基板工艺的微波干燥装置的制作方法

本实用新型涉及一种干燥装置，尤指一种在基板加工工艺中，用来除去基板上的液体的微波干燥装置。

背景技术：

基板在以化学药液进行蚀刻而于其上呈现出铜箔的线路后，接着必须利用挥发性液体(例如：异丙醇)或非挥发性液体(例如：纯水)来洗净基板上的化学药液，再将洗净后的基板进行干燥，以便进行下一步的加工。

其中一种现有技术的对基板进行干燥的干燥装置，是在一用以输送基板的输送平台的上方装设多个喷气管，或同时在该输送平台的上方及下方装设多个喷气管，该些喷气管经由管路连接一鼓风机，利用该鼓风机所提供的高温、高压气体对该待干燥的基板进行吹气，而从该喷气管吹出的高温、高压气体除了可以直接吹除该基板上的液体之外，还可让该液体升温后进一步蒸发。

然而，随着电子产业的蓬勃发展，各式电子装置除了功能愈趋多样化与复杂化之外，外型亦皆朝轻、薄、短、小的方向发展，该些电子装置中的基板亦相应地朝小型化、薄型化演进，该基板上的电路不断细微化，该基板上供各式电子元件插接的穿孔及盲孔的孔径也越来越小。如此一来，该从喷气管吹出的高压气体难以进入该小孔径的穿孔及盲孔中吹除液体，而蓄积在该穿孔及盲孔中的液体将造成该基板上的细微化的电路氧化、损坏。除此之外，该鼓风机所提供的气体中还可能会参杂尘粒，该尘粒也会对该细微化的电路造成破坏。

再者，为了维持该现有技术的干燥装置内的温度，让该基板上的液体可因为升温而蒸发，该鼓风机必须不断地供应高温气体，如此不但导致耗费能量的问题，还使得该干燥装置周围持续维持在高温状态，形成对工作人员来说极度不舒适的工作环境。

技术实现要素：

有鉴于前述现有技术所存在的问题，本实用新型的创作目的在于提供一种基板工艺的微波干燥装置，其借由微波加热来蒸散基板上的液体，以达到除去该基板上的液体、使该基板干燥的目的。

为了达到上述的创作目的，本实用新型采用的技术手段是令一基板工艺的微波干燥装置包括：

一微波腔体，其利用能屏蔽微波的金属材质所制作而成，该微波腔体的内部形成一微波作用腔，该微波腔体的一前端处形成有一前开口，该微波腔体的一后端处形成有一后开口；

一输送平台，其贯穿该微波腔体的前开口与后开口，且具有一输送方向；

至少一微波产生器，其设于该微波腔体的微波作用腔内，并能发射微波。

上述基板工艺的微波干燥装置能进一步包括至少一排气组，至少一排气组设于该微波腔体的微波作用腔内，每一排气组配置在该输送平台的一旁侧且包含至少一抽气件，每一抽气件具有朝向该输送平台的一进气口。

上述每一排气组的至少一抽气件能包含了多个抽气件，该些抽气件沿该输送平台的输送方向间隔排列设置。

上述每一排气组的至少一抽气件能包含一个抽气件，该抽气件朝该微波腔体的前端与后端延伸设置。

上述至少一排气组能包含二排气组，该二排气组分别配置在该输送平台的两相对旁侧。

上述至少一微波产生器能包含了多个微波发射器，该些微波发射器沿该输送平台的输送方向间隔排列设置或垂直该输送平台的输送方向间隔排列设置。

上述输送平台上能架设多根输送轮轴，该些输送轮轴沿该输送平台的输送方向间隔排列设置，且每一输送轮轴的转动轴垂直该输送平台的输送方向延伸。

借由如上所述的实用新型，能利用微波直接针对液体中的水分子进行加热，以无死角地令蓄积在该基板的穿孔或盲孔中的液体升温并蒸散，来达到干燥该基板的目的，同时避免利用风力吹干基板时会有尘粒破坏电路板的问题。再者，因为微波只会对液体进行加热，不会将能量用于使该基板升温，故干燥的效率高，可有效节约电力、节省该基板的加工成本，同时也可以让该微波干燥装置整体维持在人体可接受的舒适温度。

