一种用于太阳能硅片刻蚀设备中的吹干风刀的制作方法

文档序号:29498843发布日期:2022-04-06 16:34阅读:323来源:国知局
一种用于太阳能硅片刻蚀设备中的吹干风刀的制作方法

1.本实用新型涉及太阳能电池片制造技术领域,具体为一种用于太阳能硅片刻蚀设备中的吹干风刀。


背景技术:

2.太阳能电池片的制造过程需要经过很多个步骤,其中对硅片的干燥工艺也是必不可少的一部分,硅片在干燥过程中,需要使用热风对硅片的所有面进行吹干。
3.干燥时需要利用热风刀进行干燥,而现有的干燥段通常利用滚轮输送机构对太阳能电池硅片进行输送,在输送过程中吹干风刀连接热风管道后由出风口吹出热风对太阳能电池片进行吹干,然而在吹干过程中当太阳能电池硅晶片经过吹干风刀时,吹干风刀内部空腔结构以及出风口无法达到匀流进而无法完全吹干硅晶片上表面的水,会导致太阳能电池硅片表面有液体残留,造成硅晶片的质量缺陷,影响了刻蚀加工效率。


技术实现要素:

4.本实用新型的目的在于提供一种用于太阳能硅片刻蚀设备中的吹干风刀,以解决上述背景技术中提出的问题。
5.为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种用于太阳能硅片刻蚀设备中的吹干风刀,包括吹干风刀本体,所述吹干风刀本体包括吹干风刀上部分和吹干风刀下部分;所述吹干风刀上部分包括吹干上风刀、吹干上风刀盖板以及上部自制法兰连接件;所述吹干上风刀上设有空腔结构,且吹干上风刀盖板通过螺钉盖于吹干上风刀空腔处;所述上部自制法兰连接件通过螺钉固定安装在吹干上风刀入风口处,且上部自制法兰连接件上安装有上部进风管道;
6.所述吹干风刀下部分包括吹干下风刀、吹干下风刀盖板、下部自制法兰连接件以及吹干下风刀调节固定底座;所述吹干下风刀上设有空腔,且吹干下风刀盖板通过螺钉盖于吹干下风刀空腔处;所述下部自制法兰连接件通过螺钉固定安装在吹干下风刀入风口处,且下部自制法兰连接件上安装有下部进风管道;所述吹干下风刀调节固定底座卡合在吹干下风刀的底部。
7.优选的,所述吹干风刀本体设有若干个,且相邻两个所述吹干上风刀之间通过第一风刀连接件和第二风刀连接件进行连接。
8.优选的,所述第一风刀连接件位于上部进风管道开口的一侧,所述第一风刀连接件上与上部进风管道管口对应处开设有通孔,且第一风刀连接件的两端均通过螺栓与吹干上风刀固定连接。
9.优选的,所述第二风刀连接件位于上部进风管道远离第一风刀连接件的一侧,且第二风刀连接件的两端均通过螺栓与吹干上风刀固定连接。
10.优选的,所述吹干风刀上部分和吹干风刀下部分上下对应设置,且吹干风刀上部分和吹干风刀下部分中的吹干上风刀、吹干下风刀相对的一侧分别阵列设置有上部出风斜
孔和下部出风斜孔,且上部出风斜孔和下部出风斜孔朝向吹干上风刀、吹干下风刀空腔内部的一端分别设有上部出风直孔和下部出风直孔;所述上部出风斜孔和上部出风直孔均与吹干上风刀上的空腔连通;所述下部出风斜孔和下部出风直孔均与吹干下风刀上的空腔连通。
11.优选的,所述吹干上风刀与吹干下风刀相对的一侧内壁上分别阵列固接有上部限位凸块和下部限位凸块,且上部限位凸块位于每两个上部出风斜孔之间,下部限位凸块位于每两个下部出风斜孔之间。
12.优选的,所述吹干上风刀和吹干下风刀空腔内壁上分别设有上部弧形槽和下部弧形槽,所述上部弧形槽和下部弧形槽分别与吹干上风刀入风口、吹干下风刀入风口对应且连通。
13.与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:
14.1.本实用新型能够对太阳能电池硅片的表面进行吹干干燥,干燥效率高,且能够有效避免太阳能电池硅片表面液体的残留。
15.2.本实用新型通过在吹干上风刀以及吹干下风刀内部空腔中设置上部弧形槽、下部弧形槽,能够快速对进入空腔内部的热风进行匀流,并将热风均匀分配到上部出风斜孔、上部出风直孔、下部出风斜孔以及下部出风直孔处,并由上部出风斜孔、上部出风直孔、下部出风斜孔以及下部出风直孔均匀扩散出去,可以更好的对硅片进行吹干干燥。
16.3.本实用新型结构之间通过螺钉、螺栓等进行组装,便于拆装。
附图说明
17.图1为本实用新型的整体结构示意图;
18.图2为本实用新型的俯视结构示意图;
19.图3为本实用新型的侧视结构示意图;
20.图4为本实用新型的吹干上风刀的内部结构示意图;
21.图5为图4的a处放大结构示意图;
22.图6为本实用新型的吹干下风刀的内部结构示意图;
23.图7为图6的b处放大结构示意图。
24.图中:11、吹干风刀上部分;110、吹干上风刀;111、吹干上风刀盖板;112、上部自制法兰连接件;113、吹干上风刀入风口;114、上部进风管道;115、上部出风斜孔;116、上部出风直孔;117、上部限位凸块;118、上部弧形槽;12、吹干风刀下部分;120、吹干下风刀;121、吹干下风刀盖板;122、下部自制法兰连接件;123、吹干下风刀调节固定底座;124、吹干下风刀入风口;125、下部进风管道;126、下部出风斜孔;127、下部出风直孔;128、下部限位凸块;129、下部弧形槽;13、第一风刀连接件;130、通孔;14、第二风刀连接件。
具体实施方式
25.下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
