一种新风机组的冷却水热回收系统的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及半导体设备领域，特别是涉及一种新风机组的冷却水热回收系统。
【背景技术】
[0002]微电子芯片产品的高质量、高精度以及高成品率使得其需要具有高洁净度的生产环境。芯片的制造工艺要求在恒温恒湿洁净的环境中进行。这种恒温恒湿且有高洁净度的环境为洁净室或洁净厂房。所谓恒温恒湿是指温度和相对湿度在一个很小范围内变化。而洁净室提供这种恒温恒湿的条件是由洁净室内所配置的空调系统来完成的，即洁净室用新风机组(Make up air unit，MUA)系统。
[0003]传统的洁净室新风机组(MAU)系统机箱中的设计如图1所示，系统中从进风端口至出风端口依次设置有:进风风阀、过滤器(初效过滤器和中效过滤器)、预热盘管、预冷盘管、加湿器、再冷盘管106、再热盘管107、送风动力设备、化学过滤器、高效过滤器以及出风风阀。
[0004]由于夏季包含过渡季节(七、八、九月)，过渡季节时期新风经过再冷盘管106后温度是9.5°C，为满足洁净室的制程要求，需要再经过再热盘管107加热至16°C。现有技术中，利用中央热水系统20为再热盘管107加热，需要消耗大量的市政蒸汽，中央热水系统20的内部结构如图2所示。另外，现有技术中，再冷盘管106通过如图3所示的冷却水系统进行降温。对于现有的中央热水系统20，存在如下问题:由于热水侧的阀门不能关紧，因此在非维修阶段不能更换及维修有严重内漏的热交换器，这将对冬季的热水供应造成很大风险，甚至会影响正常的生产运营。而对于现有的冷却水系统30，其制冷机组所产生的热量是通过冷却回水送到冷却塔散发在大气中，散热需要消耗冷却塔风机大量的电能。夏季冷却回水平均温度为36°C，散热后水温可降到28.5°C，这部分热量是属于废热，没有被充分利用而直接排放到大气中。
【实用新型内容】
[0005]鉴于以上所述现有技术的缺点，本实用新型的目的在于提供一种新风机组的冷却水回收系统，用于解决现有技术中无法停止生产来对中央热水系统进行维修、以及加热新风机组需要消耗大量市政蒸汽等的问题。
[0006]为实现上述目的及其他相关目的，本实用新型提供一种新风机组的冷却水热回收系统，所述新风机组的冷却水热回收系统至少包括:热交换器、水泵以及变频器；
[0007]所述热交换器通过第一管道与新风机组中的制冷机组相连；所述热交换器还通过第二管道与所述新风机组中的制热机组相连，所述第二管道上设置有水泵，所述变频器连接于所述水泵，用于控制所述水泵的泵水频率。
[0008]作为新风机组的冷却水热回收系统的一种优化的结构，所述制冷机组为再冷盘管，所述制热机组为再热盘管。
[0009]作为新风机组的冷却水热回收系统的一种优化的结构，所述冷却水回收系统还包括膨胀水箱，所述膨胀水箱分别与所述第一管道和第二管道相连。
[0010]作为新风机组的冷却水热回收系统的一种优化的结构，所述热交换器还与冷却水系统相连，所述冷却水系统包括冷却塔。
[0011]作为新风机组的冷却水热回收系统的一种优化的结构，所述制热机组还通过第三管道与中央热水系统相连接，所述第三管道上设置有气动阀。
[0012]作为新风机组的冷却水热回收系统的一种优化的结构，所述第二管道上还设置有与所述水泵并联连接的备用水泵，所述备用水泵上连接有相应的备用变频器。
[0013]作为新风机组的冷却水热回收系统的一种优化的结构，所述第一管道和第二管道上均设置有阀门。
[0014]作为新风机组的冷却水热回收系统的一种优化的结构，所述热交换器为板式热交换器。
[0015]如上所述，本实用新型的新风机组的冷却水热回收系统，包括:热交换器、水泵以及变频器；所述热交换器通过第一管道与新风机组中的制冷机组相连；所述热交换器通过第二管道与所述新风机组中的制热机组相连，所述第二管道上设置有水泵，所述变频器连接于所述水泵，用于控制所述水泵的泵水频率。该热回收系统中，可以利用制冷机组的冷却回水的热量来加热新风机组中的制热机组，减少原来中央热水系统换热用的蒸汽耗量，节约能量，并且不停止生产就可以实现中央热水系统的检修。
【附图说明】
[0016]图1为现有技术中新风机组的结构示意图。
[0017]图2为现有技术中对新风机组进行加热的中央热水系统示意图。
[0018]图3为现有技术中用来冷却新风机组的冷却水系统。
[0019]图4为本实用新型新风机组的冷却水热回收系统的示意图。
[0020]图5为本实用新型新风机组的冷却水热回收系统的工作示意图。
[0021]元件标号说明
[0022]10冷却水热回收系统
[0023]101热交换器
[0024]102水泵
[0025]103变频器
[0026]104第一管道
[0027]105第二管道
[0028]106制冷机组
[0029]107制热机组
[0030]108膨胀水箱
[0031]109第三管道
[0032]110气动阀
[0033]111备用水泵
[0034]112备用变频器
[0035]113阀门
[0036]20中央热水系统
[0037]30冷却水系统
【具体实施方式】
[0038]以下由特定的具体实施例说明本实用新型的实施方式，熟悉此技术的人士可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本实用新型的其他优点及功效。
[0039]请参阅附图。须知，本说明书所附图式所绘示的结构、比例、大小等，均仅用以配合说明书所揭示的内容，以供熟悉此技术的人士了解与阅读，并非用以限定本实用新型可实施的限定条件，故不具技术上的实质意义，任何结构的修饰、比例关系的改变或大小的调整，在不影响本实用新型所能产生的功效及所能达成的目的下，均应仍落在本实用新型所揭示的技术内容得能涵盖的范围内。同时，本说明书中所引用的如“上”、“下”、“左”、“右”、“中间”及“一”等的用语，亦仅为便于叙述的明了，而非用以限定本实用新型可实施的范围，其相对关系的改变或调整，在无实质变更技术内容下，当亦视为本实用新型可实施的范畴。
[0040]本实用新型提供一种新风机组的冷却水热回收系统10，如图4所示，所述新风机组的冷却水热回收系