容器收纳设备的制作方法

本发明涉及容器收纳设备，前述容器收纳设备具备收纳部、气体供给装置，前述收纳部被在收纳区域上设置多个，收纳容器，前述气体供给装置将前述收纳区域的前述多个收纳部的一部分或全部作为供给收纳部，向被收纳于前述供给收纳部的前述容器的内部供给气体，前述气体供给装置具备配管、质量流量控制器和多个连接部，前述多个连接部相对于多个前述供给收纳部的每一个设置，且与被收纳于前述供给收纳部的前述容器连接，前述配管将被从设置于前述收纳区域的外部的供给源供给的气体向前述多个连接部分岔地供给，前述质量流量控制器控制在前述配管内流通的气体的流量。

背景技术：

该容器收纳设备的以往例被在日本特开2013－133193号公报（专利文献1）中公开。在专利文献1的容器收纳设备中，由属于一个区的多个供给收纳部构成供给收纳部组。气体供给装置相对于构成供给收纳部组的两个以上的供给收纳部的每一个具备两个以上的第1配管。并且，专利文献1的气体供给装置使被从第2配管供给的气体借助分岔配管向两个以上的第1配管分岔，借助两个以上的第1配管，对构成供给收纳部组的两个以上的供给收纳部的每一个供供气体。

并且，在专利文献1的容器收纳设备中，气体供给装置的质量流量控制器被设置于两个以上的第1配管的每一个的流路上。此外，质量流量控制器被设置于收纳区域，在前述收纳区域设置有收纳部。具体地，质量流量控制器在容器被收纳于收纳部的情况下，被设置于与该容器的横侧方相邻的位置。

在上述以往的容器收纳设备中，质量流量控制器被设置于设置有收纳部的收纳区域，所以在质量流量控制器的温度上升的情况下，有该温度上升的影响对被收纳于收纳部的容器，特别是，对被容纳于容器的容纳物施加影响的可能性。

此外，第1配管被相对于多个供给收纳部的每一个设置，在多个第1配管的每一个上设置有质量流量控制器。因此，质量流量控制器的设置数量较多，气体供给装置的制造成本变高。

技术实现要素：

因此，需要一种收纳区域的容器难以受到质量流量控制器的温度上升的影响、且能够抑制气体供给装置的制造成本的容器收纳设备。

本发明的容器收纳设备的技术方案为，一种容器收纳设备，具备收纳部、气体供给装置，前述收纳部被在收纳区域上设置多个，收纳容器，前述气体供给装置将前述收纳区域的多个前述收纳部的一部分或全部作为供给收纳部，向被收纳于前述供给收纳部的前述容器的内部供给气体，其特征在于，前述气体供给装置具备配管、质量流量控制器和多个连接部，前述多个连接部被相对于多个前述供给收纳部的每一个设置，且与被收纳于前述供给收纳部的前述容器连接，前述配管将被从设置于前述收纳区域的外部的供给源供给的气体向前述多个连接部分岔地供给，前述质量流量控制器控制在前述配管内流通的气体的流量，前述配管具备第2配管、分岔配管、两个以上的第1配管，前述两个以上的第1配管相对于由前述多个供给收纳部的一部分或全部构成的供给收纳部组，被相对于构成前述供给收纳部组的两个以上的前述供给收纳部的每一个设置，前述第2配管形成在气体的流通方向上比前述两个以上的第1配管靠上游侧设置的单一的流路，前述分岔配管使被从前述第2配管供给的气体向前述两个以上的第1配管分岔，前述质量流量控制器被设置于前述第2配管的前述单一的流路上，设置于设置区域，前述设置区域被设定于前述收纳区域的外部。

根据该方案，在第2配管上设置质量流量控制器，由此相对于构成供给收纳部组的多个供给收纳部设置一个质量流量控制器。因此，能够减少质量流量控制器的设置数量，能够抑制气体供给装置的制造成本。此外，通过在位于比第1配管靠上游侧的位置的第2配管上设置质量流量控制器，容易将质量流量控制器设置于从收纳部离开的位置。在被设定于具备多个收纳部的收纳区域的外部的区域上设置质量流量控制器，由此被容纳于该收纳部的容器难以受到质量流量控制器的温度上升的影响。

附图说明

图1是第1实施方式的容器收纳设备的侧视图。

图2是第1实施方式的容器收纳设备的主视图。

图3是表示第1实施方式的相对于供给收纳部组的配管的图。

图4是第1实施方式的容器的主视图。

图5是第2实施方式的容器收纳设备的侧视图。

具体实施方式

〔第1实施方式〕

以下，基于附图，对容器收纳设备的第1实施方式进行说明。

如图1所示，容器收纳设备具备收纳容器w的收纳架1、输送容器w的堆垛起重机2、气体供给装置3。此外，在容器收纳设备上，具备壁体k和输送带4，前述壁体k覆盖设置收纳架1、堆垛起重机2的收纳区域e1的一侧的周围，前述输送带4被以将壁体k贯通的状态设置，将容器w输送。

