炉室充气除尘系统的制作方法

1.本发明属于碳化硅合成领域，具体的说是炉室充气除尘系统。


背景技术：

2.csp-pc-150型碳化硅立式感应合成炉，是应用中频感应加热方式，以摩尔比配比的高纯碳粉和高纯硅粉及定量的高纯添加剂均匀混合，装在高纯石墨坩埚内，并在洁净环境中，充入高纯氩气、氮气或其它气体，以设定的步骤，逐步完成升温、保温、置换氩气、氮气或其它气氛气体，降温等过程，使碳粉和硅粉合成为高纯碳化硅原料。
3.公开号为cn112516916a超高真空碳化硅原料合成炉系统，该发明所述的超高真空碳化硅原料合成炉系统中，炉室为圆筒形立式双层水冷结构，炉室上安装炉盖，炉盖为双层水冷结构，红外测温组件位于炉盖顶端，炉盖可由电动升降机实现升降并旋开；炉室通过闸板阀、泵抽弯管与分子泵连接，组成系统主抽管路，炉室通过角阀、波纹管与机械泵相连，组成系统旁抽管路；样品支撑机构与炉室底盘固定，感应加热组件、测量组件分别与炉室侧面法兰固定。
4.现有技术中，合成炉完成合成后，在炉体的内部会产生碳化物和硅化物等挥发物以及灰尘等，这些物质不及时进行清理会影响单晶炉内碳化硅单晶的质量，同时开炉前不进行有效清理，也会污染周围空气问题。
5.为此，本发明提供炉室充气除尘系统。


技术实现要素：

6.为了弥补现有技术的不足，解决背景技术中所提出的至少一个技术问题。
7.本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：本发明所述的炉室充气除尘系统，包括炉体、平台架和炉室抽气管道；所述炉体与平台架之间固定连接；所述平台架包括有底层架和顶层架；所述炉体的炉顶盘的表面固连有第一充气管；所述炉体的炉底盘的表面固连有第二充气管，且第一充气管和第二充气管均外接空气压缩机；所述平台架的表面固连有总抽气管，且总抽气管外接负压源；所述总抽气管固连有管路沉积仓；所述管路沉积仓与总抽气管之间连有气动蝶阀；所述炉体的中部位置固连有吸尘罩；所述吸尘罩的排气口固连有炉室抽气管道，且炉室抽气管道的一端与炉体的炉内连通，另一端与管路沉积仓之间相互连通；工作时，通过在炉顶盘和炉底盘的表面分别设置第一充气管和第二充气管，通过用大压力、大流量的压缩空气，加大气体流速带走挥发物、粉尘等，并且充气过程中，要求停炉、待炉子冷却后，以及在开炉前上下快速对吹，避免炉子未冷却条件下，吹进压缩空气，空气与炉内介质发生化学反应影响晶体质量，携带挥发物和粉尘的气体会被吸入吸尘罩，大流速吹气，炉内的灰尘等挥发物被较大范围的吹起，灰尘顺着气流的方向从流速大的地方被吹到炉室中部，并通过吸尘罩表面的炉室抽气管道导入管路沉积仓，通过管路沉积仓对空气中的挥发物以及灰尘进行过滤，达到除尘的目的，然后经过过滤的气体会通过总抽气管导出，管路沉积仓内灰尘沉积较多时，此时可以将管路沉积仓内打开，并进行内部清理，
通过上下吹中间吸方式有利于挥发物的快速除去通过本发明有效的实现了对合成炉的炉内挥发物以及粉尘等物质的清理，通过上下对流的加压气流，大幅提高了对挥发物以及粉尘清理效果，提高对炉内清理效率，并且清理后的气体会通过负压抽吸的方式快速导出，在合成炉开炉前，保证了对其内部的快速充分净化。
