废剥离液的处理方法与流程

文档序号:12449584阅读:1311来源:国知局
废剥离液的处理方法与流程

本发明涉及废液处理技术领域,特别是涉及一种废剥离液的处理方法。



背景技术:

目前,废剥离液产生于薄膜晶体管液晶显示器(TFT-LCD)的生产过程中,在玻璃基板表面有清洗、镀膜、光刻、刻蚀、剥离等工序。其中光刻工序利用曝光和显影在光刻胶层上刻画几何图形结构,然后通过刻蚀工艺将光掩模上的图形完整且精确地复制到玻璃基板上。光刻胶主要由对光与能量非常敏感的感光树脂和有机溶剂组成。感光树脂经光照后,在曝光区能很快地发生光固化反应,使得这种材料的物理性能,特别是溶解性、亲合性等发生明显变化,再经适当的溶剂处理,去除可溶性部分,从而可以得到所需图像。在剥离工序中,对已经蚀刻出所需图形的基板,利用剥离液溶剂将覆盖于图形上的光刻胶剥离去除以便进行后续工序,这个剥离过程产生的废液即为废剥离液。一般的,废剥离液通常需要采用精馏的方法进行回收。

然而,传统的处理方法依然存在最终排放物中COD含量较高的问题。



技术实现要素:

基于此,有必要提供一种最终排放物中COD含量较低的废剥离液的处理方法。

一种废剥离液的处理方法,包括如下步骤:

对所述水相混合物进行精馏操作,收集水相混合物;

对所述水相混合物进行蒸馏操作,收集馏出液;

向所述馏出液中加入氧化剂进行氧化操作,得到氧化混合物;

对所述氧化混合物进行抽滤操作,收集抽滤液;

采用活性炭对所述抽滤液进行吸附操作后,排放。

在其中一个实施例中,对所述水相混合物进行精馏操作后,还包括如下步骤:收集油相混合物。

在其中一个实施例中,所述氧化剂包括硫酸亚铁、双氧水和氢氧化钠。

上述废剥离液的处理方法通过步骤:对所述水相混合物进行精馏操作,收集水相混合物;对所述水相混合物进行蒸馏操作,收集馏出液;向所述馏出液中加入氧化剂进行氧化操作,得到氧化混合物;对所述氧化混合物进行抽滤操作,收集抽滤液;采用活性炭对所述抽滤液进行吸附操作,能够使最终排放物中COD含量较低,达到排放标准。

附图说明

图1为一实施方式的废切削液的处理方法的步骤流程图;

图2为一实施方式的废切削液的处理方法的步骤流程图;

图3为一实施方式的废剥离液的处理方法的步骤流程图;

图4为一实施方式的废剥离液的处理方法的步骤流程图。

具体实施方式

为使本发明的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂,下面结合附图对本发明的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本发明。但是本发明能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施,本领域技术人员可以在不违背本发明内涵的情况下做类似改进,因此本发明不受下面公开的具体实施的限制。

例如,一种废剥离液的处理方法,包括如下步骤:对所述水相混合物进行精馏操作,收集水相混合物;对所述水相混合物进行蒸馏操作,收集馏出液;向所述馏出液中加入氧化剂进行氧化操作,得到氧化混合物;对所述氧化混合物进行抽滤操作,收集抽滤液;采用活性炭对所述抽滤液进行吸附操作后,排放。又如,对所述水相混合物进行精馏操作后,还包括如下步骤:收集油相混合物。又如,所述氧化剂包括硫酸亚铁、双氧水和氢氧化钠。

例如,本发明还提供一实施方式的废切削液的处理方法,能够实现降低所述废切削液中COD的效果,例如,请参阅图1,一实施方式的废切削液的处理方法,包括如下步骤:

S110:向废切削液中加入破乳剂进行破乳操作,分层后,收集水相混合物。

由于所述废切削液的含水率在90%以上,通过向废切削液中加入破乳剂进行破乳操作,能够破坏所述废切削液自身稳定的乳化体系,使得水相和油相分层,水相混合物位于下层,油相混合物位于上层,其中,油相混合物为纯度相对较高的切削液,可以回收利用,但是,所述水相混合物由于含量大,且COD较高,直接排放会污染环境,对生态环境造成极大地破坏,因此,有必要在对所述水相混合物排放前,使所述水相混合物的COD达标,用于更好地保护环境。其中,COD(Chemical Oxygen Demand),为化学需氧量,是指以化学方法测量水样中需要被氧化的还原性物质的量。

