电子部件输送装置以及电子部件检查装置的制作方法

本发明涉及电子部件输送装置以及电子部件检查装置。

背景技术：

以往，例如已知有检查IC器件等电子部件的电特性的电子部件检查装置，在该电子部件检查装置组装有用于将IC器件输送至检查部的保持部的电子部件输送装置。在IC器件的检查时，将IC器件配置于保持部并相对于保持部对IC器件进行定位，并使设置于保持部的多个探针(电极)与IC器件的各端子接触。

作为能够进行这样的定位的保持部，考虑使用专利文献1所记载的收纳工具。该收纳工具具有收纳IC器件(工件)且俯视呈四边形的空腔，并形成有朝向该空腔的内侧开口的吸引孔。吸引孔被配置在上述四边形的角部，该吸引孔进行吸引，以便使IC器件碰撞该角部而能够进行定位。另外，作为进行定位的定时，在IC器件到达空腔的底面之后进行。

专利文献1：日本特开平11－198988号公报

然而，在专利文献1所记载的收纳工具中，通过吸引孔得到的吸引力最大也仅为大气压程度，存在根据定位前的吸引孔与IC器件的距离的程度的不同而产生不能够进行定位的情况。

技术实现要素：

本发明的目的在于提供一种能够容易地进行由电子部件保持部的对电子部件的定位的电子部件输送装置以及电子部件检查装置。

通过下述的本发明来实现这样的目的。

(应用例一)

本发明的电子部件输送装置的特征在于，具备：电子部件把持部，其把持电子部件；以及电子部件保持部，其保持上述电子部件，在上述电子部件保持部形成有流体流动的流路，在上述电子部件把持部释放上述电子部件而使上述电子部件下落时，上述流体向与上述电子部件下落的方向不同的方向流动。

由此，在进行由电子部件保持部的对电子部件的定位时，在该电子部件的下落中，流体能够使电子部件顺利地移动至欲被定位的位置。通过该移动，容易地进行电子部件的定位。

(应用例二)

优选在本发明的电子部件输送装置中，在上述电子部件保持部设置有：凹部；以及定位部，其配置于上述凹部，该定位部通过上述电子部件与其抵接来进行对上述电子部件的定位，上述电子部件把持部释放上述电子部件而使上述电子部件下落时，上述流体向使上述电子部件向上述定位部移动的方向流动。

由此，在进行由电子部件保持部的对电子部件的定位时，在该电子部件的下落中，流体能够使电子部件顺利地移动至欲被定位的位置。通过该移动，更加容易地进行电子部件的定位。

(应用例三)

优选在本发明的电子部件输送装置中，上述电子部件保持部具有构成第一角部的第一壁面以及第二壁面，上述第一壁面与上述第二壁面正交，上述电子部件保持部具有配置于上述第一角部且上述流体流过的第一流路，表示在上述第一流路内流动的上述流体的流动的第一向量分别不与上述第一壁面以及上述第二壁面正交。

由此，在电子部件的下落中，能够使该电子部件移动至欲被定位的位置。

(应用例四)

优选在本发明的电子部件输送装置中，上述电子部件保持部具有构成第二角部的第三壁面以及第四壁面，上述第二角部配置在与上述第一 角部对角的位置，上述电子部件保持部具有配置于上述第二角部且上述流体流过的第二流路，表示在上述第二流路内流动的上述流体的流动的第二向量分别不与上述第一壁面以及上述第二壁面正交。

由此，在电子部件的下落中，能够使该电子部件移动至欲被定位的位置。

(应用例五)

优选在本发明的电子部件输送装置中，在上述第一流路连接有吸引上述流体的吸引部，在上述第二流路连接有喷射上述流体的喷射部。

由此，在进行电子部件的定位的情况下，能够容易地使电子部件移动。

(应用例六)

优选在本发明的电子部件输送装置中，上述电子部件具备主体部、以及设置于上述主体部的多个端子，上述第二流路的开口部的至少一部分被配置于上述电子部件保持于上述电子部件保持部的状态下比上述主体部的配置有上述端子的端子配置面靠铅垂方向下方。