8.优选的，所述总抽气管的进气口连有地面吸尘管道；所述总抽气管的进气口连有平台吸尘管道；所述地面吸尘管道和平台吸尘管道的端面均固连有平台吸尘控制阀门接口；工作时，由于合成炉长时间运行后，平台架的底层架和顶层架灰尘较多，通过设置地面吸尘管道和平台吸尘管道，利用总抽气管内负压，使得地面吸尘管道和平台吸尘管道产生较大负压压力，需要使用时，通过平台吸尘控制阀门接口外接管路，实现对平台架的各部位表面的灰尘进行吸附。
9.优选的，所述第一充气管、第二充气管、炉室抽气管道的数量均为三，且均沿着炉体的外圈均匀分布；所述第一充气管和第二充气管的表面靠近炉体位置均固连有真空电磁阀；工作时，碳化硅合成炉在长晶期间，充气系统处于常闭的状态，考虑到炉子运行期间，连接压缩空气的第一充气管和第二充气管影响整机的性能，压缩空气用的第一充气管和第二充气管行程太长，对真空度和密封性能有影响，所以第一充气管和第二充气管的连接管口位置用硬管连接真空电磁阀，真空电磁阀只在开炉前打开，使得压缩空气充充入炉内，其他时间均为常闭状态。
10.优选的，所述炉室抽气管道均为“l”形结构设计；所述炉室抽气管道的拐角位置开设有清理孔；所述炉室抽气管拐角的清理孔位置设有法兰盲板；工作时，通过设置法兰盲板，法兰盲板便于拆卸，便于对三个炉室抽气管道的内部进行清理，使得炉室抽气管道内部长期沉积的挥发物以及灰尘得到有效清除，保证炉室抽气管道畅通，避免炉室抽气管道严重变窄甚至完全堵塞问题。
11.优选的，所述炉室抽气管道的表面开设有螺纹；所述炉室抽气管道的表面螺纹连接有封塞；所述炉室抽气管道远离封塞的一端位置设有卷盘；所述卷盘的内部设有弹片；所述卷盘的内部转动连接有转柱；所述转柱的表面卷绕有连绳；所述炉室抽气管道的内部滑动连接有清理盘，连绳穿过清理盘并与封塞相连，且连绳与清理盘之间固定连接；工作时，通过设置卷盘，通过卷盘内部的弹片作用，使得连绳始终趋向于收卷到转柱的表面，通过将法兰盲板替换为封塞，封塞可以被拧开，进而清理维护人员会拉扯连绳，连绳会带动清理盘运动，并且连绳会从卷盘的内部放卷出来，清理盘运动可以对炉室抽气管道内表面粘附的挥发物和灰尘等进行有效清理，使得这些物质被清理到靠近清理孔的口部位置，便于工作人员对灰尘等进行快速清理，极大了提高了清理效率，完成清理后，只需要放开拉绳，在卷盘内部的弹片作用下，连绳自动被收卷入卷盘的内部，同时清理盘自动复位，然后再把封塞拧紧即可。
12.优选的，所述清理孔的口部位置开设有导槽；所述封塞的表面转动连接有连块，且连块滑动连接于导槽的内部，连绳与连块之间固定连接；工作时，通过设置连块，且连块滑动连接于导槽的内部，当工作人员旋拧封塞时，连块不会随之转动，进而连块也不会带动连绳转动，避免了连绳严重扭曲问题。
13.优选的，所述炉室抽气管道的内部靠近卷盘位置开设有安装槽；所述安装槽的内部均固连有导环；所述导环的内部开设有环形槽；所述环形槽的内部固连有清理环，且连绳
穿过清理环的内部；工作时，通过设置导环，导环的内部设置清理环，当连绳收卷过程中，为了避免连绳的表面粘附挥发物或灰尘，进而这些物质随着连绳导入卷盘的内部，影响卷盘的正常工作，通过清理环可以对连绳的表面粘附物进行清理。
14.优选的，所述连绳为耐高温弹性材料设计；所述连绳的内部开设有进孔；所述连绳的内部于进孔的底部位置开设有出孔；工作时，通过在连绳的内部开设进孔和出孔，通过进孔导入液体，出孔导出液体，液体可以对连绳进行降温，避免炉内为充分降温的情况下，吸入到炉室抽气管道的气体温度较高，对连绳产生损坏。
