技术总结
一种新型靶材炉设备，属于靶材邦定技术领域。该设备炉体的一侧设置炉门，炉体内设置加热基台，加热基台内设有用于控温的加热装置和温度检测仪，加热基台上连接用于放置靶材的靶材基板，靶材基板的正上方设置有加压板，加压板的上端连接位于炉体外的液压泵，炉体内部与外置的真空泵连通。本发明人工操作程序简单，靶材邦定效率提高；经过计算焊接的面积和铟球质量，可以确保铟料的利用率在98％以上；抽真空可以有效减少靶材和基板中间的空气和水蒸气，可以确保焊接的面积在97％以上；压力控制可以有效增加靶材和基板之间的结合力，保证后期溅射过程中的靶材不出现脱落问题；熟练工人靶材邦定的合格率达到100％。
技术研发人员：张磊;顾正;张晓峰;郭校亮;陈良杰
受保护的技术使用者：青岛蓝光晶科新材料有限公司
文档号码：201710004399
技术研发日：2017.01.04
技术公布日：2017.05.31