一种双壳体密封氮气柜的制作方法

1.本实用新型涉及氮气柜加工技术领域，具体为一种双壳体密封氮气柜。


背景技术：

2.氮气柜是一种利用氮气吹扫达到防潮防氧化的柜体，在半导体、新能源、电气电子等领域有广泛的应用，晶圆通常放置在晶圆传送盒(foup)中，再将晶圆传送盒(foup)放置于密封氮气柜中干燥和储存。
3.现有技术中，氮气柜还存在以下缺陷：
4.氮气柜大都采用单壳体结构，密封性较差，会产生如干燥效率不高，温湿度稳定性不够，氮气消耗量较大，投入产出比较小等问题。
5.现有的氮气柜内腔一般采用一体式，当打开一个柜门时，不可避免的会有外界环境中的空气进入柜内，从而影响柜内整个存储环境，需要再次大量通入氮气以排除空气，造成氮气浪费，经济效益低。


技术实现要素：

6.针对上述存在的技术不足，本实用新型的目的是提供一种双壳体密封氮气柜，在保证工作性能的前提下，节能环保，具有一定的经济型。
7.为解决上述技术问题，本实用新型采用如下技术方案：
8.本实用新型提供一种双壳体密封氮气柜，包括主壳体和密封门，还包括：
9.不少于两个独立的内部腔体，不少于两个的所述内部腔体并列位于所述主壳体中，每个所述内部腔体的顶部设有进气口，每个所述内部腔体的底部设有连通至主壳体外的出气口；
10.进氮系统，所述进氮系统为内部腔体提供氮气，所述进氮系统位于主壳体和内部腔体顶部之间的空间中；所述进氮系统与各个内部腔体的进气口连通；
11.温湿度控制系统，每个所述内部腔体分别设有一个所述温湿度控制系统，所述温湿度控制系统用于实时监测内部腔体内的温度和湿度；
12.控制器，每个所述内部腔体的上方分别安装有一个控制器，所述控制器与该内部腔体的温湿度控制系统和进氮系统电性连接。
13.优选地，所述进氮系统包括：
14.并列设置的进气组件，所述进气组件的数量与内部腔体的数量相同，所述并列设置的进气组件分别连通至各个内部腔体中；
15.所述进气组件包括流量计，所述流量计的进气口与进气管连通，所述流量计的出气口与出气管连通，所述出气管上安装有电磁阀。
16.优选地，所述进气管的端部安装有进气密封接头，所述出气管的端部安装有出气密封接头，所述进气密封接头与主壳体后侧的外接氮气管路连通，所述出气密封接头与内部腔体的顶部的进气口连通。
17.优选地，相邻两个所述电磁阀螺纹固定在电磁阀支架上，所述电磁阀支架通过螺栓固定在主壳体的顶板上。
18.优选地，每个所述内部腔体内从上到下等间距可拆卸安装有多个隔板，所述隔板上密布通孔,所述隔板通过其左右两侧的支撑板固定在内部腔体的侧壁上，所述支撑板呈矩形板状，所述支撑板靠近隔板的一侧上部开设有与隔板相匹配的槽，所述支撑板螺纹固定在内部腔体侧壁上的安装孔上，所述安装孔从上到下设置多组。
19.优选地，所述主壳体的左右两端分别竖直固定一个内部支撑架，所述内部支撑架位于主壳体与内部腔体之间的空间中，所述主壳体前端面左右两侧转动连接密封门，每个所述密封门的中部安装有钢化玻璃，所述钢化玻璃前后两侧的四周与密封门之间设有橡胶密封条，两个所述密封门在钢化玻璃的内侧沿橡胶密封条固定有压板，所述压板的周边向内部腔体一侧翻折形成折边。
20.优选地，所述密封门的四周与内部腔体间均采用四唇密封条密封。
21.优选地，所述温湿度控制系统包括温湿度传感器，两个所述内部腔体的一侧壁向内凹陷形成容纳槽，所述容纳槽内安装有温湿度传感器，所述温湿度传感器与其所在内部腔体上的控制器电性连接。
22.优选地，所述主壳体的外侧安装有氧含量监测器，所述主壳体的背面内嵌设有温湿度传感器检修窗口和进氮系统检修窗口；
23.所述主壳体的底部四角处安装有福马轮。
24.优选地，所述密封门通过锁紧件锁紧，所述密封门上安装有开门提示器，每个所述开门提示器分别与其所在内部腔体上的控制器电性连接。
25.本实用新型的有益效果在于：
26.(1)本实用新型的内部腔体和主壳体组成双壳体结构，比普通单壳体结构的氮气柜密封效果好；内部腔体独立设置，每个内部腔体分别与密封门组成密封腔体，此腔体为氮气柜工作区，当一个密封腔体的密封门打开时，并不会影响其他密封腔体的存储环境，因此可以大大减少氮气的浪费。同时配合密封门的四周设置的四唇密封条密封，使得内部腔体具有较好的密封性，可以防止外部湿空气的渗入，并且出气口安装有逆止安全阀，可以防止湿空气或湿度较大氮气通过出气管道回流，同时可以控制内部腔体内氮气的流失。