在收纳架1上，具备能够收纳容器w的多个收纳部1a。气体供给装置3构成为，向被收纳于收纳部1a的容器w的内部，供给作为气体的洁净干燥空气（以下简称为干燥空气）。即，借助气体供给装置3被向容器w的内部供给的气体为，比收纳部1a中的气体湿度低的气体。

容器w构成为能够容纳1张衬底。在本实施方式中，将衬底设置为掩模（レチクル），此外，容器w设置为收纳掩模的容器w。

输送带4设置成，在位于壁体k的外侧的外部部位和位于壁体k的内侧的内部部位之间输送容器w。输送带4设置于较高位置和较低位置。在与被设置于较高位置的输送带4对应的外部部位上，顶棚输送车（图中未示出）进行容器w的装卸。在与被设置于较低位置的输送带4对应的外部部位上，操作者进行容器w的装卸。另外，被设置于较低位置的输送带4未被图示。

并且，堆垛起重机2在对应于输送带4的内部部位和收纳架1的收纳部1a之间输送容器w。

容器收纳设备被设置于洁净室内，前述洁净室为，空气（气体）在内部区域e，从顶棚侧向地面侧向下方流动的下游式的洁净室。若加以说明，则在收纳区域e1的正上方，设置有使气体向下方流动的送风风扇5。通过该送风风扇5的送风作用，使气体在收纳区域e1及设置区域e2从顶棚侧向地面侧向下方流动。另外，送风风扇5相当于，遍及收纳区域e1和设置区域e2使设备内的气体向下方流动的气流发生装置。

洁净室地面部f由下部地面部f2、与下部地面部f2相比被配设于上侧的上部地面部f1构成。下部地面部f2是没有通气孔的地面，在本实施方式中，由无孔状的混凝土构成。堆垛起重机2在该下部地面部f2上行进。上部地面部f1是格栅地面，形成有多个在上下方向y上贯通的通气孔。操作者在该上部地面部f1上步行。另外，上部地面部f1被设置于比下部顶棚部c2（参照图5）靠下方的位置，且被设置于比下部地面部f2靠上方的位置，相当于构成为在上下方向y上能够使气体穿过的作业地面。

以下，在收纳架1的长度方向（堆垛起重机2行进的行进方向）上观察，将收纳架1和堆垛起重机2排列的方向设为前后方向x，将堆垛起重机2相对于收纳架1存在的方向设为内侧方向x1，将其相反方向设为外侧方向x2来说明。另外，前后方向x为地面上壁31的厚度方向。此外，内侧方向x1为收纳区域e1相对于地面上壁31存在的方向即第1方向，外侧方向x2为与第1方向相反的方向即第2方向。此外，被壁体k覆盖的区域和比上部地面部f1靠下方的区域为内部区域e。

壁体k覆盖收纳区域e1。由此，限制空气从流入口33以外的部分向收纳区域e1流通。壁体k具备地面上壁31和地面下壁32。地面上壁31位于比上部地面部f1的上表面靠上方的位置，且位于比顶棚c靠下方的位置。地面下壁32位于比上部地面部f1的上表面靠下方的位置，且位于比下部地面部f2靠上方的位置。

如图1所示，地面下壁32形成为具备4个面的地面下壁部32a的四边筒状。在地面下壁部32a上，形成有使空气从地面下壁部32a的内侧方向x1向外侧方向x2空气流出的流出口（图中未示出）。

地面上壁31也形成为具备4个面的地面上壁部31a的四边筒状。地面上壁31除了具备地面上壁部31a，还具备形成该地面上壁31的上表面的上壁部31b。地面上壁部31a设置成，限制空气从流入口33以外的部分向收纳区域e1流通的状态。另外，在图1中，表示了将前后方向x的一方向堵塞的地面上壁部31a、将前后方向x的另一方向堵塞的地面上壁部31a、形成上表面的上壁部31b。

在地面上壁31的上端，形成有使空气从地面上壁31的上方向收纳区域e1流入的流入口33。若加以说明，则在地面上壁31的上端，具备形成有地面上壁31的上表面的上壁部31b，在该上壁部31b的一部分上形成有在上下方向y上允许空气的流通的流入口33。送风风扇5以将该流入口33堵塞的方式设置于上壁部31b。另外，地面上壁31相当于，在相对于下部地面部f2在上方隔开间隔的位置上以沿上下方向y的姿势设置的主壁部。

并且，通过送风风扇5的送风作用从形成于壁体k的上端的流入口33向壁体k的内部流入的空气，在壁体k内的收纳区域e1从上方向下方流动后，从形成于壁体k的地面下壁部32a的流出口向壁体k的外部流出。

