。
[0135]
[化学式16]
[0136][0137]
在式(l12-1)中,l
12b
表示3价的连结基团,x1表示s,*1表示与式(ac-2)的l
11
的键合位置,*2表示与式(ac-2)的p
10
的键合位置。作为l
12b
所表示的3价的连结基团,可以举出烃基;组合烃基和选自-o-、-co-、-coo-、-oco-、-nh-及-s-的至少一种的基团等,优选为烃基或组合烃基和-o-的基团。
[0138]
在式(l12-2)中,l
12c
表示3价的连结基团,x1表示s,*1表示与式(ac-2)的l
11
的键合位置,*2表示与式(ac-2)的p
10
的键合位置。作为l
12c
所表示的3价的连结基团,可以举出烃基;组合烃基和选自-o-、-co-、-coo-、-oco-、-nh-及-s-的至少一种的基团等,优选为烃基。
[0139]
式(ac-2)的p
10
所表示的聚合物链可以举出包含选自聚酯结构、聚醚结构、聚(甲基)丙烯酸结构、聚苯乙烯结构、聚氨酯结构、聚脲结构及聚酰胺结构的至少一种结构的聚合物链,优选为包含选自聚酯结构、聚醚结构及聚(甲基)丙烯酸结构的至少一种结构的聚合物链。p
10
所表示的聚合物链的重均分子量优选为500~10000。上限优选为5000以下,更优选为3000以下。下限优选为800以上,更优选为1000以上。
[0140]
p
10
所表示的聚合物链也优选包含在侧链包含含有烯属不饱和键的基团的重复单
元。并且,构成p
10
的总重复单元中的在侧链包含含有烯属不饱和键的基团的重复单元的比例优选为5质量%以上,更优选为10质量%以上,进一步优选为20质量%以上。上限能够设为100质量%,优选为90质量%以下,更优选为60质量%以下。
[0141]
p
10
所表示的聚合物链也优选包含含有酸基的重复单元。作为酸基,可以举出羧基、磷酸基、磺酸基、酚性羟基等。构成p
10
的总重复单元中的包含酸基的重复单元的比例优选为1~30质量%,更优选为2~20质量%,进一步优选为3~10质量%。
[0142]
作为酸性接枝树脂的具体例,可以举出后述实施例中所记载的树脂b-1~b-7等。并且,作为酸性接枝树脂,也能够使用日本特开2012-255128号公报的0025~0094段落号中所记载的树脂、日本特开2012-255128号公报的0102~0166段落号中所记载的聚亚胺树脂。
[0143]
本发明的树脂组合物优选包含作为分散剂的树脂。作为分散剂,可以举出酸性分散剂(酸性树脂)、碱性分散剂(碱性树脂)。在此,酸性分散剂(酸性树脂)表示酸基的量多于碱性基团的量的树脂。酸性分散剂(酸性树脂)优选为将酸基的量与碱性基团的量的总量设为100摩尔%时酸基的量占70摩尔%以上的树脂,更优选为实质上仅包含酸基的树脂。酸性分散剂(酸性树脂)所具有的酸基优选为羧基。酸性分散剂(酸性树脂)的酸值优选为40~105mgkoh/g,更优选为50~105mgkoh/g,进一步优选为60~105mgkoh/g。并且,碱性分散剂(碱性树脂)表示碱性基团的量多于酸基的量的树脂。碱性分散剂(碱性树脂)优选为将酸基的量与碱性基团的量的总量设为100摩尔%时碱性基团的量超过50摩尔%的树脂。碱性分散剂所具有的碱性基团优选为氨基。
[0144]
用作分散剂的树脂也优选为在芯部中键合有多个聚合物链的结构的树脂。作为这种树脂,例如可以举出树枝状聚合物(包含星形聚合物)。并且,作为树枝状聚合物的具体例,可以举出日本特开2013-043962号公报的0196~0209段落号中所记载的高分子化合物c-1~c-31等。
[0145]
并且,也能够将上述酸性接枝树脂等树脂用作分散剂。
[0146]
分散剂也能够以市售品的方式获得,作为这种具体例,可以举出byk chem ie gmbh制造的disperbyk系列(例如,disperbyk-111、161等)、lubrizol制造的solsperse系列(例如,solsperse 76500等)等。并且,也能够使用日本特开2014-130338号公报的0041~0130段落号中所记载的颜料分散剂,且该内容被编入本说明书中。另外,作为上述分散剂说明的树脂也能够以除了分散剂以外的用途使用。例如,也能够用作粘合剂。
[0147]
树脂组合物的总固体成分中的树脂的含量优选为1~45质量%。下限优选为5质量%以上,更优选为10质量%以上。上限优选为40质量%以下,更优选为30质量%以下。
[0148]
《化合物a》
[0149]
本发明的树脂组合物包含由式(1)表示的分子量300以下的化合物a(以下,也称为化合物a)。
[0150]
[化学式17]
[0151][0152]
在式(1)中,q1表示含有烯属不饱和键的基团,l1表示2价的连结基团。
[0153]
作为式(1)的q1所表示的含有烯属不饱和键的基团,可以举出乙烯基、(甲基)烯丙基、(甲基)丙烯酰基、(甲基)丙烯酰氧基、(甲基)丙烯酰胺基等,优选为(甲基)烯丙基、(甲基)丙烯酰基及(甲基)丙烯酰氧基,更优选为(甲基)丙烯酰氧基。
[0154]
作为式(1)的l1所表示的2价的连结基团,可以举出亚烷基、-o-、-co-、-coo-、-oco-、-nh-、-s-及组合这些中的2种以上的基团。亚烷基的碳原子数优选为1~10,更优选为1~5。脂肪族烃基可以为直链、支链、环状中的任一种,但优选为直链或环状。芳香族烃基的碳原子数优选为6~30,更优选为6~20,进一步优选为6~10。烃基可以具有取代基。作为取代基,可以举出羟基等。l1所表示的2价的连结基团可以举出烃基或经由连结基团键合2个以上的烃基的基团,优选为烃基,更优选为脂肪族烃基。作为键合上述烃基彼此的连结基团,可以举出-nh-、-co-、-o-、-coo-、-oco-、-s-、-nhco-及-conh-。
[0155]
作为化合物a的具体例,可以举出以下所示的结构的化合物。由式(1-1)表示的化合物为甘油单甲基丙烯酸酯,由式(1-2)表示的化合物为甘油单丙烯酸酯,由式(1-3)表示的化合物为4-(2,3-二羟基丙氧基)甲基丙烯酸丁酯,由式(1-4)表示的化合物为4-(2,3-二羟基丙氧基)丙烯酸丁酯。
[0156]
[化学式18]
[0157][0158]
化合物a优选为由式(1-1)表示的化合物、由式(1-2)表示的化合物、由式(1-3)表示的化合物或由式(1-4)表示的化合物,更优选为由式(1-1)表示的化合物或由式(1-4)表示的化合物,进一步优选为由式(1-1)表示的化合物。
[0159]
树脂组合物的总固体成分中的化合物a的含量优选为0.1~2000质量ppm。上限优选为1000质量ppm以下,进一步优选为500质量ppm以下,尤其优选为250质量ppm以下。下限
优选为10质量ppm以上,更优选为25质量ppm以上,进一步优选为50质量ppm以上。
[0160]
《化合物b》
[0161]
本发明的树脂组合物优选包含由式(2)表示的分子量300以下的化合物b(以下,也称为化合物b)。通过同时使用化合物a和化合物b,能够形成具有更优异的密合性的膜。
[0162]
[化学式19]
[0163][0164]
在式(2)中,q2表示含有烯属不饱和键的基团,l2表示2价的连结基团。
[0165]
作为式(2)的q2所表示的含有烯属不饱和键的基团,可以举出乙烯基、(甲基)烯丙基、(甲基)丙烯酰基、(甲基)丙烯酰氧基、(甲基)丙烯酰胺基等,优选为(甲基)烯丙基、(甲基)丙烯酰基及(甲基)丙烯酰氧基,更优选为(甲基)丙烯酰氧基。
[0166]
作为式(2)的l2所表示的2价的连结基团,可以举出亚烷基、-o-、-co-、-coo-、-oco-、-nh-、-s-及组合这些中的2种以上的基团。亚烷基的碳原子数优选为1~10,更优选为1~5。脂肪族烃基可以为直链、支链、环状中的任一种,但优选为直链或环状。芳香族烃基的碳原子数优选为6~30,更优选为6~20,进一步优选为6~10。烃基可以具有取代基。作为取代基,可以举出羟基等。l2所表示的2价的连结基团可以举出烃基或经由连结基团键合2个以上的烃基的基团,优选为烃基,更优选为脂肪族烃基。作为键合上述烃基彼此的连结基团,可以举出-nh-、-co-、-o-、-coo-、-oco-、-s-、-nhco-及-conh-。
[0167]
作为化合物b的具体例,可以举出以下所示的结构的化合物。由式(2-1)表示的化合物为甲基丙烯酸缩水甘油酯,由式(2-2)表示的化合物为丙烯酸缩水甘油酯,由式(2-3)表示的化合物为4-羟丁基甲基丙烯酸酯缩水甘油醚,由式(2-4)表示的化合物为4-羟丁基丙烯酸酯缩水甘油醚。
[0168]
[化学式20]
[0169][0170]
化合物b优选为由式(2-1)表示的化合物、由式(2-2)表示的化合物、由式(2-3)表示的化合物或由式(2-4)表示的化合物,更优选为由式(2-1)表示的化合物或由式(2-4)表
hdda)、rp-1040(nippon kayaku co.,ltd.制)、aronix to-2349(toagosei co.,ltd.制)、nk ol igo ua-7200(shin-nakamura chemical co.,ltd.制)、8uh-1006、8uh-1012(taisei fine chemical co.,ltd.制)、light acrylate pob-a0(kyoeisha chemical co.,ltd.制)等。
[0179]
作为多官能聚合性单体也优选使用三羟甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、三羟甲基丙烷环氧丙烷改性三(甲基)丙烯酸酯、三羟甲基丙烷环氧乙烷改性三(甲基)丙烯酸酯、异三聚氰酸环氧乙烷改性三(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯等3官能的(甲基)丙烯酸酯化合物。作为3官能的(甲基)丙烯酸酯化合物的市售品,可以举出aronix m-309、m-310、m-321、m-350、m-360、m-313、m-315、m-306、m-305、m-303、m-452、m-450(toagosei co.,ltd.制造)、nk ester a9300、a-gly-9e、a-gly-20e、a-tmm-3、a-tmm-3l、a-tmm-3lm-n、a-tmpt、tmpt(shin-nakamura chemical co.,ltd.制造)、kayarad gpo-303、tmpta、the-330、tpa-330、pet-30(nippon kayaku co.,ltd.制造)等。
[0180]
作为多官能聚合性单体,也能够使用具有酸基的聚合性单体。通过使用具有酸基的聚合性单体,容易去除显影时未曝光部的树脂组合物,从而能够抑制显影残渣的产生。作为酸基,可以举出羧基、磺酸基、磷酸基等,优选为羧基。作为具有酸基的聚合性单体的市售品,可以举出aronix m-305、m-510、m-520、aronix to-2349(toagosei co.,ltd.制造)等。具有酸基的聚合性单体的酸值优选为0.1~40mgkoh/g,更优选为5~30mgkoh/g。
[0181]
作为多官能聚合性单体,也能够使用具有己内酯结构的聚合性单体。具有己内酯结构的聚合性单体,例如可以举出由nippon kayaku co.,ltd.市售的kayarad dpca系列dpca-20、dpca-30、dpca-60、dpca-120等。
[0182]
作为多官能聚合性单体,也能够使用具有亚烷氧基的聚合性单体。具有亚烷氧基的聚合性单体优选为具有乙烯氧基及/或丙烯氧基的聚合性单体,更优选为具有乙烯氧基的聚合性单体,进一步优选为具有4~20个乙烯氧基的3~6官能(甲基)丙烯酸酯化合物。作为具有亚烷氧基的聚合性单体的市售品,例如可以举出sartomer company,inc制造的作为具有4个乙烯氧基的4官能(甲基)丙烯酸酯的sr-494、作为具有3个异亚丁氧基的3官能(甲基)丙烯酸酯的kayarad tpa-330等。
[0183]
作为多官能聚合性单体也能够使用具有芴骨架的聚合性单体。作为具有芴骨架的聚合性单体的市售品,可以举出ogsol ea-0200、ea-0300(osaka gas chemicals co.,ltd.制造、具有芴骨架的(甲基)丙烯酸酯单体)等。
[0184]
作为多官能聚合性单体,也优选使用实质上不包含甲苯等环境限制物质的化合物。作为这种化合物的市售品,可以举出kayarad dpha lt、kayarad dpe a-12 lt(nippon kayaku co.,ltd.制造)等。
[0185]
作为多官能聚合性单体,也优选为如日本特公昭48-041708号公报、日本特开昭51-037193号公报、日本特公平02-032293号公报、日本特公平02-016765号公报中所记载的聚氨酯丙烯酸酯类、日本特公昭58-049860号公报、日本特公昭56-017654号公报、日本特公昭62-039417号公报、日本特公昭62-039418号公报中所记载的具有环氧乙烷系骨架的聚氨酯化合物。并且,也优选使用日本特开昭63-277653号公报、日本特开昭63-260909号公报、日本特开平01-105238号公报中所记载的分子内具有氨结构或硫醚结构的聚合性单体。并且,多官能聚合性单体也能够使用ua-7200(shin-nakamura chemical co.,ltd.制造)、
dpha-40h(nippon kayaku co.,ltd.制造)、ua-306h、ua-306t、ua-306i、ah-600、t-600、ai-600、linc-202ua(kyoeisha chemical co.,lt d.制造)等市售品。
[0186]
用于本发明的树脂组合物的多官能聚合性单体优选包含包括2个或3个含有烯属不饱和键的基团的3官能以下的聚合性单体c1、及包括4个以上的含有烯属不饱和键的基团的4官能以上的聚合性单体c2。根据该方式,适当抑制膜的固化收缩以改进与支承体的密合性,由此更显著地发挥本发明的效果。在同时使用聚合性单体c1及聚合性单体c2的情况下,两者的比例相对于100质量份的聚合性单体c1,聚合性单体c2优选为10~1000质量份,更优选为30~300质量份,进一步优选为50~200质量份。
[0187]
树脂组合物的总固体成分中的多官能聚合性单体的含量优选为0.1~40质量%。下限优选为0.5质量%以上,更优选为1质量%以上。上限优选为30质量%以下,更优选为20质量%以下。
[0188]
《光聚合引发剂》
[0189]
本发明的树脂组合物能够包含光聚合引发剂。作为光聚合引发剂,并无特别限制,能够从公知的光聚合引发剂中适当地进行选择。例如,优选为对紫外线区域至可见光区域的光线具有感光性的化合物。光聚合引发剂优选为光自由基聚合引发剂。
[0190]
作为光聚合引发剂,可以举出卤化烃衍生物(例如,具有三嗪骨架的化合物、具有噁二唑骨架的化合物等)、酰基膦化合物、六芳基联咪唑、肟化合物、有机过氧化物、硫化合物、酮化合物、芳香族鎓盐、α-羟基酮化合物、α-氨基酮化合物等。从曝光灵敏度的观点出发,光聚合引发剂优选为三卤甲基三嗪化合物、苄基二甲基缩酮化合物、α-羟基酮化合物、α-氨基酮化合物、酰基膦化合物、氧化膦化合物、茂金属化合物、肟化合物、三芳基咪唑二聚体、鎓化合物、苯并噻唑化合物、二苯甲酮化合物、苯乙酮化合物、环戊二烯-苯-铁络合物、卤甲基噁二唑化合物及3-芳基取代香豆素化合物,更优选为选自肟化合物、d-羟基酮化合物、α-氨基酮化合物及酰基膦化合物中的化合物,进一步优选为肟化合物。并且,作为光聚合引发剂,可以举出日本特开2014-130173号公报的0065~0111段、日本专利第6301489号公报中所记载的化合物、ma terial stage 37~60p,vol.19,no.3,2019中所记载的过氧化物系光聚合引发剂、国际公开第2018/221177号中所记载的光聚合引发剂、国际公开第2018/110179号中所记载的光聚合引发剂、日本特开2019-043864号公报中所记载的光聚合引发剂、日本特开2019-044030号公报中所记载的光聚合引发剂、日本特开2019-167313号公报中所记载的过氧化物系引发剂、日本特开2020-055992号公报中所记载的具有噁唑烷基的氨基苯乙酮系引发剂、日本特开2013-190459号公报中所记载的肟系光聚合引发剂等,这些内容被编入本说明书中。
[0191]
