一种改善夹持状态下基板边缘平坦度的承载装置的制作方法

文档序号:11467015阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种改善夹持状态下基板边缘平坦度的承载装置,其特征在于,包括:

载台,所述载台的台面水平设置;

夹持装置,包括两个长条夹板和动力装置;所述夹板对称设置在所述载台两侧,所述夹板的板面相对且相互平行;所述动力装置分别与所述夹板连接,用于驱动所述夹板相互靠近或远离;

高度检测装置,包括检测头和计算装置;所述检测头包括距离检测系统,所述检测头以预定高度正对的设置在所述台面上方且可在水平面上移动;所述计算装置包括距离差计算程序,所述计算装置与所述检测头连接;

高度调节装置,包括多个控制单元和多个支撑单元;所述支撑单元排列在所述台面两侧;所述控制单元连接所述高度检测装置与所述支撑单元。

2.如权利要求1所述的承载装置,其特征在于,所述台面可沿一水平方向移动。

3.如权利要求2所述的承载装置,其特征在于,所述夹板长度方向与所述台面移动方向平行。

4.如权利要求1所述的承载装置,其特征在于,所述检测头包括自动对焦系统。

5.如权利要求1所述的承载装置,其特征在于,所述支撑单元排列方向与所述夹板长度方向平行。

6.如权利要求1所述的承载装置,其特征在于,所述支撑单元为出气效果可控的气浮孔,所述气浮孔的出气端与所述台面平齐,出气方向与所述台面垂且指向所述台面上方。

7.如权利要求6所述的承载装置,其特征在于,所述气浮孔包括第一气浮孔和第二气浮孔,所述第一气浮孔嵌套在所述第二气浮孔中,所述第一气浮孔与所述第二气浮孔受所述控制单元单独控制。

8.如权利要求1所述的承载装置,其特征在于,所述支撑单元为可升降的支撑柱,在所述支撑柱降到最低点时,所述支撑柱的顶端与所述台面平齐,升降方向与所述台面垂直,上升方向指向所述台面上方。

9.如权利要求8所述的承载装置,其特征在于,所述支撑柱为圆柱状支撑杆,所述支撑柱的轴线与所述台面垂直,所述支撑柱与玻璃基板接触的一端为圆顶状。

10.如权利要求1所述的承载装置,其特征在于,每个所述支撑单元可被独立控制。

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