由此，在进行电子部件的定位的情况下，能够使电子部件浮起，能够容易地使电子部件移动。

(应用例七)

优选在本发明的电子部件输送装置中，上述电子部件保持部在检查上述电子部件的情况下保持上述电子部件。

由此，能够稳定地检查电子部件。

(应用例八)

优选在本发明的电子部件输送装置中，上述电子部件保持部保持上述电子部件并将其移动至规定的地方。

由此，例如能够尽量缩短电子部件的总输送时间。

(应用例九)

本发明的电子部件检查装置的特征在于，具备：电子部件把持部，其把持电子部件；电子部件保持部，其保持上述电子部件；以及检查部，其检查上述电子部件，在上述电子部件保持部形成有流体流过的流路，上述电子部件把持部释放上述电子部件而从使上述电子部件下落时，上述流体向与上述电子部件下落的方向不同的方向流动。

由此，在进行由电子部件保持部的对电子部件的定位时，在该电子部件的下落中，流体能够使电子部件顺利地移动至欲被定位的位置。通过该移动，容易地进行电子部件的定位。

附图说明

图1是表示本发明的电子部件检查装置的第一实施方式的示意图。

图2是表示图1所示的电子部件检查装置具备的各部的动作等的图。

图3是表示图1所示的电子部件检查装置具备的检查部的保持部的水平剖视图。

图4是表示在图1所示的电子部件检查装置具备的检查部的保持部定位了电子部件的状态的水平剖视图。

图5是用于说明在图1所示的电子部件检查装置中直至将电子部件定位于保持部为止的动作的垂直剖视图。

图6是用于说明在图1所示的电子部件检查装置中直至将电子部件定位于保持部为止的动作的垂直剖视图。

图7是用于说明在图1所示的电子部件检查装置中直至将电子部件定位于保持部为止的动作的垂直剖视图。

图8是用于说明在图1所示的电子部件检查装置中直至将电子部件定位于保持部为止的动作的垂直剖视图。

图9是表示本发明的电子部件检查装置(第二实施方式)具备的输 送部的保持部的水平剖视图。

图10是表示本发明的电子部件检查装置(第三实施方式)具备的检查部的保持部的水平剖视图。

具体实施方式

以下，基于附图所示的优选的实施方式对本发明的电子部件输送装置以及电子部件检查装置详细地进行说明。

(第一实施方式)

图1是表示本发明的电子部件检查装置的第一实施方式的示意图。图2是表示图1所示的电子部件检查装置具备的各部的动作等的图。图3是表示图1所示的电子部件检查装置具备的检查部的保持部的水平剖视图。图4是表示在图1所示的电子部件检查装置具备的检查部的保持部定位了电子部件的状态的水平剖视图。图5～图8分别是用于说明在图1所示的电子部件检查装置中直至将电子部件定位于保持部为止的动作的垂直剖视图。

此外，以下为便于说明，如图1所示，将相互正交的三个轴设为X轴、Y轴以及Z轴。另外，包括X轴和Y轴的XY平面为水平，Z轴为铅垂。另外，也将与X轴平行的方向称为“X方向”，将与Y轴平行的方向称为“Y方向”，将与Z轴平行的方向称为“Z方向”。另外，也将电子部件的输送方向的上游侧仅称为“上游侧”，将电子部件的输送方向的下游侧仅称为“下游侧”。另外，在本申请说明书中所说的“水平”并不限于完全的水平，只要不阻碍电子部件的输送，也包括相对于水平稍微(例如小于5°左右)倾斜的状态。另外，有时将图5～图8中的上侧称为“上”或者“上方”，将下侧称为“下”或者“下方”。

另外，在图3～图8中，图示作为检查部的四个保持部(电子部件保持部)中的一个，另外，图示输送部的四个手部单元中的一个。另外，在图3～图8中，在保持部中省略了与电子部件的端子接触的探针等的图示。

