技术总结
本发明公开了一种卧式石英舟清洗机及清洗方法，通过利用花篮承载石英舟，并在机械手带动下进行反复升降或/和水平运动，以搅动超纯水工艺槽、化学工艺槽内的清洗液体，使石英舟可得到有效的振动清洗，并可伴随溢流及鼓气清洗工艺，从而实现了对石英舟的自动、全面、稳定的清洗；同时，通过在超纯水工艺槽外围设置超纯水工艺外槽及在化学工艺槽外围设置化学工艺外槽，可利用管路系统对超纯水工艺槽、超纯水工艺外槽及化学工艺槽、化学工艺外槽内的废液进行分类排放及回收，从而减少了废液处理过程中的大量浪费，节省了回收成本。
技术研发人员：李广义;张豹;王锐廷
受保护的技术使用者：北京北方华创微电子装备有限公司
文档号码：201710111744
技术研发日：2017.02.28
技术公布日：2017.06.13