27.(2)每个密封腔体都有独立的进氮组件和温湿度控制系统，温湿度传感器可以实时监测内部腔体内的温湿度，并在控制器上显示，当温湿度或氮气浓度达不到设定值时，控制器控制加打开电磁阀进气。当温湿度达到设定值，控制器控制关闭电磁阀，使得内部腔体维持一定的温湿度和氮气浓度；通过各自的控制器独立、自动控制，自动化程度高；
28.(3)隔板将内部腔体分隔为多层，由于隔板密布通孔能保持气体流通，氮气通入内部腔体后，在压差作用下，将湿空气通过出气口置换出去，达到防潮防氧化的目的，隔板通过其左右两侧的支撑板固定在内部腔体的侧壁上，支撑板螺纹固定在内部腔体侧壁上的安装孔上，安装孔从上到下设置多组，如此，可以根据实际需求调节隔板之间的间距以及隔板的数量。
29.(4)密封门的四周与内部腔体间均采用四唇密封条密封，此类密封条系首次引入氮气柜，其通过四唇密封条压迫密封，具有密封效果好，可靠性强，经久耐用等优点。
30.(5)温湿度传感器安装于容纳槽内，一方面可以防止晶圆传送盒上水滴对温湿度
传感器的影响，保证较准确的采集实时温湿度数据，另一方面可以避免晶圆传送盒与温湿度传感器直接接触，起到保护作用。温湿度传感器所测的数据通过控制器显示。
31.(6)主壳体的外侧安装有氧含量监测器，氧含量监测器可以对室内氧含量进行监测，在氧含量较低时，为工作人员提供安全警示。主壳体的背面内嵌设有温湿度传感器检修窗口和进氮系统检修窗口，以上的检修窗口采用内嵌式设计结构，除了能减小占用空间，还能保持较好的美观性；
32.主壳体的底部四角处安装有福马轮，福马轮除了可以方便柜体移动，还能让柜体和地面保持距离，防潮防湿。
33.两个密封门通过锁紧件锁紧，两个密封门上分别安装有开门提示器，两个开门提示器分别与对应的控制器电性连接，开门提示器可以实时传输开门数据至控制器。
附图说明
34.为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
35.图1为本实用新型实施例提供的双壳体密封氮气柜的结构示意图；
36.图2为本实用新型的剖视图；
37.图3为本实用新型中内部腔体的结构示意图；
38.图4为本实用新型中支撑板的立体图；
39.图5为本实用新型中进氮系统的结构示意图；
40.图6为本实用新型中密封门处的剖视图；
41.图7为图6中a部的放大图；
42.图8为本实用新型中密封门背面的结构示意图。
43.附图标记说明：
44.主壳体1、福马轮11、锁紧件12、密封门13、钢化玻璃131、四唇密封条132、橡胶密封条133、压板134、铰链14、控制器15、氧含量监测器16、温湿度传感器17、容纳槽171、内部支撑架18；
45.内部腔体2、支撑板21、槽211、螺纹孔212；
46.进氮系统3、进气管31、进气密封接头32、流量计33、电磁阀34、出气管35、电磁阀支架36、出气密封接头37；
47.隔板4。
具体实施方式
48.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
49.在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
50.实施例：
51.如图1-8所示，本实用新型提供了一种双壳体密封氮气柜，包括主壳体1、两个独立的内部腔体2、进氮系统3、温湿度控制系统和隔板4，所述两个独立的内部腔体2并列位于主壳体1中，所述两个独立的内部腔体2与主壳体1之间存在间隙；
52.进氮系统3，所述进氮系统为两个内部腔体2提供氮气，所述进氮系统3位于主壳体1和两个独立的内部腔体2顶部之间的空间中；
53.所述进气组件包括流量计33，所述流量计33的进气口与进气管31连通，所述流量计33的出气口与出气管35连通，所述出气管35上安装有电磁阀34。
54.所述进气管31的端部安装有进气密封接头32，所述出气管35的端部安装有出气密封接头37，所述进气密封接头32与主壳体1后侧的外接氮气管路连通，所述出气密封接头37与内部腔体2的顶部的进气口连通。
55.两个所述内部腔体2的上方分别安装有一个控制器15，每个控制器15分别与该内部腔体2的流量计33、电磁阀34和温湿度传感器17电性连接。具体地，所述控制器可以选用te-kht49p智能双数显温湿度控制仪。
56.两个所述内部腔体2内从上到下等间距可拆卸安装有隔板4，所述隔板4的数量为2-5个，本实施例中，隔板4的数量为3个，所述隔板4上密布通孔，所述隔板4通过其左右两侧的支撑板21固定在内部腔体2的侧壁上，所述支撑板21呈矩形板状，所述支撑板21靠近隔板的一侧上部开设有与隔板4相匹配的槽211，所述支撑板21在槽211的下方等间隔开设有多个螺纹孔212，内部腔体2的左右侧壁从上到下开设多组与螺纹孔212相适应的安装孔(图中未画出)，所述支撑板21通过多个螺栓穿过螺纹孔212螺纹固定在内部腔体2的侧壁上，所述安装孔从上到下设置多组，如此，可以根据实际需求调节隔板4之间的间距以及隔板4的数量。
