1.化学机械抛光组合物，其包含：
基于水的液体载剂；
分散于该液体载剂中的胶态二氧化硅研磨剂，该胶态二氧化硅研磨剂具有至少6mV的永久性正电荷；
在该液体载剂中呈溶液形式的胺化合物，其中该胺化合物包含具有12个或更多个碳原子的烷基；及
含铁的促进剂。
2.权利要求1的组合物，其中该胶态二氧化硅具有至少15mV的永久性正电荷。
3.权利要求1的组合物，其中该胶态二氧化硅经氨基硅烷化合物处理。
4.权利要求3的组合物，其中该氨基硅烷化合物选自双(2-羟乙基)-3-氨基丙基三烷氧基硅烷、二乙基氨基甲基三烷氧基硅烷、(N,N-二乙基-3-氨基丙基)三烷氧基硅烷)、3-(N-苯乙烯基甲基-2-氨基乙基氨基丙基三烷氧基硅烷、氨基丙基三烷氧基硅烷、(2-N-苯甲基氨基乙基)-3-氨基丙基三烷氧基硅烷)、三烷氧基甲硅烷基丙基-N,N,N-三甲基氯化铵、N-(三烷氧基甲硅烷基乙基)苯甲基-N,N,N-三甲基氯化铵、(双(甲基二烷氧基甲硅烷基丙基)-N-甲胺、双(三烷氧基甲硅烷基丙基)脲、双(3-(三烷氧基甲硅烷基)丙基)-乙二胺、双(三烷氧基甲硅烷基丙基)胺、双(三烷氧基甲硅烷基丙基)胺、以及它们的混合物。
5.权利要求1的组合物，其中该含铁的促进剂包含含铁的能溶解的催化剂。
6.权利要求5的组合物，其进一步包含结合至该含铁的能溶解的催化剂的稳定剂，该稳定剂选自：磷酸、邻苯二甲酸、柠檬酸、己二酸、草酸、丙二酸、天冬氨酸、丁二酸、戊二酸、庚二酸、辛二酸、壬二酸、癸二酸、顺丁烯二酸、戊烯二酸、粘康酸、乙二胺四乙酸、丙二胺四乙酸、以及它们的混合物。
7.权利要求1的组合物，其进一步包含过氧化氢氧化剂。
8.权利要求1的组合物，其具有在2.0至3.5范围内的pH。
9.权利要求1的组合物，其中该胺化合物选自伯胺、仲胺、叔胺及季胺。
10.权利要求1的组合物，其中该胺化合物选自一元胺、二元胺、三元胺及四元胺。
11.权利要求1的组合物，其中该胺化合物选自：十二烷基胺、十四烷基胺、十六烷基胺、十八烷基胺、油胺、N-甲基十八烷基胺、椰油酰氨丙基氧化胺、苯甲基二甲基十六烷基氯化铵、苯扎氯铵及椰油烷基甲基[多氧化乙烯(15)]氯化铵及十八烷基甲基[多氧化乙烯(15)]氯化铵、N,N'-亚甲基双(二甲基十四烷基溴化铵)、N,N,N',N',N'-五甲基-N-动物脂-1,3-丙烷-二氯二铵、双十二烷基-四甲基-1,4-丁烷二碘二铵及N(1),N(6)-双十二烷基-N(1),N(1),N(6),N(6)-四甲基-1,6-己烷二碘二铵、以及它们的混合物。
12.权利要求1的组合物，其中该胺化合物为多季胺化合物。
13.权利要求12的组合物，其中该多季胺为二季胺化合物。
14.权利要求13的组合物，其中该二季胺化合物选自：N,N'-亚甲基双(二甲基十四烷基溴化铵)、N,N,N',N',N'-五甲基-N-动物脂-1,3-丙烷-二氯二铵、双十二烷基-四甲基-1,4-丁烷二碘二铵、及N(1),N(6)-双十二烷基-N(1),N(1),N(6),N(6)-四甲基-1,6-己烷二碘二铵、以及它们的混合物。
15.权利要求13的组合物，其中该二季胺化合物包含具有10个或更多个碳原子的烷基。
