一种改性高分子粘合剂及含有该粘合剂的干膜光阻剂的制作方法

文档序号:23501394发布日期:2021-01-01 18:06阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种改性高分子粘合剂,其特征在于,改性高分子粘合剂的常见结构如下:

该改性高分子粘合剂中固态酸值为80~220,重均分子量为20k~200k,引入的双键含量为羧基含量的1%~15%;

a为α,β-乙烯类不饱和羧基单体;b、c、d为乙烯类单体。

2.根据权利要求1所述的改性高分子粘合剂,其特征在于,

改性高分子粘合剂中引入的双键含量为羧基含量的1%~15%。

3.根据权利要求1所述的改性高分子粘合剂,其特征在于,

所述改性高分子粘合剂的制备过程包括两步:

第一步:使用一个或多个乙烯类单体(b,c,d)和一个或多个α,β-乙烯类不饱和羧基单体(a)聚合而得,所述乙烯类单体选自羟烷基丙烯酸酯、甲基丙烯酸酯、丙烯酸酯、丙烯酸正丁酯、苯乙烯和烷基取代的苯乙烯中的一种或几种,所述α,β-乙烯类不饱和羧基单体(a)选自苯丙烯酸、丁烯酸、富马酸、山梨酸、丙烯酸、甲基丙烯酸、衣康酸、丙炔酸、马来酸及它们的酸酐中的一种或几种;

第二步:在催化剂四丁基溴化铵tbab作用下,使用gma接枝,完成改性高分子粘合剂的制作。

4.一种干膜光阻剂,其特征在于,包括如下重量份的组分:

0~60份的含羧基的高分子粘合剂;

20~70份的含羧基且可参与光固化的改性高分子粘合剂;

5~20份的乙烯基丙烯酸酯类光聚合单体;

2~6.0份光引发剂;

和0.0001~0.1份的可反应性紫外光吸收剂。

5.根据权利要求4所述的干膜光阻剂,其特征在于,

所述含有羧基的高分子粘合剂是使用一个或多个乙烯类单体(b,c,d)和一个或多个α,β-乙烯类不饱和羧基单体(a)聚合而得,其中,

所述乙烯类单体选自羟烷基丙烯酸酯、甲基丙烯酸酯、丙烯酸酯、丙烯酸正丁酯、苯乙烯和烷基取代的苯乙烯中的一种或几种;

所述α,β-乙烯类不饱和羧基单体(a)选自苯丙烯酸、丁烯酸、富马酸、山梨酸、丙烯酸、甲基丙烯酸、衣康酸、丙炔酸、马来酸及它们的酸酐中的一种或几种。

6.根据权利要求4所述的干膜光阻剂,其特征在于,

所述光引发剂选用双咪唑以及其改性的双咪唑类大分子引发剂、吖啶类光引发剂、二苯甲酮、二甲氧基苯基苯乙酮、硫杂蒽酮类光引发剂和光引发剂184中的一种或多种。

7.根据权利要求4所述的干膜光阻剂,其特征在于,

所述乙烯基丙烯酸酯类光聚合单体选自乙氧基改性tmpta、乙氧化双酚a二丙烯酸酯、乙氧化双酚a二甲基丙烯酸酯、二缩三羟甲基丙烷四丙烯酸酯、六官能度聚酯丙烯酸酯、四官能度聚酯丙烯酸酯、三乙二醇二丙烯酸酯、4(乙氧基)壬基苯酚丙烯酸酯、8(乙氧基)壬基苯酚丙烯酸酯中的一种或多种。

8.根据权利要求4所述的干膜光阻剂,其特征在于,

所述可反应性紫外光吸收剂为甲基丙烯酸哌啶酯。

9.根据权利要求4所述的干膜光阻剂,其特征在于,

还包括0.001~2.0重量份的热聚合抑制剂。

10.根据权利要求9所述的干膜光阻剂,其特征在于,

所述热聚合抑制剂选自p-甲氧基苯酚,氢苯醌,烷基和芳香基取代的氢苯醌和苯醌类,特丁基邻苯二酚,邻苯三酚,铜树脂酸盐,β-萘酚,2,6-二特丁基-p-甲苯酚,2,2’-亚甲基-二(4-乙基-6-特丁基苯酚),p-甲苯苯醌,四氯苯醌,芳基亚磷酸盐,以及烷基芳基亚磷酸盐中的一种或多种。


技术总结
本发明提供一种改性高分子粘合剂及含有该粘合剂的干膜光阻剂,属于光刻胶领域。该改性高分子粘合剂具有含羧基且侧链含有双键的特点,其中固态酸值为80~220,重均分子量为20K~200K,引入的双键含量为羧基含量的1%~15%。本发明的干膜光阻剂除包括上述改性粘合剂之外,还包括传统的含羧基的高分子粘合剂、乙烯基(甲基)丙烯酸酯类光聚合单体、光引发剂和可反应性紫外光吸收剂。本发明的干膜光阻剂层在同样厚度甚至更薄的情况下,封孔能力提升,即延展性和断裂强度增加;解析能力提升,解析精度提高到介于干膜光阻剂层厚度的0.5~0.8之间;可简化现有干膜光阻剂配方,干膜光阻剂生产稳定性提升。

技术研发人员:杜永杰;彭威;邓晓明
受保护的技术使用者:珠海市能动科技光学产业有限公司
技术研发日:2020.11.09
技术公布日:2021.01.01
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