1.一种恒温液循环装置，其特征是，具有将被进行了温度调整的恒温液向负荷循环供给的恒温液回路；对上述恒温液的温度通过该恒温液与制冷剂的热交换进行调整的冷冻回路；和对装置整体进行控制的控制部，
上述恒温液回路具有收容上述恒温液的容器；将该容器内的恒温液向负荷供给的泵；和测定向负荷供给的恒温液的温度的温度传感器，
上述冷冻回路通过将压缩机、冷凝器、电子膨胀阀和蒸发器顺次串联且呈循环回路状地连接而构成，该压缩机将气体状制冷剂压缩成为高温高压的气体状制冷剂，该冷凝器将从该压缩机输送的高温高压的气体状制冷剂冷却成为高压的液状制冷剂；该电子膨胀阀使从该冷凝器输送的高压的液状制冷剂膨胀成为低温低压的液状制冷剂；该蒸发器使从该电子膨胀阀输送的低温低压的液状制冷剂通过与上述恒温液的热交换而蒸发成为低压的气体状制冷剂，并将此低压的气体状制冷剂向上述压缩机输送，
上述控制部以如下的方式构成，即，与由上述温度传感器测定的恒温液的温度相应地进行上述压缩机的打开和关闭控制和上述电子膨胀阀的开度控制，当上述恒温液的温度超过设定温度而达到了上限值时，打开上述压缩机，并且进行使上述电子膨胀阀的开度在比全开时小的限制开放状态下变化的控制，当上述恒温液的温度低于设定温度而达到了下限值时，关闭上述压缩机，并且使上述电子膨胀阀的开度成为比上述限制开放状态时的开度大的均压用开度，在将该均压用开度维持一定时间后，在上述恒温液的温度低于上限值且上述压缩机关闭的期间，进行使上述电子膨胀阀的开度恢复到上述限制开放状态时的开度的控制。
2.根据权利要求1所述的恒温液循环装置，其特征是，上述控制部当上述压缩机打开了时使上述电子膨胀阀的开度在上述限制开放状态下在恒定开度与比该恒定开度大的限制最大开度之间变化，当上述压缩机关闭了时，使上述电子膨胀阀的开度在维持在上述均压用开度一定时间后成为上述恒定开度，在上述压缩机关闭的期间中维持在此恒定开度。