图1所示的检查装置(电子部件检查装置)1例如是用于检查、测 试(以下仅称为“检查”)BGA(Ball Grid Array：球栅阵列)封装、LGA(Land Grid Array：触点阵列)封装等的IC器件、LCD(Liquid Crystal Display：液晶显示器)、CIS(CMOS Image Sensor：CMOS图像传感器)等电子部件的电特性的装置。此外，以下为便于说明，代表性地说明作为欲进行检查的上述电子部件使用IC器件的情况，并将其设为“IC器件9”。而且，以下作为该IC器件9，以BGA封装为例进行说明。

首先，对IC器件9进行说明。

如图5～图8所示，IC器件9为BGA封装，具有主体部91、以及设置于主体部91的外部的多个端子(电极)92。虽然不对主体部91的形状进行特别限定，但在本实施方式中呈板状，另外，从其厚度方向(在IC器件9被保持于保持部51的状态下从Z方向)观察时呈四边形(参照图4)。应予说明，在本实施方式中，该四边形为正方形(或者长方形)。

主体部91的图5中下侧的面是端子配置面93，多个端子92在该端子配置面93配置为格子状(矩阵状)。另外，各端子92是半球状的焊球。此外，各端子92的形状当然并不限定于半球状。

接下来，对检查装置1进行说明。

如图1所示，检查装置1具备输送装置(电子部件输送装置)10。该输送装置10具有图4所示那样的进行对IC器件9的定位的定位机构100。

即，检查装置1具有供给部2、供给侧排列部3、输送部4、检查部5、回收侧排列部6、回收部7、以及进行这些各部的控制的控制部8。另外，检查装置1具有配置供给部2、供给侧排列部3、输送部4、检查部5、回收侧排列部6以及回收部7的基台(Base)11、和以收纳供给侧排列部3、输送部4、检查部5以及回收侧排列部6的方式覆盖在基台11上的盖12。此外，作为基台11的上表面的基台面111几乎水平，并在该基台面111上配置有供给侧排列部3、输送部4、检查部5、以及回收侧排列部6的结构部件。另外，除此而外，检查装置1也可以根据需要具有用于加热IC器件9的加热器、燃烧室等。

这样的检查装置1构成为供给部2向供给侧排列部3供给IC器件9，供给侧排列部3排列被供给的IC器件9，输送部4将排列后的IC器件9输送至检查部5，检查部5检查已输送的IC器件9，输送部4将结束了检查的IC器件9输送/排列至回收侧排列部6，回收部7回收排列至了回收侧排列部6的IC器件9。根据这样的检查装置1，能够自动地进行IC器件9的供给、检查、回收。应予说明，在检查装置1中，由供给部2、供给侧排列部3、输送部4、检查部5的一部分、回收侧排列部6、回收部7以及控制部8等构成输送装置10。输送装置10进行IC器件9的输送、通过定位机构100进行的IC器件9向检查部5的保持部51的定位等。

以下，对输送部4、检查部5以及定位机构100的结构进行说明。

输送部

如图2所示，输送部4是将配置在供给侧排列部3的载置动作台341上的IC器件9输送至检查部5，并将结束了由检查部5的检查的IC器件9输送至回收侧排列部6的单元。这样的输送部4具有梭动件(shuttle)41、供给机械手(Robot)42、检查机械手43、以及回收机械手44。

梭动件

梭动件41是用于将载置动作台341上的IC器件9输送至检查部5的附近，并且将由检查部5进行了检查的检查完毕的IC器件9输送至回收侧排列部6的附近的梭动件。在这样的梭动件41，在X方向上排列形成有四个用于收纳IC器件9的由凹部构成的凹槽(Pocket)(保持部)411。另外，梭动件41被直线运动引导件引导，能够通过线性马达等驱动源在X方向上往复移动。

供给机械手

供给机械手42是将配置在载置动作台341上的IC器件9输送至梭动件41的机械手。这样的供给机械手42具有被基台11支承的支承架421、被支承架421支承且能够相对于支承架421在Y方向上往复移动的移动架422、以及被移动架422支承的四个手部单元(把持机械手)423。各手部单元423具备升降机构以及吸附嘴，能够通过吸附来把持 IC器件9。