〔容器〕

如图4所示，在容器w的底部设置有供气部6和排气部7。供气部6是用于将被从气体供给装置3的连接部18排出的干燥空气向容器w的内部供给的部分。在供气部6上，具备供气用开闭阀（图中未示出）。排气部7是用于将容器w的内部的气体向容器w的外部排出的部分。在排气部7具备排气用开闭阀（图中未示出）。

供气部6的供气用开闭阀借助弹簧等施力件被施力成关闭状态。若在气体供给装置3的连接部18被连接于供气部6的状态下，干燥空气被从该连接部18喷出，则借助该喷出的干燥空气的圧力，供气用开闭阀被进行打开操作，干燥空气被从供气部6向容器w的内部供给。此外，排气部7的排气用开闭阀借助弹簧等施力件被施力成关闭状态。若借助基于气体供给装置3的干燥空气的供给，容器w的内部的圧力升高，则借助该圧力，排气用开闭阀被进行打开操作，容器w的内部的气体被从排气部7排出。

〔收纳架〕

如图1所示，在收纳架1上，以在上下方向y及横向（架的延伸方向）排列的状态配置有收纳部1a。

如图1及图3所示，在多个收纳部1a的每一个上，具备将容器w从下方支承的支承部9。收纳部1a构成为，以借助支承部9将容器w从下方支承的状态收纳该容器w。在支承部9上，具备用于将水平方向上的容器w的规定位置定位的突起9a。此外，支承部9将连接部18支承，前述连接部18被连接于收纳于收纳部1a的容器w。该连接部18以容器w被支承于支承部9的规定位置的状态，连接于该容器w的供气部6。连接部18相对于在规定位置处被支承于支承部9的状态的容器w，配置于能够与该容器w的供气部6连接的位置。

即，若容器w被收纳于收纳部1a而被支承于支承部9，则该容器w借助突起9a被定位于规定位置，并且连接部18被连接于供气部6。并且，构成为，在容器w被支承于支承部9的状态下，干燥空气被从连接部18排出，由此干燥空气被从供气部6供给至容器w的内部，并且容器w的内部的气体被从排气部7排出。

在多个收纳部1a的每一个具备的支承部9的全部上，支承有连接部18。因此，收纳架1的多个收纳部1a全部被设置成，干燥空气被气体供给装置3供给的供给收纳部。

因此，在以下的说明中，关于供给收纳部，仅称作收纳部1a来说明。

收纳架1被设置于下部地面部f2上。收纳架1的多个收纳部1a全部被配设成位于比上部地面部f1靠上方的位置。因此，将在上下方向y上排列的收纳部1a的位于最下方的收纳部1a设为最下级的收纳部1a，在该最下级的收纳部1a处具备的支承部9被设置于比上部地面部f1靠上方的位置。

在内部区域e的比上部地面部f1靠上方处，被壁体k包围的区域被设置成收纳区域e1。收纳架1具备的多个收纳部1a全部被设置于收纳区域e1。此外，内部区域e的比上部地面部f1靠下方的区域被设置成设置区域e2。该设置区域e2位于比最下级的收纳部1a所具备的支承部9靠下方的位置。即，内部区域e由收纳区域e1和设置区域e2构成，前述收纳区域e1是在比上部地面部f1靠上方处被壁体k包围的区域，前述设置区域e2是比上部地面部f1靠下方的区域。

另外，在本实施方式中，将收纳架1的多个收纳部1a（供给收纳部）全部设置于比上部地面部f1靠上方的位置，所以在比上部地面部f1靠上方处，被壁体k包围的区域被设置为收纳区域e1。但是，在将收纳架1的收纳部1a的一部分设置于比上部地面部f1靠下方的位置的情况下，也可以将在比上部地面部f1靠下方处被壁体k包围的区域的一部分或全部设置为收纳区域e1的一部分。例如，也可以使收纳区域e1向下方延伸至最下级的收纳部1a（供给收纳部）的支承部9的下端。该情况下，主壁部比上部地面部f1向下方延伸。

收纳架1具备的多个收纳部1a属于多个供给收纳部组g的某一个。如图1及图2所示，供给收纳部组g由仅在上下方向y上排列的两个以上的收纳部1a构成。此外，在收纳架1处，从最上级至最下级排列成1列的多个收纳部1a被分成多个供给收纳部组g。由在上下方向上排列的多个供给收纳部组g形成1列收纳架1。在本实施方式中，如图1所示，在收纳架1上在上下方向y上排列有33个收纳部1a，供给收纳部组g由在上下方向y上排列的11个收纳部1a构成。即，在上下方向y上排列成1列的33个收纳部1a被分成3个供给收纳部组g。这样，供给收纳部组g由收纳架1所具备的的多个收纳部1a的一部分构成，构成供给收纳部组g的两个以上的收纳部1a被配置成仅在上下方向y上排列。