以下结合附图和具体实施例对本实用新型进行详细描述，但不作为对本实用新型的限定。

附图说明

图1为本实用新型第一较佳实施例的立体外观示意图。

图2为本实用新型第一较佳实施例的俯视示意图。

图3为本实用新型第二较佳实施例的俯视示意图。

图4为本实用新型第二较佳实施例的端视示意图。

具体实施方式

参见图1至图3所示，本实用新型的基板工艺的微波干燥装置包括一微波腔体10、一输送平台20、至少一微波产生器30、30A与至少一排气组40、40A。

该微波腔体10利用可屏蔽微波的金属材质所制作而成，该微波腔体10的内部形成一微波作用腔，该微波腔体10的一前端处形成有一前开口11，该微波腔体10的一后端处形成有一后开口12。

该输送平台20贯穿该微波腔体10的前开口11与后开口12，使该微波腔体10包覆该输送平台20的一段，该输送平台20能带动一待干燥的基板50沿一输送方向201移动，将该微波腔体10的前开口11移动进入该微波作用腔，再将干燥后的基板50从该微波腔体10的后开口12移出该微波作用腔。

具体而言，该输送平台20上架设有多根输送轮轴21，该些输送轮轴21沿该输送平台20带动该基板50移动的输送方向201间隔排列设置，且每一输送轮轴21的转动轴垂直该输送平台20的输送方向201延伸。

配合参见图4所示，该至少一微波产生器30、30A设于该微波腔体10的微波作用腔内，并能发射微波，令该微波促使该基板50上的液体中的水分子震荡、摩擦，从而升温并蒸发，以达到除去该基板50上的液体、使该基板50干燥的目的。

如图1及图2所示，在本实用新型的第一较佳实施例中，前述至少一微波产生器30包含了多个微波发射器30，该些微波发射器30沿该输送平台20的输送方向201间隔排列设置。

进一步参见图3所示，在本实用新型的第二较佳实施例中，前述至少一微波产生器30A亦包含了多个微波发射器30A，该些微波发射器30A垂直该输送平台20的输送方向201间隔排列设置。

在本实用新型的具体实施方式中，该些微波产生器30、30A是架设在该输送平台20的上方，朝该输送平台20上的基板50发射微波。其中，由于该些微波产生器30、30A所发射出的微波在遇到该金属材质的微波腔体10时会反射，让该微波作用腔内充满微波，故除了该基板50的顶面的液体会受到微波的作用升温并蒸发之外，该基板50的底面的液体也能受到微波的作用而升温并蒸发。也就是说，该微波产生器30、30A只要能对该微波腔体10的微波作用腔发射微波即可达到让整个基板50干燥的效果。

该至少一排气组40、40A设于该微波腔体10的微波作用腔内，每一排气组40、40A配置在该输送平台20的一旁侧且包含至少一抽气件41、41A，该至少一抽气件41、41A沿该输送平台20的输送方向201设置，并经由管路42连通至一排气泵(图未示)，每一抽气件41具有一进气口411，该进气口411朝向该输送平台20，以抽取并排出从该输送平台20上的基板50蒸散的湿气。

在本实用新型的具体实施方式中，前述至少一排气组40、40A包含二排气组40、40A，该二排气组40、40A分别配置在该输送平台20的两相对旁侧。进一步而言，如图1及图2所示，在本实用新型的第一较佳实施例中，前述每一排气组40的至少一抽气件41包含了多个抽气件41，该些抽气件41沿该输送平台20的输送方向201间隔排列设置。如图3所示，在本实用新型的第二较佳实施例中，前述每一排气组40A的至少一抽气件41A包含一个抽气件41A，该抽气件41A朝该微波腔体10的前端与后端延伸设置。

本实用新型的优点在于，由于微波可直接针对液体中的水分子进行加热，故本实用新型的微波干燥装置可以无死角地令蓄积在该基板50的穿孔或盲孔中的液体升温并蒸散，来达到干燥该基板50的目的，同时避免利用风力吹干基板50时会有尘粒破坏电路板的问题。再者，因为微波只会对液体进行加热，不会将能量用于使该基板50升温，故干燥的效率高，可有效节约电力、节省该基板50的加工成本，同时让该微波干燥装置整体维持在人体可接受的舒适温度。

以上所述仅是本实用新型的较佳实施例，并非对本实用新型作任何形式上的限制，虽然本实用新型已以较佳实施例揭露如上，然而并非用以限定本实用新型，当然，本实用新型还可有其它多种实施例，任何熟悉本专业的技术人员，在未脱离本实用新型技术方案精神及其实质的范围内，依据本实用新型的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与修饰，均仍属于本实用新型技术方案和权利要求保护的范围内。