16.权利要求1的组合物，其中该胺化合物为具有四个或更多个胺基的含胺的聚合物。
17.化学机械抛光包括钨层的基板的方法，该方法包括：
(a)使该基板与包含以下组分的抛光组合物接触：
(i)基于水的液体载剂；
(ii)分散于该液体载剂中的胶态二氧化硅研磨剂，该胶态二氧化硅研磨剂具有至少6mV的永久性正电荷；
(iii)在该液体载剂中呈溶液形式的胺化合物，其中该胺化合物包含具有12个或更多个碳原子的烷基；及
(iv)含铁的促进剂；
(b)相对于该基板移动该抛光组合物；及
(c)研磨该基板以自该基板移除该钨的一部分并由此抛光该基板。
18.权利要求17的方法，其中该胶态二氧化硅具有至少15mV的永久性正电荷。
19.权利要求17的方法，其中该胶态二氧化硅经氨基硅烷化合物处理，所述氨基硅烷化合物选自双(2-羟乙基)-3-氨基丙基三烷氧基硅烷、二乙基氨基甲基三烷氧基硅烷、(N,N-二乙基-3-氨基丙基)三烷氧基硅烷)、3-(N-苯乙烯基甲基-2-氨基乙基氨基丙基三烷氧基硅烷、氨基丙基三烷氧基硅烷、(2-N-苯甲基氨基乙基)-3-氨基丙基三烷氧基硅烷)、三烷氧基甲硅烷基丙基-N,N,N-三甲基氯化铵、N-(三烷氧基甲硅烷基乙基)苯甲基-N,N,N-三甲基氯化铵、(双(甲基二烷氧基甲硅烷基丙基)-N-甲胺、双(三烷氧基甲硅烷基丙基)脲、双(3-(三烷氧基甲硅烷基)丙基)-乙二胺、双(三烷氧基甲硅烷基丙基)胺、双(三烷氧基甲硅烷基丙基)胺、以及它们的混合物。
20.权利要求17的方法，其中该含铁的促进剂包含含铁的能溶解的催化剂，且该抛光组合物进一步包含结合至该含铁的能溶解的催化剂的稳定剂，该稳定剂选自：磷酸、邻苯二甲酸、柠檬酸、己二酸、草酸、丙二酸、天冬氨酸、丁二酸、戊二酸、庚二酸、辛二酸、壬二酸、癸二酸、顺丁烯二酸、戊烯二酸、粘康酸、乙二胺四乙酸、丙二胺四乙酸、以及它们的混合物。
21.权利要求17的方法，其中该胺化合物选自：十二烷基胺、十四烷基胺、十六烷基胺、十八烷基胺、油胺、N-甲基十八烷基胺、椰油酰氨丙基氧化胺、苯甲基二甲基十六烷基氯化铵、苯扎氯铵及椰油烷基甲基[多氧化乙烯(15)]氯化铵及十八烷基甲基[多氧化乙烯(15)]氯化铵、N,N'-亚甲基双(二甲基十四烷基溴化铵)、N,N,N',N',N'-五甲基-N-动物脂-1,3-丙烷-二氯二铵、双十二烷基-四甲基-1,4-丁烷二碘二铵及N(1),N(6)-双十二烷基-N(1),N(1),N(6),N(6)-四甲基-1,6-己烷二碘二铵、以及它们的混合物。
22.权利要求17的方法，其中该胺化合物为二季胺化合物。
23.权利要求22的方法，其中该二季胺化合物选自：N,N'-亚甲基双(二甲基十四烷基溴化铵)、N,N,N',N',N'-五甲基-N-动物脂-1,3-丙烷-二氯二铵、双十二烷基-四甲基-1,4-丁烷二碘二铵、及N(1),N(6)-双十二烷基-N(1),N(1),N(6),N(6)-四甲基-1,6-己烷二碘二铵、以及它们的混合物。
24.权利要求22的方法，其中该二季胺化合物包含具有10个或更多个碳原子的烷基。