〔堆垛起重机〕

如图1所示，堆垛起重机2具备在收纳架1的前方在行进方向（横向：架的延伸方向）上行进的行进台车11、被立起设置于行进台车11的杆12、沿杆12升降的升降体13、被支承于升降体13的移载装置14。

移载装置14通过行进台车11行进而沿行进方向移动，通过升降体13升降而沿杆12在上下方向y上移动。此外，省略详细的说明，但在移载装置14上，具备将容器w支承的支承体、使该支承体沿前后方向（与上下方向及横向正交的方向）移动的连杆机构。移载装置14构成为，能够在自身和收纳部1a之间、在自身和输送带4之间将容器w移载。

并且，堆垛起重机2通过行进台车11的行进、升降体13的升降及移载装置14的移载动作，将容器w从输送带4输送至收纳部1a，或将容器w从收纳部1a输送至输送带4。

行进台车11在被设置于下部地面部f2上的行进轨道15上，沿该行进轨道15行进。行进台车11的至少一部分位于，比最下级的收纳部1a所具备的支承部9靠下方的位置。在本实施方式中，行进台车11的整体位于比最下级的收纳部1a所具备的支承部9靠下方的、且比上部地面部f1靠下方的位置。

〔气体供给装置〕

气体供给装置3将干燥空气供给至被收纳于收纳部1a的容器w的内部。

气体供给装置3具备连接部18、配管19、质量流量控制器20。在气体供给装置3上具备多个连接部18。此外，连接部18被相对于多个收纳部1a的每一个设置。该连接部18与被收纳于收纳部1a的容器w连接。配管19将从被设置于收纳区域e1的外部的供给源21供给的干燥空气向多个连接部18分岔地供给。质量流量控制器20控制在配管19内流通的干燥空气的流量。在气体供给装置3上具备多个质量流量控制器20。此外，质量流量控制器20被相对于供给收纳部组g的每一个设置。顺便说明，在图2中，仅对多个第1配管23及第2配管24中的、相对于在横向上相邻的两列收纳部1a的第1配管23及第2配管24进行表示。

配管19具备第1配管23、第2配管24、第3配管25、第1分岔配管26、第2分岔配管27。第1配管23被相对于多个收纳部1a的每一个设置。第2配管24被相对于多个供给收纳部组g的每一个设置。第3配管25被连接于干燥空气的供给源21。第1分岔配管26被沿收纳架1的上下方向y设置。

第1分岔配管26将一个第2配管24、与构成一个供给收纳部组g的多个收纳部1a（两个以上的收纳部1a，在本实施方式中为11个收纳部1a）对应的多个第1配管23（两个以上的第1配管23，在本实施方式为11个第1配管23）连接，使被从第2配管24供给的干燥空气向多个第1配管23分岔。第2分岔配管27将一个第3配管25、多个第2配管24（在图2的例子中为6个第2配管24）连接，使被从第3配管25供给的干燥空气向多个第2配管24分岔。另外，第1分岔配管26相当于分岔配管。

在第2配管24的每一个上设置有质量流量控制器20。换言之，质量流量控制器20被设置于第2配管24的单一的流路上。质量流量控制器20测量在第2配管24中流通的干燥空气的质量流量，控制在第2配管24中流通的干燥空气的流量。

在多个第1配管23的每一个上设置有节流孔29和过滤器30。在被连接于一个第2配管24的多个第1配管23的每一个上设置节流孔29，由此第1配管23的管径缩小，所以实现了被从第2配管24向多个收纳部1a供给的干燥空气的流量的均匀化。此外，借助过滤器30，能够除去在第1配管23中流通的灰尘。

这样，不将质量流量控制器20设置在被设置于每个收纳部1a的第1配管23，而将质量流量控制器20设置在被设置于每个供给收纳部组g的第2配管24的每一个上，由此能够将质量流量控制器20配置于从收纳部1a离开的位置。即，容易将质量流量控制器20设置于被设定于收纳区域e1的外部的设置区域e2。通过将质量流量控制器20设置于设置区域e2，能够抑制容器w受到质量流量控制器20的发热的影响。即，在本实施方式中，质量流量控制器20被设置于在第2配管24的单一的流路上、且被设置于在收纳区域e1的外部设定的设置区域e2。

设置质量流量控制器20的设置区域e2在比最下级的收纳部1a所具备的支承部9靠下方的位置，或超过在上下方向y上排列的多个收纳部1a的外侧方向x2的端部而在外侧方向x2上延伸。在本实施方式中，设置区域e2被设定成，在比最下级的收纳部1a所具备的支承部9靠下方的位置，且相对于在上下方向y上排列的多个收纳部1a的外侧方向x2的端部遍及前后方向x地设定。

