1.本实用新型涉及晶圆储存和运输领域，更具体地说，涉及一种晶圆载运装置。
背景技术：2.目前市场上常见的晶圆载运装置存下以下缺点：
3.1.在存储和运输过程中，晶圆与载运装置之间的间隙较大。
4.2.密封结构不够完善，还是会出现污染晶圆的情况。
5.3.整体强度还不够，在部分客户吸真空时或者运输过程中撞击幅度较大时产品还是会损坏。
技术实现要素：6.本实用新型要解决的技术问题在于，提供一种改进的晶圆载运装置。
7.本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：构造一种晶圆载运装置，包括第一盖体以及与所述第一盖体配合的第二盖体，所述第一盖体和所述第二盖体内侧形成有容置晶圆且密闭的容置腔；
8.所述第二盖体中设有对容置于所述容置腔中的晶圆进行限位的限位结构；
9.所述第一盖体包括第一本体、以及设置于所述第一本体上以加强所述第一本体强度的第一加强结构；和/或，所述第二盖体包括第二本体以及设置于所述第二本体上以加强所述第二本体强度的第二加强结构。
10.优选地，所述第一本体包括第一端壁，所述第一加强结构包括设置于所述第一端壁上的第一加强组件；
11.所述第一加强组件包括设置于所述第一端壁上且朝外侧凸出的第一加强凸台和/或设置于所述第一端壁上且呈辐射状排布的多个第一加强筋。
12.优选地，所述第一本体还包括与所述第一端壁连接且与所述第一端壁围设形成所述容置腔的第一侧壁；
13.所述第一加强结构包括设置于所述第一侧壁上且朝所述容置腔凸出设置的第二加强组件；
14.所述第二加强组件包括沿所述第一侧壁周向间隔设置的多个第二加强筋。
15.优选地，所述第二本体包括第二端壁；所述第二加强结构包括设置于所述第二端壁上的第三加强组件；
16.所述第三加强组件包括设置于所述第二端壁上且朝外侧凸出的第二加强凸台和/或设置于所述第二端壁上且呈辐射状排布的多个第三加强筋。
17.优选地，所述第二本体还包括与所述第二端壁连接且与所述第二端壁围设形成所述容置腔的第二侧壁；
18.所述第二加强结构还包括设置于所述第二侧壁上且朝所述容置腔凸出设置的第四加强组件；
19.所述第四加强组件包括沿所述第二侧壁周向间隔设置的多个第四加强筋。
20.优选地，所述限位结构包括设置于所述第二本体内侧且沿朝与所述第一盖体配合的方向凸出设置的多个限位挡墙；
21.所述多个限位挡墙沿所述容置腔的周向间隔设置；
22.所述多个限位挡墙围设形成的腔体的尺寸朝与所述第一盖体配合的方向逐渐增大设置。
23.优选地，所述限位挡墙上设有以增强所述限位挡墙形变力的缺口；所述缺口靠近所述限位挡墙与所述第二本体相接处设置。
24.优选地，所述第二本体包括第二侧壁；所述限位挡墙与所述第二侧壁之间留设有间隙以形成与所述第一盖体配合的限位槽；
25.所述第一盖体包括设置于所述第一本体内侧且朝与所述第二盖体配合的方向凸出以插设于所述限位槽中的限位凸台；
26.所述限位凸台与所述限位挡墙相对设置的一侧设有与所述限位挡墙配合限位的限位凸筋；
27.所述限位凸筋上设有给所述限位挡墙导向的第一导向斜面；
28.所述限位挡墙与所述限位凸筋相对设置的一侧设有第二导向斜面。
29.优选地，所述第一盖体和所述第二盖体上设有可拆卸连接所述第一盖体和所述第二盖体的连接结构；
30.所述第一盖体包括设置于所述第一本体上且位于所述容置腔外周的沉台；
31.所述第二盖体包括设置于所述第二本体上且位于所述容置腔外周的凸台；所述凸台与所述沉台对应设置；
32.所述连接结构包括设置于所述沉台上且两端贯通设置的扣孔以及设置于所述凸台上且凸出所述凸台设置以与所述扣孔配合的卡勾。
33.优选地，所述第一盖体和所述第二盖体上设有将所述第一盖体和所述第二盖体密封相接的第一密封结构；