可以理解,由于所述废切削液含有少量的铁屑,因此,在对所述废切削液进行破乳操作之前,要除去铁屑,便于后续的工艺进行,例如,对所述废切削液进行破乳操作之前,还包括如下步骤:对所述废切削液进行压滤操作,如此,通过压滤操作,能够分离出所述废切削液含有的铁屑,便于后续的工艺进行。

为了更好地节约资源,例如,对所述废切削液进行破乳操作,并分层后,还包括如下步骤:收集油相混合物,如,收集得到的所述油相混合物,可以回收使用,如,能够更好地节约资源。

S120:向所述水相混合物中加入絮凝剂进行絮凝操作。

通过向所述水相混合物中加入絮凝剂用于进行絮凝操作,能够初步絮凝所述水相混合物中的大分子有机物,利于后续的抽滤操作,用于除去这些大分子有机物,以降低所述废切削液中的COD。

为了更好地起到絮凝效果,例如,所述絮凝剂包括所述絮凝剂包括PAC(聚合氯化铝)和PAM(聚丙烯酰胺);又如,PAC与PAM的质量比为1:(0.5~1.5),如此,能够更好地起到絮凝效果。

S130:将所述水相混合物进行抽滤操作,收集第一抽滤液。

通过将所述水相混合物进行抽滤操作,能够除去经过所述絮凝操作后析出的大分子有机物,降低了所述水相混合物中的COD,收集的所述第一抽滤液进行后续的的处理,以进一步减少所述水相混合物中的CDO。

S140:向所述第一抽滤液中加入混凝剂进行混凝操作。

通过向所述第一抽滤液中加入混凝剂进行混凝操作,能够使所述第一抽滤液中生成大量的不溶物,可以絮凝大部分的有机物,经过所述步骤S140后,能够使得所述第一抽滤液内的COD为三万左右。

为了进一步降低所述第一抽滤液中的COD,例如,所述混凝剂包括硫酸、PAC和PAM,如此,能够进一步降低所述第一抽滤液中的COD。

为了更好地起到混凝效果,例如,所述步骤S140具体包括如下步骤:

S141:向所述第一抽滤液中加入硫酸,使所述第一抽滤液的pH调节至酸性;这样,所述第一抽滤液在酸性条件下会有大量不溶物产生。

S142:向所述第一抽滤液加入PAC和PAM,这样,能够使酸性条件下的所述第一抽滤液絮凝出大部分的有机物。

S150:将所述第一抽滤液进行抽滤操作,收集第二抽滤液。

通过将所述第一抽滤液进行抽滤操作,能够除去经过所述混凝操作后析出的大部分有机物,降低了所述第一抽滤液中的COD,收集的所述第二抽滤液进行后续的的处理,以进一步减少所述第一抽滤液中的CDO。

S160:向所述第二抽滤液中进入氧化剂进行氧化操作,得到氧化混合物。

通过向所述第二抽滤液中进入氧化剂进行氧化操作,能够使所述第二抽滤液中剩余的有机物,如,羧酸、醇和/或酯类等被氧化成无机态的物质,进一步降低了所述第二抽滤液中的COD。

为了更好地起到降低所述第二抽滤液中的COD,例如,所述氧化剂包括硫酸亚铁、双氧水和氢氧化钠,其中,所述氢氧化钠能够用于中和所述步骤S140中加入的硫酸。氢氧化钠、硫酸亚铁和双氧水能够进一步氧化所述第二抽滤液中的有机物,降低所述第二抽滤液中的COD。