并且，质量流量控制器20被设置于地面上壁31的下端和下部地面部f2之间。此外，质量流量控制器20以将地面下壁32的地面下壁部32a在前后方向x上贯通的状态设置，并且设置成，在上下方向y上观察，质量流量控制器20的一部分位于与地面下壁部32a相比位于外侧方向x2的位置。地面上壁部31a和地面下壁部32a被在前后方向x上设置于相同的位置，所以即使相对于地面上壁部31a，也设置成在上下方向y上观察，质量流量控制器20的一部分位于外侧方向x2的位置。

从形成于地面上壁31的上端的流入口33向壁体k的内部流入的空气，在壁体k的内部按照收纳区域e1、设置区域e2的顺序向下方流动，从被形成于地面下壁32的流出口向壁体k的外部流出。质量流量控制器20在空气的流动方向上被设置于比收纳区域e1靠下游侧的位置。因此，被质量流量控制器20加热的空气难以向收纳区域e1流动。

〔第2实施方式〕

接着，基于附图，对本发明的物品输送设备的第2实施方式进行说明。

另外，说明第2实施方式时，关于壁体k的形状及质量流量控制器20的配置等，主要对与第1实施方式不同的点进行说明，省略与第1实施方式相同的结构的说明。

洁净室的顶棚c由上顶棚部c1、比上顶棚部c1靠下方设置的下部顶棚部c2构成。上顶棚部c1是不具有通气孔的顶棚，限制空气的流通。下部顶棚部c2是在上下方向y上能够通气的顶棚。在本实施方式中，上顶棚部c1由无孔状的混凝土构成。下部顶棚部c2由高效空气过滤器（hepa过滤器）等过滤器构成。

另外，过滤器具备的下部顶棚部c2相当于具备使清洁空气向下方流出的流出部的顶棚。下部地面部f2相当于在上下方向y上限制气体的流通的设置地面。

如图5所示，壁体k被设置于下部顶棚部c2的正下方。壁体k具备地面上壁31和地面下壁32。地面上壁31位于比上部地面部f1靠上方且比下部顶棚部c2靠下方的位置。地面下壁32位于比上部地面部f1靠下方且比下部地面部f2靠上方的位置。地面下壁32与地面上壁31相比在前后方向x上形成为较宽。壁体k作为整体形成为在长度方向上观察上下翻转的t字形。

地面上壁31形成为上方敞开的四边筒状。即，在第2实施方式中，与第1实施方式相同，地面上壁31形成为具备4个面的地面上壁部31a的四边筒状。但是，不具备第1实施方式所示的上壁部31b。另外，在图5中，图示有将前后方向x的一个方向堵塞的地面上壁部31a、将前后方向x的另一方向堵塞的地面上壁部31a。

地面下壁32形成为上表面的一部分开口的四边箱状。若加以说明，则地面下壁32具备4个面的地面下壁部32a、形成该地面下壁32的上表面的一对隔断壁部32b、形成该地面下壁32的下表面的底壁部32c。在图5中，图示有将收纳区域e1的前后方向x的一个方向堵塞的地面下壁部32a、将前后方向x的另一方向堵塞的地面下壁部32a、形成地面下壁32的上表面的一对隔断壁部32b、形成下表面的底壁部32c。形成地面下壁32的上表面的一对隔断壁部32b构成为，相对于下部地面部f2向上方隔开间隔的位置上沿下部地面部f2设置，并且限制空气的流通。另外，隔断壁部32b相当于副壁部。

隔断壁部32b的内侧方向x1的端部在前后方向x上位于地面下壁部32a的内表面和支承部9的外侧方向x2的端部之间。隔断壁部32b的外侧方向x2的端部位于比地面下壁部32a的外表面靠外侧方向x2侧的位置。

在地面下壁32的外侧方向x2的端部，形成有向外侧方向x2开口的流出口34。该流出口34被地面下壁部32a关闭，前述地面下壁部32a能够使空气在前后方向x上流通。更具体地，在地面下壁32的外侧方向x2的端部，形成有空气流出的流出口34，该流出口34被地面下壁部32a局部地关闭。

形成于地面上壁31的下端的开口和形成于地面下壁32的上表面的开口被在上下方向y的上部地面部f1的位置处连接。被地面上壁31包围的收纳区域e1和隔断壁部32b的正下方的设置区域e2连通。此外，在地面上壁31的上端，形成有使空气从地面上壁31的上方向收纳区域e1流入的流入口33。此外，在地面下壁32的外侧方向x2的端部，形成有使空气从设置区域e2向地面下壁32的外侧方向x2侧流出的流出口34。该流出口34被形成于从隔断壁部32b的外侧方向x2的端部向下方分离的位置。

并且，隔断壁部32b的内侧方向x1的部分，被以在隔断壁部32b和地面上壁31之间限制空气的流通的状态，配置成与地面上壁31的下端相邻。

若加以说明，则隔断壁部32b被连结于上部地面部f1的下表面，地面上壁31的地面上壁部31a的下端被连结于上部地面部f1的上表面。这样，以在地面上壁部31a的下端和隔断壁部32b的上表面之间夹着上部地面部f1的状态，设置地面上壁31及隔断壁部32b。由此，在本实施方式中，呈在地面上壁31和隔断壁部32b之间，上部地面部f1限制空气的流通的状态。