检查机械手

检查机械手43是向检查部5输送收纳至了梭动件41的IC器件9(参照图5～图7)，并将结束了检查的IC器件9从检查部5输送至梭动件41的机械手。另外，检查机械手43也能够在检查时向检查部5推压IC器件9，对IC器件9施加规定的检查压(参照图8)。这样的检查机械手43具有被基台11支承的支承架431、被支承架431支承且能够相对于支承架431在Y方向上往复移动的移动架432、以及被移动架432支承的四个手部单元(把持机械手)(电子部件把持部)433。

各手部单元433具备升降机构以及吸附嘴434(参照图5)，能够通过吸附来把持(保持)IC器件9。各手部单元433相同，所以以下，对其中一个进行说明。

手部单元433从Z方向(铅垂方向)观察时呈与下述的检查部5的保持部51的凹部55对应的形状。具体而言，手部单元433从Z方向观察时呈四边形，且比凹部55的内周部稍小。此外，在本实施方式中，该四边形是正方形(或者长方形)。该手部单元433配置在使IC器件9落入至保持部51的凹部55时相对于保持部51在规定的距离的位置，由此，能够通过手部单元433覆盖凹部55(参照图5～图8)。

另外，在吸附嘴434连接有未图示的与吸引泵连接的管体，通过该吸引泵的动作来吸附IC器件9。此外，吸引泵的驱动由控制部8来控制。

回收机械手

回收机械手44是将结束了由检查部5的检查的IC器件9输送至回收侧排列部6的机械手。这样的回收机械手44具有被基台11支承的支承架441、被支承架441支承且能够相对于支承架441在Y方向上往复移动的移动架442、以及被移动架442支承的四个手部单元(把持机械手)443。各手部单元443具备升降机构以及吸附嘴，能够通过吸附来把持IC器件9。

这样的输送部4如以下方式输送IC器件9。首先，梭动件41向图中左侧移动，供给机械手42将载置动作台341上的IC器件9输送至梭动件41(STEP1)。接下来，梭动件41向中央移动，检查机械手43将梭动件41上的IC器件9输送至检查部5(STEP2)。接下来，检查机械手43将结束了由检查部5的检查的IC器件9输送至梭动件41(STEP3)。接下来，梭动件41向图中右侧移动，回收机械手44将梭动件41上的检查完毕的IC器件9输送至回收侧排列部6。通过反复这样的STEP1～STEP3，能够将IC器件9经由检查部5输送至回收侧排列部6。

以上，对输送部4的结构进行了说明，但作为输送部4的结构，若能够将载置动作台341上的IC器件9输送至检查部5，并将结束了检查的IC器件9输送至回收侧排列部6，则不进行特别限定。例如也可以省略梭动件41，而利用供给机械手42、检查机械手43以及回收机械手44的任意一个机械手来进行从载置动作台341向检查部5的输送、以及从检查部5向回收侧排列部6的输送。

检查部

检查部5是检查、测试IC器件9的电特性的单元。如图2所示，检查部5具有配置IC器件9的四个保持部51。在这些保持部51分别设置有与IC器件9的端子电连接的多个探针(未图示)。各探针与控制部8电连接。在IC器件9的检查时，一个IC器件9配置(保持)于一个保持部51。配置于保持部51的IC器件9的各端子92分别通过检查机械手43的手部单元433的按压而被以规定的检查压推压至各探针。由此，IC器件9的各端子92与各探针电连接(接触)，经由探针进行IC器件9的检查。基于存储于控制部8的程序进行IC器件9的检查。此外，对于保持部51，后面进行详细叙述。