作为α-羟基酮化合物的市售品,可以举出omnirad 184、omnirad 1173、omnirad 2959、omnirad 127(以上,igm resins b.v.公司制造)、irgacure184、irgacure 1173、irgacure 2959、irgacure 127(以上,basf公司制造)等。作为α-氨基酮化合物的市售品,可以举出omnirad 907、omnirad 369、omnirad 369e、omnirad 379eg(以上,igm resins b.v.公司制造)、irgacu re 907、irgacure 369、irgacure 369e、irgacure 379eg(以上,basf公司制造)等。作为酰基膦化合物的市售品,可以举出omnirad 819、omnirad tpo(以上,igm resins b.v.公司制造)、irgacure 819、irgacure tpo(以上,basf公司制造)等。
[0192]
作为肟化合物,可以举出日本特开2001-233842号公报中所记载的化合物、日本特
开2000-080068号公报中所记载的化合物、日本特开2006-342166号公报中所记载的化合物、j.c.s.perkin ii(1979年、pp.1653-1660)中所记载的化合物、j.c.s.perkin ii(1979年、pp.156-162)中所记载的化合物、jou rnal of photopolymer science and technology(1995年、pp.202-232)中所记载的化合物、日本特开2000-066385号公报中所记载的化合物、日本特表2004-534797号公报中所记载的化合物、日本特开2006-342166号公报中所记载的化合物、日本特开2017-019766号公报中所记载的化合物、日本专利第6065596号公报中所记载的化合物、国际公开第2015/152153号中所记载的化合物、国际公开第2017/051680号中所记载的化合物、日本特开2017-198865号公报中所记载的化合物、国际公开第2017/164127号的0025~0038段落号中所记载的化合物、国际公开第2013/167515号中所记载的化合物等。作为肟化合物的具体例,可以举出3-苯甲酰氧基亚胺基丁烷-2-酮、3-乙酰氧基亚胺基丁烷-2-酮、3-丙酰氧基亚胺基丁烷-2-酮、2-乙酰氧基亚胺基戊烷-3-酮、2-乙酰氧基亚胺基-1-苯基丙烷-1-酮、2-苯甲酰氧基亚胺基-1-苯基丙烷-1-酮、3-(4-甲苯磺酰氧基)亚胺基丁烷-2-酮及2-乙氧羰氧基亚胺基-1-苯基丙烷-1-酮等。作为市售品,可以举出irgacure oxe01、irgacure oxe02、irgacure oxe03、irgacure oxe04(以上,basf公司制造)、tr-pbg-304(changzhou t ronly new electronic materials co.,ltd.制造)、adeka optomer n-1919(adeka corporation制造、日本特开2012-014052号公报中所记载的光聚合引发剂2)。并且,作为肟化合物,也优选使用无着色性的化合物或透明性高且不易变色的化合物。作为市售品,可以举出adeka arkls nci-730、nc1-831、nci-930(以上,adeka corporation制造)等。
[0193]
作为光聚合引发剂,也能够使用具有芴环的肟化合物。作为具有芴环的肟化合物的具体例,可以举出日本特开2014-137466号公报中所记载的化合物、日本专利06636081号中所记载的化合物。
[0194]
作为光聚合引发剂,也能够使用具有咔唑环的至少1个苯环成为萘环的骨架的肟化合物。作为这种肟化合物的具体例,可以举出国际公开第2013/083505号中所记载的化合物。
[0195]
作为光聚合引发剂,也能够使用具有氟原子的肟化合物。作为具有氟原子的肟化合物的具体例,可举出日本特开2010-262028号公报中所记载的化合物、日本特表2014-500852号公报中所记载的化合物24、36~40、日本特开2013-164471号公报中所记载的化合物(c-3)等。
[0196]
作为光聚合引发剂,能够使用具有硝基的肟化合物。具有硝基的肟化合物也优选为二聚体。作为具有硝基的肟化合物的具体例,可以举出日本特开2013-114249号公报的0031~0047段落号、日本特开2014-137466号公报的0008~0012、0070~0079段落号中所记载的化合物、日本专利4223071号公报的0007~0025段落号中所记载的化合物、adeka arkls nci-831(adeka corpora tion制造)。
[0197]
作为光聚合引发剂,也能够使用具有苯并呋喃骨架的肟化合物。作为具体例,可以举出国际公开第2015/036910号中所记载的oe-01~oe-75。
[0198]
作为光聚合引发剂,也能够使用在咔唑骨架键合有具有羟基的取代基的肟化合物。作为这种光聚合引发剂,可以举出国际公开第2019/088055号中所记载的化合物等。
[0199]
作为光聚合引发剂,也能够使用具有在芳香族环上引入了吸电子基团的芳香族环
基ar
ox1
的肟化合物(以下也称为肟化合物ox)。作为上述芳香族环基ar
ox1
所具有的吸电子基团,可以举出酰基、硝基、三氟甲基、烷基亚磺酰基、芳基亚磺酰基、烷基磺酰基、芳基磺酰基、氰基,优选为酰基及硝基,从容易形成耐光性优异的膜之类的理由出发,更优选为酰基,进一步优选为苯甲酰基。苯甲酰基可以具有取代基。作为取代基,优选为卤原子、氰基、硝基、羟基、烷基、烷氧基、芳基、芳氧基、杂环基、杂环氧基、烯基、烷基硫基、芳基硫基、酰基或氨基,更优选为烷基、烷氧基、芳基、芳氧基、杂环氧基、烷基硫基、芳基硫基或氨基,进一步优选为烷氧基、烷基硫基或氨基。
[0200]
肟化合物ox优选为选自由式(ox1)表示的化合物及由式(ox2)表示的化合物的至少一种,更优选为由式(ox2)表示的化合物。
[0201]
[化学式21]
[0202][0203]
式中,r
x1
表示烷基、烯基、烷氧基、芳基、芳氧基、杂环基、杂环氧基、烷基硫基、芳基硫基、烷基亚磺酰基、芳基亚磺酰基、烷基磺酰基、芳基磺酰基、酰基、酰氧基、氨基、膦酰基、氨基甲酰基或氨磺酰基,
[0204]rx2
表示烷基、烯基、烷氧基、芳基、芳氧基、杂环基、杂环氧基、烷基硫基、芳基硫基、烷基亚磺酰基、芳基亚磺酰基、烷基磺酰基、芳基磺酰基、酰氧基或氨基,
[0205]rx3
~r
x14
分别独立地表示氢原子或取代基,
[0206]
但是,r
x10
~r
x14
中的至少一个为吸电子基团。
[0207]
在上述式中,r
x12
为吸电子基团,r
x10
、r
x11
、r
x13
、r
x14
优选为氢原子。
[0208]
作为肟化合物ox的具体例,可以举出日本专利第4600600号公报的0083~0105段落号中所记载的化合物。
[0209]
以下示出本发明中优选地使用的肟化合物的具体例,但本发明并不限定于这些。
[0210]
[化学式22]
[0211][0212]
[化学式23]
[0213][0214]
肟化合物优选为在波长350~500nm的范围内具有极大吸收波长的化合物,更优选为在波长360~480nm的范围内具有极大吸收波长的化合物。并且,从灵敏度的观点出发,肟
化合物在波长365nm或波长405nm下的摩尔吸光系数优选为高,更优选为1000~300000,进一步优选为2000~300000,尤其优选为5000~200000。化合物的摩尔吸光系数能够利用公知的方法来进行测量。例如,优选通过分光光度计(varian公司制造的cary-5分光光度计(spectrophotom eter)),使用乙酸乙酯溶剂以0.01g/l的浓度测量。
[0215]
作为光聚合引发剂,可以使用2官能或3官能以上的光自由基聚合引发剂。通过使用这种光自由基聚合引发剂,由光自由基聚合引发剂的一分子产生2个以上的自由基,因此可获得良好的灵敏度。并且,在使用非对称结构的化合物的情况下,结晶性下降而在有机溶剂等中的溶解性得到提高,随时间而变得难以析出,从而能够提高树脂组合物的经时稳定性。作为2官能或3官能以上的光自由基聚合引发剂的具体例,可以举出日本特表2010-527339号公报、日本特表2011-524436号公报、国际公开第2015/004565号、日本特表2016-532675号公报的0407~0412段落号、国际公开第2017/033680号的0039~0055段落号中所记载的肟化合物的二聚体、日本特表2013-522445号公报中所记载的化合物(e)及化合物(g)、国际公开第2016/034963号中所记载的cmpd1~7、日本特表2017-523465号公报的0007段落号中所记载的肟酯类光引发剂、日本特开2017-167399号公报的0020~0033段落号中所记载的光引发剂、日本特开2017-151342号公报的0017~0026段落号中所记载的光聚合引发剂(a)、日本专利第6469669号公报中所记载的肟酯光引发剂等。
[0216]
在树脂组合物的总固体成分中的光聚合引发剂的含量优选为0.1~30质量%。下限优选为0.5质量%以上,更优选为1质量%以上。上限优选为20质量%以下,更优选为15质量%以下。在本发明的树脂组合物中,可以仅使用1种光聚合引发剂,也可以使用2种以上。在使用2种以上的情况下,优选为这些的总量成为上述范围。
[0217]
《色料》
[0218]
本发明的树脂组合物优选含有色料。作为色料,可以举出白色色料、黑色色料、彩色色料、近红外线吸收色料。另外,在本说明书中,白色色料不仅包含纯白色,而且还包含接近白色的浅灰色(例如灰白色、薄灰色等)的色料。
[0219]
色料优选包含选自彩色色料、黑色色料及近红外线吸收色料中的至少一种,进一步优选包含彩色色料。并且,色料中的彩色色料的含量优选为60质量%以上,更优选为80质量%以上。这种树脂组合物能够优选地用作滤色器的着色像素形成用的树脂组合物。
[0220]
色料可以为颜料,也可以为染料。可以同时使用颜料和染料。并且,颜料可以为无机颜料、有机颜料中的任一种。并且,颜料也能够使用由有机发色团取代了无机颜料或有机-无机颜料的一部分的材料。通过由有机发色团取代无机颜料或有机-无机颜料,能够容易设计色相。
[0221]
颜料的平均一次粒径优选为1~200nm。下限优选为5nm以上,更优选为10nm以上。上限优选为180nm以下,更优选为150nm以下,进一步优选为100nm以下。若颜料的平均一次粒径在上述范围内,则感光性组合物中的颜料的分散稳定性良好。另外,在本发明中,颜料的一次粒径能够通过透射型电子显微镜观察颜料的一次粒子,并根据所获得的图像照片来求出。具体而言,求出颜料的一次粒子的投影面积,并计算与其相对应的当量圆直径作为颜料的一次粒径。并且,本发明中的平均一次粒径设为关于400个颜料的一次粒子的一次粒径的算数平均值。并且,颜料的一次粒子是指未凝聚的独立的粒子。
[0222]
色料优选使用包含颜料的材料。色料中的颜料的含量优选为50质量%以上,更优
选为70质量%以上,进一步优选为80质量%以上,尤其优选为90质量%以上。
[0223]
(彩色色料)
[0224]
作为彩色色料,可以举出在波长400~700nm的范围内具有极大吸收波长的色料。例如,可以举出黄色色料、橙色色料、红色色料、绿色色料、紫色色料、蓝色色料等。作为彩色色料的具体例,例如可以举出以下所示者。
[0225]
比色指数(c.i.)pigment yellow(颜料黄)1,2,3,4,5,6,10,11,12,13,14,15,16,17,18,20,24,31,32,34,35,35∶1,36,36∶1,37,37∶1,40,42,43,53,55,60,61,62,63,65,73,74,77,81,83,86,93,94,95,97,98,100,101,104,106,108,109,110,113,114,115,116,117,118,119,120,123,125,126,127,128,129,137,138,139,147,148,150,151,152,153,154,155,156,161,162,164,166,167,168,169,170,171,172,173,174,175,176,177,179,180,181,182,185,187,188,193,194,199,213,214,215,228,231,232(次甲基系),233(喹啉系),234(氨基酮系),235(氨基酮系),236(氨基酮系)等黄色颜料。
[0226]
c.i.pigment orange(颜料橙)2,5,13,16,17∶1,31,34,36,38,43,46,48,49,51,52,55,59,60,61,62,64,71,73等橙色颜料。
[0227]
c.i.pigment red(颜料红)1,2,3,4,5,6,7,9,10,14,17,22,23,31,38,41,48∶1,48∶2,48∶3,48:4,49,49∶1,49∶2,52∶1,52∶2,53∶1,57∶1,60∶1,63∶1,66,67,81∶1,81∶2,81∶3,83,88,90,105,112,119,122,123,144,146,149,150,155,166,168,169,170,171,172,175,176,177,178,179,184,185,187,188,190,200,202,206,207,208,209,210,216,220,224,226,242,246,254,255,264,269,270,272,279,291,294(呫吨系,organo ultramarine:有机群青,bluish red:蓝红),295(单偶氮系),296(二偶氮系),297(氨基酮系)等红色颜料。
[0228]
c.i.pigment green(颜料绿)7,10,36,37,58,59,62,63,64(酞菁系),65(酞菁系),66(酞菁系)等绿色颜料。
[0229]
c.i.pigment vjolet(颜料紫)1,19,23,27,32,37,42,60(三芳基甲烷系),61(呫吨系)等紫色颜料。
[0230]
c.i.pigment blue(颜料蓝)1,2,15,15∶1,15∶2,15∶3,15∶4,15∶6,16,22,29,60,64,66,79,80,87(单偶氮系),88(次甲基系)等蓝色颜料。
[0231]
并且,作为绿色色料,还能够使用一个分子中的卤原子数为平均10~14个,溴原子数为平均8~12个,氯原子数为平均2~5个的卤化锌酞菁颜料。作为具体例,可以举出国际公开第2015/118720号中所记载的化合物。并且,作为绿色色料,也能够使用中国专利申请第106909027号说明书中所记载的化合物、国际公开第2012/102395号中所记载的具有磷酸酯作为配体的酞菁化合物、日本特开2019-008014号公报中所记载的酞菁化合物、日本特开2018-180023号公报中所记载的酞菁化合物、日本特开2019-038958号公报中所记载的化合物等。
[0232]
并且,作为蓝色色料,也能够使用具有磷原子的铝酞菁化合物。作为具体例,可以举出日本特开2012-247591号公报的0022~0030段落号、日本特开2011-157478号公报的0047段落号中所记载的化合物。
[0233]
并且,作为黄色色料,也能够使用下述结构的偶氮巴比土酸镍络合物。
[0234]
[化学式24]
[0235][0236]
