本发明涉及抛光物技术领域，特别是一种环保型抛光物。
背景技术：
对增加内存或硬盘容量的需求以及内存或硬盘小型化的趋势持续不断，强调内存或硬盘片制造方法的重要性，包括这类盘片的平坦化或抛光，以确保性能最佳。尽管存在几种用于与半导体装置制造相关的化学机械抛光组合物及方法，但是几乎没有常规的CMP方法或商购的CMP组合物非常适于内存或硬盘片的平坦化或抛光。
技术实现要素：
本发明需要解决的技术问题是提供一种环保型抛光物。
为解决上述的技术问题，本发明的一种环保型抛光物，按照质量份数计包括以下组分：磷酸二氢钾20-30份，三氧化二铝15-20份，乙烯基双硬脂酰胺3-9份，硬脂酸单甘油酯3.5-6.8份，氯化亚铁2.1-5.4份，纳米氧化铜5-12份，硅烷偶联剂3-8份，硅酸锆4-10份，三甲硅基甲基磷酸二甲酯12-18份。
进一步的，按照质量份数计包括以下组分：磷酸二氢钾20份，三氧化二铝15份，乙烯基双硬脂酰胺3份，硬脂酸单甘油酯3.5份，氯化亚铁2.1份，纳米氧化铜5份，硅烷偶联剂3份，硅酸锆4份，三甲硅基甲基磷酸二甲酯12份。
进一步的，按照质量份数计包括以下组分：磷酸二氢钾30份，三氧化二铝20份，乙烯基双硬脂酰胺9份，硬脂酸单甘油酯6.8份，氯化亚铁5.4份，纳米氧化铜12份，硅烷偶联剂8份，硅酸锆10份，三甲硅基甲基磷酸二甲酯18 份。
进一步的，按照质量份数计包括以下组分：磷酸二氢钾23份，三氧化二铝16份，乙烯基双硬脂酰胺5份，硬脂酸单甘油酯4.2份，氯化亚铁3.3份，纳米氧化铜9份，硅烷偶联剂5份，硅酸锆6份，三甲硅基甲基磷酸二甲酯13份。
进一步的，按照质量份数计包括以下组分：磷酸二氢钾27份，三氧化二铝18份，乙烯基双硬脂酰胺8份，硬脂酸单甘油酯5.3份，氯化亚铁4.6份，纳米氧化铜11份，硅烷偶联剂6份，硅酸锆8份，三甲硅基甲基磷酸二甲酯15份。
采用上述配方后，本发明的环保型抛光物，制备简单，抛光效果明显，性能稳定；另外，本发明的成分成本低，易于获得，对环境无污染，操作简单，便于推广应用。
具体实施方式
本发明的一种环保型抛光物，按照质量份数计包括以下组分：磷酸二氢钾20-30份，三氧化二铝15-20份，乙烯基双硬脂酰胺3-9份，硬脂酸单甘油酯3.5-6.8份，氯化亚铁2.1-5.4份，纳米氧化铜5-12份，硅烷偶联剂3-8份，硅酸锆4-10份，三甲硅基甲基磷酸二甲酯12-18份。
实施方式一：
按照质量份数计包括以下组分：磷酸二氢钾20份，三氧化二铝15份，乙烯基双硬脂酰胺3份，硬脂酸单甘油酯3.5份，氯化亚铁2.1份，纳米氧化铜5份，硅烷偶联剂3份，硅酸锆4份，三甲硅基甲基磷酸二甲酯12份。
实施方式二：
按照质量份数计包括以下组分：磷酸二氢钾30份，三氧化二铝20份，乙烯 基双硬脂酰胺9份，硬脂酸单甘油酯6.8份，氯化亚铁5.4份，纳米氧化铜12份，硅烷偶联剂8份，硅酸锆10份，三甲硅基甲基磷酸二甲酯18份。
实施方式三：
按照质量份数计包括以下组分：磷酸二氢钾23份，三氧化二铝16份，乙烯基双硬脂酰胺5份，硬脂酸单甘油酯4.2份，氯化亚铁3.3份，纳米氧化铜9份，硅烷偶联剂5份，硅酸锆6份，三甲硅基甲基磷酸二甲酯13份。
实施方式四：
按照质量份数计包括以下组分：磷酸二氢钾27份，三氧化二铝18份，乙烯基双硬脂酰胺8份，硬脂酸单甘油酯5.3份，氯化亚铁4.6份，纳米氧化铜11份，硅烷偶联剂6份，硅酸锆8份，三甲硅基甲基磷酸二甲酯15份。
虽然以上描述了本发明的具体实施方式，但是本领域熟练技术人员应当理解，这些仅是举例说明，可以对本实施方式作出多种变更或修改，而不背离发明的原理和实质，本发明的保护范围仅由所附权利要求书限定。