控制部

控制部8例如具有检查控制部和驱动控制部。检查控制部例如基于存储于未图示的存储器内的程序来进行配置于检查部5的IC器件9的电特性的检查等控制。另外，驱动控制部例如控制供给部2、供给侧排列部3、输送部4、检查部5、回收侧排列部6以及回收部7的各部的驱 动，进行IC器件9的输送、IC器件9向保持部51的定位等控制。

定位机构

接下来，对定位机构100进行说明，但检查部5的四个保持部51的各定位机构100相同，所以以下对其中一个进行说明。

如图3～图8所示，定位机构100具备具有保持部主体510的保持部51、两条管体135以及136、两个阀门145以及146、两个泵155以及156、以及手部单元433。管体135以及136的内腔是空气G(流体)流动的流路。此外，管体135以及136中的插入至保持部主体510的下述的壁部53的部位(一端部)是保持部51的结构构件。即，由保持部主体510和管体135以及136的插入至壁部53的部位(一端部)等构成保持IC器件9的保持部51。

如图5～图8所示，保持部主体510具备：具有保持IC器件9的保持面(电子部件保持面)52的基板54、和在基板上以包围保持面52的方式设置的壁部53。应予说明，保持面52与XY平面平行。

另外，不对壁部53的形状进行特别限定，但在本实施方式中，壁部53呈四边形的框状，并形成于基板54的外周部。即，从Z方向观察时，壁部53的内表面的形状以及外表面的形状分别为四边形。此外，在本实施方式中，该四边形是正方形或者长方形。由此，在保持部主体510上形成从Z方向观察时呈四边形的凹部55。该凹部55的底面为保持面52。

另外，相对于保持面52竖立设置的四个面即第一壁面553、第二壁面554、第三壁面555以及第四壁面556构成凹部55的内表面。第一壁面553～第四壁面556的邻接的壁面彼此相互正交。而且，第一壁面553与第二壁面554构成直角的第一角部551，第三壁面555与第四壁面556配置在与第一角部551对角的位置，并构成直角的第二角部552。在本实施方式中，如图4所示，将IC器件9的四个角部中的一个角部94与第一角部551碰撞抵接而进行定位。像这样，在保持部51中，第一角部551被设定为在该保持部51内进行对IC器件9的定位的基准点(定位部)。

在壁部53的内周部的上部形成有内侧比外侧低的倾斜面531。由此，在将IC器件9配置于保持部51时，容易将IC器件9沿倾斜面531插入至凹部55内，并配置在保持面52上。

另外，在保持部主体510的壁部53连接有管体135、136的一端部。该情况下，管体135、136的一端部分别配置于四边形的对角。而且，管体135的一端部的开口(开口部)1351配置于第一角部551并且开放，管体136的一端部的开口(开口部)1361配置于第二角部552并且开放。

在本实施方式中，由管体135的插入至壁部53的部位(一端部)构成第一流路，由管体136的插入至壁部53的部位(一端部)构成第二流路。如图3、图4所示，表示在第一流路内流动的空气G的流动的第一向量V₁分别不与第一壁面553以及第二壁面554正交。即，第一向量V₁与第一壁面553所成的角度为45°，第一向量V₁与第二壁面554所成的角度也为45°。另外，表示在第二流路内流动的流体的流动的第二向量V₂也分别不与第一壁面553以及第二壁面554正交。即，第二向量V₂与第一壁面553所成的角度为45°，第二向量V₂与第二壁面554所成的角度也为45°。如图6所示，通过第一向量V₁与第二向量V₂分别像这样朝向相同的方向，能够在IC器件9的下落中容易地使该IC器件9移动至作为定位的基准点的第一角部551侧。

应予说明，在IC器件9的俯视的形状为正方形的情况下，第一向量V₁与第一壁面553所成的角度为45°，但在IC器件9的俯视的形状为正方形以外的四边形(例如长方形)的情况下，第一向量V₁与第一壁面553所成的角度不为45°，而为对角线方向。

如图6所示，开口1351、1361被配置于在IC器件9保持于保持部51的状态下比端子配置面93靠Z方向下方。通过这样的配置，能够通过凹部55内的空气流使IC器件9浮起，在进行IC器件9的定位的情况下，能够使IC器件9充分地移动至第一角部551侧。