S170:将所述氧化混合物进行抽滤操作,收集第三抽滤液。

通过将所述氧化混合物进行抽滤操作,能够除去所述步骤S160中产生的析出物质,收集得到COD含量较低的所述第三抽滤液。

S180:采用活性炭对所述第三抽滤液进行吸附操作后,排放。

采用活性炭对所述第三抽滤液进行吸附操作后,利用所述活性炭的吸附作用,能够除去所述第三抽滤液中剩余的有机物,COD去除效果较好。

需要说明的是,经过所述步骤S180后的所述第三抽滤液中的COD仅仅为36.5ppm左右,能够达到排放标准。

上述废切削液的处理方法通过步骤:向废切削液中加入破乳剂进行破乳操作,分层后,收集水相混合物;向所述水相混合物中加入絮凝剂进行絮凝操作;将所述水相混合物进行抽滤操作,收集第一抽滤液;向所述第一抽滤液中加入混凝剂进行混凝操作;将所述第一抽滤液进行抽滤操作,收集第二抽滤液;向所述第二抽滤液中进入氧化剂进行氧化操作,得到氧化混合物;将所述氧化混合物进行抽滤操作,收集第三抽滤液;采用活性炭对所述第三抽滤液进行吸附操作,能够使最终排放物中COD含量较低,达到排放标准。

为了进一步降低所述废切削液中的COD,例如,在所述步骤S180中,所述活性炭为生物载体活性炭,所述生物载体活性炭能够对所述第三抽滤液剩余的COD进行进一步的吸收和降解效果,即利用所述生物载体活性炭的物理吸收性和所述生物载体活性炭内含有的微生物协同作用,用于降低所述第三抽滤液,即最终排放物的COD,因此,所述生物载体活性炭内的复合活性菌类与所述活性炭对于COD的处理尤为重要。

为了进一步降低所述废切削液中的COD,在所述步骤S180中,所述活性炭为生物载体活性炭;又如,在所述步骤S180中采用生物载体活性炭对所述第三抽滤液进行吸附操作后,排放;例如,一实施方式的所述生物载体活性炭的制备方法,包括如下步骤:

S181:选取复合活性菌类。

复合活性菌类的选取对于降低COD的处理效率尤为重要,在降低COD处理中,选出适合配比的复合活性菌类组分,对于提高降低COD的处理效果非常重要。

为了提高对COD的降解效果,例如,所述复合菌类包括如下菌种:亚硝酸菌、硝酸菌、反硝化杆菌、斯氏杆菌和萤气极毛杆菌。

S182:对所述复合菌类进行驯化操作,得到复合菌类培养液。

所述驯化操作能够将所述复合菌类调整为能够较好地降解COD的目标微生物菌群,通过较好地驯化所述复合菌类,能够提高COD的降解效率。

S183:对所述复合菌类培养液进行离心重悬操作,用于提高所述复合菌类培养液中微生物的浓度。

通过对所述复合菌类培养液进行离心重悬操作,能够用于提高所述复合菌类培养液中微生物的浓度,当后续将活性炭颗粒浸泡于所述复合菌类培养液内时候,利于所述复合菌类培养液内的复合菌类在所述活性炭颗粒上产生富集效果,更有利于提高对COD的降解效果。

为了进一步提高对COD的降解效果,例如,所述离心重悬操作具体包括如下步骤:对所述复合菌类培养液进行离心操作,收集离心沉淀物,对所述离心沉淀物进行重悬操作,用于提高所述复合菌类培养液中微生物的浓度。例如,所述重悬操作即为重新悬浮操作。

S184:将活性炭颗粒浸泡于所述复合菌类培养液内,得到生物载体活性炭粗产品。

通过将活性炭颗粒浸泡于所述复合菌类培养液内,能够得到生物载体活性炭粗产品,如此,所述生物载体活性炭粗产品内能够实现所述复合菌类的富集,能够进步降低所述第三抽滤液中的COD含量。

为了进一步提高对COD的降解效果,例如,所述复合菌类培养液与所述活性炭颗粒的质量比为1:(0.3~0.5);又如,所述活性炭颗粒的粒径5~8mm,比表面积1.1*105m2.g,孔隙率为37%,这样,能够更好地使所述复合菌类培养液中所述复合菌类富集于活性炭颗粒中,即采用上述参数的所述活性炭颗粒,其对所述复合菌类培养液中所述复合菌类的吸收效果较好。