57.所述主壳体1与两个内部腔体2之间的空间前端分别垂直固定一个内部支撑架18，以强化主壳体1强度，所述主壳体1前端面左右两侧分别通过铰链14转动连接密封门13，所述铰链14为带盖防尘铰链，两个所述密封门13的中部安装有钢化玻璃131，所述钢化玻璃131前后两侧的四周与密封门13之间设有橡胶密封条133，通过设置钢化玻璃131，可以看到内部状态，两个所述密封门13在钢化玻璃131的内侧沿橡胶密封条133设有压板134，两个所述压板134分别通过螺栓固定在两个密封门13上，所述压板134的周边向内部腔体2一侧翻折形成折边。
58.两个所述密封门13的四周与两个内部腔体2间均采用四唇密封条132密封，四唇密封条132采用现有技术，此类密封条系首次引入氮气柜，其通过四唇密封条132压迫密封，具有密封效果好，可靠性强，经久耐用等优点。
59.所述温湿度控制系统用于监测氮气柜工作性能并提供实时数据，两个所述内部腔体2分别设有一个所述温湿度控制系统，两个所述温湿度控制系统包括温湿度传感器17，两个所述内部腔体2的一侧壁向内凹陷形成容纳槽171，所述容纳槽171内安装有温湿度传感器17，所述温湿度传感器17与控制器15电性连接。一方面可以防止晶圆传送盒上水滴对温
湿度传感器17的影响，保证较准确的采集实时温湿度数据，另一方面可以避免晶圆传送盒与温湿度传感器17直接接触，起到保护作用。温湿度传感器17所测的数据通过控制器15显示。
60.所述主壳体1的外侧安装有氧含量监测器16，所述氧含量监测器16可以对室内氧含量进行监测，在氧含量较低时，为工作人员提供安全警示。所述主壳体1的背面内嵌设有温湿度传感器检修窗口(图中未画出)和进氮系统检修窗口(图中未画出)，以上所述的检修窗口采用内嵌式设计结构，除了能减小占用空间，还能保持较好的美观性；
61.所述主壳体1的底部四角处安装有福马轮11，所述福马轮11除了可以方便柜体移动，还能让柜体和地面保持距离，防潮防湿。
62.两个所述密封门13通过锁紧件12锁紧，所述锁紧件12具体为迫紧式把手，两个所述密封门13上分别安装有开门提示器(图中未画出)，两个所述开门提示器分别与对应的控制器15电性连接，所述开门提示器可以实时传输开门数据至控制器15。
63.进一步地，所述进气管31上安装有气动过滤器32。
64.进一步地，每个气路上的两个所述电磁阀34螺纹固定在电磁阀支架36上，所述电磁阀支架36成u形板状，所述电磁阀支架36两侧顶部分别水平垂直一体连接一个挂耳，所述电磁阀支架36通过螺栓固定在主壳体1的顶板上。
65.进一步地，所述主壳体1的出气口处安装有逆止安全阀(图中未画出)。
66.工作原理：
67.两个内部腔体2分别与两个密封门13组成密封腔体，此腔体为氮气柜工作区，隔板4将内部腔体2分隔为多层，并能保持气体流通，氮气通过进氮组件通入内部腔体2后，在压差作用下，将湿空气通过出气口置换出去，达到防潮防氧化的目的，温湿度传感器17可以实时监测内部腔体2内的温湿度，并在控制器15上显示，当温湿度或氮气浓度达不到设定值时，控制器15控制加打开电磁阀34进气。当温湿度达到设定值，控制器15控制关闭电磁阀34，使得内部腔体2维持一定的温湿度和氮气浓度；
68.当一扇密封门13打开时，该密封门13上的开门提示器可以实时传输开门数据至控制器15，控制器15控制打开电磁阀34，开始通入氮气，当温湿度达和氮气浓度到设定值，控制器15控制电磁阀34，使得内部腔体2维持一定的温湿度和氮气浓度。
69.两个所述密封门13的四周与两个内部腔体2间均采用四唇密封条132密封，内部腔体2具有较好的密封性，可以防止外部湿空气的渗入，出气口安装有逆止安全阀，可以防止湿空气或湿度较大氮气通过出气管道回流，同时可以控制内部腔体2内氮气的流失。
70.本实施例中内部腔体的数量为2个，当然也可以实际需求设置多个，例如3个、4个、5个、6个、7个、8个等。
71.显然，本领域的技术人员可以对本实用新型进行各种改动和变型而不脱离本实用新型的精神和范围。这样，倘若本实用新型的这些修改和变型属于本实用新型权利要求及其等同技术的范围之内，则本实用新型也意图包含这些改动和变型在内。