此外，在本实施方式中，开口1351与开口1361的Z方向的位置关系为相同的位置，但并不限定于此，也可以是不同的位置。在该情况下，优选开口1361比开口1351位于Z方向上方。该结构是在欲将IC器件9推压至凹部55的保持面52侧的情况下有效的结构。

另外，开口1351与开口1361的大小在本实施方式中相同，但并不限定于此，也可以不同。在该情况下，优选开口1351比开口1361小。

另外，如图3、图4所示，也可以将管体135、136的下游侧的内径缩小。

在管体135的与一端部不同的另一端部连接有泵155。另外，在管体135的中途设置有阀门145。另一方面，在管体136的与一端部不同的另一端部连接有泵156。另外，在管体136的中途设置有阀门146。泵156是喷射空气G的喷射部，泵155是吸引空气G的吸引部。若通过泵156的动作从泵156喷射空气G，则该空气G在管体136内流动，并从开口1361喷射至凹部55内。另外，若通过泵155的动作，泵155吸引空气G，则凹部55内的空气G从开口1351被吸引(排出)，该空气G在管体135内流动并排出至外部。此外，能够将喷射空气G的泵代替为压缩机、气瓶等压缩空气产生源。

另外，通过开口1351得到的吸引力最大超过大气压，与凹部55的保持面52与IC器件9的摩擦的大小无关，能够进行对该IC器件9的定位。

另外，能够通过阀门145的开闭来开闭管体135的内腔，能够通过阀门146的开闭来开闭管体136的内腔。另外，作为阀门145、146，若使用能够调整其开度的阀门，则能够通过上述开度的调整来调整在管体135、136内流动的空气G的流量。即，能够通过阀门146的开度的调整来调整空气G的喷射压或者喷射流量。另外，能够通过阀门145的开度的调整来调整空气G的吸引压或者吸引流量。因此，由阀门146构成调整空气G的喷射压或者喷射流量的调整部，另外，由阀门145构成调整空气G的吸引压或者吸引流量的调整部。

此外，空气G的喷射压与空气G的吸引压可以相同，也可以不同。在空气G的喷射压与空气G的吸引压不同的情况下，优选空气G的喷射压比空气G的吸引压大。

另外，也能够通过调整泵155、156的输出来调整在管体135、136内流动的空气G的流量。此外，由控制部8控制泵155、156以及阀门 145、146的驱动。

接下来，对将IC器件9定位于保持部51的情况下的动作进行说明。

首先，如图5所示，通过手部单元433保持IC器件9，并将该IC器件9插入至保持部51的凹部55内的规定的位置。在本实施方式中，使手部单元433的下端部配置在凹部55内的上端部，并使手部单元433停止。由此，通过该手部单元433覆盖凹部55。由此，能够抑制空气G从凹部55内泄漏，另外，能够防止IC器件9因空气流而从凹部55飞出。

接下来，如图6所示，从手部单元433释放IC器件9，即、使其脱离。由此，IC器件9开始在凹部55内自由下落。另外，如上所述，伴随手部单元433对IC器件9的释放动作，即与释放动作同步，从管体136喷出空气G，并且从管体135吸引空气G。由此，在IC器件9下落时，空气G向与IC器件9下落的方向不同的方向流动，即，空气G向朝向第一角部551侧推压IC器件9即使IC器件9朝向第一角部551侧移动的方向流动。而且，IC器件9在自由下落中被空气流(风压)推压至第一角部551侧而使其角部94与第一角部551碰撞，并保持该状态地到达保持面52。通过上述动作，IC器件9的定位结束(参照图7)。

像这样，在保持部51中，在进行对IC器件9的定位时，在IC器件9的下落中，使朝向空气G通过第一角部551的方向的空气G的流动产生，由此，能够使IC器件9顺利地移动至定位的基准点。由此，容易地进行IC器件9的定位。