通过将所述复合菌类培养液的所述复合菌类吸附至活性炭上,得到生物载体活性炭粗产品,使得所述复合菌类铺满所述活性炭颗粒,能够更好地降低所述第三抽滤液中的COD含量。

S185:选取结构增强颗粒,将所述结构增强颗粒与所述活性炭粗产品混合,得到生物载体活性炭。

可以理解,基于所述生物载体活性炭对于COD有较好降解和吸收效果的前提下,通过引入所述结构增强颗粒,并制备得到所述生物载体活性炭,能够提高所述生物载体活性炭对所述第三抽滤液的透过性,能够进一步提高处理速率,且对COD的吸收率较高,即所述生物载体活性炭能够使单位时间内的第三抽滤液的通入量提高,进而提高了对COD的降解效果。

此外,由于所述生物载体活性炭含有结构增强颗粒,能够提高所述生物载体活性炭的结构稳定性,延长了所述生物载体活性炭的使用寿命。

为了进一步提高所述生物载体活性炭对第三抽滤液的处理速率和处理效果,以及提高所述生物载体活性炭的结构稳定性和使用寿命,例如,所述结构增强颗粒包括陶瓷球和蛭石;又如,所述陶瓷球的粒径为6~8mm,比表面积为550m2.g,孔隙率为54%;又如,所述蛭石为粒径4~5mm,比表面积19720m2.g,孔隙率为31%,如此,能够进一步提高所述生物载体活性炭对第三抽滤液的处理速率和处理效果,以及提高所述生物载体活性炭的结构稳定性和使用寿命。

为了进一步提高所述生物载体活性炭对第三抽滤液的处理速率和处理效果,以及提高所述生物载体活性炭的结构稳定性和使用寿命,例如,在所述生物载体活性炭中,所述所述生物载体活性炭与所述结构增强颗粒的质量比为1:(2.5~3.7);又如,所述所述生物载体活性炭与所述结构增强颗粒的质量比为1:(2.8~3.5);又如,所述所述生物载体活性炭与所述结构增强颗粒的质量比为1:3.2;又如,所述生物载体活性炭、所述陶瓷球与所述蛭石的质量比为1:1.2:2,如此,能够进一步提高所述生物载体活性炭对第三抽滤液的处理速率和处理效果,以及提高所述生物载体活性炭的结构稳定性和使用寿命。

通过所述步骤S181~S185,能够使所述第三抽滤液中的COD达到31ppm以下,能够达到排放标准

例如,本发明还提供一实施方式的废切削液的处理方法,能够实现降低所述废切削液中COD的效果,例如,请参阅图2,一实施方式的废切削液的处理方法,包括如下步骤:废切削液含水率在90%以上,为水系切削液,含有少量铁屑,通过压滤可以分离出铁屑。水相中加入PAC和PAM的作用是初步絮凝水中的大分子有机物。加入稀硫酸的作用为,切削液水相在酸性条件下会有大量不溶物生成,此步骤再次加入PAC和PAM可以絮凝大部分的有机物,经过此步骤的处理后,水相COD为三万左右。加入硫酸亚铁、双氧水和氢氧化钠的作用为利用Fenton反应降COD,经过此步骤处理后,水相中的有机物基本除去。最后再利用活性炭的吸附作用除去剩余的有机物。最终出水的COD为36.5ppm,可以达标排放。

例如,本发明还提供一实施方式的废剥离液的处理方法,能够实现降低所述废剥离液中COD的效果,例如,请参阅图3,一实施方式的废剥离液的处理方法,包括如下步骤:

S210:对所述水相混合物进行精馏操作,收集水相混合物。

通过对所述水相混合物进行精馏操作,能够分离出纯度较高的水相混合物和油相混合物,其中,所述精馏操作采用精馏塔进行,所述精馏塔的顶部馏出产物为高纯度易挥发的油相混合物,可以直接;所述精馏塔的底部产物为高纯度的难挥发的水相混合物。