并且,作为黄色色料,也能够使用日本特开2017-201003号公报中所记载的化合物、日本特开2017-197719号公报中所记载的化合物、日本特开2017-171912号公报的0011~0062段落号、0137~0276段落号中所记载的化合物、日本特开2017-171913号公报的0010~0062段落号、0138~0295段落号中所记载的化合物、日本特开2017-171914号公报的0011~0062段落号、0139~0190段落号中所记载的化合物、日本特开2017-171915号公报的0010~0065段落号、0142~0222段落号中所记载的化合物、日本特开2013-054339号公报的0011~0034段落号中所记载的喹酞酮化合物、日本特开2014-026228号公报的0013~0058段落号中所记载的喹酞酮化合物、日本特开2018-062644号公报中所记载的异吲哚啉化合物、日本特开2018-203798号公报中所记载的喹酞酮化合物、日本特开2018-062578号公报中所记载的喹酞酮化合物、日本专利第6432076号公报中所记载的喹酞酮化合物、日本特开2018-155881号公报中所记载的喹酞酮化合物、日本特开2018-111757号公报中所记载的喹酞酮化合物、日本特开2018-040835号公报中所记载的喹酞酮化合物、日本特开2017-197640号公报中所记载的喹酞酮化合物、日本特开2016-145282号公报中所记载的喹酞酮化合物、日本特开2014-085565号公报中所记载的喹酞酮化合物、日本特开2014-021139号公报中所记载的喹酞酮化合物、日本特开2013-209614号公报中所记载的喹酞酮化合物、日本特开2013-209435号公报中所记载的喹酞酮化合物、日本特开2013-181015号公报中所记载的喹酞酮化合物、日本特开2013-061622号公报中所记载的喹酞酮化合物、日本特开2013-032486号公报中所记载的喹酞酮化合物、日本特开2012-226110号公报中所记载的喹酞酮化合物、日本特开2008-074987号公报中所记载的喹酞酮化合物、日本特开2008-081565号公报中所记载的喹酞酮化合物、日本特开2008-074986号公报中所记载的喹酞酮化合物、日本特开2008-074985号公报中所记载的喹酞酮化合物、日本特开2008-050420号公报中所记载的喹酞酮化合物、日本特开2008-031281号公报中所记载的喹酞酮化合物、日本专利公开昭48-032765号公报中所记载的喹酞酮化合物、日本特开2019-008014号公报中所记载的喹酞酮化合物、日本专利第6607427号公报中所记载的喹酞酮化合物、日本特开2019-073695号公报中所记载的次甲基染料、日本特开2019-073696号公报中所记载的次甲基染料、日本特开2019-073697号公报中所记载的次甲基染料、日本特开2019-073698号公报中所记载的次甲基染料、韩国公开专利第10-2014-0034963号公报中所记载的化合物、日本特开2017-095706号公报中所记载的化合物、中国台湾地区专利申请公开第201920495号公报中所记
载的化合物、日本专利第6607427号公报中所记载的化合物、日本特开2020-033521号公报中所记载的喹酞酮二聚体。并且,从提高色值的观点出发,也可优选地使用对这些化合物进行多聚体化的物质。并且,也能够使用由下述式(qp1)表示的化合物及由下述式(qp2)表示的化合物。
[0237]
[化学式25]
[0238][0239]
式(qp1)中,x1~x
16
各自独立地表示氢原子或卤原子,z1表示碳原子数1~3的亚烷基。作为由式(qp1)表示的化合物的具体例,可以举出日本专利第6443711号公报的0016段落号中所记载的化合物。
[0240]
[化学式26]
[0241][0242]
式(qp2)中,y1~y3分别独立地表示卤原子。n、m表示0~6的整数,p表示0~5的整数。(n+m)为1以上。作为由式(qp2)表示的化合物的具体例,可以举出日本专利6432077号公
报的0047~0048段落号中所记载的化合物。
[0243]
作为红色色料,也能够使用日本特开2017-201384号公报中所记载的在结构中至少1个溴原子被取代的二酮吡咯并吡咯化合物、日本专利第6248838号的0016~0022段落号中所记载的二酮吡咯并吡咯化合物、国际公开第2012/102399号中所记载的二酮吡咯并吡咯化合物、国际公开第2012/117965号中所记载的二酮吡咯并吡咯化合物、日本特开2012-229344号公报中所记载的萘酚偶氮化合物、日本专利第6516119号公报中所记载的红色色料、日本专利第6525101号公报中所记载的红色色料等。并且,作为红色颜料,也能够使用具有引入有氧原子、硫原子或氮原子键合于芳香族环而得的基团的芳香族环基键合于二酮吡咯并吡咯骨架而成的结构的化合物。
[0244]
并且,作为色料也能够使用日本特表2020-504758号公报中所记载的二芳基甲烷化合物。
[0245]
关于各种颜料所具有的优选的衍射角,能够参考日本专利第6561862号公报、日本专利第6413872号公报、日本专利第6281345号公报、日本特开2020-026503号公报的记载,这些内容被编入本说明书中。
[0246]
并且,作为彩色色料,也能够使用染料。作为染料并没有特别限制,能够使用公知的染料。例如可以举出吡唑偶氮化合物、苯胺偶氮化合物、三芳基甲烷化合物、蒽醌化合物、蒽吡啶酮化合物、亚苄基化合物、氧杂菁化合物、吡唑并三唑偶氮化合物、吡啶酮偶氮化合物、花青化合物、吩噻嗪化合物、吡咯并吡唑偶氮甲碱基化合物、呫吨化合物、酞菁化合物、苯并吡喃化合物、靛蓝化合物、吡咯亚甲基化合物。并且,作为染料,也能够使用色素多聚体。色素多聚体在一分子中具有2个以上的色素结构,优选具有3个以上的色素结构。上限并无特别限定,但也能够设在100以下。在一分子中具有的多个色素结构可以为相同的色素结构,也可以为不同的色素结构。色素多聚体的重均分子量(mw)优选为2000~50000。下限更优选为3000以上,进一步优选为6000以上。上限更优选为30000以下,进一步优选为20000以下。色素多聚体也能够使用日本特开2011-213925号公报、日本特开2013-041097号公报、日本特开2015-028144号公报、日本特开2015-030742号公报、日本特开2016-102191号公报、国际公开第2016/031442号等中所记载的化合物。
[0247]
彩色色料也可以组合2种以上来使用。例如,可以以c.i.pigment green7与c.i.pigment green36、c.i.pigment yellow139及c.i.pigment yellow185的组合形成绿色,也可以以c.i.pigment green58、c.i.pigment yellow150及c.i.pigment yellow185的组合形成绿色。
[0248]
并且,彩色色料组合2种以上来使用时,也可以以2种以上的彩色色料的组合来形成黑色。作为这种组合,例如可以举出以下(1)~(7)的方式。在树脂组合物包含2种以上的彩色色料,且以2种以上的彩色色料的组合呈现黑色的情况下,能够通过使用这种树脂组合物形成近红外线透过滤波器。
[0249]
(1)含有红色色料和蓝色色料的方式。
[0250]
(2)含有红色色料、蓝色色料及黄色色料的方式。
[0251]
(3)含有红色色料、蓝色色料、黄色色料及紫色色料的方式。
[0252]
(4)含有红色色料、蓝色色料、黄色色料、紫色色料及绿色色料的方式。
[0253]
(5)含有红色色料、蓝色色料、黄色色料及绿色色料的方式。
[0254]
(6)含有红色色料、蓝色色料及绿色色料的方式。
[0255]
(7)含有黄色色料和紫色色料的方式。
[0256]
(白色色料)
[0257]
作为白色色料,可以举出氧化钛、钛酸锶、钛酸钡、氧化锌、氧化镁、氧化锆、氧化铝、硫酸钡、二氧化硅、滑石、云母、氢氧化铝、硅酸钙、硅酸铝、中空树脂粒子、硫化锌等无机颜料(白色颜料)。白色颜料优选为具有钛原子的粒子,更优选为氧化钛。并且,白色颜料优选为相对于波长589nm的光的折射率为2.10以上的粒子。上述折射率优选为2.10~3.00,优选为2.50~2.75。
[0258]
并且,白色颜料也能够使用“氧化钛物性与应用技术清野学著13~45页1991年6月25日发行、技报堂出版发行”中所记载的氧化钛。
[0259]
白色颜料不仅可以使用由单一无机物构成的颜料,也可以使用与其他原材料复合而成的粒子。例如优选使用在内部具有空孔或其他原材料的粒子、在芯粒子中附着有多个无机粒子的粒子、由包括聚合物粒子的芯粒子及包括无机纳米微粒子的壳质层构成的芯及核复合粒子。作为由包括上述聚合物粒子的芯粒子及包括无机纳米微粒子的壳质层构成的芯及核复合粒子,例如能够参考日本特开2015-047520号公报的0012~0042段落号的记载,该内容被编入本说明书中。
[0260]
白色颜料也能够使用中空无机粒子。中空无机粒子是指在内部具有空腔的结构的无机粒子,并且是指具有被外殻包围的空腔的无机粒子。作为中空无机粒子,可以举出日本特开2011-075786号公报、国际公开第2013/061621号、日本特开2015-164881号公报等中所记载的中空无机粒子,这些内容被编入本说明书中。
[0261]
(黑色色料)
[0262]
作为黑色色料,并无特别限定,能够使用公知的色料。例如,作为无机黑色色料,可以举出炭黑、钛黑、石墨等,优选为炭黑、钛黑,更优选为钛黑。钛黑是指含有钛原子的黑色粒子,优选为低阶氧化钛或氮氧化钛。以提高分散性、抑制凝聚性等目的,能够根据需要对钛黑的表面进行修饰。例如能够通过氧化硅、氧化钛、氧化锗、氧化铝、氧化镁或氧化锆来包覆钛黑的表面。并且,也能够通过使用如日本特开2007-302836号公报中所示的防水性物质进行处理。作为黑色色料,可以举出比色指数(c.i.)pigment black 1,7等。关于钛黑,优选为每个粒子的一次粒径及平均一次粒径均较小。具体而言,平均一次粒径优选为10~45nm。钛黑也能够用作分散物。例如可以举出含有钛黑粒子及二氧化硅粒子并且分散物中的si原子与ti原子的含有比调整在0.20~0.50的范围内的分散物等。关于上述分散物,也能够参考日本特开2012-169556号公报的0020~0105段的记载,该内容被编入本说明书中。作为钛黑的市售品的例,可以举出钛黑10s、12s、13r、13m、13m-c、13r-n、13m-t(产品名称:mitsu bishi materials corporation制造)、tilack d(产品名称:ako kasei co.,ltd.制造)等。作为有机黑色色料,可以举出双苯并呋喃酮化合物、偶氮甲碱化合物、苝化合物、偶氮化合物等,优选为双苯并呋喃酮化合物、苝化合物。作为双苯并呋喃酮化合物,可以举出日本特表2010-534726号公报、日本特表2012-515233号公报、日本特表2012-515234号公报、国际公开第2014/208348号、日本特表2015-525260号公报等中所记载的化合物,例如能够采用basf se制的“irgaphor black”。作为苝化合物,可以举出c.i.颜料黑(pigment black)31、32。作为偶氮甲碱化合物,可以举出日本特开平01-170601号公报、日本特开平02-034664号
公报等中所记载的化合物,例如能够采用dain ichiseika color&chemicals mfg.co.,ltd.制的“chromo fine black a1103”。并且,作为有机黑色色料,可以使用日本特开2017-226821号公报的0016~0020段中所记载的苝黑(lumogen black fk4280等)。
[0263]
(近红外线吸收色料)
[0264]
近红外线吸收色料优选为颜料,更优选为有机颜料。并且,近红外线吸收颜料优选为在波长超过700nm且1400nm以下的范围内具有极大吸收波长的化合物。并且,近红外线吸收色料的极大吸收波长优选为1200nm以下,更优选为1000nm以下,进一步优选为950nm以下。并且,近红外线吸收色料为波长550nm下的吸光度a
550
与极大吸收波长下的吸光度a
max
之比即a
550
/a
max
优选为0.1以下,更优选为0.05以下,进一步优选为0.03以下,尤其优选为0.02以下。下限并无特别限定,例如能够设为0.0001以上,也能够设为0.0005以上。若上述吸光度的比为上述范围,则能够制得可见透明性及近红外线屏蔽性优异的近红外线吸收色料。另外,在近红外线吸收色料的极大吸收波长及各波长下的吸光度的值为根据使用包含近红外线吸收色料的感光性组合物而形成的膜的吸收光谱求出的值。
[0265]
作为近红外线吸收色料,并无特别限定,可以举出吡咯并吡咯化合物、花青化合物、方酸化合物、酞菁化合物、萘酞菁化合物、夸特锐烯化合物、部花青化合物、克酮酸化合物、氧杂菁化合物、亚胺化合物、二硫醇化合物、三芳基甲烷化合物、吡咯亚甲基化合物、偶氮甲碱基化合物、蒽醌化合物、二苯并呋喃酮化合物、二硫烯金属络合物等。作为吡咯并吡咯化合物,可以举出日本特开2009-263614号公报的0016~0058段落号中所记载的化合物、日本特开2011-068731号公报的0037~0052段落号中所记载的化合物、国际公开第2015/166873号的0010~0033段落号中所记载的化合物等。作为方酸化合物,可以举出日本特开2011-208101号公报的0044~0049段落号中所记载的化合物、日本专利第6065169号公报的0060~0061段落号中所记载的化合物、国际公开第2016/181987号的0040段落号中所记载的化合物、日本特开2015-176046号公报中所记载的化合物、国际公开第2016/190162号的0072段落号中所记载的化合物、日本特开2016-074649号公报的0196~0228段落号中所记载的化合物、日本特开2017-067963号公报的0124段落号中所记载的化合物、国际公开第2017/135359号中所记载的化合物、日本特开2017-114956号公报中所记载的化合物、日本专利6197940号公报中所记载的化合物、国际公开第2016/120166号中所记载的化合物等。作为花青化合物,可以举出日本特开2009-108267号公报的0044~0045段落号中所记载的化合物、日本特开2002-194040号公报的0026~0030段落号中所记载的化合物、日本特开2015-172004号公报中所记载的化合物、日本特开2015-172102号公报中所记载的化合物、日本特开2008-088426号公报中所记载的化合物、国际公开第2016/190162号的0090段落号中所记载的化合物、日本特开2017-031394号公报中所记载的化合物等。作为克酮酸化合物,可以举出日本特开2017-082029号公报中所记载的化合物。作为亚胺化合物,例如可以举出日本特表2008-528706号公报中所记载的化合物、日本特开2012-012399号公报中所记载的化合物、日本特开2007-092060号公报中所记载的化合物、国际公开第2018/043564号的0048~0063段落号中所记载的化合物。作为酞菁化合物,可以举出日本特开2012-077153号公报的0093段落号中所记载的化合物、日本特开2006-343631号公报中所记载的酞菁氧钛、日本特开2013-195480号公报的0013~0029段落号中所记载的化合物、日本专利第6081771号公报中所记载的钒酞菁化合物、国际公开第2020/071470号公报中所记载的化合
物。作为萘酞菁化合物,可以举出日本特开2012-077153号公报的0093段落号中所记载的化合物。作为二硫烯金属络合物,可举出日本专利第5733804号公报中所记载的化合物。
[0266]
作为近红外线吸收色料,也能够使用日本特开2017-197437号公报中所记载的方酸化合物、日本特开2017-025311号公报中所记载的方酸化合物、国际公开第2016/154782号中所记载的方酸化合物、日本专利第5884953号公报中所记载的方酸化合物、日本专利第6036689号公报中所记载的方酸化合物、日本专利第5810604号公报中所记载的方酸化合物、国际公开第2017/213047号的0090~0107段落号中所记载的方酸化合物、日本特开2018-054760号公报的0019~0075段落号中所记载的含吡咯环化合物、日本特开2018-040955号公报的0078~0082段落号中所记载的含吡咯环化合物、日本特开2018-002773号公报的0043~0069段落号中所记载的含吡咯环化合物、日本特开2018-041047号公报的0024~0086段落号中所记载的在酰胺α位具有芳香环的方酸化合物、日本特开2017-179131号公报中所记载的酰胺连结型方酸化合物、日本特开2017-141215号公报中所记载的具有吡咯双型方酸骨架或克酮酸骨架的化合物、日本特开2017-082029号公报中所记载的二氢咔唑双型方酸化合物、日本特开2017-068120号公报的0027~0114段落号中所记载的非对称型化合物、日本特开2017-067963号公报中所记载的含吡咯环化合物(咔唑型)、日本专利第6251530号公报中所记载的酞菁化合物、国际公开第2020/071486号中所记载的钒酞菁化合物、国际公开第2020/071470号中所记载的酞菁化合物等。
[0267]
树脂组合物的总固体成分中的色料的含量优选为20~90质量%。下限优选为30质量%以上,更优选为40质量%以上,进一步优选为50质量%以上。上限优选为80质量%以下,更优选为70质量%以下。
[0268]
并且,树脂组合物的总固体成分中的颜料的含量优选为20~90质量%。下限优选为30质量%以上,更优选为40质量%以上,进一步优选为50质量%以上。上限优选为80质量%以下,更优选为70质量%以下。
[0269]
并且,色料中的染料的含量优选为50质量%以下,更优选为40质量%以下,进一步优选为30质量%以下。
[0270]
《颜料衍生物》
[0271]