此外，如图7所示，优选将这样的空气G的流动至少维持至IC器件9被配置在保持面52上为止。

另外，如上述那样，IC器件9因凹部55内的空气流而被浮起。由此，能够争取IC器件9的滞空时间，因而，能够使IC器件9充分地倚靠至第一角部551，有助于IC器件9的定位。

接下来，如图8所示，使手部单元433从图7所示的状态下降，并通过该手部单元433向下方按压IC器件9。通过该手部单元433的按 压，IC器件9的各端子92与各探针电连接。之后，进行IC器件9的检查。

(第二实施方式)

图9是表示本发明的电子部件检查装置(第二实施方式)具备的输送部的保持部的水平剖视图。

以下，参照该图对本发明的电子部件输送装置以及电子部件检查装置的第二实施方式进行说明，但以与上述的实施方式的不同点为中心进行说明，对于相同的事项，省略其说明。

除了定位机构的配设位置不同以外，本实施方式与上述第一实施方式相同。

如图9所示，在本实施方式中，定位机构100配置在保持未检查的IC器件9并使其移动至检查部5的附近，且保持检查完毕的IC器件9并使其移动至回收侧排列部6的附近的梭动件41上。梭动件41的各凹槽(Pocket)411中的定位机构100相同，所以以下对其中一个进行说明。

定位机构100与梭动件41连接，并具有与凹槽411连通的两条管体165以及166、两个阀门175以及176、以及两个泵185以及186。管体165的内腔是吸引空气G的第一流路，管体166的内腔是喷出空气G的第二流路。

从Z方向观察时，凹槽411呈正方形(或者长方形)，在由作为凹槽411的内表面的第一壁面413与第二壁面414构成的第一角部417配置有管体165的开口1651。另外，在由作为凹槽411的内表面的第三壁面415与第四壁面416构成的第二角部418配置有管体166的开口1661。应予说明，在梭动件41中，第一角部417被设定为在凹槽411内进行对IC器件9的定位的基准点(定位部)。

而且，表示在第一流路内流动的空气G的流动的第一向量V₁与第一壁面413所成的角度为45°，第一向量V₁与第二壁面414所成的角度也为45°。另外，表示在第二流路内流动的流体的流动的第二向量 V₂与第一壁面413所成的角度为45°，第二向量V₂与第二壁面414所成的角度也为45°。

应予说明，在IC器件9的俯视的形状为正方形的情况下，第一向量V₁与第一壁面413所成的角度为45°，但在IC器件9的俯视的形状为正方形以外的四边形(例如长方形)的情况下，第一向量V₁与第一壁面413所成的角度不为45°，而成为对角线方向。

如上所述，即使通过配置于梭动件41的定位机构100，也能够与第一实施方式几乎相同地，在IC器件9在凹槽411内的下落中，容易地使该IC器件9移动至作为定位的基准点的第一角部417侧。由此，能够容易地进行对IC器件9的定位。

(第三实施方式)

图10是表示本发明的电子部件检查装置(第三实施方式)具备的检查部的保持部的水平剖视图。

以下，参照该图对本发明的电子部件输送装置以及电子部件检查装置的第三实施方式进行说明，但以与上述的实施方式的不同点为中心进行说明，对于相同的事项，省略其说明。

除了定位机构的结构不同以外，本实施方式与上述第一实施方式相同。

如图10所示，在本实施方式中，定位机构100具有与保持部51连接的四条管体131、132、133以及134、四个阀门141、142、143以及144、以及四个泵151、152、153以及154。管体131～134的内腔是空气(流体)流动的流路。另外，管体131～134的一端部的开口(开口部)1311、1321、1331、1341在壁部53的内表面开放。此外，由管体131的插入至壁部53的部位(一端部)构成第一流路，由管体132的插入至壁部53的部位(一端部)构成另一条第一流路。另外，由管体133的插入至壁部53的部位(一端部)构成第二流路，由管体134的插入至壁部53的部位(一端部)构成另一条第二流路。