15.优选的，所述清理盘的表面开设有环形清理槽；所述环形清理槽与进孔之间开设有均匀布置的第一连孔；所述环形清理槽与出孔之间开设有均匀布置的第二连孔；工作时，通过第一连孔和第二连孔，可以将进孔与环形清理槽连通，同时可以将出孔与环形清理槽连通，进孔内部的液体可以通过第一连孔导入环形清理槽，清理盘移动的过程中，可以对炉室抽气管道的内表面进行清理，同时清理后的污水会通过第二连孔导入出孔，并通过出孔流出。
16.优选的，所述清理盘相对于炉室抽气管道的一侧侧面靠近环形清理槽位置固连有弹性垫；所述弹性垫相对于封塞的一侧侧面为光面结构设计；所述弹性垫相对于管路沉积仓的一侧侧面设有均匀布置的球珠；工作时，通过设置弹性垫，当清理盘移动时，弹性垫的光面会朝向炉室抽气管道的内表面，通过弹性垫的光面可以对炉室抽气管道的内表面进行清理，让清理盘反向移动时，弹性垫受到炉室抽气管道的内表面的作用，弹性垫带有球珠的一面朝向炉室抽气管道的内表面，通过球珠可以起到减少摩擦的作用，减少清理盘移动过程中的阻力，避免清理盘卡死在炉室抽气管道的中部位置。
17.本发明的有益效果如下：
18.1.本发明所述的炉室充气除尘系统，通过设置炉体、平台架和炉室抽气管道，通过在平台架上设置第一充气管、第二充气管和炉室抽气管道，有效的实现了对合成炉的炉内挥发物以及粉尘等物质的清理，通过上下对流的加压气流，大幅提高了对挥发物以及粉尘清理效果，提高对炉内清理效率，并且清理后的气体会通过负压抽吸的方式快速导出，在合成炉开炉前，保证了对其内部的快速充分净化。
19.2.本发明所述的炉室充气除尘系统，通过设置卷盘、连绳和清理盘，清理炉室抽气管道，工作人员会拉扯连绳，连绳会带动清理盘运动，并且连绳会从卷盘的内部放卷出来，清理盘运动可以对炉室抽气管道内表面粘附的挥发物和灰尘等进行有效清理，使得这些物质被清理到靠近清理孔的口部位置，便于工作人员对灰尘等进行快速清理，极大了提高了清理效率，完成清理后，只需要放开拉绳，在卷盘内部的弹片作用下，连绳自动被收卷入卷盘的内部，同时清理盘自动复位，然后再把封塞拧紧即可。
附图说明
20.下面结合附图对本发明作进一步说明。
21.图1是本发明的炉体和平台架的立体图；
22.图2是本发明的立体图；
23.图3是本发明的炉室抽气管道和清理盘的剖视图；
24.图4是本发明的连绳和清理环的剖视图；
25.图5是本发明的清理盘的剖视图；
26.图6是图5中a处局部放大图；
27.图中：炉体1、平台架2、炉室抽气管道3、底层架4、顶层架5、第一充气管6、第二充气管7、总抽气管8、管路沉积仓9、气动蝶阀10、吸尘罩11、地面吸尘管道12、平台吸尘管道13、平台吸尘控制阀门接口14、真空电磁阀15、清理孔16、法兰盲板17、封塞18、卷盘19、弹片20、转柱21、连绳22、清理盘23、连块24、导环25、清理环26、进孔27、出孔28、环形清理槽29、第一连孔30、第二连孔31、弹性垫32、球珠33。
具体实施方式
28.为了使本发明实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本发明。
29.实施例一