本发明的树脂组合物优选含有颜料衍生物。作为颜料衍生物,可以举出具有在色素骨架上键合有酸基或碱性基团的结构的化合物。作为构成颜料衍生物的色素骨架,可举出喹啉色素骨架、苯并咪唑酮色素骨架、苯并异吲哚色素骨架、苯并噻唑色素骨架、亚胺色素骨架、方酸色素骨架、克酮酸色素骨架、氧杂菁色素骨架、吡咯并吡咯色素骨架、二酮吡咯并吡咯色素骨架、偶氮色素骨架、次甲基偶氮色素骨架、酞菁色素骨架、萘酞菁色素骨架、蒽醌色素骨架、二蒽醌色素骨架、喹吖啶酮色素骨架、二噁嗪色素骨架、紫环酮色素骨架、苝色素骨架、噻嗪靛蓝色素骨架、硫靛蓝色素骨架、异吲哚啉色素骨架、异吲哚啉酮色素骨架、喹酞酮色素骨架、亚胺色素骨架、二硫醇色素骨架、三芳基甲烷色素骨架、吡咯亚甲基色素骨架等,优选为酞菁色素骨架、二酮吡咯并吡咯色素骨架、吡咯并吡咯色素骨架、苯并异吲哚色素骨架、蒽醌色素骨架、二蒽醌色素骨架、噻嗪靛蓝色素骨架、偶氮色素骨架、喹酞酮色素骨架或喹吖啶酮色素骨架。作为酸基,可以举出磺基、羧基、磷酸基及这些的盐。作为构成盐的原子或原子团,可以举出碱金属离子(li
+
、na
+
、k
+
等)、碱土类金属离子(ca
2+
、mg
2+
等)、铵离子、咪唑鎓离子、吡啶鎓离子、鏻离子等。作为碱性基团,可以举出氨基、吡啶基及其盐、铵
基的盐以及甲基邻苯二甲酰亚胺。作为构成盐的原子或原子团,可以举出氢氧化物离子、卤素离子、羧酸离子、磺酸离子、酚盐离子等。
[0272]
作为颜料衍生物,也能够含有可见透明性优异的颜料衍生物(以下,也称为透明颜料衍生物)。透明颜料衍生物在400~700nm的波长区域内的摩尔吸光系数的最大值(εmax)优选为3000l
·
mol-1
·
cm-1
以下,更优选为1000l
·
mol-1
·
cm-1
以下,进一步优选为100l
·
mol-1
·
cm-1
以下。εmax的下限例如为1l
·
mol-1
·
cm-1
以上,也可以为10l
·
mol-1
·
cm-1
以上。
[0273]
作为颜料衍生物的具体例,可以举出后述的实施例中所记载的化合物、日本特开昭56-118462号公报、日本特开昭63-264674号公报、日本特开平01-217077号公报、日本特开平03-009961号公报、日本特开平03-026767号公报、日本特开平03-153780号公报、日本特开平03-045662号公报、日本特开平04-285669号公报、日本特开平06-145546号公报、日本特开平06-212088号公报、日本特开平06-240158号公报、日本特开平10-030063号公报、日本特开平10-195326号公报、国际公开第2011/024896号的0086~0098段落号、国际公开第2012/102399号的0063~0094段落号、国际公开第2017/038252号的0082段落号、日本特开2015-151530号公报的0171段落号、日本特开2011-252065号公报的0162~0183段落号、日本特开2003-081972号公报、日本专利第5299151号公报、日本特开2015-172732号公报、日本特开2014-199308号公报、日本特开2014-085562号公报、日本特开2014-035351号公报、日本特开2008-081565号公报中所记载的化合物。
[0274]
树脂组合物的总固体成分中的颜料衍生物的含量优选为0.3~20质量%。下限优选为0.6质量%以上,更优选为0.9质量%以上。上限优选为15质量%以下,更优选为12.5质量%以下,进一步优选为10质量%以下。并且,颜料衍生物的含量相对于100质量份的颜料优选为1~30质量份。下限优选为2质量份以上,更优选为3质量份以上。上限优选为25质量份以下,更优选为20质量份以下,进一步优选为15质量%以下。在本发明的树脂组合物中,颜料衍生物可以仅使用1种,也可以同时使用2种以上。在同时使用2种以上的情况下,优选为这些的总量在上述范围内。
[0275]
《特定胺化合物》
[0276]
本发明的树脂组合物也能够含有在1个分子中包含3个以上碱性基团,胺值为2.7mmol/g以上,且分子量为100以上的化合物(以下,也称为特定胺化合物)。
[0277]
特定胺化合物的分子量优选为200以上,更优选为250以上。上限优选为100000以下,更优选为50000以下,进一步优选为10000以下,尤其优选为2000以下。另外,关于特定胺化合物的分子量的值,在能够由结构式计算分子量的情况下,特定胺化合物的分子量为由结构式计算出的值。另一方面,在特定胺化合物的分子量无法由结构式计算或者难以计算的情况下,使用由沸点升高法所测量的数均分子量的值。并且,在即使由沸点升高法也无法测量或者难以测量的情况下,使用由粘度法所测量的数均分子量的值。并且,在即使由粘度法也无法测量或者难以用粘度法测量的情况下,使用通过gpc(凝胶渗透色谱)法所测量的聚苯乙烯换算值中的数均分子量的值。
[0278]
特定胺化合物的胺值优选为5mmol/g以上,更优选为10mmol/g以上,进一步优选为15mmol/g以上。
[0279]
特定胺化合物中所包含的碱性基团的个数优选为4个以上,更优选为6个以上,进一步优选为10个以上。
[0280]
特定胺化合物所具有的碱性基团优选为氨基。并且,特定胺化合物优选为具有伯氨基的化合物,更优选为分别包含伯氨基及叔氨基的化合物,进一步优选为分别包含伯氨基、仲氨基及叔氨基的化合物。
[0281]
并且,特定胺化合物所具有的氨基可以为环状氨基。环状氨基可以为如哌啶基等的脂肪族环状氨基,也可以为如吡啶基等的芳香族环状氨基。环状氨基优选为具有5元环或6元环结构的环状氨基,更优选为具有6元环结构的环状氨基,进一步优选为具有6元环结构的脂肪族环状氨基。环状氨基优选具有受阻胺结构,尤其优选具有6元环受阻胺结构。作为受阻胺结构,优选在与环状氨基的氮原子相邻的环结构中的2个碳原子上具有烷基等取代基。作为具有受阻胺结构的环状氨基,例如可以举出1,2,2,6,6-五甲基哌啶基、2,2,6,6-四甲基哌啶基、1,2,6,6-三甲基哌啶基、2,6-二甲基哌啶基、1-甲基-2,6-二(叔丁基)哌啶基、2,6-二(叔丁基)哌啶基、1,2,2,5,5-五甲基吡咯烷基、2,2,5,5-四甲基吡咯烷基等。其中,优选为1,2,2,6,6-五甲基哌啶基或2,2,6,6-四甲基哌啶基,更优选为1,2,2,6,6-五甲基哌啶基。
[0282]
作为特定胺化合物,从能够更加提高树脂组合物的保存稳定性之类的理由出发,优选为聚亚烷基亚胺。聚亚烷基亚胺是指开环聚合亚烷基亚胺的聚合物,且为具有分别包含伯氨基、仲氨基及叔氨基的支链结构的聚合物。亚烷基亚胺的碳原子数优选为2~6,更优选为2~4,进一步优选为2或3,尤其优选为2。作为亚烷基亚胺的具体例,可以举出乙烯亚胺、丙烯亚胺、1,2-丁烯亚胺、2,3-丁烯亚胺等,优选为乙烯亚胺或丙烯亚胺,更优选为乙烯亚胺。聚亚烷基亚胺尤其优选为聚乙烯亚胺。并且,聚乙烯亚胺相对于伯氨基、仲氨基及叔氨基的合计,优选包含10摩尔%以上,更优选包含20摩尔%以上,进一步优选包含30摩尔%以上。作为聚乙烯亚胺的市售品,可以举出epomin sp-003、sp-006、sp-012、sp-018、sp-200、p-1000(以上,nippon shokubai co.,ltd.制造)等。
[0283]
树脂组合物的总固体成分中的特定胺化合物的含量优选为0.1~5质量%。下限优选为0.2质量%以上,更优选为0.5质量%以上,进一步优选为1质量%以上。上限优选为4.5质量%以下,更优选为4质量%以下,进一步优选为3质量%以下。
[0284]
并且,特定胺化合物的含量相对于100质量份的颜料优选为0.5~10质量份。下限优选为0.6质量份以上,更优选为1质量份以上,进一步优选为2质量份以上。上限优选为8质量份以下,更优选为7质量%以下,进一步优选为5质量份以下。
[0285]
并且,特定胺化合物的含量相对于具有酸基的接枝树脂100质量份优选为0.5~50质量份。下限优选为0.6质量份以上,更优选为1质量份以上,进一步优选为3质量份以上。上限优选为45质量份以下,更优选为40质量%以下,进一步优选为30质量份以下。
[0286]
《具有环状醚基的化合物》
[0287]
本发明的树脂组合物能够含有具有环状醚基的化合物。作为环状醚基,可以举出环氧基、氧杂环丁基等。具有环状醚基的化合物优选为具有环氧基的化合物(以下也称为环氧化合物)。作为环氧化合物,也能够使用日本特开2013-011869号公报的0034~0036段落号、日本特开2014-043556号公报的0147~0156段落号、日本特开2014-089408号公报的0085~0092段落号中所记载的化合物、日本特开2017-179172号公报中所记载的化合物。这些内容被编入本说明书中。
[0288]
环氧化合物可以为低分子化合物(例如,分子量小于2000,进而分子量小于1000),
也可以为高分子化合物(macromolecule)(例如,分子量为1000以上,在聚合物的情况下,重均分子量为1000以上)。环氧化合物的重均分子量优选为200~100000,更优选为500~50000。重均分子量的上限优选为10000以下,更优选为5000以下,进一步优选为3000以下。
[0289]
作为环氧化合物,能够优选地使用环氧树脂。作为环氧树脂,例如可以举出作为酚化合物的缩水甘油醚化物的环氧树脂、作为各种酚醛清漆树脂的缩水甘油醚化物的环氧树脂、脂环式环氧树脂、脂肪族系环氧树脂、杂环式环氧树脂、缩水甘油酯系环氧树脂、缩水甘油胺系环氧树脂、对卤化酚类进行缩水甘油化的环氧树脂、具有环氧基的硅化合物与其以外的硅化合物的缩合物、具有环氧基的聚合性不饱和化合物与其以外的其他聚合性不饱和化合物的共聚物等。环氧树脂的环氧当量优选为310~3300g/eq,更优选为310~1700g/eq,进一步优选为310~1000g/eq。
[0290]
作为具有环状醚基的化合物的市售品,例如可以举出ehpe3150(daicel corporation.制造)、epiclon n-695(dic corporation制造)、marproof g-0150m、g-0105sa、g-0130sp、g-0250sp、g-1005s、g-1005sa、g-1010s、g-2050m、g-01100、g-01758(以上,nof corporation制造、含有环氧基的聚合物)等。
[0291]
在树脂组合物的总固体成分中的具有环状醚基的化合物的含量优选为0.1~20质量%。下限例如优选为0.5质量%以上,更优选为1质量%以上。上限例如优选为15质量%以下,进一步优选为10质量%以下。具有环状醚基的化合物可以仅为1种,也可以为2种以上。在为2种以上的情况下,优选为这些的总量成为上述范围。
[0292]
《有机溶剂》
[0293]
本发明的树脂组合物含有有机溶剂。作为有机溶剂,可以举出酯系溶剂、酮系溶剂、醇系溶剂、酰胺系溶剂、醚系溶剂、烃系溶剂等。关于这些的详细内容,能够参考国际公开第2015/166779号的0223段落号,且该内容被编入本说明书中。并且,也能够优选地使用环状烷基经取代的酯系溶剂、环状烷基经取代的酮系溶剂。作为有机溶剂的具体例,可举出聚乙二醇单甲基醚、二氯甲烷、3-乙氧基丙酸甲酯、3-乙氧基丙酸乙酯、乙基溶纤剂乙酸酯、乳酸乙酯、二乙二醇二甲醚、乙酸丁酯、3-甲氧基丙酸甲酯、2-庚酮、3-戊酮、4-庚酮、环己酮、2-甲基环己酮、3-甲基环己酮、4-甲基环己酮、环庚酮、环辛酮、乙酸环己酯、环戊酮、乙基卡必醇乙酸酯、丁基卡必醇乙酸酯、丙二醇单甲醚、丙二醇单甲醚乙酸酯、3-甲氧基-n,n-二甲基丙酰胺、3-丁氧基-n,n-二甲基丙酰胺、丙二醇二乙酸酯、3-甲氧基丁醇、甲基乙基酮、γ-丁内酯、环丁砜、苯甲醚、1,4-二乙酰氧基丁烷、二乙二醇单乙醚乙酸脂、1,3-丁二醇二乙酸酯、二丙二醇甲基醚乙酸酯、二丙酮醇等。但是,有时出于环境方面等理由,优选减少作为有机溶剂的芳香族烃类(苯、甲苯、二甲苯、乙苯等)(例如,相对于有机溶剂总量,能够设为50质量ppm(百万分率(parts per million))以下,也能够设为10质量ppm以下,也能够设为1质量ppm以下)。
[0294]
本发明中,优选使用金属含量少的有机溶剂,有机溶剂的金属含量例如优选为10质量ppb(十亿分率(parts per billion))以下。根据需要,可以使用质量ppt(兆分之一(parts per trillion))级别的有机溶剂,这种有机溶剂,例如由toyo gosei co.,ltd.提供(化学工业日报、2015年11月13日)。
[0295]
作为从有机溶剂中去除金属等杂质的方法,例如,能够举出蒸馏(分子蒸馏或薄膜蒸馏等)或使用过滤器进行的过滤。作为过滤中所使用的过滤器的过滤器孔径,优选为10μm
以下,更优选为5μm以下,进一步优选为3μm以下。过滤器的材质优选为聚四氟乙烯、聚乙烯或尼龙。
[0296]
有机溶剂可以包含异构体(虽然原子数相同,但是结构不同的化合物)。并且,异构体可以仅包含1种,也可以包含多种。
[0297]
有机溶剂中的过氧化物的含有率优选为0.8mmol/l以下,更优选实质上不包含过氧化物。
[0298]
树脂组合物中的有机溶剂的含量优选为10~95质量%,更优选为20~90质量%,进一步优选为30~90质量%。
[0299]
并且,从环境限制的观点出发,本发明的树脂组合物优选实质上不含有环境限制物质。另外,在本发明中,实质上不含有环境限制物质是指,树脂组合物中的环境限制物质的含量为50质量ppm以下,优选为30质量ppm以下,进一步优选为10质量ppm以下,尤其优选为1质量ppm以下。环境限制物质例如可以举出苯;甲苯、二甲苯等烷基苯类;氯苯等卤化苯类等。这些在reach(registration evaluation authorization and restrjction of chemicals)规则、prtr(pollutant release and transfer register)法、voc(volatile organic compounds)限制等的基础下,作为环境限制物质登录,来严格限制使用量或操作方法。这些化合物在制造使用于树脂组合物的各成分等时有时用作溶剂,有时作为残留溶剂混入于树脂组合物中。从对人类的安全性、且顾及环境的观点出发,优选尽可能减少这些物质。作为减少环境限制物质的方法,可以举出加热或减压系统内部,设为环境限制物质的沸点以上,从系统内部蒸馏去除环境限制物质而减少的方法。并且,在蒸馏去除少量的环境限制物质的情况下,为了提高效率,和与该溶剂具有相同沸点的溶剂共沸也是有用。并且,在含有具有自由基聚合性的化合物的情况下,为了抑制自由基聚合反应在减压且蒸馏去除的过程中进行而在分子之间发生交联,可以添加聚合抑制剂等来进行减压且蒸馏去除。这些蒸馏去除方法在原料阶段、使原料反应的产物(例如聚合之后的树脂溶液或多官能单体溶液)阶段或混合这些化合物来制作而成的树脂组合物阶段等任一阶段均能够进行。
[0300]
《固化促进剂》
[0301]
本发明的树脂组合物可以包含固化促进剂。作为固化促进剂,可以举出硫醇化合物、羟甲基化合物、胺化合物、鏻盐化合物、脒盐化合物、酰胺化合物、碱产生剂、异氰酸酯化合物、烷氧基硅烷化合物、鎓盐化合物等。作为固化促进剂的具体例,可以举出国际公开第2018/056189号的0094~0097段落号中所记载的化合物、日本特开2015-034963号公报的0246~0253段落号中所记载的化合物、日本特开2013-041165号公报的0186~0251段落号中所记载的化合物、日本特开2014-055114号公报中所记载的离子性化合物、日本特开2012-150180号公报的0071~0080段落号中所记载的化合物、日本特开2011-253054号公报中所记载的具有环氧基的烷氧基硅烷化合物、日本专利第5765059号公报的0085~0092段落号中所记载的化合物、日本特开2017-036379号公报中所记载的含羧基环氧固化剂等。在含有固化促进剂的情况下,树脂组合物的总固体成分中的固化促进剂的含量优选为0.3~8.9质量%,更优选为0.8~6.4质量%。
[0302]
《紫外线吸收剂》
[0303]
本发明的树脂组合物能够含有紫外线吸收剂。紫外线吸收剂能够使用共轭二烯化合物、氨基二烯化合物、水杨酸酯化合物、二苯甲酮化合物、苯并三唑化合物、丙烯腈化合
物、羟苯基三嗪化合物、吲哚化合物、三嗪化合物等。关于这些的详细内容,具体可举出日本特开2012-208374号公报的0052~0072段落号、日本特开2013-068814号公报的0317~0334段落号、日本特开2016-162946号公报的0061~0080段落号中所记载的化合物,且这些内容被编入本说明书中。作为紫外线吸收剂的市售品,可举出uv-503(daito chemical co.,ltd.制造)等。并且,作为苯并三唑化合物,可以举出miyoshi oil&fat co.,ltd.制造的myua系列(化学工业日报、2016年2月1日)。并且,紫外线吸收剂也能够使用日本专利第6268967号公报的0049~0059段落号中所记载的化合物。在树脂组合物的总固体成分中,紫外线吸收剂的含量优选为0.01~10质量%,更优选为0.01~5质量%。在本发明的树脂组合物中,紫外线吸收剂可以仅使用1种,也可以使用2种以上。在使用2种以上的情况下,优选为这些的总量成为上述范围。
