1.一种用于烧结工艺的密封袋,其特征在于,所述密封袋材料为耐高温材料,容积范围为10mm3~500mm3;所述耐高温材料选自:特氟龙、聚酰亚胺薄膜、铝箔胶带、聚酯薄膜胶带中的一种;所述密封袋形状选自:三角形、四边形、梯形、菱形、五角星、六边形、圆形中的一种。
2.一种烧结工艺,其特征在于,采用如权利要求1所述的用于烧结工艺的密封袋,所述工艺包括以下步骤:
s2.1将待烧结产品放置于所述密封袋内;用包封设备对密封袋进行封口,形成真空密封;
s2.2将密封后的待烧结产品,放置于烧结炉内,在烧结炉内通入烧结气氛,调整烧结温度,设置压力辅助及保温时间,得到烧结件;所述烧结气氛选自:氩气、空气、氮气、5%氢氩混合气、甲酸、真空中的一种;
s2.3将装有所述烧结件的密封袋打开,放气,得到烧结成型的产品。
3.如权利要求2所述的烧结工艺,其特征在于,所述烧结温度:100℃-280℃,所述保温时间30s--30min,所述压力辅助0mpa-30mpa。
4.如权利要求2所述的烧结工艺,其特征在于,所述密封袋的真空度小于1×102pa。
5.如权利要求2所述的烧结工艺,其特征在于,所述包封设备选自真空封口机、真空包装机中的一种。
6.如权利要求2所述的烧结工艺,其特征在于,所述密封袋的封口粘合温度为290℃~350℃。
7.如权利要求2所述的烧结工艺,其特征在于,在所述s2.1之前,所述工艺还包括:
s2.4在基板上设置连接材料,将芯片放置在所述连接材料上,烘干,得到所述待烧结产品。
8.如权利要求2所述的烧结工艺,其特征在于,在所述s2.1之前,所述工艺还包括:
s2.5在基板上设置连接材料,烘干,将芯片放置在所述连接材料上,形成待烧结单件;准备托盘,把多个待烧结单件放在托盘上,得到所述待烧结产品,所述托盘设置多个凹槽,用于固定待烧结产品。
9.如权利要求7或权利要求8所述的烧结工艺,其特征在于,所述连接材料选自:纳米金属膏、纳米金属浆料、纳米金属墨水、纳米金属膜材料中的一种,所述设置方法为印刷或贴或涂覆。
10.如权利要求7或权利要求8所述的烧结工艺,其特征在于,所述烘干环境为:温度:100℃-150℃,保温时间:30s-30min,气氛:选自空气、氮气、真空中的一种。