在本实施方式中，管体131以及132的一端部配置在凹部55的第 一角部551的附近，管体133以及134的一端部配置在凹部55的第二角部552的附近。并且，管体131的一端部与构成凹部55的内表面的第一壁面553正交，管体132的一端部与构成凹部55的内表面的第二壁面554正交，管体133的一端部与构成凹部55的内表面的第三壁面555正交，管体134的一端部与构成凹部55的内表面的第四壁面556正交。

由此，表示在管体131的一端部流动的流体的流动的第一向量V₁与表示在管体132的一端部流动的流体的流动的第一向量V₁所成的角度为90°。由此，合成双方的向量而得的向量为使IC器件9朝向第一角部551的方向的向量。另外，表示在管体133的一端部流动的流体的流动的第二向量V₂与表示在管体134的一端部流动的流体的流动的第二向量V₂所成的角度为90°。由此，合成双方的向量而得的向量也为使IC器件9朝向第一角部551的方向的向量。

通过使这样的向量产生的定位机构100，与第一实施方式相同，能够使下落中的IC器件9移动至作为定位的基准点的第一角部551侧，因此，能够容易地进行对IC器件9的定位。

此外，在定位机构100中，管体131的一端部的流路方向与管体132的一端部的流路方向交叉即可，另外，管体133的一端部的流路方向与管体134的一端部的流路方向交叉即可。即，表示在管体131的一端部流动的流体的流动的第一向量V₁与表示在管体132的一端部流动的流体的流动的第一向量V₁所成的角度不是0°以及180°即可，表示在管体133的一端部流动的流体的流动的第二向量V₂与表示在管体134的一端部流动的流体的流动的第二向量V₂所成的角度不是0°以及180°即可。

以上，基于图示的实施方式对本发明的电子部件输送装置以及电子部件检查装置进行了说明，但本发明并不限定于此，能够将构成电子部件输送装置以及电子部件检查装置的各部置换为能够发挥相同的功能的任意的结构的各部。另外，也可以附加任意的结构物。

另外，本发明的电子部件输送装置以及电子部件检查装置也可以是组合了上述各实施方式中的任意两个以上的结构(特征)的装置。

另外，当然，梭动件的凹槽的配置数量以及配置方式、供给机械手的手部单元的配置数量以及配置方式、检查机械手的手部单元的配置数量以及配置方式、回收机械手的手部单元的配置数量以及配置方式、以及检查部的保持部的配置数量以及配置方式并不限定于图2所示的结构。

另外，在上述各实施方式中，电子部件保持部为具有第一流路和第二流路的双方的结构，但并不限定于此，也可以为省略了第二流路的结构。

另外，在上述各实施方式中，作为流体使用了空气，但在本发明中，并不限定于此，例如能够应用氮气、氩气、二氧化碳、氟类气体、包括这些气体的混合气体等各种绝缘性气体等气体。

符号说明：1…检查装置，10…输送装置，100…定位机构，11…基台，111…基台面，12…盖，2…供给部，3…供给侧排列部，341…载置动作台，4…输送部，41…梭动件，411…凹槽，413…第一壁面，414…第二壁面，415…第三壁面，416…第四壁面，417…第一角部，418…第二角部，42…供给机械手，421…支承架，422…移动架，423…手部单元，43…检查机械手，431…支承架，432…移动架，433…手部单元，434…吸附嘴，44…回收机械手，441…支承架，442…移动架，443…手部单元，5…检查部，51…保持部，510…保持部主体，52…保持面，53…壁部，531…倾斜面，54…基板，55…凹部，551…第一角部，552…第二角部，553…第一壁面，554…第二壁面，555…第三壁面，556…第四壁面，6…回收侧排列部，7…回收部，8…控制部，9…IC器件，91…主体部，92…端子，93…端子配置面，94…角部，131、132、133、134、135、136、165、166…管体，1311、1321、1331、1341、1351、1361、1651、1661…开口，141、142、143、144、145、146、175、176…阀门，151、152、153、154、155、156、185、186…泵，G…空气，V₁…第一向量，V₂…第二向量。