[0304]
《抗氧化剂》
[0305]
本发明的树脂组合物能够含有抗氧化剂。作为抗氧化剂,可以举出酚化合物、磷酸酯化合物、硫醚化合物等。作为酚化合物,能够使用被称作酚系抗氧化剂的任意的酚化合物。作为优选的酚化合物,可以举出受阻酚化合物。优选为在与酚性羟基相邻的部位(邻位)具有取代基的化合物。作为上述取代基,优选为碳原子数1~22的经取代或未经取代的烷基。并且,抗氧化剂也优选在同一分子内具有酚基和磷酸酯基的化合物。并且,抗氧化剂也能够优选地使用磷系抗氧化剂。并且,抗氧化剂也能够使用韩国公开专利第10-2019-0059371号公报中所记载的化合物。树脂组合物的总固体成分中的抗氧化剂的含量优选为0.01~20质量%,更优选为0.3~15质量%。抗氧化剂可以仅使用1种,也可以使用2种以上。在使用2种以上的情况下,优选为总量成为上述范围。
[0306]
《聚合抑制剂》
[0307]
本发明的树脂组合物能够含有聚合抑制剂。作为聚合抑制剂,可以举出对苯二酚、对甲氧基苯酚、二叔丁基对甲酚、邻苯三酚、叔丁基邻苯二酚、苯醌、4,4
’‑
硫代双(3-甲基-6-叔丁基苯酚)、2,2
’‑
亚甲基双(4-甲基-6-叔丁基苯酚)、n-亚硝基苯基羟胺盐(铵盐、亚铈盐等)。其中,优选为对甲氧基苯酚。在含有聚合抑制剂的情况下,树脂组合物的总固体成分中的聚合抑制剂的含量优选为0.0001~5质量%。聚合抑制剂可以仅为1种,也可以为2种以上。在2种以上的情况下,优选为总量在上述范围内。
[0308]
《硅烷偶联剂》
[0309]
本发明的树脂组合物能够含有硅烷偶联剂。本发明中,硅烷偶联剂是指具有水解性基团和除其以外的官能团的硅烷化合物。并且,水解性基团是指与硅原子直接键合,并通过水解反应及稠合反应中的至少一种而可产生硅氧烷键的取代基。作为水解性基团,例如可以举出卤原子、烷氧基、酰氧基等,优选为烷氧基。即,硅烷偶联剂优选为具有烷氧基甲硅烷基的化合物。并且,作为除了水解性基团以外的官能团,例如可以举出乙烯基、(甲基)烯丙基、(甲基)丙烯酰基、巯基、环氧基、氧杂环丁基、氨基、脲基、硫醚基、异氰酸酯基、苯基等,优选为氨基、(甲基)丙烯酰基及环氧基。作为硅烷偶联剂的具体例,为n-β-氨乙基-γ-氨丙基甲基二甲氧基硅烷(shin-etsu chemical co.,ltd.制造、产品名称kbm-602)、n-β-氨乙基-γ-氨基丙基三甲氧基硅烷(shin-etsu chemical co.,ltd.制造、产品名称kbm-603)、n-β-氨乙基-γ-氨基丙基三乙氧基硅烷(shin-etsu chemical co.,ltd.制造、产品名称kbe-602)、γ-氨基丙基三甲氧基硅烷(shin-etsu chemical co.,ltd.制造、产品名称
k bm-903)、γ-氨基丙基三乙氧基硅烷(shin-etsu chemical co.,ltd.制造、产品名称kbe-903)、3-甲基丙烯酰氧基丙基甲基二甲氧基硅烷(shin-etsu chemical co.,ltd.制造、产品名称kbm-502)、3-甲基丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷(shin-etsu chemical co.,ltd.制造、产品名称kbm-503)等。并且,关于硅烷偶联剂的具体例,可以举出日本特开2009-288703号公报的0018~0036段落号中记载的化合物、日本特开2009-242604号公报的0056~0066段落号中记载的化合物,且这些内容被编入本说明书中。在含有硅烷偶联剂的情况下,树脂组合物的总固体成分中的硅烷偶联剂的含量优选为0.01~15.0质量%,更优选为0.05~10.0质量%。硅烷偶联剂可以仅为1种,也可以为2种以上。在2种以上的情况下,优选为总量在上述范围内。
[0310]
《表面活性剂》
[0311]
本发明的树脂组合物能够含有表面活性剂。作为表面活性剂,能够使用氟系表面活性剂、非离子系表面活性剂、阳离子系表面活性剂、阴离子系表面活性剂、硅系表面活性剂等各种表面活性剂。关于表面活性剂,可以举出国际公开第2015/166779号的0238~0245段落号中所记载的表面活性剂,且该内容被编入本说明书中。
[0312]
在本发明中,通过在表面活性剂优选为氟系表面活性剂,树脂组合物中含有氟系表面活性剂,能够进一步提高液特性(尤其流动性),进一步改善省液性。并且,也能够形成厚度不均小的膜。
[0313]
氟系表面活性剂中的含氟率优选为3~40质量%,更优选为5~30质量%,尤其优选为7~25质量%。含氟率在该范围内的氟系表面活性剂在涂布膜的厚度均匀性和省液性方面上有效,在树脂组合物中的溶解性也良好。
[0314]
作为氟系表面活性剂,可以举出日本特开2014-041318号公报的0060~0064段落号(对应的国际公开第2014/017669号的0060~0064段落号)等中所记载的表面活性剂、日本特开2011-132503号公报的0117~0132段落号中所记载的表面活性剂、日本特开2020-008634号公报中所记载的表面活性剂,且这些内容被编入本说明书中。作为氟系表面活性剂的市售品,例如可以举出megaface f-171、f-172、f-173、f-176、f-177、f-141、f-142、f-143、f-144、f-437、f-475、f-477、f-479、f-482、f-554、f-555-a、f-556、f-557、f-558、f-559、f-560、f-561、f-565、f-563、f-568、f-575、f-780、exp、mfs-330、r-41、r-41-lm、r-01、r-40、r-40-lm、rs-43、tf-1956、rs-90、r-94、rs-72-k、ds-21(以上,dic corporation制造)、fluorad fc430、fc431、fc171(以上,sumitomo 3m limited制造)、surflon s-382、sc-101、sc-103、sc-104、sc-105、sc-1068、sc-381、sc-383、s-393、kh-40(以上,agcinc.制造)、polyfox pf636、pf656、pf6320、pf6520、pf7002(以上,omnova solutions inc.制造)、futurgent710fm、610fm、601ad、601adh2、602a、215m、245f(以上,neos co.,ltd制造)等。
[0315]
并且,氟系表面活性剂也能够优选地使用丙烯酸系化合物,该丙烯酸系化合物具备具有含有氟原子的官能团的分子结构且施加热时含有氟原子的官能团部分被切断而氟原子挥发。作为这种氟系表面活性剂,可以举出dic corporation制造的megaface ds系列(化学工业日报(2016年2月22日)日经产业新闻(2016年2月23日)),例如megaface ds-21。
[0316]
并且,氟系表面活性剂也优选使用具有氟化烷基或氟化亚烷基醚基的含氟原子的乙烯醚化合物与亲水性乙烯醚化合物的聚合物。这种氟系表面活性剂能够参考日本特开2016-216602号公报的记载,且该内容被编入本说明书中。
[0317]
氟系表面活性剂也能够使用嵌段聚合物。例如可以举出日本特开2011-089090号公报中所记载的化合物。氟系表面活性剂也能够优选地使用含氟高分子化合物,该含氟高分子化合物包含:源自具有氟原子的(甲基)丙烯酸酯化合物的重复单元;及源自具有2个以上(优选为5个以上)的亚烷氧基(优选为乙烯氧基、丙烯氧基)的(甲基)丙烯酸酯化合物的重复单元。并且,日本特开2010-032698号公报的0016~0037段落号中所记载的含氟表面活性剂或下述化合物也作为在本发明中使用的氟系表面活性剂来例示。
[0318]
[化学式27]
[0319][0320]
上述化合物的重均分子量优选为3000~50000,例如为14000。上述化合物中,表示重复单元的比例的%为摩尔%。
[0321]
并且,氟系表面活性剂也能够使用在侧链上具有含有烯属不饱和键的基团的含氟聚合物。作为具体例,可以举出日本特开2010-164965号公报的0050~0090段落号及0289~0295段落号中所记载的化合物、例如dic corporation co.,ltd.制造的megaface rs-101、rs-102、rs-718k、rs-72-k等。并且,氟系表面活性剂也能够使用日本特开2015-117327号公报的0015~0158段落号中所记载的化合物。
[0322]
作为非离子系表面活性剂,可举出甘油、三羟甲基丙烷、三羟甲基乙烷以及这些的乙氧基化物及丙氧基化物(例如甘油丙氧基化物、甘油乙氧基化物等)、聚氧乙烯月桂基醚、聚氧乙烯硬脂基醚、聚氧乙烯油基醚、聚氧乙烯辛基苯基醚、聚氧乙烯壬基苯基醚、聚乙二醇二月桂酸酯、聚乙二醇二硬脂酸酯、失水山梨糖醇脂肪酸酯、pluronic l10、l31、l61、l62、10r5、17r2、25r2(basf公司制)、tetronic 304、701、704、901、904、150r1(basf公司制)、solsperse 20000(the lubrizol corporation制)、ncw-101、ncw-1001、ncw-1002(fujifilm wako pure chemical corporation制)、pionin d-6112、d-6112-w、d-6315(takemoto oil&fat co.,ltd.制)、olfine e1010、surfynol 104、400、440(nissin chemical co.,ltd.制)等。
[0323]
作为硅系表面活性剂,例如可以举出toray silicone dc3pa、toray sili cone sh7pa、toray silicone dc11pa、toray silicone sh21pa、toray sili cone sh28pa、toray silicone sh29pa、toray silicone sh30pa、toray sil icone sh8400(以上,byk-chemiegmbh制造)、tsf-4440、tsf-4300、tsf-4445、tsf-4460、tsf-4452(以上,momentive performance materials inc.制造)、kp-341、kf-6001、kf-6002(以上,shin-etsu chemical co.,ltd.制造)、byk307、byk323、byk330(以上,byk chemie公司制造)等。
[0324]
在树脂组合物的总固体成分中,表面活性剂的含量优选为0.001质量%~5.0质
量%,更优选为0.005~3.0质量%。在本发明的树脂组合物中,表面活性剂可以仅使用1种,也可以使用2种以上。在使用2种以上的情况下,优选为这些的总量成为上述范围。
[0325]
《其他成分》
[0326]
本发明的树脂组合物可以根据需要含有增感剂、固化促进剂、热固化促进剂、增塑剂及其他助剂类(例如,导电性粒子、填充剂、消泡剂、阻燃剂、流平剂、剥离促进剂、香料、表面张力调整剂、链转移剂等)。能够通过适当地含有这些成分来调节膜物理性质等性质。关于这些成分,例如,能够参考日本特开2012-003225号公报的0183段落号以后(所对应的美国专利申请公开第2013/0034812号说明书的0237段落号)的记载、日本特开2008-250074号公报的0101~0104、0107~0109段落号等的记载,且这些内容被编入本说明书中。并且,本发明的树脂组合物可根据需要含有潜在抗氧化剂。作为潜在抗氧化剂,可以举出作为抗氧化剂发挥功能的部位被保护基保护的化合物,且保护基通过在100~250℃下进行加热或在酸/碱催化剂存在下在80~200℃下进行加热而脱离并作为抗氧化剂发挥功能的化合物。作为潜在抗氧化剂,可以举出国际公开第2014/021023号、国际公开第2017/030005号、日本特开2017-008219号公报中所记载的化合物。作为潜在抗氧化剂市售品,可以举出adeka arkls gp a-5001(adeka corporation制造)等。
[0327]
本发明的树脂组合物可以包含耐光性改进剂。作为耐光性改进剂,可以举出日本特开2017-198787号公报的0036~0037段落号中所记载的化合物、日本特开2017-146350号公报的0029~0034段落号中所记载的化合物、日本特开2017-129774号公报的0036~0037、0049~0052段落号中所记载的化合物、日本特开2017-129674号公报的0031~0034、0058~0059段落号中所记载的化合物、日本特开2017-122803号公报的0036~0037、0051~0054段落号中所记载的化合物、国际公开第2017/164127号的0025~0039段落号中所记载的化合物、日本特开2017-186546号公报的0034~0047段落号中所记载的化合物、日本特开2015-025116号公报的0019~0041段落号中所记载的化合物、日本特开2012-145604号公报的0101~0125段落号中所记载的化合物、日本特开2012-103475号公报的0018~0021段落号中所记载的化合物、日本特开2011-257591号公报的0015~0018段落号中所记载的化合物、日本特开2011-191483号公报的0017~0021段落号中所记载的化合物、日本特开2011-145668号公报的0108~0116段落号中所记载的化合物、日本特开2011-253174号公报的0103~0153段落号中所记载的化合物等。
[0328]
本发明的树脂组合物中,没有与颜料等键合或配位的游离的金属的含量优选为100ppm以下,更优选为50ppm以下,进一步优选为10ppm以下,尤其优选实质上不包含。根据该方式,能够期待颜料分散性的稳定化(抑制凝集)、伴随分散性改进的光谱特性的提高、固化性成分的稳定化、抑制伴随金属原子
·
金属离子的溶出的导电性变动、显示特性的提高等效果。并且,也可得到日本特开2012-153796号公报、日本特开2000-345085号公报、日本特开2005-200560号公报、日本特开平08-043620号公报、日本特开2004-145078号公报、日本特开2014-119487号公报、日本特开2010-083997号公报、日本特开2017-090930号公报、日本特开2018-025612号公报、日本特开2018-025797号公报、日本特开2017-155228号公报、日本特开2018-036521号公报等中所记载的效果。作为上述游离的金属的种类,可以举出na、k、ca、sc、ti、mn、cu、zn、fe、cr、co、mg、al、sn、zr、ga、ge、ag、au、pt、cs、ni、cd、pb、bi等。并且,本发明的树脂组合物中,没有与颜料等键合或配位的游离的卤素的含量优选为
100ppm以下,更优选为50ppm以下,进一步优选为10ppm以下,尤其优选实质上不包含。作为卤素,可以举出f、cl、br、i及这些阴离子。作为树脂组合物中的游离的金属或卤素的减少方法,可以举出基于离子交换水的清洗、过滤、超滤、基于离子交换树脂的纯化等方法。
[0329]
本发明的树脂组合物也优选实质上不包含对苯二甲酸酯。其中,“实质上不包含”是指在树脂组合物的总量中对苯二甲酸酯的含量为1000质量ppb以下,更优选为100质量ppb以下,尤其优选为零。
[0330]
从环境限制的观点出发,有时限制使用全氟烷基磺酸及其盐、以及全氟烷基羧酸及其盐。在本发明的树脂组合物中,在降低上述化合物的含有率的情况下,全氟烷基磺酸(尤其全氟烷基的碳原子数为6~8的全氟烷基磺酸)及其盐、以及全氟烷基羧酸(尤其全氟烷基的碳原子数为6~8的全氟烷基羧酸)及其盐的含有率相对于树脂组合物的总固体成分,优选为0.01ppb~1,000ppb的范围内,更优选为0.05ppb~500ppb的范围内,进一步优选为0.1ppb~300p pb的范围内。本发明的树脂组合物可以实质上不包含全氟烷基磺酸及其盐、以及全氟烷基羧酸及其盐。例如,通过使用能够替换全氟烷基磺酸及其盐的化合物、以及能够替换全氟烷基羧酸及其盐的化合物,可以选择实质上不包含全氟烷基磺酸及其盐、以及全氟烷基羧酸及其盐的树脂组合物。作为能够替换限制化合物的化合物,例如可以举出通过全氟烷基的碳原子数的相异而从限制对象被排除的化合物。但是,上述内容并不妨碍使用全氟烷基磺酸及其盐、以及全氟烷基羧酸及其盐。本发明的树脂组合物可以在所允许的最大范围内,可以包含全氟烷基磺酸及其盐、以及全氟烷基羧酸及其盐。