34.所述第一盖体包括第一开口；所述第二盖体包括与所述第一开口对应设置的第二开口；所述第一密封结构包括所述第一本体上且位于所述第一开口处的第一插槽、以及设置于所述第二本体上且位于所述第二开口处与所述第一插槽配合的第一插接凸部；
35.和/或，所述第一盖体和所述第二盖体上设有将所述第一盖体和所述第二盖体密封相接的第二密封结构；
36.所述第一本体包括第一侧壁；所述第二本体包括与所述第一侧壁对应设置的第二侧壁；所述第二密封结构包括设置于所述第一侧壁上且与所述第二盖体配合方向延伸出的第二插接凸部、以及设置于所述第二本体上且与所述第二插接凸部对应设置的第二插槽；
37.所述第二侧壁上设有供所述第二插接凸部插入所述第二插槽的让位口。
38.实施本实用新型的晶圆载运装置，具有以下有益效果：该晶圆载运装置通过在第一盖体和第二盖体的内侧形成容置晶圆且密闭的容置腔，从而能够有效地防止晶圆被污染，再者，通过在第一本体上设置第一加强结构和/或在第二本体上设置第二加强结构，可有效加强整个晶圆载运装置的强度，在有些客户需要吸真空时能有效防止载运装置损坏，另外，通过在第二盖体中设置限位结构，可对晶圆进行限位，实现晶圆水平活动空间的最小
化，能有效的保护晶圆。
附图说明
39.下面将结合附图及实施例对本实用新型作进一步说明，附图中：
40.图1是本实用新型一些实施例中晶圆载运装置的结构示意图；
41.图2是图1所示晶圆载运装置的结构分解示意图；
42.图3是图2所示晶圆载运装置的第一盖体的结构示意图；
43.图4是图3所示晶圆载运装置的第一盖体的另一角度的结构示意图；
44.图5是图2所示晶圆载运装置的第二盖体的结构示意图；
45.图6是图5所示晶圆载运装置的第二盖体的另一角度的结构示意图；
46.图7是图6所示晶圆载运装置的第二盖体的装载晶圆的俯视图；
47.图8是图7所示晶圆载运装置的第二盖体的装载晶圆的状态示意图；
48.图9是图1所示晶圆载运装置的局部剖视图；
49.图10是图1所示晶圆载运装置的局部结构放大示意图；
50.图11是图1所示晶圆载运装置的另一局部剖视图。
具体实施方式
51.为了对本实用新型的技术特征、目的和效果有更加清楚的理解，现对照附图详细说明本实用新型的具体实施方式。
52.图1及图2示出了本实用新型晶圆载运装置的一些优选实施例。该晶圆载运装置可用于装载晶圆100，以便于晶圆100的运输和储存。在一些实施例中，该晶圆载运装置具有密封性能好，强度高，可有效保护晶圆的优点。
53.如图1及图2所示，进一步地，在一些实施例中，该晶圆载运装置可包括第一盖体10以及第二盖体20；该第一盖体10可与该第二盖体20配合。在一些实施例中，该第一盖体10可与该第二盖体20可拆卸连接。该第一盖体10和该第二盖体20内侧为中空结构。该第一盖体10和该第二盖体20内侧可形成容置腔30，该容置腔30可用于容置晶圆100。该容置腔30可以为密封腔室，从而可有效地防止晶圆100被污染。
54.如图3及图4所示，进一步地，在一些实施例中，该第一盖体10可包括第一本体11以及第一加强结构12。该第一本体11可大致呈长方体状，且为一侧具有第一开口的中空结构，在一些实施例中，该第一本体11的横截面可大致呈方形。该第一加强结构12可设置于该第一本体11上，可用于加强该第一本体11的强度。
55.进一步地，在一些实施例中，该第一本体11可包括第一端壁111、以及第一侧壁112。该第一端壁111可以为圆角的方形状。该第一侧壁112可设置于该第一端壁111上，且可与该第一端壁111连接，并可向下延伸，与该第一端壁111围设形成容置腔30。该第一侧壁112可以为四个，该四个第一侧壁112的纵切面大致呈弧形，不限于为平面状。在一些实施例中，该第一盖体10还包括沉台113，在一些实施例中，该沉台113可设置于该第一本体11上，具体地，在一些实施例中，该沉台113可设置于该第一本体11的第一端壁111的四个角落，其可由该第一端壁111的四个角落向下凹陷形成，并可朝该第一本体11的内侧凸出，均布于该容置腔30的外周。