为了更好地节约资源,例如,对所述水相混合物进行精馏操作后,还包括如下步骤:收集油相混合物,如,收集得到的所述邮箱混合物,可以直接回收使用或进行销售。

S220:对所述水相混合物进行蒸馏操作,收集馏出液。

通过将经过所述精馏操作后的所述水相混合物,能够收集得到馏出液,用于进一步除去所述水相混合物中油相物质,起到进一步降低所述水相混合物的COD的作用。

S240:向所述馏出液中加入氧化剂进行氧化操作,得到氧化混合物。

通过向所述馏出液中进入氧化剂进行氧化操作,能够使所述馏出液中的有机物,如,羧酸、醇和/或酯类等被氧化成无机态的物质,能够降低所述馏出液中的COD。

为了更好地起到降低所述馏出液中的COD,例如,所述氧化剂包括硫酸亚铁、双氧水和氢氧化钠,氢氧化钠、硫酸亚铁和双氧水能够进一步氧化所述馏出液中的有机物,降低所述馏出液中的COD。

S250:对所述氧化混合物进行抽滤操作,收集抽滤液。

通过将所述氧化混合物进行抽滤操作,能够除去所述步骤S240中产生的析出物质,收集得到COD含量较低的所述第三抽滤液。

S260:采用活性炭对所述抽滤液进行吸附操作后,排放。

采用活性炭对所述抽滤液进行吸附操作后,利用所述活性炭的吸附作用,能够除去所述抽滤液中剩余的有机物,COD去除效果较好。

需要说明的是,经过所述步骤S260后的所述抽滤液中的COD仅仅为12ppm左右,能够达到排放标准。

上述废剥离液的处理方法通过步骤:对所述水相混合物进行精馏操作,收集水相混合物;对所述水相混合物进行蒸馏操作,收集馏出液;向所述馏出液中加入氧化剂进行氧化操作,得到氧化混合物;对所述氧化混合物进行抽滤操作,收集抽滤液;采用活性炭对所述抽滤液进行吸附操作,能够使最终排放物中COD含量较低,达到排放标准。

为了进一步降低所述废切削液中的COD,例如,在所述步骤S260中,所述活性炭为生物载体活性炭,所述生物载体活性炭能够对所述抽滤液剩余的COD进行进一步的吸收和降解效果,即利用所述生物载体活性炭的物理吸收性和所述生物载体活性炭内含有的微生物协同作用,用于降低所述抽滤液,即最终排放物的COD,因此,所述生物载体活性炭内的复合活性菌类与所述活性炭对于COD的处理尤为重要。

为了进一步降低所述废切削液中的COD,在所述步骤S260中,所述活性炭为生物载体活性炭;又如,在所述步骤S260中采用生物载体活性炭对所述抽滤液进行吸附操作后,排放;例如,一实施方式的所述生物载体活性炭的制备方法,包括如下步骤:

S261:选取复合活性菌类。

复合活性菌类的选取对于降低COD的处理效率尤为重要,在降低COD处理中,选出适合配比的复合活性菌类组分,对于提高降低COD的处理效果非常重要。

为了提高对COD的降解效果,例如,所述复合菌类包括如下菌种:亚硝酸菌、硝酸菌、反硝化杆菌、斯氏杆菌和萤气极毛杆菌。

S262:对所述复合菌类进行驯化操作,得到复合菌类培养液。

所述驯化操作能够将所述复合菌类调整为能够较好地降解COD的目标微生物菌群,通过较好地驯化所述复合菌类,能够提高COD的降解效率。

S183:对所述复合菌类培养液进行离心重悬操作,用于提高所述复合菌类培养液中微生物的浓度。

通过对所述复合菌类培养液进行离心重悬操作,能够用于提高所述复合菌类培养液中微生物的浓度,当后续将活性炭颗粒浸泡于所述复合菌类培养液内时候,利于所述复合菌类培养液内的复合菌类在所述活性炭颗粒上产生富集效果,更有利于提高对COD的降解效果。

为了进一步提高对COD的降解效果,例如,所述离心重悬操作具体包括如下步骤:对所述复合菌类培养液进行离心操作,收集离心沉淀物,对所述离心沉淀物进行重悬操作,用于提高所述复合菌类培养液中微生物的浓度。例如,所述重悬操作即为重新悬浮操作。