[0331]
《收容容器》
[0332]
作为树脂组合物的收容容器,并无特别限制,能够使用公知的收容容器。并且,作为收容容器,以抑制杂质混入原材料或树脂组合物中为目的,也优选使用由6种6层的树脂构成容器内壁的多层瓶或将6种树脂设为7层结构的瓶。作为这种容器,例如可以举出日本特开2015-123351号公报中所记载的容器。并且,以防止金属从容器内壁溶出、提高树脂组合物的保存稳定性或抑制成分变质等目的,容器内壁也优选制成玻璃制或不锈钢制等。
[0333]
《树脂组合物的制备方法》
[0334]
本发明的树脂组合物能够通过混合上述成分而制备。制备树脂组合物时,可以将所有成分同时溶解和/或分散于有机溶剂中而制备树脂组合物,也可以根据需要,将各成分适当地作为2个以上的溶液或分散液,并在使用时(涂布时)将这些进行混合而制备树脂组合物。
[0335]
并且,在制备树脂组合物时,优选包含使有机颜料分散的工艺。在使有机颜料分散的工艺中,作为用于有机颜料的分散的机械力,可以举出压缩、压榨、冲击、剪切、气蚀等。作为这些工艺的具体例,可以举出珠磨、砂磨、辊磨、球磨、油漆搅拌、微射流、高速叶轮、混砂、流动喷射混合、高压湿式微粒化、超声波分散等。并且,在砂磨机(珠磨机)中的有机颜料的粉碎中,优选以如下条件进行处理,该条件为通过使用直径小的微珠,且增加微珠的填充率等而提高粉碎效率。并且,优选在粉碎处理后通过过滤、离心分离等而去除粗粒子。并且,关于使有机颜料分散的工艺及分散机,能够优选地使用“分散技术大全集、johokiko co.,ltd.发行,2005年7月15日”或“以悬浮液(固体/液体分散体系)为中心的分散技术与工业上的实际应用综合资料集,经营开发中心出版部发行,1978年10月10日”、日本特开2015-157893号公报的0022段落号中所记载的工艺及分散机。并且,在使有机颜料分散的工序中,
可以通过盐磨工序进行粒子的微细化处理。在盐磨工序中所使用的原材料、设备、处理条件等例如能够参考日本特开2015-194521号公报、日本特开2012-046629号公报的记载。
[0336]
制备树脂组合物时,为了去除异物或减少缺陷等,优选用过滤器过滤树脂组合物。作为过滤器,只要是一直以来用于过滤用途等的过滤器,则能够无特别限制地使用。例如可以举出使用聚四氟乙烯(ptfe)、聚偏二氟乙烯(pvdf)等氟树脂、尼龙(例如尼龙-6、尼龙-6,6)等聚酰胺系树脂、聚乙烯、聚丙烯(pp)等聚烯烃树脂(包含高密度、超高分子量的聚烯烃树脂)等原材料的过滤器。这些原材料中,也优选为聚丙烯(包含高密度聚丙烯)及尼龙。
[0337]
过滤器的孔径优选为0.01~7.0μm,更优选为0.01~3.0μm,进一步优选为0.05~0.5μm。只要过滤器的孔径在上述范围,则能够更可靠地去除微细的异物。关于过滤器的孔径值,能够参考过滤器制造商标称值。关于过滤器,能够使用由nihon pall corporation(dfa4201nxey、dfa4201naey、dfa4201j006p等)、advantec toyo kaisha,ltd.、nihon entegris k.k.(formerly nippon mykrolis corporation)及kitz microfilter corporation等提供的各种过滤器。
[0338]
并且,作为过滤器,也优选使用纤维状的过滤材料。作为纤维状的过滤材料,例如可以举出聚丙烯纤维、尼龙纤维、玻璃纤维等。作为市售品,可以举出roki techno co.,ltd.制造的sbp类型系列(sbp008等)、tpr类型系列(tpr002、tpr005等)、shpx类型系列(shpx003等)。
[0339]
在使用过滤器时,可以组合不同的过滤器(例如,第1过滤器和第2过滤器等)。此时,用各过滤器的过滤可以仅进行1次,也可以进行2次以上。并且,可以在上述范围内组合不同孔径的过滤器。并且,也可以将利用第1过滤器的过滤仅对分散液进行,在混合其他成分之后,用第2过滤器进行过滤。
[0340]
《膜》
[0341]
本发明的膜为由上述本发明的树脂组合物获得的膜。本发明的膜的膜厚能够根据目的而适当地进行调整。例如,膜厚优选为20μm以下,更优选为10μm以下,进一步优选为5μm以下。膜厚的下限优选为0.1μm以上,更优选为0.2μm以上,进一步优选为0.3μm以上。
[0342]
本发明的膜能够用于滤色器、近红外线透过滤波器、近红外线截止滤波器、黑矩阵、遮光膜等。本发明的膜能够优选地用作滤色器的着色像素。作为着色像素,可以举出红色像素、绿色像素、蓝色像素、品红色像素、青色像素、黄色像素等。
[0343]
《膜的制造方法》
[0344]
接着,对本发明的膜的制造方法进行说明。能够经过涂布本发明的树脂组合物的工序来制造本发明的膜。膜的制造方法中,优选还包括形成图案(像素)的工序。作为图案(像素)的形成方法,可以举出光刻法及干式蚀刻法,优选为光刻法。
[0345]
基于光刻法的图案形成优选包括如下工序:使用本发明的树脂组合物在支承体上形成树脂组合物层的工序;将树脂组合物层曝光成图案状的工序;及将树脂组合物层的未曝光部进行显影去除而形成图案(像素)的工序。根据需要,还可以设置对树脂组合物层进行烘烤的工序(预烘烤工序)及对经显影的图案(像素)进行烘烤的工序(后烘烤工序)。
[0346]
形成本发明的树脂组合物层的工序中,使用树脂组合物在支承体上形成树脂组合物层。作为支承体,并无特别限制,能够根据用途而适当选择。例如,可以举出玻璃基板、硅基板等,优选为硅基板。并且,在硅基板上可以形成有电荷耦合元件(ccd)、互补金属氧化膜
半导体(cmos)、透明导电膜等。并且,有时在硅基板上形成有将各像素隔离的黑矩阵(black matrix)。并且,为了改善与上部层的密合性、防止物质的扩散或者基板表面的平坦化,可以在硅基板上设置基底层。用二碘甲烷测量时基底层的表面接触角优选为20~70
°
。并且,用水测量时优选为30~80
°
。若基底层的表面接触角在上述范围内,则树脂组合物的润湿性良好。基底层的表面接触角的调整例如能够通过表面活性剂的添加等方法来进行。
[0347]
作为树脂组合物的涂布方法,能够使用公知的方法。例如,可以举出滴加法(滴铸);狭缝涂布法;喷涂法;辊涂法;旋转涂布法(旋涂);流延涂布法;狭缝旋涂法;预湿法(例如,日本特开2009-145395号公报中所记载的方法);喷墨(例如按需方式、压电方式、热方式)、喷嘴喷射等喷出系印刷、柔版印刷、网版印刷、凹版印刷、反向胶版印刷、金属掩模印刷法等各种印刷法;使用模具等的转印法;纳米压印法等。作为喷墨中的适用方法并没有特别限定,例如可以举出“可推广、使用的喷墨-专利中出现的无限可能性-,2005年2月发行,sumitbe techon research co.,ltd.”所示的方法(尤其第115页~第133页)或日本特开2003-262716号公报、日本特开2003-185831号公报、日本特开2003-261827号公报、日本特开2012-126830号公报、日本特开2006-169325号公报等中所记载的方法。并且,关于树脂组合物的涂布方法,能够参考国际公开第2017/030174号、国际公开第2017/018419号的记载,这些内容被编入本说明书中。
[0348]
形成于支承体上的树脂组合物层可以进行干燥(预烘烤)。在通过低温工艺制造膜的情况下,可以不进行预烘烤。在进行预烘烤的情况下,预烘烤温度优选为150℃以下,更优选为120℃以下,进一步优选为110℃以下。下限例如能够设为50℃以上,也能够设为80℃以上。预烘烤时间优选为10~300秒钟,更优选为40~250秒钟,进一步优选为80~220秒钟。预烘烤能够用加热板、烘箱等来进行。
[0349]
接着,将树脂组合物层曝光成图案状(曝光工序)。例如,使用步进曝光机、扫描曝光机等,隔着具有规定的掩模图案的掩模,对树脂组合物层进行曝光,由此能够曝光成图案状。由此,能够使曝光部分固化。
[0350]
作为能够在曝光时使用的放射线(光),可以举出g射线、i射线等。并且,也能够使用波长300nm以下的光(优选为波长180~300nm的光)。作为波长300nm以下的光,可以举出krf射线(波长248nm)、arf射线(波长193nm)等,优选为krf射线(波长248nm)。并且,也能够利用300nm以上的长波长的光源。
[0351]
并且,在曝光时,可以连续照射光而进行曝光,也可以脉冲照射而进行曝光(脉冲曝光)。另外,脉冲曝光是指在短时间(例如毫秒等级以下)的周期内反复光的照射与暂停来进行曝光的方式的曝光方法。
[0352]
照射量(曝光量)例如优选为0.03~2.5j/cm2,更优选为0.05~1.0j/cm2。关于曝光时的氧浓度,能够适当选择,除在大气下进行以外,例如可以在氧浓度为19体积%以下的低氧环境下(例如,15体积%、5体积%或实质上无氧)下进行曝光,也可以在氧浓度超过21体积%的高氧环境下(例如,22体积%、30体积%或50体积%)下进行曝光。并且,曝光照度能够适当设定,通常能够从1000w/m2~100000w/m2(例如,5000w/m2、15000w/m2或35000w/m2)的范围选择。氧浓度和曝光照度可以适当组合条件,例如能够设为氧浓度10体积%且照度10000w/m2、氧浓度35体积%且照度20000w/m2等。
[0353]
接着,显影去除树脂组合物层的未曝光部分而形成图案(像素)。树脂组合物层的
未曝光部分的显影去除能够使用显影液来进行。由此,曝光工序中的未曝光部分的树脂组合物层溶出于显影液中,仅残留经光固化的部分。显影液的温度例如优选为20~30℃。显影时间优选为20~180秒钟。并且,为了提高残渣去除性,可以反复进行多次每隔60秒钟甩掉显影液进而供给新的显影液的工序。
[0354]
显影液可以举出有机溶剂、碱显影液等,可优选地使用碱显影液。作为碱性显影液,优选为用纯水稀释碱性剂而成的碱性水溶液(碱性显影液)。作为碱剂,例如可以举出氨、乙胺、二乙胺、二甲基乙醇胺、二甘醇胺(diglycol amine)、二乙醇胺、羟胺、乙二胺、四甲基氢氧化铵、四乙基氢氧化铵、四丙基氢氧化铵、四丁基氢氧化铵、氢氧化乙基三甲基铵、苄基三甲基氢氧化铵、二甲基双(2-羟基乙基)氢氧化铵、胆碱、吡咯、哌啶、1,8-二氮杂双环[5.4.0]十一碳-7-烯等有机碱性化合物、或氢氧化钠、氢氧化钾、碳酸钠、碳酸氢钠、硅酸钠、偏硅酸钠等无机碱性化合物。碱剂在环境方面及安全方面而言,优选为分子量较大的化合物。碱性水溶液的碱剂的浓度优选为0.001~10质量%,更优选为0.01~1质量%。并且,显影液可进一步含有表面活性剂。从方便运输或保管等观点出发,显影液可以暂时制造成浓缩液,使用时稀释成所需浓度。稀释倍率并无特别限定,例如能够设定于1.5~100倍的范围。并且,也优选在显影之后用纯水进行清洗(冲洗)。并且,冲洗优选通过旋转已形成有显影后的树脂组合物层的支承体,并且向显影后的树脂组合物层供给冲洗液来进行。并且,也优选通过使吐出冲洗液的喷嘴从支承体的中心部向支承体的周缘部移动来进行。此时,在从喷嘴的支承体中心部向周缘部移动时,可以一边逐渐降低喷嘴的移动速度一边使其移动。通过以这种方式进行冲洗,能够抑制冲洗的面内偏差。并且,通过使喷嘴从支承体中心部向周缘部移动的同时逐渐降低支承体的转速也可获得相同的效果。
[0355]
显影之后,优选实施干燥之后进行追加曝光处理、加热处理(后烘烤)。追加曝光处理、后烘烤为用于制成完全固化的显影后的固化处理。后烘烤中的加热温度例如优选为100~240℃,更优选为200~240℃。能够以成为上述条件的方式,使用加热板或对流恒温烤箱(热风循环式干燥机)、高频加热机等加热机构,以连续式或间歇式对显影后的膜进行后烘烤。在进行追加曝光处理的情况下,用于曝光的光优选为波长400nm以下的光。并且,追加曝光处理可以通过韩国公开专利第10-2017-0122130号公报中所记载的方法进行。
[0356]
基于干式蚀刻法的图案形成优选包括如下工序:使用本发明的树脂组合物在支承体上形成树脂组合物层,并使该整个树脂组合物层固化而形成固化物层的工序;在该固化物层上形成光致抗蚀剂层的工序;将光致抗蚀剂层曝光成图案状之后,进行显影而形成抗蚀剂图案的工序;及将该抗蚀剂图案作为掩模并使用蚀刻气体对固化物层进行干式蚀刻的工序。在形成光致抗蚀剂层时,优选进一步实施预烘烤处理。尤其,作为光致抗蚀剂层的形成工艺,优选为实施曝光后的加热处理、显影后的加热处理(后烘烤处理)的方式。关于利用干式蚀刻法形成图案,能够参考日本特开2013-064993号公报的0010~0067段落号的记载,且该内容被编入本说明书中。
[0357]
《滤光器》
[0358]
本发明的滤光器具有上述的本发明的膜。作为滤光器的种类,可以举出滤色器、近红外线截止滤波器及近红外线透过滤波器等,优选为滤色器。滤色器优选具有本发明的膜作为其像素,更优选具有本发明的膜作为着色像素,进一步优选具有本发明的膜作为绿色像素。
[0359]
滤光器能够用于ccd(电荷耦合元件)和cmos(互补金属氧化膜半导体)等固体摄像元件和图像显示装置等。
[0360]
滤光器中,本发明的膜的膜厚根据目的而能够适当调整。例如,膜厚优选为20μm以下,更优选为10μm以下,进一步优选为5μm以下。膜厚的下限优选为0.1μm以上,更优选为0.2μm以上,进一步优选为0.3μm以上。
[0361]
滤光器中所包含的像素的宽度优选为0.4~10.0μm。下限优选为0.4μm以上,更优选为0.5μm以上,进一步优选为0.6μm以上。上限优选为5.0μm以下,更优选为2.0μm以下,进一步优选为1.0μm以下,更进一步优选为0.8μm以下。并且,像素的杨氏模量优选为0.5~20gpa,更优选为2.5~15gpa。
[0362]
滤光器中所包含的各像素优选具有高平坦性。具体而言,像素的表面粗糙度ra优选为100nm以下,更优选为40nm以下,进一步优选为15nm以下。下限并无规定,但例如,优选为0.1nm以上。关于像素的表面粗糙度,例如能够使用veeco公司制造的afm(原子力显微镜)dimension3100来进行测量。并且,像素上的水接触角能够适当设定优选的值,典型地为50~110
°
的范围。接触角例如能够使用接触角仪cv-dt a型(kyowa interface science co.,ltd.制造)来进行测量。并且,像素的体积电阻值优选为高。具体而言,像素的体积电阻值优选为109ω
·
cm以上,更优选为10
11
ω
·
cm以上。上限并无规定,例如,优选为10
14
ω
·
cm以下。像素的体积电阻值能够使用超高电阻计5410(advantest corporation制造)来进行测量。
[0363]
在滤光器中,也可以在本发明的膜的表面设置保护层。通过设置保护层,能够赋予阻氧化、低反射化、亲疏水化、特定波长的光(紫外线、近红外线等)的屏蔽等各种作用。作为保护层的厚度,优选为0.01~10μm,更优选为0.1~5μm。作为保护层的形成方法,可以举出涂布保护层形成用树脂组合物而形成的方法、化学气相沉积法、用粘接材料贴付所成型的树脂的方法等。作为构成保护层的成分,可以举出(甲基)丙烯酸树脂、烯-硫醇树脂、聚碳酸酯树脂、聚醚树脂、聚芳酯树脂、聚砜树脂、聚醚砜树脂、聚亚苯基树脂、聚亚芳基醚氧化膦树脂、聚酰亚胺树脂、聚酰胺酰亚胺树脂、聚烯烃树脂、环状烯烃树脂、聚酯树脂、苯乙烯树脂、多元醇树脂、聚偏二氯乙烯树脂、三聚氰胺树脂、聚氨酯树脂、聚芳酰胺树脂、聚酰胺树脂、醇酸树脂、环氧树脂、改质硅酮树脂、氟树脂、聚碳酸酯树脂、聚丙烯腈树脂、纤维素树脂、si、c、w、al2o3、mo、sio2、si2n4等,可以含有两种以上的这些成分。例如,在用于阻氧化的保护层的情况下,保护层优选包含多元醇树脂、sio2及si2n4。并且,在用于低反射化的保护层的情况下,保护层优选包含(甲基)丙烯酸树脂和氟树脂。
[0364]
根据需要,保护层还可以含有有机-无机微粒子、特定波长的光(例如,紫外线、近红外线等)的吸收剂、折射率调整剂、抗氧化剂、密合剂、表面活性剂等添加剂。作为有机-无机微粒的例子,例如,可以举出高分子微粒(例如,硅酮树脂微粒、聚苯乙烯微粒、三聚氰胺树脂微粒)、氧化钛、氧化锌、氧化锆、氧化铟、氧化铝、氮化钛、氧氮化钛、氟化镁、中空二氧化硅、二氧化硅、碳酸钙、硫酸钡等。特定波长的光的吸收剂能够使用公知的吸收剂。这些添加剂的含量能够适当地进行调节,但是相对于保护层的总质量优选为0.1~70质量%,更优选为1~60质量%。
