一种用于烧结工艺的密封袋和烧结工艺的制作方法

文档序号:22978575发布日期:2020-11-19 23:23阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种用于烧结工艺的密封袋,其特征在于,所述密封袋材料为耐高温材料,容积范围为10mm3~500mm3;所述耐高温材料选自:特氟龙、聚酰亚胺薄膜、铝箔胶带、聚酯薄膜胶带中的一种;所述密封袋形状选自:三角形、四边形、梯形、菱形、五角星、六边形、圆形中的一种。

2.一种烧结工艺,其特征在于,采用如权利要求1所述的用于烧结工艺的密封袋,所述工艺包括以下步骤:

s2.1将待烧结产品放置于所述密封袋内;用包封设备对密封袋进行封口,形成真空密封;

s2.2将密封后的待烧结产品,放置于烧结炉内,在烧结炉内通入烧结气氛,调整烧结温度,设置压力辅助及保温时间,得到烧结件;所述烧结气氛选自:氩气、空气、氮气、5%氢氩混合气、甲酸、真空中的一种;

s2.3将装有所述烧结件的密封袋打开,放气,得到烧结成型的产品。

3.如权利要求2所述的烧结工艺,其特征在于,所述烧结温度:100℃-280℃,所述保温时间30s--30min,所述压力辅助0mpa-30mpa。

4.如权利要求2所述的烧结工艺,其特征在于,所述密封袋的真空度小于1×102pa。

5.如权利要求2所述的烧结工艺,其特征在于,所述包封设备选自真空封口机、真空包装机中的一种。

6.如权利要求2所述的烧结工艺,其特征在于,所述密封袋的封口粘合温度为290℃~350℃。

7.如权利要求2所述的烧结工艺,其特征在于,在所述s2.1之前,所述工艺还包括:

s2.4在基板上设置连接材料,将芯片放置在所述连接材料上,烘干,得到所述待烧结产品。

8.如权利要求2所述的烧结工艺,其特征在于,在所述s2.1之前,所述工艺还包括:

s2.5在基板上设置连接材料,烘干,将芯片放置在所述连接材料上,形成待烧结单件;准备托盘,把多个待烧结单件放在托盘上,得到所述待烧结产品,所述托盘设置多个凹槽,用于固定待烧结产品。

9.如权利要求7或权利要求8所述的烧结工艺,其特征在于,所述连接材料选自:纳米金属膏、纳米金属浆料、纳米金属墨水、纳米金属膜材料中的一种,所述设置方法为印刷或贴或涂覆。

10.如权利要求7或权利要求8所述的烧结工艺,其特征在于,所述烘干环境为:温度:100℃-150℃,保温时间:30s-30min,气氛:选自空气、氮气、真空中的一种。


技术总结
本发明提供了一种用于烧结工艺的密封袋和烧结工艺,所述密封袋材料为耐高温材料,容积范围为10mm3~500mm3;所述耐高温材料选自:特氟龙、聚酰亚胺薄膜、铝箔胶带、聚酯薄膜胶带中的一种;所述密封袋形状选自:三角形、四边形、梯形、菱形、五角星、六边形、圆形中的一种。本发明提供的密封袋,制作成本低,且密封袋内已抽真空,在烧结时不需要持续通气,且袋子内的负压条件也更利于使烧结材料中的挥发性物质出来。不需要模具,自由度高。可以实现多个样品同时烧结,统一在一个地方释放收集气体,不会破坏环境,安全性高。

技术研发人员:刘旭;叶怀宇;王林根;张国旗
受保护的技术使用者:深圳第三代半导体研究院
技术研发日:2020.06.29
技术公布日:2020.11.17
当前第2页1 2 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1