另外，隔断壁部32b的内侧方向x1的部分为，距隔断壁部32b的内侧方向x1的端部1/3的部分。

在本实施方式中，设置区域e2设定成，比最下级的收纳部1a具备的支承部9靠下方、且比在上下方向y上排列的多个收纳部1a的外侧方向x2的端部靠外侧方向x2侧的位置。质量流量控制器20被设置于设置区域e2。质量流量控制器20的整体位于比隔断壁部32b的内侧方向x1的端部靠外侧方向x2侧、且位于比隔断壁部32b的外侧方向x2的端部靠内侧方向x1侧的位置。此外，质量流量控制器20以在上下方向y上观察不与支承部9重叠的方式，相对于支承部9被设置于外侧方向x2侧。

在与壁体k对应的位置处，从下部顶棚部c2向下方流出的空气从被形成于地面上壁31的上端的流入口33向壁体k的内部流入。并且，流入地面上壁31内的空气在收纳区域e1中向下方流动后，在设置区域e2向外侧方向x2流动，之后，从流出口34向壁体k的外部流出。

质量流量控制器20在空气的流动方向上被设置成比收纳区域e1靠下游侧。因此，被质量流量控制器20加热的空气难以向收纳区域e1流动。

〔其他实施方式〕

（1）在上述第1及第2实施方式中，在比多个收纳部的最下级的收纳部所具备的支承部靠下方处设定设置区域，但设定设置区域的位置不限于此。即，也可以是，在比多个收纳部的最上级的收纳部靠上方处设定设置区域，此外，也可以是，将覆盖收纳架的壁体的外部，具体地，在上下方向上的下部地面部和上部地面部之间、且在前后方向上比地面下壁部靠外侧方向处设定设置区域。

（2）在上述第1及第2实施方式中，使构成供给收纳部组的两个以上的供给收纳部仅在上下方向上排列。但是，构成供给收纳部组的两个以上的供给收纳部也可以仅在横向上排列，此外，也可以在上下方向及横向上排列。此外，在上述实施方式中，以如下例子为例进行了说明，在收纳架处从最上级向最下级排列成1列的多个收纳部分为多个供给收纳部组。但是，也可以是，借助排列在收纳架的1列的所有的收纳部，形成一个供给收纳部组g。

（3）在上述第1及第2实施方式中，将容器设置成收纳掩模（光掩模）的部件来进行说明。但是，容器也可以收纳前端开启式晶圆传送盒（foup，frontopeningunifiedpod）等的半导体晶片，也可以收纳食品。

（4）在上述第1及第2实施方式中，将被气体供给装置向容器的内部供给的气体设置为干燥空气。但是，被气体供给装置向容器的内部供给的气体也可以是干燥空气以外的气体，例如，氮气、氩气等非活性气体。

（5）在上述实施方式中，收纳架所具备的多个收纳部全部被设置为供给收纳部。但是，也可以是，仅收纳架所具备的多个收纳部的一部分被设置为供给收纳部。

即，也可以是，将多个收纳部的一部分设置为借助气体供给装置供给气体的供给收纳部，将余下的多个收纳部设置成不借助气体供给装置供给气体的通常的收纳部。

〔上述实施方式的概要〕

以下，对在上述说明中说明的容器收纳设备的概要进行说明。

容器收纳设备具备收纳部、气体供给装置，前述收纳部被在收纳区域上设置多个，收纳容器，前述气体供给装置将前述收纳区域的多个前述收纳部的一部分或全部作为供给收纳部，向被收纳于前述供给收纳部的前述容器的内部供给气体，其特征在于，前述气体供给装置具备配管、质量流量控制器和多个连接部，前述多个连接部被相对于多个前述供给收纳部的每一个设置，且与被收纳于前述供给收纳部的前述容器连接，前述配管将被从设置于前述收纳区域的外部的供给源供给的气体向前述多个连接部分岔地供给，前述质量流量控制器控制在前述配管内流通的气体的流量，前述配管具备第2配管、分岔配管、两个以上的第1配管，前述两个以上的第1配管相对于由前述多个供给收纳部的一部分或全部构成的供给收纳部组，被相对于构成前述供给收纳部组的两个以上的前述供给收纳部的每一个设置，前述第2配管形成在气体的流通方向上比前述两个以上的第1配管靠上游侧设置的单一的流路，前述分岔配管使被从前述第2配管供给的气体向前述两个以上的第1配管分岔，前述质量流量控制器被设置于前述第2配管的前述单一的流路上，设置于设置区域，前述设置区域被设定于前述收纳区域的外部。

