硅片清洗花篮的制作方法

本实用新型涉及硅片清洗领域，特别是涉及一种硅片清洗花篮。

背景技术：

当前行业内自动插片清洗一体机花篮均采用装载量为100片，如图1示意了一种传统的花篮，其中花篮的上端设有硅片插槽元件110，硅片插槽元件110元件的两端使用弹簧120顶紧。花篮纵向尺寸为540mm的情况下，硅片插槽元件110开设有100个插槽，可以插100片硅片。

由于插片清洗机的速度也在伯仲之间，为了满足客户的需求，每家所用工艺时间基本相同，但都由于受硬件影响没有太大的提升空间，要想在现有情况下提升产能，增大装载量势在必行，或者说是切片行业的发展趋势。

技术实现要素：

基于此，有必要针对花篮装片量提升困难的问题，提供一种硅片清洗花篮。

一种硅片清洗花篮，包括：

相对设置的两个侧壁；

第一支撑杆，位于所述两侧壁之间且与所述两侧壁连接；

第二支撑杆，位于所述两侧壁之间且与所述两侧壁连接，与所述第一支撑杆之间形成可放置硅片的空间；

第一硅片插槽件，可相对移动地安装在所述第一支撑杆上，设置有若干插槽，所述第一硅片插槽件的两端与侧壁之间分别设有弹性件，所述弹性件上开设有插槽，所述弹性件抵接所述第一硅片插槽件；

第二硅片插槽件，可相对移动地安装在所述第二支撑杆上，设置有若干插槽，所述第二硅片插槽件的两端与侧壁之间也分别设有弹性件，所述弹性件上开设有插槽，所述弹性件抵接所述第二硅片插槽件。

上述硅片清洗花篮，用来定位硅片插槽件的弹性件上也设置插槽，在花篮尺寸不变的情况下，增加了插槽的数量，从而能提升花篮的装片量又不增加设备的体积。

在其中一个实施例中，位于第一硅片插槽件与侧壁之间的弹性件套在第一硅片插槽件的端部。

在其中一个实施例中，位于第二硅片插槽件与侧壁之间的弹性件套在第二硅片插槽件的端部。

在其中一个实施例中，位于第一硅片插槽件与侧壁之间的弹性件的一端定位于侧壁，另一端抵接第一硅片插槽件。

在其中一个实施例中，位于第二硅片插槽件与侧壁之间的弹性件的一端定位于侧壁，另一端抵接第二硅片插槽件。

在其中一个实施例中，所述第一支撑杆上与所述两侧壁之间均为可拆卸式连接。

在其中一个实施例中，所述第一支撑杆的端部穿过所述侧壁并通过螺栓紧固。

在其中一个实施例中，所述第二支撑杆上与所述两侧壁之间均为可拆卸式连接。

在其中一个实施例中，所述第二支撑杆的端部穿过所述侧壁并通过螺栓紧固。

在其中一个实施例中，所述两侧壁的外端面之间的距离为540mm，所述第一硅片插槽件和所述第二硅片插槽件上均设置有100个插槽，每一个弹性件上设有2个插槽。

附图说明

图1示意了传统硅片清洗花篮的结构示意图；

图2为本申请一个实施例的硅片清洗花篮的结构示意图。

具体实施方式

为了便于理解本实用新型，下面将参照相关附图对本实用新型进行更全面的描述。附图中给出了本实用新型的较佳的实施例。但是，本实用新型可以以许多不同的形式来实现，并不限于本文所描述的实施例。相反地，提供这些实施例的目的是使对本实用新型的公开内容的理解更加透彻全面。

需要说明的是，当元件被称为“固定于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。相反，当元件被称作“直接在”另一元件“上”时，则不存在中间元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的。

除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本实用新型的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本实用新型的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本实用新型。本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。

