一种炉门开关装置的制作方法

本实用新型涉及离子薄膜淀积设备领域，具体涉及一种管式PECVD炉门开关装置。

背景技术：

PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition)等离子体增强化学气象沉积是利用低温等离子体做能量源，硅片置于低气压下辉光放电的阴极上，利用辉光放电(或另加发热体)使硅片升温到预定的温度，然后通入适量的反应气体，气体经一批化学和等离子体反应，在硅片上形成固态薄膜。

管式PECVD镀膜的真空腔体的传统炉门安装在炉管口处，一般采用旋转开关的方式，这种方式导致炉门开关时晃动较大，固定炉门的螺栓易松动和断裂，从而造成炉门脱落事故发生，造成较大的经济损失。

技术实现要素：

本实用新型要解决的技术问题在于，提供一种炉门开关装置，能够实现炉门运动平稳，并预防炉门脱落，同时减少了炉门维修和调整的次数。

本实用新型是这样实现的，提供一种炉门开关装置，包括底座以及沿平行于炉门的Y方向移动的Y向移动组件，所述Y向移动组件安装在所述底座上，所述炉门安装在所述Y向移动组件上。

进一步地，所述Y向移动组件包括Y向导轨和滑块、用于带动滑块移动的第一动力部以及固定杆，所述固定杆的一端固定在所述滑块上，所述炉门固定在所述固定杆的另一端。

进一步地，所述炉门的中心设置有凸轴，所述Y向移动组件还包括用于固定所述炉门的防脱件，所述防脱件包括相互固定的固定板和固定套环以及固定螺钉，所述固定板固设在所述固定杆的一端，所述凸轴套设在所述固定套环内，所述固定螺钉穿过所述固定板与所述凸轴螺纹连接。

进一步地，所述防脱件还包括至少三个调节螺钉，所述调节螺钉穿过所述固定板并抵顶所述凸轴的端面。

进一步地，所述固定螺钉和所述调节螺钉均为三个，所述调节螺钉绕所述凸轴的轴线均匀间隔设置。

进一步地，所述凸轴远离所述炉门的一端还凸出形成有限位部。

进一步地，所述第一动力部为无杆气缸。

进一步地，所述开关机构还包沿垂直于所述炉门的X方向移动的X向移动组件，所述X向移动组件包括X向导轨、可滑动地安装在所述X向导轨上的底滑板以及用于带动所述底滑板移动的第二动力部，所述X向导轨安装在所述底座上，所述Y向移动组件安装在所述底滑板上。

进一步地，所述第二动力部为带有伸缩杆的气缸，所述气缸安装在所述底滑板上，其伸缩杆的顶端固定在所述底座上。

进一步地，所述Y向移动组件还包括行程开关，所述行程开关设置在所述Y向导轨的两端；所述X向移动组件还包括位置感应器，所述位置感应器安装在所述第二动力部上。

与现有技术相比，本实用新型的炉门开关装置，通过控制Y向移动组件移动，使炉门沿平行于炉门的Y方向移动。这样可避免使用旋转的方式开关炉门，通过电动控制以及平移的方式来开关炉门，安全高效。

附图说明

下面将结合附图及实施例对本实用新型作进一步说明，附图中。

图1是本实用新型的炉门开关装置的立体示意图。

图2是图1中炉门开关装置的俯视示意图。

图3是图2中A-A方向的剖视示意图。

图4是图3中B方向的局部放大示意图。

具体实施方式

现结合附图，对本实用新型的较佳实施例作详细说明。

如图1和2所示，本实用新型的一种炉门开关装置200，包括底座210以及沿平行于炉门100的Y方向移动的Y向移动组件220。Y向移动组件220安装在底座210上，炉门100安装在Y向移动组件220上。通过控制Y向移动组件220移动，使炉门100沿平行于炉门100的Y方向移动。这样可避免使用旋转的方式开关炉门100，通过电动控制以及平移的方式来开关炉门100，安全高效。

具体地，Y向移动组件220包括Y向导轨221和滑块222、用于带动滑块222移动地第一动力部223、固定杆224以及用于固定炉门100的防脱件225。固定杆224的一端固定在滑块222上，防脱件225固定在固定杆224的另一端。在本实施例中，第一动力部223为无杆气缸，无杆气缸包括长筒状活塞缸223a和随活塞运动的同步移动件223b，同步移动件223b与滑块222固定连接，采用无杆气缸能节约安装空间。通过控制活塞的运动带动同步移动件223b的移动，进而带动滑块222以及固定杆224的移动，最后带动炉门100的沿Y方向移动。

如果炉门100只在Y方向移动，可能会导致炉门100与炉管口之间磨损，为了进一步方便炉门100的开关，开关机构200还包沿垂直于炉门100的X方向移动的X向移动组件230。X向移动组件230包括X向导轨231、可滑动地安装在X向导轨231上的底滑板232以及用于带动底滑板232移动地第二动力部233，X向导轨231安装在底座210上，Y向移动组件220安装在底滑板232上。

在本实施例中，第二动力部233为带有伸缩杆的气缸，气缸安装在底滑板232上，其伸缩杆的顶端固定在底座210上。控制气缸伸缩杆的伸缩，使底滑板232沿X方向往复移动，进而带动Y向移动组件220的移动，最后带动炉门100沿X方向移动。

Y向移动组件220还包括行程开关226，设置在Y向导轨221的两端，用于检测滑块222的位置信息。X向移动组件230还包括位置感应器(图中未示出)，位置感应器安装在第二动力部233上，用于检测底滑板232的位置信息。当需要打开炉门100时，第二动力部233控制底滑板232沿X方向往复移动，带动炉门100远离炉管口，移动设定距离后，位置感应器接收信号，使第二动力部233停止工作；然后第一动力部223使滑块222以及固定杆224的沿Y方向移动，最后带动炉门100的沿Y方向移动，移动设定距离后，行程开关226接收信号，停止第一动力部223的工作，完成炉门100的开启。当需要关闭炉门100时，则先使炉门沿Y方向移动到设定位置，再沿X方向移动到炉管口。通过这样的移动方式，可避免炉门100与炉管口之间的相互磨损，延长炉门的使用寿命。

如图3所示，炉门100的中心设置有凸轴110，防脱件225包括相互固定的固定板225a和固定套环225b以及固定螺钉225c。固定板225a固设在固定杆224的一端，凸轴110套设在固定套环225b内，固定螺钉225c穿过固定板225a与凸轴110螺纹连接，这样能起到径向定位的作用，防止100炉门转动。在本实施例中，固定板225a与固定套环225b一体形成。凸轴110远离炉门100的一端还凸出形成有限位部111，该限位部111能在凸轴110套设在固定套环225b后，能起到轴向的定位作用，防止炉门100脱落事故发生，造成较大的经济损失。

如图4所示，防脱件225还包括至少三个调节螺钉225d。调节螺钉225d穿过固定板225a并抵顶凸轴110的端面。在本实施例中，固定螺钉225c和调节螺钉225d均为三个，固定螺钉225c和调节螺钉225d绕凸轴110的轴线均匀间隔设置。在固定螺钉225c固定炉门100的基础上，通过旋入或旋出调节螺钉225d，可对炉门100进行微调，使炉门100与炉管口平行，达到完全重合密封。

应当理解的是，以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制，对本领域技术人员来说，可以对上述实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而所有这些修改和替换，都应属于本实用新型所附权利要求的保护范围。