56.进一步地，在一些实施例中，该第一加强结构12可包括第一加强组件121，该第一加强组件121可设置于该第一端壁111上。在一些实施例中，该第一加强组件121可包括第一加强凸台1211以及第一加强筋1212。当然，可以理解地，在其他一些实施例中，该第一加强组件121可只包括第一加强凸台1211或者第一加强筋1212。进一步地，在一些实施例中，该第一加强凸台1211可以呈圆环状，可设置于该第一端壁111的中部。该第一加强筋1212可设置于该第一端壁111上且可呈辐射状排布于该第一加强凸台1211的外周，即该第一加强筋1212可沿该第一加强凸台1211的径向延伸设置。在一些实施例中，该第一加强组件121还可包括方形凸台1213，该方形凸台1213可设置于该第一加强凸台1211中，并且四个顶角可与该第一加强凸台1211连接，且中间的镂空部分可通过设置该第一加强筋1212连接。该方向凸台1213的顶面可以为光滑的平面，可便于标签的贴设。该第一加强凸台1211、第一加强筋1212、以及方形凸台1213可与该第一端壁111一体成型。具体地，在一些实施例中，该第一加强凸台1211、第一加强筋1212以及方形凸台1213可与该第一端壁111通过注塑一体成型。通过设置该第一加强凸台1211、第一加强筋1212以及该方形凸台1213，并通过将该第一加强凸台1211的高度较高设置，且该第一加强筋1212的数量较多，可极大地加强了第一盖体10的强度。可以理解地，在其他一些实施例中，该第一加强组件121可以省去。
57.在一些实施例中，该第一加强结构12还可包括第二加强组件122，该第二加强组件122可设置于该第一侧壁112上，且可朝该容置腔30凸出设置。在一些实施例中，该第二加强组件122可包括第二加强筋1221，该第二加强筋1221可以呈条状，可沿该第一侧壁112的纵向延伸设置，并可朝该容置腔30方向凸出。该第二加强筋1221可以为多个，该多个第二加强筋1221可沿该第一侧壁112的周向间隔设置。通过设置多个第二加强筋1221可极大加强该第一侧壁112的强度，进而加强整个上盖10的强度。当然，可以理解地，在其他一些实施例中，该第二加强组件122可以省去。
58.进一步地，在一些实施例中，该第一盖体10还可包括限位凸台13，该限位凸台13可设置于该第一本体11内侧，具体地，该限位凸台13可朝该第一盖体10与该第二盖体20配合的方向凸出该第一端壁111设置。在一些实施例中，该限位凸台13可以呈圆环状，该容置腔30可形成于该限位凸台13中。该限位凸台13可与该第二盖体20配合限位。在一些实施例中，该限位凸台13上可设置限位凸筋131，该限位凸筋131可以呈条状，可沿该限位凸台13的轴向延伸设置。在一些实施例中，该限位凸筋131可以为多个，该多个限位凸筋131可沿该限位凸台13的周向间隔设置。在一些实施例中，该限位凸筋131上可设置第一导向斜面1311，该第一导向斜面1311可设置于该限位凸筋131朝向该第二盖体20的一端并可延伸至该限位凸筋131的与限位凸台13相背设置的一侧。
59.如图5至图8所示，进一步地，在一些实施例中，该第二盖体20可包括第二本体21以及第二加强结构22。该第二本体21可大致呈长方体状，且为一侧具有第二开口的中空结构，在一些实施例中，该第二本体21的横截面可大致呈方形。该第二加强结构22可设置于该第二本体21上，可用于加强该第二本体21的强度。
60.在一些实施例中，该第二本体21可包括第二端壁211以及第二侧壁212。在一些实施例中，该第二端壁211可以为圆角的方形状。该第二侧壁212可设置于该第二端壁211上，且可与该第二端壁211连接，并可向上延伸，与该第二端壁211围设形成容置腔30。该第二侧壁212可以为四个，该四个第二侧壁212的纵切面大致呈弧形，不限于为平面状。在一些实施