S264:将活性炭颗粒浸泡于所述复合菌类培养液内,得到生物载体活性炭粗产品。

通过将活性炭颗粒浸泡于所述复合菌类培养液内,能够得到生物载体活性炭粗产品,如此,所述生物载体活性炭粗产品内能够实现所述复合菌类的富集,能够进步降低所述抽滤液中的COD含量。

为了进一步提高对COD的降解效果,例如,所述复合菌类培养液与所述活性炭颗粒的质量比为1:(0.3~0.5);又如,所述活性炭颗粒的粒径5~8mm,比表面积1.1*105m2.g,孔隙率为37%,这样,能够更好地使所述复合菌类培养液中所述复合菌类富集于活性炭颗粒中,即采用上述参数的所述活性炭颗粒,其对所述复合菌类培养液中所述复合菌类的吸收效果较好。

通过将所述复合菌类培养液的所述复合菌类吸附至活性炭上,得到生物载体活性炭粗产品,使得所述复合菌类铺满所述活性炭颗粒,能够更好地降低所述抽滤液中的COD含量。

S265:选取结构增强颗粒,将所述结构增强颗粒与所述活性炭粗产品混合,得到生物载体活性炭。

可以理解,基于所述生物载体活性炭对于COD有较好降解和吸收效果的前提下,通过引入所述结构增强颗粒,并制备得到所述生物载体活性炭,能够提高所述生物载体活性炭对所述抽滤液的透过性,能够进一步提高处理速率,且对COD的吸收率较高,即所述生物载体活性炭能够使单位时间内的抽滤液的通入量提高,进而提高了对COD的降解效果。

此外,由于所述生物载体活性炭含有结构增强颗粒,能够提高所述生物载体活性炭的结构稳定性,延长了所述生物载体活性炭的使用寿命。

为了进一步提高所述生物载体活性炭对抽滤液的处理速率和处理效果,以及提高所述生物载体活性炭的结构稳定性和使用寿命,例如,所述结构增强颗粒包括陶瓷球和蛭石;又如,所述陶瓷球的粒径为6~8mm,比表面积为550m2.g,孔隙率为54%;又如,所述蛭石为粒径4~5mm,比表面积19720m2.g,孔隙率为31%,如此,能够进一步提高所述生物载体活性炭对抽滤液的处理速率和处理效果,以及提高所述生物载体活性炭的结构稳定性和使用寿命。

为了进一步提高所述生物载体活性炭对抽滤液的处理速率和处理效果,以及提高所述生物载体活性炭的结构稳定性和使用寿命,例如,在所述生物载体活性炭中,所述所述生物载体活性炭与所述结构增强颗粒的质量比为1:(2.5~3.7);又如,所述所述生物载体活性炭与所述结构增强颗粒的质量比为1:(2.8~3.5);又如,所述所述生物载体活性炭与所述结构增强颗粒的质量比为1:3.2;又如,所述生物载体活性炭、所述陶瓷球与所述蛭石的质量比为1:1.2:2,如此,能够进一步提高所述生物载体活性炭对抽滤液的处理速率和处理效果,以及提高所述生物载体活性炭的结构稳定性和使用寿命。

通过所述步骤S261~S265,能够使所述抽滤液中的COD达到8ppm以下,能够达到排放标准。

例如,本发明还提供一实施方式的废剥离液的处理方法,能够实现降低所述废剥离液中COD的效果,例如,请参阅图4,一实施方式的废剥离液的处理方法,包括如下步骤:废剥离液产生于液晶显示屏的生产过程中,该废液主要含有KOH和混合有机溶剂,含水率高达90%左右。先采用精馏使废剥离液的水相和油相分离,分离出的油相可以外售。水相加入硫酸亚铁、双氧水和氢氧化钠的作用为利用Fenton反应降COD,经过此步骤处理后,水相中的有机物基本除去。最后再利用活性炭的吸附作用除去剩余的有机物。最终出水的COD为12ppm,可以达标排放。

以上所述实施例仅表达了本发明的几种实施方式,其描述较为具体和详细,但并不能因此而理解为对本发明专利范围的限制。应当指出的是,对于本领域的普通技术人员来说,在不脱离本发明构思的前提下,还可以做出若干变形和改进,这些都属于本发明的保护范围。因此,本发明专利的保护范围应以所附权利要求为准。

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