根据该方案，在第2配管上设置质量流量控制器，由此相对于构成供给收纳部组的多个供给收纳部设置一个质量流量控制器。因此，能够减少质量流量控制器的设置数量，能够抑制气体供给装置的制造成本。此外，通过在位于比第1配管靠上游侧的位置的第2配管上设置质量流量控制器，容易将质量流量控制器设置于从收纳部离开的位置。在被设定于具备多个收纳部的收纳区域的外部的区域上设置质量流量控制器，由此被容纳于该收纳部的容器难以受到质量流量控制器的温度上升的影响。

这里，优选的是，多个前述收纳部被配置成在上下方向上排列，多个前述收纳部的每一个具备将前述容器的底面部从下方支承的支承部，在比多个前述收纳部的最下级的前述收纳部所具备的前述支承部靠下方的位置设定有前述设置区域。

根据该方案，利用比最下级的收纳部所具备的支承部靠下方的空的空间，能够在该空的空间上设置质量流量控制器。若加以说明，则例如在堆垛起重机相对于收纳部输送容器的情况下，最下级的收纳部所具备的支承部被设置于，该堆垛起重机相对于最下级的收纳部能够输送容器的高度。在这样的情况下，在最下级的收纳部所具备的支承部的下方形成空的空间的情况较多。因此，利用该空的空间，能够将质量流量控制器设置于该空的空间。

此外，在容器收纳设备上，有借助使收纳区域内的气体向下方流动的气流发生装置产生向下气流的情况。在产生向下气流的情况下，由于质量流量控制器的温度上升，温度上升的周围的气体难以向上方流动。因此，被收纳于比质量流量控制器靠上方地设置的收纳部的容器，难以受到质量流量控制器的温度上升引起的热的影响。

此外，优选的是，具备气流发生装置，前述气流发生装置遍及前述收纳区域和前述设置区域使设备内的气体向下方流动。

根据该方案，借助气流发生装置，产生设备内的气体遍及收纳区域和设置区域向下方流动的向下气流。因此，由于质量流量控制器的温度上升而温度上升的周围的气体难以向上方流动，被收纳于比质量流量控制器靠上方地设置的收纳部的容器难以受到由质量流量控制器的温度上升产生的热的影响。

此外，优选的是，构成前述供给收纳部组的两个以上的前述供给收纳部被配置成仅在上下方向上排列。

根据该方案，借助配管供给气体的两个以上的供给收纳部在上下方向上排列。并且，向这两个以上的供给收纳部供给气体的配管以主要在上下方向上延伸的状态被设置，所以配管的在水平方向上延伸的部分较少。因此，配管难以将向下气流隔断，借助气流发生装置，容易使气体适当地流动。

此外，优选的是，多个前述收纳部被配置成在上下方向及与该上下方向正交的横向上排列，多个前述收纳部的每一个具备将前述容器的底面部从下方支承的支承部，在前述收纳部处具备将前述容器输送的堆垛起重机，前述堆垛起重机具备行进台车、杆、移载装置，前述行进台车在前述横向上行进，前述杆被立起设置于前述行进台车，前述移载装置沿前述杆在上下方向上移动，且从自身向前述收纳部移载前述容器，前述行进台车的至少一部分位于比最下级的收纳部所具备的前述支承部靠下方的位置。

根据该方案，最下级的收纳部所具备的支承部被设置于，使得堆垛起重机的行进台车的至少一部能够位于前述支承部的下方的位置的高度，所以在最下级的收纳部所具备的支承部的下方容易形成空的空间。因此，利用该空的空间，能够在该空的空间设置质量流量控制器。

此外，优选的是，前述气体供给装置在前述第1配管的每一个处具备节流孔。

根据该方案，容易将被从第2配管供给的气体，相对于构成供给收纳部组的两个以上的供给收纳部的每一个均等地供给。

此外，优选的是，前述容器是收纳掩模的容器，借助前述气体供给装置被向前述容器的内部供给的气体是比前述收纳部中的气体湿度低的气体。

根据该方案，被收纳于容器的掩模能够难以受到质量流量控制器发出的热的影响。此外，在通过在第2配管上设置质量流量控制器来相对于多个供给收纳部设置一个质量流量控制器的情况下，与通过在第1配管上设置质量流量控制器来相对于多个供给收纳部的每一个设置质量流量控制器的情况相比，被向多个供给收纳部供给的气体的供给量的变动容易变得较大。但是，一般地，在容器处容纳有掩模的情况下，与容纳半导体晶片等的情况相比，相对于容器的气体的供给量的变动的允许值较大。因此，即使在相对于多个供给收纳部设置有一个质量流量控制器的情况下，能够容易使气体的供给量的变动稳定在允许值以内。