例中，该第二盖体10还包括凸台213，在一些实施例中，该凸台213可设置于该第二本体21上，具体地，在一些实施例中，该凸台213可设置于该第二本体21的第二端壁211的四个角落，其可由该第二端壁211的四个角落向该第二本体21的第二开口方向凸出设置，并可均布于容置腔30的外周，具体地，在一些实施例中，该凸台213可由该第二端壁211的底面的四个角落凹陷形成。在一些实施例中，该凸台213可与该沉台113一一对应设置，当该第一盖体10与该第二盖体20盖合时，该凸台213与该沉台113之间的间隔可形成手指位14，该手指位14可便于使用者搬运该晶圆载运装置。在一些实施例中，该第一本体11的第一侧壁112的四个顶角向内凹陷，形成第一接合槽1123，该第二本体21的第二侧壁212的四个顶角向内凹陷形成第二接合槽2123；该第一接合槽1123与该第二接合槽2123对应设置，该第二接合槽2123与该第一接合槽1123相接的一端可设置接合凸缘2123。当该第一盖体10和第二盖体20盖合时，该第一接合槽1123和第二接合槽2123通过该接合凸缘2123连接为一体，使得整体更为美观，边沿更为流畅。
61.进一步地，在一些实施例中，该第二加强结构22可包括第三加强组件221，该第三加强组件221可设置于该第二端壁211上。在一些实施例中，该第三加强组件221可包括第二加强凸台2211以及第三加强筋2212。当然，可以理解地，在其他一些实施例中，该第三加强组件221可只包括该第二加强凸台2211或者只包括第三加强筋2212。在一些实施例中，该第二加强凸台2211可为圆形凸台，可设置于该第二端壁211的中部。该第三加强筋2212可以为多个，该多个第三加强筋2212可设置于该第二端壁211上，且呈辐射状排布于该第二加强凸台2211的外周，即可沿该第二加强凸台2211的径向延伸设置。在一些实施例中，通过设置该第二加强凸台2211以及第三加强筋2212可增强该第二端壁211的强度，进而可增强该第二盖体20的强度。在一些实施例中，该第二加强凸台2211以及该第三加强筋2212可与该第二端壁211一体成型，具体地，在一些实施例中，该第二加强凸台2211以及该第三加强筋2212可与该第二端壁211通过注塑一体成型。在一些实施例中，通过将该第二加强凸台2211加高设置，并设置多个第三加强筋2212，可加大加强了第二盖体20的强度。
62.进一步地，在一些实施例中，该第二加强结构22还可包括第四加强组件222，该第四加强组件222可设置于该第二侧壁212上，且可朝该容置腔30凸出设置。在一些实施例中，该第三加强组件222可包括多个第四加强筋2221，该多个第四加强筋2221可沿该第二侧壁212的周向间隔设置。该第四加强筋2221可以为条状，该第四加强筋2221可沿该第二侧壁212的纵向延伸设置。通过设置该第四加强筋2221可极大加强该第二侧壁212的强度，进而加强该第二盖体20的强度。可以理解地，在一些实施例中，该第四加强组件222可以省去。
63.如图9至图11所示，进一步地，在一些实施例中，该第二盖体20中设有限位结构23，该限位结构23可对容置于该容置腔30中的晶圆100进行限位。在一些实施例中，该限位结构23可包括多个限位挡墙231，该多个限位挡墙231可设置于该第二本体21内侧，具体地，在一些实施例中，该多个限位挡墙231可朝与该第一盖体10配合的方向凸出该第二本体21的第二端壁211设置，且可沿该容置腔30的周向间隔设置，其可用于对晶圆100进行限位，限制该晶圆100水平活动空间，实现晶圆100水平活动空间最小化，从而可有效的保护晶圆100。在一些实施例中，该限位挡墙231可呈弧形。该多个限位挡墙231围设形成的腔体的尺寸可朝与该第一盖体10配合的方向逐渐增大设置，从而可方便使用者快捷地拾取和存放晶圆100。在一些实施例中，该限位挡墙231上可设置缺口2311，该缺口2311可用于增强该限位挡墙
