一种半导体生产用防静电存储装置的制作方法

文档序号:18883075发布日期:2019-10-15 20:11阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种半导体生产用防静电存储装置,包括柜体(1)、离子发生器(3)和滚球(6),其特征在于:所述柜体(1)的下方安装有橡胶底座(2),且柜体(1)的左侧连接有接地夹(7),所述离子发生器(3)安装在柜体(1)的内部下方,且柜体(1)的内部螺栓安装有承载板(4),并且承载板(4)的上方螺栓安装有固定盖(5),所述滚球(6)设置在承载板(4)与固定盖(5)之间,所述柜体(1)的前方铰接有密封门(8),且柜体(1)的内部左右焊接有保护壳(9),所述保护壳(9)的内部设置有弹簧(11),且弹簧(11)的末端连接有连接杆(12),并且连接杆(12)的外侧设置有加固板(10),所述柜体(1)的内部后侧镶嵌有吸潮罐(13)。

2.根据权利要求1所述的一种半导体生产用防静电存储装置,其特征在于:所述承载板(4)设置有3块,且承载板(4)之间相互平行,并且承载板(4)的上表面面积等于固定盖(5)的上表面面积。

3.根据权利要求1所述的一种半导体生产用防静电存储装置,其特征在于:所述滚球(6)关于固定盖(5)的中心线对称设置有两种,且滚球(6)的上表面高度高于固定盖(5)的上表面高度。

4.根据权利要求1所述的一种半导体生产用防静电存储装置,其特征在于:所述保护壳(9)呈圆柱形结构,且保护壳(9)的中心线与柜体(1)的下表面相互平行,并且保护壳(9)关于柜体(1)的中心线对称设置。

5.根据权利要求1所述的一种半导体生产用防静电存储装置,其特征在于:所述加固板(10)与连接杆(12)为一体化结构,且加固板(10)的表面呈波浪形结构。

6.根据权利要求1所述的一种半导体生产用防静电存储装置,其特征在于:所述吸潮罐(13)包含有密封盖(131)、底板(132)和吸潮剂(133),且吸潮罐(13)的内部螺纹连接有密封盖(131),并且吸潮罐(13)的下方螺栓安装有底板(132),而且吸潮罐(13)的内部填充有吸潮剂(133),同时底板(132)呈网孔结构。

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