此外，优选的是，具备壁体，前述壁体覆盖该收纳区域，使得限制前述收纳区域的周围的空气的流通，前述壁体具备主壁部，前述主壁部相对于限制空气的流通的设置地面，被在向上方隔开间隔的位置处以沿上下方向的姿势设置，并且限制空气的流通，在上下方向上观察，在前述主壁部的厚度方向上，将前述收纳区域相对于前述主壁部存在的方向设为第1方向，将与前述第1方向相反的方向设为第2方向，在前述主壁部的上端，形成使空气从前述主壁部的上方向前述收纳区域流入的流入口，前述质量流量控制器被设置成，位于前述主壁部的下端和前述设置地面之间，且在上下方向上观察，前述质量流量控制器的至少一部分位于比前述主壁部靠前述第2方向侧的位置。

根据该方案，从形成于主壁部的上端的流入口向壁体的内部流入的气体，在壁体的内部的收纳区域向下方流动后，在主壁部和设置地面之间向第2方向流动，向壁体的外部流出。并且，将质量流量控制器设置成，位于主壁部的下端和设置地面之间，且在上下方向上观察，该质量流量控制器的至少一部分位于比主壁部靠第2方向侧的位置。由此，能够相对于收纳区域在气体的流向的下游侧设置质量流量控制器。因此，由于质量流量控制器而被加热的质量流量控制器的周围的气体难以向收纳区域流动，能够抑制被收纳于收纳部的容器被由于质量流量控制器而被加热的气体加热。

此外，优选的是，前述壁体除了前述主壁部，还具备副壁部，前述副壁部相对于前述设置地面，被在向上方隔开间隔的位置处沿前述设置地面设置，并且限制空气的流通，前述收纳区域与比前述副壁部靠下方的前述设置区域连通，在前述副壁部的前述第2方向的端部的下方，形成流出口，前述流出口使空气从前述设置区域向比前述副壁部靠前述第2方向侧的方向流出，前述副壁部的前述第1方向的部分为，以在前述副壁部和前述主壁部之间限制空气的流通的状态与前述主壁部的下端连接，前述质量流量控制器被设置于前述副壁部和前述设置地面之间，且被设置成，前述质量流量控制器的至少一部分与前述主壁部相比位于靠前述第2方向的位置，且前述质量流量控制器的至少一部分与前述副壁部的前述第1方向的端部相比位于靠前述第2方向的位置。

根据该方案，在壁体的内部的收纳区域向下方流动的气体在主壁部和设置地面之间在第2方向上流动，在被形成于副壁部的正下方的设置区域流动后，从被形成于副壁部的端部的下方的流出口向壁体的外部流出。即，不使壁体内的空气从主壁部直接向壁体的外部流出，而是使其在通过设置副壁部而形成的设置区域流动，之后向壁体的外部流出，由此在设置区域中流动的期间，气体被搅拌。

若加以说明，则例如被收纳于收纳架的物品是容纳半导体衬底的容器的情况下，有在容器内充满的氮气等非活性气体从容器流出的情况。在这样从容器产生气体的情况下，有该气体的浓度局部地变高的情况，换言之，有氧气的浓度局部地变低的情况。但是，使壁体内的空气在通过设置副壁部而形成的设置区域流动，在该设置区域内使气体搅拌后向壁体的外部流出，由此能够实现从流出口流出的气体的氧气浓度的均匀化。

此外，优选的是，前述壁体除了前述主壁部，还具备副壁部，前述副壁部相对于前述设置地面，被在向上方隔开间隔的位置处沿前述设置地面设置，并且限制空气的流通，前述壁体被设置于，具备使清洁空气向下方流出的流出部的顶棚的正下方，在比前述副壁部靠上方处还具备作业地面，前述作业地面能够供操作者步行，且在上下方向上能够通气，前述副壁部被设置成与前述作业地面在上下方向上排列的状态，前述作业地面的与前述副壁部在上下方向上排列的部分借助前述副壁部，被限制向上下方向的通气。

根据该方案，作业地面被设置于，比被设置于相对于设置地面向上方隔开间隔的位置的副壁部更靠上方的位置，所以操作者能够相对于收纳架的较高部分进行作业。并且，利用作业地面的下方的空间，能够形成设置区域，所以能够在不易妨碍周围的状态下形成设置区域。

进而，作业地面的与副壁部在上下方向排列的部分由于副壁部的存在而通气被限制，所以能够在收纳架的附近抑制气体从作业地面流出。因此，即使相对于收纳架进行物品的装卸作业的操作者在壁体的附近存在，在与该操作者存在的部位相比靠第2方向侧的部位，气体向上方流动，所以能够抑制流出的气体对操作者的影响。

附图标记说明

1a　收纳部（供给收纳部）

2　　堆垛起重机

3　　气体供给装置

5　　送风风扇（气流发生装置）

9　　支承部

11　　行进台车

12　　杆

14　　移载装置

18　　连接部

19　　配管

20　　质量流量控制器

23　　第1配管

24　　第2配管

26　　第1分岔配管（分岔配管）

29　　节流孔

e1　收纳区域

e2　设置区域

g　　供给收纳部组

w　　容器。