231的形变力，有利于限位挡墙231进行摆动，以便于更好地对晶圆100进行限位。在一些实施例中，该限位缺口2311可以为v型口，可靠近该限位挡墙231和第二本体21相接处设置，并可开设于该限位挡墙231的侧壁。在一些实施例中，该限位凸台13可与该限位挡墙231配合限位，从而便于该第一盖体10和该第二盖体20进行限位。该限位挡墙231与该第二端壁212之间留设有间隙，该间隙可形成限位槽24，该限位槽24可与该第一盖体10配合限位，具体地，在一些实施例中，该限位凸台13可插设于该限位槽24中，与该限位挡墙231配合限位。在一些实施例中，该限位凸筋131可设置于该限位凸台13与该限位挡墙231相对设置的一侧，且与该限位挡墙231配合限位。进一步地，在一些实施例中，该限位挡墙231与该限位凸筋131相对设置的一侧可设置导向斜面2312，该导向斜面2312可用于给该限位凸筋131插入该限位槽24中导向。当该第一盖体10与该第二盖体20盖合时，该限位凸筋131上的第一导向斜面1311通过该限位挡墙231上的第二导向斜面2312进行导向，该限位凸筋131向下的过程中，可将该限位挡墙231压直，使得限位挡墙231的围设形成的腔体的上下内径一致，有利于实现晶圆100的零移动，从而更好地保护晶圆100。
64.进一步地，在一些实施例中，该第一盖体10和该第二盖体20上可设置连接结构。该连接结构可用于可拆卸连接该第一盖体10和该第二盖体20。该连接结构可包括扣孔1131、以及卡勾25。该扣孔1131可设置于该沉台113上，且可以为两端贯通设置。该卡勾25可设置于该凸台213上，且可凸出该凸台213设置，并可与该扣孔1131一一对应设置。该凸台213可有效缩短该卡勾25的长度，从而可加强该卡勾25的强度。在一些实施例中，当该第一盖体10与该第二盖体20盖合时，该卡勾25可插入该扣孔1131中与该扣孔1131扣合，从而可将该第一盖体10与该第二盖体20连接，增强该第一盖体10和该第二盖体20盖合后的稳定性。在一些实施例中，该卡勾25可包括第一卡勾251以及第二卡勾252。该第一卡勾251和第二卡勾252可以为结构不同的卡勾。该第一卡勾251可以为两个，该两个第一卡勾251可分布于该第二本体21的对角线上。该第二卡勾252可以为两个，该两个第二卡勾252可分布于该第二本体21的另一对角线上。该第二卡勾252的侧壁中部可设置矩形缺口2521，该矩形缺口2521可朝该凸台213延伸设置。通过设置第一卡勾251和第二卡勾252可使得第一盖体10和第二盖体20的装配具有方向性。
65.进一步地，在一些实施例中，该第一盖体10和该第二盖体20上设有第一密封结构。该第一密封结构可用于将该第一盖体10和该第二盖体20密封相接。在一些实施例中，该第一密封结构可包括第一插槽1121以及第一插接凸部2121。该第一插槽1121可设置于该第一本体11上，且可位于该第一开口处。在一些实施例中，该第一插槽1121可设置于该第一侧壁112的沿边。该第一插接凸部2121可设置于该第二本体21上且可位于该第二开口处，在一些实施例中，该第一插接凸部2121可设置于该第二侧壁212的沿边，且可凸出该第二侧壁212设置，可与该第一插槽1121对应设置，当该第一盖体10与该第二盖体20盖合时，该第一插接凸部2121可插入该第一插槽1121中。可以理解地，在其他一些实施例中，该第一密封结构可以省去。
66.进一步地，在一些实施例中，该第一盖体10和该第二盖体20上可设置第二密封结构，该第二密封结构可用于将该第一盖体10和该第二盖体20密封相接。在一些实施例中，该第二密封结构可包括第二插接凸部1122以及第二插槽2111。该第二插接凸部1122可设置于该第一侧壁112上，具体地，该第二插接凸部1122可设置于该第一侧壁112的沿边，并可朝该