30.如图1和图2所示，本发明实施例所述的炉室充气除尘系统，包括炉体1、平台架2和炉室抽气管道3；所述炉体1与平台架2之间固定连接；所述平台架2包括有底层架4和顶层架5；所述炉体1的炉顶盘的表面固连有第一充气管6；所述炉体1的炉底盘的表面固连有第二充气管7，且第一充气管6和第二充气管7均外接空气压缩机；所述平台架2的表面固连有总抽气管8，且总抽气管8外接负压源；所述总抽气管8固连有管路沉积仓9；所述管路沉积仓9与总抽气管8之间连有气动蝶阀10；所述炉体1的中部位置固连有吸尘罩11；所述吸尘罩11的排气口固连有炉室抽气管道3，且炉室抽气管道3的一端与炉体1的炉内连通，另一端与管路沉积仓9之间相互连通；工作时，通过在炉顶盘和炉底盘的表面分别设置第一充气管6和第二充气管7，通过用大压力、大流量的压缩空气，加大气体流速带走挥发物、粉尘等，并且充气过程中，要求停炉、待炉子冷却后，以及在开炉前上下快速对吹，避免炉子未冷却条件下，吹进压缩空气，空气与炉内介质发生化学反应影响晶体质量，携带挥发物和粉尘的气体会被吸入吸尘罩11，大流速吹气，炉内的灰尘等挥发物被较大范围的吹起，灰尘顺着气流的方向从流速大的地方被吹到炉室中部，并通过吸尘罩11表面的炉室抽气管道3导入管路沉积仓9，通过管路沉积仓9对空气中的挥发物以及灰尘进行过滤，达到除尘的目的，然后经过过滤的气体会通过总抽气管8导出，管路沉积仓9内灰尘沉积较多时，此时可以将管路沉积仓9内打开，并进行内部清理，通过上下吹中间吸方式有利于挥发物的快速除去通过本发明有效的实现了对合成炉的炉内挥发物以及粉尘等物质的清理，通过上下对流的加压气流，大幅提高了对挥发物以及粉尘清理效果，提高对炉内清理效率，并且清理后的气体会通过负压抽吸的方式快速导出，在合成炉开炉前，保证了对其内部的快速充分净化。
31.除尘系统的除尘所涉及的多相混合物称为气相悬浮系或气溶胶，分散于其中的细小颗粒为尘粒，尘粒的堆积状态叫粉体，根据此设备粉体的物理化学性质来正确设计、选择除尘机组。
32.通过风机或者气泵使管道内的空气被抽出，这样机组内外部产生压力差，即负压，负压越高吸力越强，这样气体混合物很容易被吸出，为了吸出的气体混合不要直接进入风机或者泵内损坏电机，在粉体进入机组时先在管路沉积仓9增加两道过滤系统即初次过滤和二次过滤，初次过滤一般过滤大颗粒的粉体及碳、硅混合物，二次过滤一些小颗粒的尘粒及碳、硅混合物，两次过滤后固体留在过滤器内，气体经风机排风口排出，其过滤效率达到
98％以上。
33.所述总抽气管8的进气口连有地面吸尘管道12；所述总抽气管8的进气口连有平台吸尘管道13；所述地面吸尘管道12和平台吸尘管道13的端面均固连有平台吸尘控制阀门接口14；工作时，由于合成炉长时间运行后，平台架2的底层架4和顶层架5灰尘较多，通过设置地面吸尘管道12和平台吸尘管道13，利用总抽气管8内负压，使得地面吸尘管道12和平台吸尘管道13产生较大负压压力，需要使用时，通过平台吸尘控制阀门接口14外接管路，实现对平台架2的各部位表面的灰尘进行吸附。
34.所述第一充气管6、第二充气管7、炉室抽气管道3的数量均为三，且均沿着炉体1的外圈均匀分布；所述第一充气管6和第二充气管7的表面靠近炉体1位置均固连有真空电磁阀15；工作时，碳化硅合成炉在长晶期间，充气系统处于常闭的状态，考虑到炉子运行期间，连接压缩空气的第一充气管6和第二充气管7影响整机的性能，压缩空气用的第一充气管6和第二充气管7行程太长，对真空度和密封性能有影响，所以第一充气管6和第二充气管7的连接管口位置用硬管连接真空电磁阀15，真空电磁阀15只在开炉前打开，使得压缩空气充充入炉内，其他时间均为常闭状态。