下面结合附图，详细说明硅片清洗花篮的较佳实施方式。

参考图2，一个实施例的硅片清洗花篮200，包括相对设置的两个侧壁210、第一支撑杆220、第二支撑杆230。第一支撑杆220、第二支撑杆230均位于两个侧壁210之间与两侧壁210连接。第一支撑杆220、第二支撑杆230以左、右方式间隔设置，二者之间形成放置硅片的空间。

第一支撑杆220上设有可以移动的第一硅片插槽件240。第一硅片插槽件240上设有若干插槽242，用以定位硅片。第一硅片插槽件240的两端与侧壁210分别设有一个弹性件250。因此，第一支撑杆220上设有两个弹性件250、位于两个弹性件250之间的第一硅片插槽件240。两个弹性件250自第一硅片插槽件240的两侧抵接第一硅片插槽件240，提供使第一硅片插槽件240定位在第一支撑杆220上的弹性力。

类似地，第二支撑杆230上设有可以移动的第二硅片插槽件260。第二硅片插槽件260与第一硅片插槽件240配对使用，共同定位硅片。第二硅片插槽件260上设有若干插槽242，用以定位硅片。第二硅片插槽件260的两端与侧壁210分别设有一个弹性件250。因此，第二支撑杆230上也设有两个弹性件250、及位于两个弹性件250之间的第二硅片插槽件260。两个弹性件250自第一硅片插槽件240的两侧抵接第二硅片插槽件260，提供使第二硅片插槽件260定位在第二支撑杆220上的弹性力。

上述实施例中，用来定位第一硅片插槽件240的两个弹性件250上也设置插槽242；及用来定位第二硅片插槽件260的两个弹性件250上也设置插槽242。因此，在花篮尺寸不变的情况下，增加了插槽242的数量，从而提升了花篮的装片量又不增加设备的体积。

一个实施例中，两侧壁210的外端面之间的距离为540mm，即硅片清洗花篮200的长度方向的尺寸为540mm。第一硅片插槽件240和第二硅片插槽件260上均设置有100个插槽，每一个弹性件250上设有2个插槽242。因此，在硅片清洗花篮200的长度方向的尺寸为540mm的情况下，硅片清洗花篮200的装片数量由100片提升为104片。

花篮尺寸不变情况下，装片量得以提升，其它相关设备无需改造，节省改造费用。改造后，每做100片，产能提高4％；每天65万片，产能多出2.6万片。一年365*2.6万＝949万片。

一个实施例中，第一支撑杆220上与两侧壁210之间均为可拆卸式连接。第一硅片插槽件240也设置为可以从第一支撑杆220上。这样，方便更换第一硅片插槽件240。

例如，第一支撑杆220的端部穿过侧壁210并通过螺栓紧固。第一硅片插槽件240穿在第一支撑杆220上。

一个实施例中，第二支撑杆230上与两侧壁210之间也均为可拆卸式连接。第二硅片插槽件260也设置为可以从第二支撑杆220上移除。这样，方便更换第一硅片插槽件240。

例如，第二支撑杆230的端部穿过侧壁210并通过螺栓紧固。第一硅片插槽件240穿在第二支撑杆230上。

一个实施例中，位于第一硅片插槽件240与侧壁210之间的弹性件250的一端定位于侧壁210，另一端抵接第一硅片插槽件240。位于第二硅片插槽件260与侧壁210之间的弹性件250的一端定位于侧壁210，另一端抵接第二硅片插槽件260。

另一个实施例中，位于第一硅片插槽件240与侧壁210之间的弹性件250套在第一硅片插槽件240的端部。位于第二硅片插槽件260与侧壁210之间的弹性件250套在第二硅片插槽件260的端部。一个可实施的方案中，弹性件250为圆柱状物体，中心设置有孔。弹性件250的外壁上沿圆周方向设置凹槽以作为插槽242使用。

以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。

以上所述实施例仅表达了本实用新型的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。因此，本实用新型专利的保护范围应以所附权利要求为准。