[0365]
并且,作为保护层,也能够使用日本特开2017-151176号公报的0073~0092段落号中所记载的保护层。
[0366]
滤光器可以具有基底层。用二碘甲烷测量时基底层的表面接触角优选为20~70
°
。并且,用水测量时优选为30~80
°
。基底层的表面接触角的调整例如能够通过表面活性剂的添加等方法来进行。
[0367]
滤光器也可以具有如下结构:在通过隔壁例如以格栅状隔开的空间嵌入有各像素。
[0368]
《固体摄像元件》
[0369]
本发明的固体摄像元件具有上述本发明的膜。作为本发明的固体摄像元件的结构,只要是具备本发明的膜,且作为固体摄像元件而发挥功能的结构,则并无特别限定,例如可以举出如下结构。
[0370]
固体摄像元件的结构如下:在基板上具有由构成固体摄像元件(ccd(电荷耦合元件)图像传感器、cmos(互补型金属氧化膜半导体)图像传感器等)的光接收区的多个光电二极体及多晶硅等构成的转移电极,在光电二极体及转移电极上具有只有光电二极体的受光部开口的遮光膜,在遮光膜上具有以覆盖遮光膜整个表面及光电二极体受光部的方式形成的由氮化硅等构成的器件保护膜,在器件保护膜上具有滤色器。而且,可以为在器件保护膜上且在滤色器的下侧(靠近基板的侧)具有聚光机构(例如,微透镜等。以下相同)的结构或在滤色器上具有聚光机构的结构等。并且,滤色器可具有如下结构:在通过隔壁例如以格栅状隔开的空间嵌入有各像素的结构。此时的隔壁优选相对于各像素为低折射率。作为具有这种结构的摄像装置的一例,可以举出日本特开2012-227478号公报、日本特开2014-179577号公报、国际公开第2018/043654号中所记载的装置。并且,如日本特开2019-211559号公报中所示在固体摄像元件的结构内设置紫外线吸收层也可以改进耐光性。具备本发明的固体摄像元件的摄像装置除了能够用作数码相机或具有摄像功能的电子设备(移动电话等)以外,也能够用作车载相机或监控摄像机。
[0371]
《图像显示装置》
[0372]
本发明的图像显示装置具有上述的本发明的膜。作为图像显示装置,可以举出液晶显示装置或有机电致发光显示装置等。关于图像显示装置的定义或各图像显示装置的详细内容,例如记载于“电子显示器器件(佐佐木昭夫著,kogyo chosakai publishing co.,ltd.,1990年发行)”、“显示器器件(伊吹顺章著,sangyo tosho publishing co.,ltd.,1989年发行)”等。并且,关于液晶显示装置,例如记载于“下一代液晶显示器技术(内田龙男编辑,kogyo chosakai publishing co.,ltd.,1994年发行)”。对本发明能够适用的液晶显示装置并没有特别限制,例如能够适用于上述的“下一代液晶显示器技术”中所记载的各种方式的液晶显示装置。
[0373]
实施例
[0374]
以下列举实施例来对本发明进行具体说明。以下实施例中示出的材料、使用量、比例、处理内容、处理步骤等只要不脱离本发明的宗旨,则能够适当进行变更。因此,本发明的范围并不限定于以下所示的具体例。
[0375]
《树脂的评价》
[0376]
(重均分子量(mw))
[0377]
树脂的重均分子量(mw)在下述测量条件下,通过gpc(gel permeation chromatography:凝胶渗透色谱)测量进行计算。
[0378]
装置:hlc-8220gpc(tosoh corporat ion制造)
[0379]
检测器:差示折射计(ri检测器)
[0380]
预柱:tskguardcolumn mp(xl)6mm
×
40mm(tosoh corporation制造)
[0381]
样品侧柱:直接连结以下4根〔均为tosoh corporation制造〕
[0382]
tsk-gel multipore-hxl-m 7.8mm
×
300mm
[0383]
参考试料侧柱:与样品侧柱相同
[0384]
恒温槽温度:40℃
[0385]
移动相:四氢呋喃
[0386]
样品侧移动相流量:1.0ml/分钟
[0387]
参考试料侧移动相流量:0.3ml/分钟
[0388]
试样浓度:0.1质量%
[0389]
试样注入量:100μl
[0390]
数据采集时间:试样注入后16~46分钟
[0391]
采样间距:300ms(毫秒)
[0392]-酸值-[0393]
树脂的酸值通过使用了氢氧化钠的中和滴定来求出。具体而言,向在溶剂中溶解了所获得的树脂的溶液,利用电位差测量法且由氢氧化钠滴定,来计算树脂的固体成分1g中所包含的酸的毫摩尔数,之后,其值通过乘以氢氧化钾(koh)的分子量56.1来求出。
[0394]
《c=c值(含有烯属不饱和键的基团值)的测量方法》
[0395]
树脂的c=c值(含有烯属不饱和键的基团值)由用于树脂的合成的原料计算。
[0396]
《树脂溶液的制造》
[0397]
[制造例1-1]树脂溶液(b-1-1)~(b-1-6)、(b-1-c)的制造
[0398]
作为反应槽准备带冷却管的分离式烧瓶,另一方面,利用单体滴加槽,准备搅拌混合了176.5质量份的甲基丙烯酸苄酯(以下称为“bzma”)、40.0质量份的甲基丙烯酸(以下称为“maa”)、4质量份的过氧化(2-乙基己酸)叔丁酯(nof corporation制造“perbutyl 0”;以下称为“pbo”)、60质量份的丙二醇单甲醚乙酸酯(以下称为“pgmea”)的混合物,利用链转移剂滴加槽,准备了充分搅拌混合了8质量份的正十二烷醇(以下称为“n-dm”)、32质量份的pgmea的混合物。向反应槽装入375质量份的pgmea,用氮气置换之后,一边搅拌,一边在油浴中加热,使反应槽的温度升温至90℃。反应槽的温度稳定在90℃之后,开始从单体滴加槽及链转移剂滴加槽向反应槽的滴加。关于滴加,一边将温度保持成90℃,一边各自经135分钟进行。结束滴加起经过60分钟后开始升温以使反应槽成为110℃。维持3小时110℃之后,将反应溶液冷却到室温。向冷却的反应溶液加入1000质量份的水,滤出所析出的固体物质(聚合物),对所滤出的固体物质,用100质量份的乙醇水洗2次,用500质量份的水水洗1次,获得了下述结构的树脂b-1。所获得的树脂b-1的重均分子量(mw)为18500,酸值为106mgkoh/g。
[0399]
[化学式28]
[0400][0401]
使通过上述步骤获得的已纯化的树脂b-1溶解于pgmea之后,添加甘油单甲基丙烯酸酯(下述结构的化合物(1-1),以下称为“gla”)pgmea溶液、及甲基丙烯酸缩水甘油酯(下述结构的化合物(2-1),以下称为“gma”)的pgmea溶液,以最终获得的树脂溶液的树脂浓度(固体成分浓度)为30%,且各成分的含量成为如下表所示的量的方式制造了树脂溶液(b-1-1)~(b-1-6)。
[0402]
并且,使通过上述步骤获得的已纯化的树脂b-1溶解于pgmea而将树脂浓度(固体成分浓度)调整为30质量%,从而制造了树脂溶液(b-1-c)。树脂溶液(b-1-c)为未添加gla及gma中的任一种成分的溶液。
[0403]
[化学式29]
[0404][0405]
在下述表中,各树脂溶液中的gla及gma的含量为通过高效液相色谱法(hplc)定量的结果。另外,基于hplc法的各成分的检测下限为0.1质量ppm,因此在低于检测下限的情况下,在下述表中记录为“《0.1”。并且,各树脂溶液中所包含的与化合物a对应的成分中,除了gla以外的成分为小于检测下限。因此,gla的含量相当于化合物a的含量。并且,各树脂组合物中所包含的与化合物b对应的成分中,除了gma以外的成分为小于检测下限。因此,gma的总量相当于化合物b的含量。
[0406]
[表1]
[0407][0408]
[制造例1-2]树脂溶液(b-2-1)的制造
[0409]
作为反应槽准备带冷却管的分离式烧瓶,另一方面,利用单体滴加槽,准备搅拌混合了30.7质量份的2,2
’‑
[氧代双(亚甲基)]双-2-丙烯酸二甲酯、43.1质量份的maa、14.3质量份的甲基丙烯酸甲酯(以下简称为“mma”)、113.5质量份的bzma、4质量份的pbo、60质量份的二乙二醇二甲醚(以下成为“dmdg”)而成的混合物,利用链转移剂滴加槽,准备搅拌混合
了8质量份的n-dm、32质量份的dmdg而成的混合物。向反应槽装入375质量份的dmdg,用氮气取代之后,一边搅拌,一边在油浴中加热,使反应槽的温度升温至90℃。反应槽的温度稳定在90℃之后,开始从单体滴加槽及链转移剂滴加槽向反应槽的滴加。关于滴加,一边将温度保持成90℃,一边各自经135分钟进行。结束滴加起经过60分钟后开始升温以使反应槽成为110℃。维持3小时110℃之后,在分离式烧瓶装上玻璃导入管,开始了氧气/氮气=5/95(v/v)混合气体的起泡。接下来,向反应槽装入50.9质量份的gma、0.4质量份的2,2
’‑
亚甲基双(4-甲基-6-叔丁基苯酚)(以下称为“mbmtb”)、0.8质量份的三乙胺(以下称为“tea”),并以该状态在110℃下反应了3小时。通过反应溶液的酸值测量确认到反应结束之后,向反应溶液中加入155质量份的dmdg而冷却至室温。向冷却的反应溶液加入1000质量份的水,滤出所析出的固体物质(聚合物),对所滤出的固体物质,用100质量份的乙醇水洗2次,用500质量份的水水洗1次,获得了下述结构的树脂b-2。所获得的树脂b-2的重均分子量(mw)为18000,酸值为32mgkoh/g。
[0410]
[化学式30]
[0411][0412]
将通过上述步骤获得的已纯化的聚合物粉体溶解于pgmea之后,进一步添加gla的pgmea溶液、及gma的pgmea溶液,以最终获得的树脂溶液的树脂浓度(固体成分浓度)为30%,且各成分的含量成为如下表所示的量的方式制造了树脂溶液(b-2-1)。
[0413]
另外,树脂溶液(b-2-1)中所包含的与化合物a对应的成分中,除了gla以外的成分为小于检测下限。因此,gla的含量相当于化合物a的含量。并且,树脂溶液(b-2-1)中所包含的与化合物b对应的成分中,除了gma以外的成分为小于检测下限。因此,gma的总量相当于化合物b的含量。
[0414]
[表2]
[0415][0416]
[制造例1-3]树脂溶液(b-3-1)的制造
[0417]
向三口烧瓶导入30.4质量份的由下述式(mm)表示的大分子单体、51质量份的ω-羧基-聚己内酯单丙烯酸酯(toagosei co.,ltd.制造、aronix m-5300)、pgmea,而获得了混合物。一边吹入氮气一边搅拌了上述混合物。
[0418]
[化学式31]
[0419][0420]
接着,一边使氮气在烧瓶内流动一边将混合物升温至75℃。接着,向混合物添加0.82质量份的n-dm,然后添加0.43质量份的2,2
’‑
偶氮双(2-甲基丙酸甲酯)(fujifilm wako pure chemical corporation制造、v-601),并开始了聚合反应。将混合物在75℃下加热2小时后,进一步将0.43质量份的2,2
’‑
偶氮双(2-甲基丙酸甲酯)追加到混合物中。2小时后,进一步将0.43质量份的2,2
’‑
偶氮双(2-甲基丙酸甲酯)追加到混合物中。进一步反应2小时后,将混合物升温到90℃,并搅拌了3小时。通过上述操作,结束聚合反应。结束聚合反应后,在空气下,作为胺化合物加入9.6质量份的二甲基十二胺,作为聚合抑制剂加入0.3质量份的2,2,6,6-四甲基哌啶-1-氧化物(te mpo)之后,滴加了9质量份的4-羟丁基丙烯酸酯缩水甘油醚(下述结构的化合物(2-4),以下称为4hbage)。
[0421]
[化学式32]
[0422][0423]
结束滴加后,在空气下,在90℃下继续反应24小时后,通过酸值测量确认反应结束,并将反应溶液冷却至室温。向冷却的反应溶液加入1000质量份的水,滤出所析出的固体物质(聚合物),对所滤出的固体物质,用100质量份的乙醇水洗2次,用500质量份的水水洗1次,获得了下述结构的树脂b-3。所获得的树脂b-3的重均分子量(mw)为17200,酸值为70mgkoh/g。
[0424]
[化学式33]
[0425][0426]
使通过上述步骤获得的已纯化的树脂b-3的粉体溶解于pgmea之后,进一步添加4-(2,3-二羟基丙氧基)丙烯酸丁酯(下述结构的化合物(1-4),以下称为“4hbage-o”)的pgmea溶液、及4hbage的pgmea溶液,以最终获得的树脂溶液的树脂浓度(固体成分浓度)为30%,且各成分的含量成为如下表所示的量的方式制造了树脂溶液(b-3-1)。
[0427]
[化学式34]
[0428][0429]
另外,树脂溶液(b-3-1)中所包含的与化合物a对应的成分中,除了4hb age-o以外的成分为小于检测下限。因此,4hbage-o的含量相当于化合物a的含量。并且,树脂溶液(b-3-1)中所包含的与化合物b对应的成分中,除了4hbage以外的成分为小于检测下限。因此,4hbage的总量相当于化合物b的含量。
[0430]
[表3]
[0431]
树脂溶液4hbage-o含量(质量ppm)4hbage含量(质量ppm)(b-3-1)100010
[0432]
制造[制造例1-4]树脂溶液(b-4-1)
[0433]
向具备有气体导入管、温度计、冷凝器、搅拌机的反应容器,装入8质量份的3-巯基-1,2-丙二醇、12质量份的均苯四甲酸酐、80质量份的pgmea,作为催化剂装入0.2质量份的单丁基氧化锡,用氮气取代之后,在120℃下反应5小时(第一工序)。利用酸值的测量确认到95%以上的酸酐进行了半酯化。接着,装入30质量份的甲基丙烯酸甲酯、10质量份的叔丁基丙烯酸酯、10质量份的丙烯酸乙酯、5质量份的甲基丙烯酸、10质量份的甲基丙烯酸苄酯、35质量份的甲基丙烯酸2-羟乙酯,将反应容器内部加热到80℃,并添加1质量份的2,2
’‑

氮双(2,4-二甲基戊腈),反应12小时(第二工序)。通过固体成分测量确认到反应了95%。接下来、将烧瓶内置换为空气,并装入35.0质量份的2-甲基丙烯酸异氰基乙酯、0.1质量份的对苯二酚,在70℃下反应4小时(第三工序)。利用红外吸收分光法确认基于异氰酸酯基的2270cm-1
峰消失后,冷却反应溶液,获得了下述结构的树脂b-4。所获得的树脂b-4的酸值为40mgkoh/g,重均分子量为12000,双键当量为692g/mol。
[0434]
[化学式35]
[0435][0436]
在式(b-4)中,*1及*2中的任一个与*5或*6键合而形成聚酯主链,另一个与*3或*4键合而形成聚酯主链。*3及*4中的任一个与*1或*2键合而形成聚酯主链,另一个与oh基成为一体而形成羧酸。*5及*6中的任一个与*1或*2键合而形成聚酯主链,另一个与oh基成为一体而形成羧酸。
[0437]
《微细化颜料的制造》
[0438]
[制造例2-1]
[0439]
(微细化颜料(pr254m)的制造)
[0440]
将100质量份的c.i.颜料红254(basf公司制造“b-cf”)、1200质量份的氯化钠、及120质量份的二乙二醇装入不锈钢制1加仑混炼机(inoue mf g.,inc.制造),在60℃下混炼了4小时。将所获得的混炼组合物放入3000质量份的温水中,搅拌1小时形成浆料状,反复过滤、水洗以去除氯化钠及二乙二醇之后,在80℃下干燥一夜,获得了微细化颜料(pr254m)。
[0441]
[制造例2-2~2-23]
[0442]
在上述制造例2-1中,除了将所使用的颜料由颜料红254变更为下述表所示的颜料以外,进行与上述制造例2-1相同的处理,获得了各微细化颜料。
[0443]
[表4]
[0444]
制造例微细化颜料作为原料的颜料2-1(pr254m)c.i.j颜料红254(basf公司制造“b-cf”)2-2(pr122m)c.i.颜料红1222-3(pr177m)c.i.颜料红177(basf公司制造“b-cf”)
