载荷检测传感器以及载荷检测传感器单元的制作方法

文档序号:11417507阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种载荷检测传感器,其特征在于,具备:

传感器片,其具有相互对置的树脂制的第1绝缘片以及第2绝缘片、设置于与所述第2绝缘片对置的所述第1绝缘片的面上的第1电极、以及配置于所述第1绝缘片以及所述第2绝缘片间并与所述第1电极成对的第2电极;以及

金属板,其设置在所述第2绝缘片中的同与所述第1绝缘片对置的所述第2绝缘片的面相反的一侧的面中至少与所述第1电极以及所述第2电极重叠的部位,

所述第2绝缘片的厚度小于所述金属板的厚度。

2.根据权利要求1所述的载荷检测传感器,其特征在于,还具备:

粘合层,其设置于所述第2绝缘片与所述金属板之间,将所述第2绝缘片与所述金属板粘合,

所述第2绝缘片以及所述粘合层的合计厚度小于所述金属板的厚度。

3.根据权利要求2所述的载荷检测传感器,其特征在于,所述粘合层的厚度为10μm以上,且为所述第2绝缘片的厚度的0.8倍以下。

4.根据权利要求1所述的载荷检测传感器,其特征在于,所述第2绝缘片的厚度在所述金属板的厚度的10%~75%的范围内。

5.根据权利要求1所述的载荷检测传感器,其特征在于,所述第2绝缘片的厚度小于所述第1绝缘片的厚度。

6.根据权利要求1所述的载荷检测传感器,其特征在于,还具备设置于所述第1绝缘片与所述第2绝缘片之间的间隔件,所述间隔件在85℃的气温环境下的弹性模量为10MPa以上。

7.根据权利要求1所述的载荷检测传感器,其特征在于,还具备:

间隔件,其构成为包含设置于所述第1绝缘片与所述第2绝缘片之间的绝缘片、将所述绝缘片与所述第1绝缘片粘合的第1粘合层、以及将所述绝缘片与所述第2绝缘片粘合的第2粘合层,

所述第1粘合层以及所述第2粘合层在85℃的气温环境下的弹性模量为10MPa以上。

8.一种载荷检测传感器单元,其特征在于,具备:

权利要求1~7中任一项所述的载荷检测传感器;以及

按压部件,其配置在所述金属板的与传感器片侧相反的一侧并具有按压所述金属板的按压部。

9.根据权利要求8所述的载荷检测传感器单元,其特征在于,

所述按压部件具有:面积比所述按压部与所述金属板接触的面积大并接受来自座垫的按压的顶壁。

10.根据权利要求9所述的载荷检测传感器单元,其特征在于,

所述顶壁的面积大于所述第1电极以及所述第2电极的面积,

所述按压部的面积小于所述第1电极以及所述第2电极的面积。

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