一种晶圆片架及晶圆包装的制作方法

文档序号:31621319发布日期:2022-09-23 23:21阅读:来源:国知局

技术特征:
1.一种晶圆片架,其特征在于,包括片架主体(1),所述片架主体(1)上设置有多个沿预设方向排布的容置槽(11),每个所述容置槽(11)能限位一个晶圆,至少部分所述容置槽(11)的槽壁设置为标记颜色,以将多个所述容置槽(11)分隔为多个区段,所述片架主体(1)上设置有若干凸点组件(12),每个所述凸点组件(12)与一个所述容置槽(11)对应设置。2.根据权利要求1所述的晶圆片架,其特征在于,沿所述预设方向,所述片架主体(1)位于1/4、1/2、3/4位置处的所述容置槽(11)的槽壁设置为标记颜色。3.根据权利要求2所述的晶圆片架,其特征在于,所述片架主体(1)位于1/4、1/2、3/4处分别连续设置两个槽壁为标记颜色的所述容置槽(11)。4.根据权利要求1所述的晶圆片架,其特征在于,若干所述凸点组件(12)沿所述预设方向排布,相邻两个所述凸点组件(12)间隔一个所述容置槽(11)设置;每个所述凸点组件(12)包括两个凸点(121),同一个所述凸点组件(12)内的两个所述凸点(121)分别设置在所述容置槽(11)的两端。5.根据权利要求1所述的晶圆片架,其特征在于,沿所述预设方向,所述容置槽(11)的上端宽度大于下端宽度,且所述容置槽(11)的下端宽度能限位一个晶圆。6.根据权利要求1-5任一项所述的晶圆片架,其特征在于,所述晶圆片架包括支撑组件(2),所述支撑组件(2)连接于所述片架主体(1)的下端,以使所述片架主体(1)的底部悬空;所述支撑组件(2)包括第一支撑架(21)和第二支撑架(22),所述第一支撑架(21)和所述第二支撑架(22)相对设置,所述片架主体(1)的底部部分位于所述第一支撑架(21)和所述第二支撑架(22)之间。7.根据权利要求1-5任一项所述的晶圆片架,其特征在于,所述片架主体(1)包括:第一侧壁(13)和第二侧壁(14),所述第一侧壁(13)和所述第二侧壁(14)相对设置,所述第一侧壁(13)和所述第二侧壁(14)朝向彼此的一侧分别设置有多个沿所述预设方向排布的第一半槽(111)和第二半槽(112),每个所述第一半槽(111)对应与一个所述第二半槽(112)形成所述容置槽(11);第一连接件(15)和第二连接件(16),所述第一连接件(15)和所述第二连接件(16)相对设置,且均连接所述第一侧壁(13)和所述第二侧壁(14)。8.根据权利要求7所述的晶圆片架,其特征在于,所述第一侧壁(13)和所述第二侧壁(14)在底部分别具有弧形部,以分别朝靠近彼此的方向延伸。9.根据权利要求7所述的晶圆片架,其特征在于,所述第一侧壁(13)的上端向背离所述第二侧壁(14)的方向延伸有第一翻边(131),所述第二侧壁(14)的上端向背离第一侧壁(13)的方向延伸有第二翻边(141),所述凸点组件(12)设置在所述第一翻边(131)和所述第二翻边(141)上。10.一种晶圆包装,其特征在于,所述晶圆包装包括晶圆片架和晶圆盒,所述晶圆片架能限位于所述晶圆盒内。

技术总结
本实用新型涉及晶圆包装技术领域,公开了一种晶圆片架及晶圆包装。所述一种晶圆片架包括片架主体,片架主体上设置有多个沿预设方向排布的容置槽和若干凸点组件,每个凸点组件与一个容置槽对应设置。至少部分容置槽的槽壁设置为标记颜色,通过标记颜色将连续排布的容置槽划分成若干区段,减少了使用者需辨别的容置槽数量,可更方便地区分各个容置槽。而凸点组件可以对容置槽更精细化标记,使使用者更高效、准确地将晶圆放置在晶圆片架内,减少了晶圆磨损,降低了晶圆破碎的概率。所述一种晶圆包装通过设置上述的晶圆片架使晶圆能更准确地放置在容置槽内,故在将晶圆片架放置在晶圆盒体内时不易挤压晶圆,降低了晶圆破碎的概率。率。率。


技术研发人员:雷艳
受保护的技术使用者:天通瑞宏科技有限公司
技术研发日:2022.06.13
技术公布日:2022/9/22
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