35.所述炉室抽气管道3均为“l”形结构设计；所述炉室抽气管道3的拐角位置开设有清理孔16；所述炉室抽气管拐角的清理孔16位置设有法兰盲板17；工作时，通过设置法兰盲板17，法兰盲板17便于拆卸，便于对三个炉室抽气管道3的内部进行清理，使得炉室抽气管道3内部长期沉积的挥发物以及灰尘得到有效清除，保证炉室抽气管道3畅通，避免炉室抽气管道3严重变窄甚至完全堵塞问题。
36.为了提高吸尘效率，充气时进气口的大小、位置、进气量与吸尘时的抽速、管道的外径、厚度、管线排布都是完全匹配炉室及所需的工况反复计算，验证设计得出的，其最小弯曲半径取决于材料特性、弯曲角度、弯曲后的管壁外侧的变薄允许量和内侧起皱的大小、以及弯曲处的椭圆度的大小，一般最小弯曲半径大于等于管子外径的2-2.5倍，最短直线段大于等于管子外径的1.5-2倍，而地面吸尘管道12和平台吸尘管道13所在的装配界面空间狭小，管路走向布局有限，一次弯曲满足不了需求，要实现图纸所需要进行一管多弯，实现多次弯曲，考虑到弯曲此管需要重新做模具，在经济方面等综合考虑用直管焊接弯头的形式代替一管多弯。
37.吸尘罩11表面开口形状为喇叭形设计，喇叭口沿着流体的方向逐渐变窄，接触面积缩小，增大流速，提高抽气的顺畅性和出风效率，使得更好更充分的抽气。
38.吸尘罩11表面的喇叭形开口与炉室抽气管道3采用软连接的方式，保证相接处完全重合，不漏气，方便对中连接，容易装配。
39.法兰盲板17的设计，是由于抽速太低或者流速太慢都会导致管道灰尘沉积在管壁内侧，长时间不清理，堆积的灰尘越来越多严重时会形成堵塞，此时打开法兰盲板17即可进行清理，这样相比于整个管路清理方便维修，节省人工、成本。
40.实施例二
41.如图3-图6所示，对比实施例一，其中本发明的另一种实施方式为：所述炉室抽气管道3的表面开设有螺纹；所述炉室抽气管道3的表面螺纹连接有封塞18；所述炉室抽气管道3远离封塞18的一端位置设有卷盘19；所述卷盘19的内部设有弹片20；所述卷盘19的内部转动连接有转柱21；所述转柱21的表面卷绕有连绳22；所述炉室抽气管道3的内部滑动连接
有清理盘23，连绳22穿过清理盘23并与封塞18相连，且连绳22与清理盘23之间固定连接；工作时，通过设置卷盘19，通过卷盘19内部的弹片20作用，使得连绳22始终趋向于收卷到转柱21的表面，通过将法兰盲板17替换为封塞18，封塞18可以被拧开，进而清理维护人员会拉扯连绳22，连绳22会带动清理盘23运动，并且连绳22会从卷盘19的内部放卷出来，清理盘23运动可以对炉室抽气管道3内表面粘附的挥发物和灰尘等进行有效清理，使得这些物质被清理到靠近清理孔16的口部位置，便于工作人员对灰尘等进行快速清理，极大了提高了清理效率，完成清理后，只需要放开拉绳，在卷盘19内部的弹片20作用下，连绳22自动被收卷入卷盘19的内部，同时清理盘23自动复位，然后再把封塞18拧紧即可。
42.所述清理孔16的口部位置开设有导槽；所述封塞18的表面转动连接有连块24，且连块24滑动连接于导槽的内部，连绳22与连块24之间固定连接；工作时，通过设置连块24，且连块24滑动连接于导槽的内部，当工作人员旋拧封塞18时，连块24不会随之转动，进而连块24也不会带动连绳22转动，避免了连绳22严重扭曲问题。
43.所述炉室抽气管道3的内部靠近卷盘19位置开设有安装槽；所述安装槽的内部均固连有导环25；所述导环25的内部开设有环形槽；所述环形槽的内部固连有清理环26，且连绳22穿过清理环26的内部；工作时，通过设置导环25，导环25的内部设置清理环26，当连绳22收卷过程中，为了避免连绳22的表面粘附挥发物或灰尘，进而这些物质随着连绳22导入卷盘19的内部，影响卷盘19的正常工作，通过清理环26可以对连绳22的表面粘附物进行清理。