与该第二盖体20配合的方向延伸出。该第二插槽2111可设置于该第二本体21上，且可与该第二插接凸部1122对应设置。在一些实施例中，该第二插槽2111可设置于该第二端壁211的内侧，且可靠近该第二侧壁212设置，可由在该第二端壁211的内侧设置的凸筋与该第二侧壁212之间留设的间隔形成。在一些实施例中，该第二侧壁212上可设置让位口2122，该让位口2122可与该第二插接凸部1122对应设置，可供该第二插接凸部1122插入该第二插槽2111中。该第一盖体10和该第二盖体20盖合时，该第二插接凸部1122可挡住该让位口2122，进而可有效防止晶圆100污染，从而可保护晶圆。在一些实施例中，该让位口2122还可形成手位，以便于使用者打开该第一盖体10和第二盖体20。
67.进一步地，在一些实施例中，该凸台213上可开设第一通孔2131、第二通孔2132。该第一通孔2131可以为方形孔，位于该第二卡勾252的根部，且位于该第二卡勾252与该容置腔30相背设置的一侧。该第二通孔2132可设置于每个凸台213上，该第二通孔2132可以为圆形通孔，可以为两个，该两个圆形通孔可间隔分布于该卡勾25的两相对侧。在一些实施例中，该凸台213上还可设置第三通孔2133。该第三通孔2133可开设于该第一卡勾251的根部，且位于该第一卡勾251与该容置腔30相对设置的一侧，可加强该第一卡勾251的弹性，使其更易于卡入该扣孔1131中。该第三通孔2133可以为长方形孔，其可贯穿该凸台213设置。在一些实施例中，该第一通孔2131、第二通孔2132、以及第三通孔2133均可在审查过程中有利于引流，防止产品积水。在一些实施例中，设有该第二卡勾252的凸台上可设置定位插槽2134和储物槽2135，该定位插槽2134和该储物槽2135均可以为矩形槽。该定位插槽2134可使得产品可以稳定的固定在使用者的机器上，该储物槽2135可使得使用者在需要时可以放入一些物品。
68.该晶圆载运装置的具体使用方法：
69.晶圆的存放：
70.如图8所示，首先将第二盖体20水平放置于平台上，首先通过将若干晶圆隔离环200沿着第二盖体20的限位挡墙231缓缓放在第二盖体20里面，然后放入晶圆100，晶圆隔离环200和晶圆100根据需求依次叠加，最后在顶部根据需求放入相应数量的晶圆隔离环200，将第一盖体10的第二插接凸台1122对准第二盖体20的第二插槽2111盖上，第二盖体20中的卡勾25穿过第一盖体10的扣孔1131，两拇指沿对角将稍用力按压，依次使得第二盖体20的第一卡勾251和第二卡勾252卡入第一盖体10的沉台113中。
71.晶圆的拾取：
72.如图8所示，首先将放置了晶圆100的本实用新型放置在平台上，其次两只手的大拇指分别放在第二盖体20对称的两个卡钩25上，另外四个手指按在第二盖体20底部，两个大拇指向外使力，使得第一卡勾251脱离扣孔1131，同法将第二卡勾252脱离扣孔1131，和或先使第二卡勾252脱离扣孔1131，再使第一卡勾251脱离扣孔1131，再把第一盖体10向上拿起，拿开第一盖体10并依次拾取载运装置内的组件和晶圆100。
73.可以理解的，以上实施例仅表达了本实用新型的优选实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本实用新型专利范围的限制；应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，可以对上述技术特点进行自由组合，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围；因此，凡跟本实用新型权利要求范围所做的等同变换与修饰，均应属于本实用新型权利要求的涵盖范围。