26.在本实用新型的描述中,需要说明的是,术语“竖直”、“上”、“下”、“水平”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本实用新型和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本实用新型的限制。
27.在本实用新型的描述中,还需要说明的是,除非另有明确的规定和限定,术语“设置”、“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或一体地连接;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言,可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
28.请参阅图1-7,本实用新型提供一种技术方案:一种用于太阳能硅片刻蚀设备中的吹干风刀,包括吹干风刀本体,所述吹干风刀本体包括吹干风刀上部分11和吹干风刀下部分12;所述吹干风刀上部分11包括吹干上风刀110、吹干上风刀盖板111以及上部自制法兰连接件112;所述吹干上风刀110上设有空腔结构,且吹干上风刀盖板111通过螺钉盖于吹干上风刀110空腔处;所述上部自制法兰连接件112通过螺钉固定安装在吹干上风刀入风口113处,且上部自制法兰连接件112上安装有上部进风管道114;
29.所述吹干风刀下部分12包括吹干下风刀120、吹干下风刀盖板121、下部自制法兰连接件122以及吹干下风刀调节固定底座123;所述吹干下风刀120上设有空腔,且吹干下风刀盖板121通过螺钉盖于吹干下风刀120空腔处;所述下部自制法兰连接件122通过螺钉固定安装在吹干下风刀入风口124处,且下部自制法兰连接件122上安装有下部进风管道125;所述吹干下风刀调节固定底座123卡合在吹干下风刀120的底部。
30.进一步的,所述吹干风刀本体设有若干个,且相邻两个所述吹干上风刀110之间通过第一风刀连接件13和第二风刀连接件14进行连接。
31.进一步的,所述第一风刀连接件13位于上部进风管道114开口的一侧,所述第一风刀连接件13上与上部进风管道114管口对应处开设有通孔130,且第一风刀连接件13的两端均通过螺栓与吹干上风刀110固定连接。
32.进一步的,所述第二风刀连接件14位于上部进风管道114远离第一风刀连接件13的一侧,且第二风刀连接件14的两端均通过螺栓与吹干上风刀110固定连接。
33.进一步的,所述吹干风刀上部分11和吹干风刀下部分12上下对应设置,且吹干风刀上部分11和吹干风刀下部分12中的吹干上风刀110、吹干下风刀120相对的一侧分别阵列设置有上部出风斜孔115和下部出风斜孔126,且上部出风斜孔115和下部出风斜孔126朝向吹干上风刀110、吹干下风刀120空腔内部的一端分别设有上部出风直孔116和下部出风直孔127;所述上部出风斜孔115和上部出风直孔116均与吹干上风刀110上的空腔连通;所述下部出风斜孔126和下部出风直孔127均与吹干下风刀120上的空腔连通。
34.进一步的,所述吹干上风刀110与吹干下风刀120相对的一侧内壁上分别阵列固接有上部限位凸块117和下部限位凸块128,且上部限位凸块117位于每两个上部出风斜孔115之间,下部限位凸块128位于每两个下部出风斜孔126之间。
35.进一步的,所述吹干上风刀110和吹干下风刀120空腔内壁上分别设有上部弧形槽118和下部弧形槽129,所述上部弧形槽118和下部弧形槽129分别与吹干上风刀入风口113、吹干下风刀入风口124对应且连通。
36.工作原理:使用时,将多个待吹干太阳能电池硅片放置于输送辊上,通过输送辊带动太阳能电池硅片移动,经过吹干风刀所在位置时,由外部进入的热风通过上部进风管道114、下部进风管道125引入吹干上风刀110、吹干下风刀120的空腔内,通过在吹干上风刀110以及吹干下风刀120内部空腔中设置上部弧形槽118、下部弧形槽129,能够快速对进入空腔内部的热风进行匀流,并将热风均匀分配到上部出风斜孔115、上部出风直孔116、下部出风斜孔126以及下部出风直孔127处,并由上部出风斜孔115、上部出风直孔116、下部出风斜孔126以及下部出风直孔127均匀扩散出去,进而可以更好的对硅片进行吹干干燥,干燥效率高,且能够有效避免太阳能电池硅片表面液体的残留;本实用新型结构之间通过螺钉、螺栓等进行组装,便于拆装,调试等;吹干上风刀盖板111和吹干下风刀盖板121分别盖于吹干上风刀110、吹干下风刀120的空腔处,通过设置上部限位凸块117、下部限位凸块128,能够防止上风刀盖板111和吹干下风刀盖板121凹陷,进而不易堵塞上部出风斜孔115、上部出风直孔116、下部出风斜孔126以及下部出风直孔127。
37.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例,对于本领域的普通技术人员而言,可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型,本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。
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