44.所述连绳22为耐高温弹性材料设计；所述连绳22的内部开设有进孔27；所述连绳22的内部于进孔27的底部位置开设有出孔28；工作时，通过在连绳22的内部开设进孔27和出孔28，通过进孔27导入液体，出孔28导出液体，液体可以对连绳22进行降温，避免炉内为充分降温的情况下，吸入到炉室抽气管道3的气体温度较高，对连绳22产生损坏。
45.所述清理盘23的表面开设有环形清理槽29；所述环形清理槽29与进孔27之间开设有均匀布置的第一连孔30；所述环形清理槽29与出孔28之间开设有均匀布置的第二连孔31；工作时，通过第一连孔30和第二连孔31，可以将进孔27与环形清理槽29连通，同时可以将出孔28与环形清理槽29连通，进孔27内部的液体可以通过第一连孔30导入环形清理槽29，清理盘23移动的过程中，可以对炉室抽气管道3的内表面进行清理，同时清理后的污水会通过第二连孔31导入出孔28，并通过出孔28流出。
46.所述清理盘23相对于炉室抽气管道3的一侧侧面靠近环形清理槽29位置固连有弹性垫32；所述弹性垫32相对于封塞18的一侧侧面为光面结构设计；所述弹性垫32相对于管路沉积仓9的一侧侧面设有均匀布置的球珠33；工作时，通过设置弹性垫32，当清理盘23移动时，弹性垫32的光面会朝向炉室抽气管道3的内表面，通过弹性垫32的光面可以对炉室抽气管道3的内表面进行清理，让清理盘23反向移动时，弹性垫32受到炉室抽气管道3的内表面的作用，弹性垫32带有球珠33的一面朝向炉室抽气管道3的内表面，通过球珠33可以起到减少摩擦的作用，减少清理盘23移动过程中的阻力，避免清理盘23卡死在炉室抽气管道3的中部位置。
47.工作时，通过在炉顶盘和炉底盘的表面分别设置第一充气管6和第二充气管7，通过用大压力、大流量的压缩空气，加大气体流速带走挥发物、粉尘等，并且充气过程中，要求停炉、待炉子冷却后，以及在开炉前上下快速对吹，避免炉子未冷却条件下，吹进压缩空气，
空气与炉内介质发生化学反应影响晶体质量，携带挥发物和粉尘的气体会被吸入吸尘罩11，大流速吹气，炉内的灰尘等挥发物被较大范围的吹起，灰尘顺着气流的方向从流速大的地方被吹到炉室中部，并通过吸尘罩11表面的炉室抽气管道3导入管路沉积仓9，通过管路沉积仓9对空气中的挥发物以及灰尘进行过滤，达到除尘的目的，然后经过过滤的气体会通过总抽气管8导出，管路沉积仓9内灰尘沉积较多时，此时可以将管路沉积仓9内打开，并进行内部清理，通过上下吹中间吸方式有利于挥发物的快速除去；由于合成炉长时间运行后，平台架2的底层架4和顶层架5灰尘较多，通过设置地面吸尘管道12和平台吸尘管道13，利用总抽气管8内负压，使得地面吸尘管道12和平台吸尘管道13产生较大负压压力，需要使用时，通过平台吸尘控制阀门接口14外接管路，实现对平台架2的各部位表面的灰尘进行吸附；碳化硅合成炉在长晶期间，充气系统处于常闭的状态，考虑到炉子运行期间，连接压缩空气的第一充气管6和第二充气管7影响整机的性能，压缩空气用的第一充气管6和第二充气管7行程太长，对真空度和密封性能有影响，所以第一充气管6和第二充气管7的连接管口位置用硬管连接真空电磁阀15，真空电磁阀15只在开