2-4(pr264m)c.i.颜料红264(basf公司制造“irgazin ddp rubine tr”)2-5(pr272m)c.i.颜料红272(basf公司制造“cromophtal dpp red fp”)2-6(py139m)c.i.颜料黄139(basf公司制造“paliotol yellow l 2146hd”)2-7(py150m)c.i.颜料黄150(lanxess k.k.“e-4gn”)2-8(py185m)c.i.颜料黄185(basf公司制造“paliotol yellow l 1155”)2-9(py215m)c.i.颜料黄2152-10(py129m)c.i.颜料黄1292-11(py-1m)日本专利第6607427号公报的0061段的合成例3中所记载的喹酞酮化合物2-12(pg63m)c.i.颜料绿63(铝酞菁颜料)(toyocolor co.,ltd.“optlion green 8890”)2-13(pg62m)c.i.颜料绿62(铝酞菁颜料)(toyocolor co.,itd.“optlion green 8880”)2-14(pg58m)c.i.颜料绿58(dic corporation“fastogen green a110”)2-15(pg36m)c.i.颜料绿36(clarian公司“green8g”)2-16(pg7m)c.i.颜料绿7(clarian公司“greengnx”)2-17(pb15:6m)c.i.j颜料蓝15:6(toyocolor co.,ltd.“lionol blue es”)2-18(pb15:3m)c.i.颜料蓝15:32-19(pb15:4m)c.i.颜料蓝15:42-20(pb16m)c.i.颜料蓝162-21(pv23m)c.i.颜料紫23(toyocolor co.,ltd.“lionol violet rl”)2-22(po71)c.i.颜料橙712-23(ppbm)由下述式表示的吡咯并吡咯系颜料
[0445]
[化学式36]
[0446][0447]
《颜料分散液的制造》
[0448]
[制造例3-1]
[0449]
(颜料分散液(gb-1)的制造)
[0450]
以如下所示的质量份混合下述所示的原料后,使用直径0.5mm的二氧化锆珠,并利用eiger磨机(eiger japan公司制造“小型m-250mkii”)分散了3小时。之后,将所获得的混合物利用孔径5.0μm的过滤器过滤,制造了颜料分散液(gb-1)。
[0451]
微细化颜料(pg36m):11.0质量份
[0452]
衍生物1:0.7质量份
[0453]
树脂溶液(b-5-1):6.7质量份
[0454]
树脂溶液(b-1-1):6.7质量份
[0455]
pgmea
···
74.9质量份
[0456]
在此,衍生物1为由下述结构式表示的化合物。并且,树脂溶液b-5-1为下述结构的树脂b-5(重均分子量23000、酸值50mgkoh/g)的30质量%pgmea溶液。
[0457]
[化学式37]
[0458][0459]
[制造例3-2~3-45]
[0460]
除了将所使用的微细化颜料、衍生物、树脂溶液、溶剂的种类和添加量(质量份)变更为下述表所示以外,以与上述制造例3-1相同的方法制造了各分散液。
[0461]
[表5]
[0462][0463]
在上述表中,tib为氮化钛粒子(mitsubishi materials electronic che micals co.,ltd.制造)、cb为炭黑粒子(cabot corporation制造、平均1次粒径15nm)、zro2为氧化锆粒子(nippon denko co.,ltd.制造、平均1次粒径20nm)、tio2为氧化钛粒子(ishihara sangyo kaisha,ltd.制造、tto-51(c)、平均1次粒径10~30nm、表面氧化铝/硬脂酸处理品)。并且,衍生物2~7为由下述结构式表示的化合物。
[0464]
[化学式38]
[0465][0466]
《树脂组合物的制造》
[0467]
[制造例4-1]
[0468]
(树脂组合物(gr-1)的制造)
[0469]
将下述组成的混合物均匀地搅拌混合之后,用孔径1μm的过滤器过滤,制造了树脂
组合物(gr-1)。
[0470]
颜料分散液(gb-1):44.5质量份
[0471]
颜料分散液(yb-1):40.5质量份
[0472]
树脂溶液(b-1-1):2.3质量份
[0473]
聚合性单体(m-1):1.2质量份
[0474]
光聚合引发剂(i-1):0.6质量份
[0475]
紫外线吸收剂(u-1):0.4质量份
[0476]
表面活性剂(s-1):4.2质量份
[0477]
聚合抑制剂(in-1):0.005质量份
[0478]
pgmea:6.3质量份
[0479]
在此,各种素材的缩写分别如下表示。
[0480]
聚合性单体(m-1):二季戊四醇六丙烯酸酯(dpha)及二季戊四醇五丙烯酸酯的混合物的7∶3混合物(nippon kayaku co.,ltd.制造、kayarad dph a)
[0481]
光聚合引发剂(i-1):irgacure oxe-01(basf公司制造)
[0482]
紫外线吸收剂(u-1):三嗪系紫外线吸收剂“tinuvin477”(basf公司制造)
[0483]
表面活性剂(s-1):下述结构的化合物(mw=14000、表示重复单元的比例的%的数值为摩尔%)的1质量%pgmea溶液。
[0484]
[化学式39]
[0485][0486]
聚合抑制剂(in-1):对甲氧基苯酚
[0487]
[制造例4-2~4-48]
[0488]
(聚合性组合物的制造)
[0489]
除了将所使用的素材变更为下述表所示的素材以外,以与上述制造例4-1相同的方法,制造了树脂组合物。
[0490]
[制造例4-49]
[0491]
关于在制造例4-9中获得的树脂组合物(gr-9),添加分子筛3a(nacala i tesque,inc.制造)进行脱水处理,制造了树脂组合物(gr-9dh)。
[0492]
[表6]
[0493][0494]
[表7]
[0495][0496]
[表8]
[0497][0498]
[表9]
[0499][0500]
在上述表中,各种素材的缩写分别代表如下。
[0501]
聚合性单体(m-2):三羟甲基丙烷三丙烯酸酯(shin-nakamura chemica l co.,ltd.制造、a-tmpt)
[0502]
聚合性单体(m-3):由下述式表示的化合物(shin-nakamura chemical co.,ltd.
制、a-dph-12e)
[0503]
[化学式40]
[0504][0505]
光聚合引发剂(i-2):irgacure oxe-02(basf公司制造)
[0506]
光聚合引发剂(i-3):下述结构的化合物
[0507]
[化学式41]
[0508][0509]
光聚合引发剂(i-4):omnirad 369(igm resins b.v.公司制造)
[0510]
光聚合引发剂(i-5):下述结构的化合物
[0511]
[化学式42]
[0512][0513]
添加剂(ad-1):pionin d6112w(takemoto oil&fat co.,ltd制造、芳基苯基醚型非离子性表面活性剂)
[0514]
添加剂(ad-2):超纯水
[0515]
《树脂组合物的评价》
[0516]
(gla、gma、4hbage-o及4hbage的含量、含水量的测量)
[0517]
利用高效液相色谱法(hplc),分别对已制备的各树脂组合物中所含有的gla、gma、
4hbage-o及4hbage的含量进行了定量。将定量结果总结示于下述表中。另外,基于hplc法的各成分的检测下限为0.1质量ppm,因此在低于检测下限的情况下,在下述表中记录为“《0.1”。
[0518]
并且,通过卡尔费歇尔测量法对各树脂组合物中含有的含水量进行了定量。含水量的测量结果也按照下述表记录。
[0519]
(密合性的评价)
[0520]
在将厚度400nm的热氧化膜(sio2膜)形成于表面的直径8英寸(203.2mm)的硅晶圆上,以预烘烤后的厚度成为4μm的方式,利用旋涂机涂布各树脂组合物,使用110℃的加热板进行了120秒的加热处理(预烘烤)。
[0521]
接着,使用i射线步进机曝光装置fpa-3000i5+(canon inc.制造),隔着形成25根宽度100μm
×
长度1000μm线条的图案掩模曝光(曝光量50~1700mj/cm2)了365nm的波长光。
[0522]
接着,对曝光后的组合物层,使用显影装置(tokyo electron limited制造act8)进行了显影。显影液使用四甲基氢氧化铵(tmah)0.3质量%水溶液,在23℃下进行了60秒的喷淋显影。之后,利用使用了纯水的旋转喷淋进行冲洗,接着进行旋转干燥,然后使用200℃的加热板进行5分钟加热处理(后烘烤)获得了图案。
[0523]
求出形成宽度100μm
×
长度1000μm的图案所需的最小曝光量e1与密合所有上述图案所需的最小曝光量e2之差δe(e2-e1),并以以下基准评价了密合性。δe越小,表示密合性越优异。关于图案的密合及图案的尺寸,使用光学显微镜进行了观察(倍率200倍)。
[0524]-评价基准-[0525]
5:δe为0mj/cm2。
[0526]
4:δe超过0mj/cm2且为100mj/cm2以下。
[0527]
3:δe超过100mj/cm2。
[0528]
2:以50~1700mj/cm2的曝光量,至少能够形成1根宽度100μm
×
长度1000μm线条的图案,但无法形成全部25根的图案。
[0529]
1:以50~1700mj/cm2的曝光量,无法形成宽度100μm
×
长度1000μm的图案。(全部剥离)
[0530]
(显影残渣的评价)
[0531]
在将厚度400nm的热氧化膜(sio2膜)形成于表面的直径8英寸(203.2mm)的硅晶圆上,以后烘烤后的膜厚成为0.6μm的方式,利用旋涂法涂布了各树脂组合物。接下来,使用加热板在100℃下后烘烤2分钟。接下来、使用krf扫描曝光机,隔着具有像素(图案)尺寸以1.1μm见方形成的贝尔图案的掩模照射光,并在以下条件下进行了脉冲曝光。接下来,使用四甲基氢氧化铵(tmah)0.3质量%水溶液,在23℃下进行了60秒的旋覆浸没显影。之后,利用旋转喷淋进行冲洗,进一步利用纯水进行水洗。接下来、通过使用加热板,在200℃下加热5分钟而形成了像素(图案)。基于krf扫描曝光机的脉冲曝光条件为如下。
[0532]-脉冲曝光条件-[0533]
曝光光:krf射线(波长248nm)
[0534]
最大瞬间照度:250000000w/m2(平均照度:30000w/m2)
[0535]
脉冲宽度:30纳秒
[0536]
频率:4khz
[0537]
在上述中获得的像素图案中,利用测量sem(扫描型电子显微镜、产品名称:s-9260、hitachi high-technologies corporation制造)观测未残留所固化的像素图案的区域,并以以下5个阶段对该区域中的残渣的程度进行了评价。
[0538]-评价基准-[0539]
5:完全观察不到残渣
[0540]
4:观测到1~5个尺寸(最长轴部分的宽度)为0.05μm以下的残渣
[0541]
3:观测到6~10个尺寸(最长轴部分的宽度)为0.05μm以下的残渣
[0542]
2:观测到超过10个尺寸(最长轴部分的宽度)为0.05μm以下的残渣,未观测到尺寸超过0.05μm的残渣。
[0543]
1:观测到超过10个尺寸(最长轴部分的宽度)为0.05μm以下的残渣,也观测到尺寸超过0.05μm的残渣。
[0544]
将以上述步骤评价的评价结果示于下述表。
[0545]
[表10]
[0546][0547]
[表11]
[0548][0549]
如上述表所示,实施例中密合性的评价良好。
[0550]
使用置换成下述表所示的表面活性剂(s-2)~(s-32)的1.0质量%pgmea溶液的树脂组合物代替制造例4-1~4-47的树脂组合物中的表面活性剂(s-1)的情况下,也可获得与上述相同的效果。
[0551]
s-2:footgent 710fm(neos co.,ltd.制造)
[0552]
s-3:footgent 610fm(neos co.,ltd.制造)
[0553]
s-4:footgent 601ad(neos co.,ltd.制造)
[0554]
s-5:footgent 601adh2(neos co.,ltd.制造)
[0555]
s-6:footgent 602a(neos co.,ltd.制造)
[0556]
s-7:footgent 215m(neos co.,ltd.制造)
[0557]
s-8:footgent 245f(neos co.,ltd.制造)
[0558]
s-9:megafac f-556(dic corporation制造)
[0559]
s-10:megafac f-557(dic corporation制造)
[0560]
s-11:megafac f-563(dic corporation制造)
[0561]
s-12:megafac f-560(dic corporation制造)
[0562]
s-13:megafac f-575(dic corporation制造)
[0563]
s-14:megafac r-41(dic corporation制造)
[0564]
s-15:megafac r-41-lm(dic corporation制造)
[0565]
s-16:megafac r-01(dic corporation制造)
[0566]
s-17:megafac r-40(dic corporation制造)
[0567]
s-18:megafac r-40-lm(dic corporation制造)
[0568]
s-19:megafac rs-43(dic corporation制造)
[0569]
s-20:megafac tf-1956(dic corporation制造)
[0570]
s-21:megafac r-94(dic corporation制造)
[0571]
s-22:megafac f-558(dic corporation制造)
[0572]
s-23:megafac f-561(dic corporation制造)
[0573]
s-24:megafac f-477(dic corporation制造)
[0574]
s-25:megafac f-554(dic corporation制造)
[0575]
s-26:megafac f-565(dic corporation制造)
[0576]
s-27:megafac f-568(dic corporation制造)
[0577]
s-28:megafac f-559(dic corporation制造)
[0578]
s-29:megafac f-555-a(dic corporation制造)
[0579]
s-30:megafac rs-90(dic corporation制造)
[0580]
s-31:megafac rs-72-k(dic corporation制造)
[0581]
s-32:megafac ds-21(dic corporation制造)
[0582]
制备了在树脂组合物g-9中将聚合性单体、光聚合引发剂的总量置换成环氧化合物(daicel corporation.制造、ehpe-3150)的非感光性树脂组合物。使用该树脂组合物,并利用与日本特开2013-064999号公报的0460~0468段落号中所记载的方法同样的方法形成绿色图案(绿色像素),评价其像素图案的密合性,结果能够确认到获得了良好的密合性。
[0583]
在实施例1~48中,除了使用i射线步进曝光装置fpa-3000i5+(canon inc.制造)代替krf扫描曝光机,隔着具有像素(图案)尺寸为0.7μm见方的排列形成的贝尔图案的掩模,以500mj/cm2的曝光量照射365nm波长的光来曝光以外,以与上述同样的方法形成像素评价了密合性及显影残渣,结果获得了分别与实施例1~47相同的结果。
[0584]
(实施例1001)
[0585]
在硅晶圆上,以制膜后的膜厚成为1.0μm的方式利用旋涂法涂布了绿色着色组合物。接着,使用加热板在100℃下加热了2分钟。接着,使用i线步进机曝光装置fpa-3000i5+(canon inc.制造),以1000mj/cm2的曝光量隔着2μm见方的点图案的掩模进行了曝光。接下来,使用四甲基氢氧化铵(tmah)0.3质量%水溶液,在23℃下进行了60秒的旋覆浸没显影。之后,利用旋转喷淋进行冲洗,进一步利用纯水进行水洗。接着,通过使用加热板,在200℃下加热5分钟,对绿色着色组合物进行图案化而形成了绿色像素。同样地,将红色着色组合物、蓝色着色组合物以相同的工艺进行图案化,依次形成红色像素、蓝色像素,形成了具有绿色像素、红色像素及蓝色像素的滤色器。在该滤色器中,以贝尔图案形成绿色像素,在其相邻的区域中,以岛形图案形成红色像素、蓝色像素。根据公知的方法,将所获得的滤色器组装到固体摄像元件。该固体摄像元件具有适当的图像识别能力。另外,作为绿色着色组合物,使用了树脂组合物(gr-21)。作为红色着色组合物,使用了树脂组合物(rr-1)。作为蓝色着色组合物,使用了树脂组合物(br-1)。
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