一种电磁片扩散尾气排放处理装置的制作方法

1.本实用新型涉及电磁片技术领域，具体为一种电磁片扩散尾气排放处理装置。


背景技术：

2.扩散炉是半导体生产线前工序的重要工艺设备之一，用于大规模集成电路、分立器件、电力电子、光电器件和光导纤维等行业的扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺；
3.现有的扩散炉电磁片扩散尾气排放处理装置在进行冷却时，往往尾气直通过冷却箱进行冷却，当尾气的流速较快时，会有较多的尾气未经过冷却成废液而直接排出，实用性较差。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的在于提供一种电磁片扩散尾气排放处理装置，以至少解决现有技术的电磁片扩散尾气排放处理装置无法冷却彻底的问题。
5.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种电磁片扩散尾气排放处理装置，其特征在于，包括：
6.冷却箱；
7.支撑柱，所述冷却箱的底端设置有多个支撑柱；
8.控制器，所述冷却箱的前端设置有控制器；
9.进液管，所述冷却箱的前端顶部设置有进液管的一端；
10.进气管，所述冷却箱的顶端一侧设置有进气管的一端；
11.内板，所述冷却箱的内腔中部设置有内板。
12.优选的，所述进液管与冷却箱的连接处设置有密封套，所述进气管与冷却箱的连接处设置有止回阀，所述进液管和进气管的另一端均延伸进冷却箱的内腔。
13.优选的，所述冷却箱的内腔一侧设置有冷却壳，所述进液管的另一端延伸进冷却壳内，所述冷却壳一端表面为弧形。
14.优选的，所述内板的前端中部沿左右方向开设有滑槽，所述冷却箱的一端设置有电机，所述电机的输出端通过联轴器锁紧有螺杆的一端，所述螺杆的另一端延伸进滑槽的内端。
15.优选的，所述螺杆的表面螺纹连接有滑块，所述滑块滑动设置在滑槽内，所述滑块的前端滑动设置有连接块，所述滑块的内腔左右两端均开设有内滑槽，所述连接块的两端均设置有侧块，所述侧块设置在内滑槽内，所述内滑槽与侧块之间设置有润滑剂。
16.优选的，所述连接块的前端转动设置有转杆的一端，所述转杆的表面过盈配合有齿轮，所述转杆的另一端设置有夹持块，所述夹持块的内端设置有填装瓶。
17.优选的，所述内板的表面设置有齿块，所述齿块设置在滑槽的上端，所述滑槽的一端底部内板的表面设置有伸缩气缸，所述冷却箱的内腔另一端底部设置有下液块，所述下液块的底端设置有排出管的一端，所述排出管的另一端延伸出冷却箱的外端。
18.与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：该电磁片扩散尾气排放处理装置，通过将冷却液放置在冷却壳内，可以持续对填装瓶内的尾气进行冷却，可使尾气得到充分的冷却，并通过电机控制填装瓶倒出液体，操作简单，实用性较强。
附图说明
19.图1为本实用新型立体结构示意图；
20.图2为图1的主视剖视图；
21.图3为图1的侧视剖视图；
22.图4为图2的内板表面局部结构示意图。
23.图中：1、冷却箱，2、支撑柱，3、控制器，4、进液管，5、密封套，6、进气管，7、止回阀，8、冷却壳，9、内板，10、滑槽，11、电机，12、螺杆，13、滑块，14、连接块，15、内滑槽，16、侧块，17、转杆，18、齿轮，19、夹持块，20、填装瓶，21、齿块，22、伸缩气缸，23、下液块，24、排出管。
具体实施方式
24.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
25.请参阅图1
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4，本实用新型提供一种技术方案：一种电磁片扩散尾气排放处理装置，其特征在于，包括：冷却箱1，支撑柱2，控制器3，进液管4，进气管6，内板9，冷却箱1的底端设置有多个支撑柱2；冷却箱1的前端设置有控制器3；冷却箱1的前端顶部设置有进液管4的一端；冷却箱1的顶端一侧设置有进气管6的一端；冷却箱1的内腔中部设置有内板9，通过进液管4排入冷却液。
26.作为优选方案，更进一步的，进液管4与冷却箱1的连接处设置有密封套5，进气管6与冷却箱1的连接处设置有止回阀7，进液管4和进气管6的另一端均延伸进冷却箱1的内腔，通过止回阀7防止尾气回流。
27.作为优选方案，更进一步的，冷却箱1的内腔一侧设置有冷却壳8，进液管4的另一端延伸进冷却壳8内，冷却壳8一端表面为弧形，通过上述，使冷却壳8包围填装瓶20。
28.作为优选方案，更进一步的，内板9的前端中部沿左右方向开设有滑槽10，冷却箱1的一端设置有电机11，电机11的输出端通过联轴器锁紧有螺杆12的一端，螺杆12的另一端延伸进滑槽10的内端，通过电机11带动螺杆12转动。
29.作为优选方案，更进一步的，螺杆12的表面螺纹连接有滑块13，滑块13滑动设置在滑槽10内，滑块13的前端滑动设置有连接块14，滑块13的内腔左右两端均开设有内滑槽15，连接块14的两端均设置有侧块16，侧块16设置在内滑槽15内，内滑槽15与侧块16之间设置有润滑剂，通过润滑剂助于连接块14在滑块13前端滑下。
30.作为优选方案，更进一步的，连接块14的前端转动设置有转杆17的一端，转杆17的表面过盈配合有齿轮18，转杆17的另一端设置有夹持块19，夹持块19的内端设置有填装瓶20，通过填装瓶20装填废气。
31.作为优选方案，更进一步的，内板9的表面设置有齿块21，齿块21设置在滑槽10的
上端，滑槽10的一端底部内板9的表面设置有伸缩气缸22，冷却箱1的内腔另一端底部设置有下液块23，下液块23的底端设置有排出管24的一端，排出管24的另一端延伸出冷却箱1的外端，通过伸缩气缸22带动连接块14在滑块13内腔滑动。
32.本案的电机和伸缩气缸为现有技术，只要电机和伸缩气缸符合本案的要求均可。
33.通过本领域人员，将本案中所有电气件与其适配的电源通过导线进行连接，并且应该根据实际情况，选择合适的控制器，以满足控制需求，具体连接以及控制顺序，应参考下述工作原理中，各电气件之间先后工作顺序完成电性连接，其详细连接手段，为本领域公知技术，下述主要介绍工作原理以及过程，不在对电气控制做说明。
34.使用时，通过进液管4排入冷却液，冷却液进入到冷却壳8内，而后通过进气管6将尾气排入到填装瓶20内后，伸缩气缸22回缩，连接块14向下移动，电机11带动螺杆12转动，使滑块13在滑槽10内移动，当齿轮18与齿块21啮合时，带动转杆17转动，使填装瓶20转动，内部废液倒入下液块23内，并从排除管24排出冷却箱1，而后电机11反转螺杆12，使滑块13回移，齿轮18与齿块21啮合，填装瓶20回转，当填装瓶20回到最左端时，伸缩气缸22带动连接块14向上移动，使填装瓶20的进口与进气管6的底端贴合，实用性较强。
35.在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“同轴”、“底部”、“一端”、“顶部”、“中部”、“另一端”、“上”、“一侧”、“顶部”、“内”、“前部”、“中央”、“两端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作；同时除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“安装”、“连接”、“固定安装”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定，对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
36.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。