炉前打开，使得压缩空气充充入炉内，其他时间均为常闭状态；通过设置法兰盲板17，法兰盲板17便于拆卸，便于对三个炉室抽气管道3的内部进行清理，使得炉室抽气管道3内部长期沉积的挥发物以及灰尘得到有效清除，保证炉室抽气管道3畅通，避免炉室抽气管道3严重变窄甚至完全堵塞问题；通过设置卷盘19，通过卷盘19内部的弹片20作用，使得连绳22始终趋向于收卷到转柱21的表面，通过将法兰盲板17替换为封塞18，封塞18可以被拧开，进而清理维护人员会拉扯连绳22，连绳22会带动清理盘23运动，并且连绳22会从卷盘19的内部放卷出来，清理盘23运动可以对炉室抽气管道3内表面粘附的挥发物和灰尘等进行有效清理，使得这些物质被清理到靠近清理孔16的口部位置，便于工作人员对灰尘等进行快速清理，极大了提高了清理效率，完成清理后，只需要放开拉绳，在卷盘19内部的弹片20作用下，连绳22自动被收卷入卷盘19的内部，同时清理盘23自动复位，然后再把封塞18拧紧即可；通过设置连块24，且连块24滑动连接于导槽的内部，当工作人员旋拧封塞18时，连块24不会随之转动，进而连块24也不会带动连绳22转动，避免了连绳22严重扭曲问题；通过设置导环25，导环25的内部设置清理环26，当连绳22收卷过程中，为了避免连绳22的表面粘附挥发物或灰尘，进而这些物质随着连绳22导入卷盘19的内部，影响卷盘19的正常工作，通过清理环26可以对连绳22的表面粘附物进行清理；通过在连绳22的内部开设进孔27和出孔28，通过进孔27导入液体，出孔28导出液体，液体可以对连绳22进行降温，避免炉内为充分降温的情况下，吸入到炉室抽气管道3的气体温度较高，对连绳22产生损坏；通过第一连孔30和第二连孔31，可以将进孔27与环形清理槽29连通，同时可以将出孔28与环形清理槽29连通，进孔27内部的液体可以通过第一连孔30导入环形清理槽29，清理盘23移动的过程中，可以对炉室抽气管道3的内表面进行清理，同时清理后的污水会通过第二连孔31导入出孔28，并通过出孔28流出；通过设置弹性垫32，当清理盘23移动时，弹性垫32的光面会朝向炉室抽气管道3的内表面，通过弹性垫32的光面可以对炉室抽气管道3的内表面进行清理，让清理盘23反向移动时，弹性垫32受到炉室抽气管道3的内表面的作用，弹性垫32带有球珠33的一面朝向炉室抽气管道3的内表面，通过球珠33可以起到减少摩擦的作用，减少清理盘23移动过程中的阻力，避免清理盘23卡死在炉室抽气管道3的中部位置。
48.上述前、后、左、右、上、下均以说明书附图中的图1为基准，按照人物观察视角为标
准，装置面对观察者的一面定义为前，观察者左侧定义为左，依次类推。
49.在本发明的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明保护范围的限制。
50.以上显示和描述了本发明的基本原理、主要特征和优点。本行业的技术人员应该了解，本发明不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本发明的原理，在不脱离本发明精神和范围的前提下，本发明还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本发明范围内。本发明要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。