一种新型半导体厂用酸废水回收设备的制作方法

本实用新型涉及废水处理技术领域，更具体地说，本实用新型涉及一种新型半导体厂用酸废水回收设备。

背景技术：

光伏、半导体行业近年来飞速发展，是一个朝阳行业，然而这也是一个高耗能、高污染、用水量极大的行业，以100mw多晶硅生产线为例，每天用水量在1500吨左右，在所产生的废水中含氢氟废水占废水总量的70％左右，含氢氟废水是刻蚀工序中产生的，一般ph在2左右，氟离子含量一般在50-800ppm之间，电导在2000-4000us/cm之间。

专利申请公布号cn205556320u的实用新型专利公开了一种用于光伏、半导体行业氢氟酸废水回用处理装置，包括与氢氟酸废水来水连接的氢氟酸废水收集池和氢氟酸废水处理系统；氢氟酸废水收集池依次连接的废水泵、预处理水池和原水箱；原水箱的出水分两路：一路依次经低压泵、多介质过滤器、保安过滤器和一级高压泵，连接至一级反渗透系统的原水进口，另一路依次经反洗泵连接至多介质过滤器的反洗进口，多介质过滤器的反洗出口连接至氢氟酸废水处理系统；使用该实用新型不仅能够将氢氟酸废水回用约60％，而且处理后的水质优于自来水的水质，可直接回用于纯水制备系统或直接回用给工艺水系统，使回用的废水在厂区中循环使用，降低废水排放总量，节约用水成本。

但是其在实际使用时，仍旧存在较多缺点，如该实用在使用过程中不能有效的对废水同时进行多项沉淀操作，添加相应的添加剂时混合不均匀，从而影响沉淀效果。

技术实现要素：

为了克服现有技术的上述缺陷，本实用新型的实施例提供一种新型半导体厂用酸废水回收设备，通过设置高效多项沉淀机构，能够有效的对废水依次多项沉淀操作，提升了去除氢氟酸的效率，提高添加剂与废水的混合效率，进一步提升沉淀效果，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种新型半导体厂用酸废水回收设备，包括底座，所述底座顶部固定设有固定杆，所述固定杆顶部设有高效多项沉淀机构；

所述高效多项沉淀机构包括沉淀箱，所述沉淀箱内部固定设有第一隔板，所述第一隔板底部设有第二隔板，所述第一隔板顶部设有初级处理室，所述第一隔板和第二隔板之间设有中级处理室，所述第二隔板底部设有尾处理室，所述第一隔板和第二隔板内部均设有密封滑筒，所述密封滑筒内部设有滑柱，所述滑柱外侧固定设有挤压盘，所述挤压盘表面设有透水孔，所述挤压盘底部设有轴承，所述轴承外侧固定设有搅拌扇叶，所述沉淀箱一侧设有三个药剂管，所述沉淀箱另一侧设有进水管，所述进水管底部设有第一过滤器，所述第一过滤器底部设有第二过滤器，所述第一过滤器和第二过滤器输入端均设有第一连接管，所述第一过滤器和第二过滤器输出端均设有第二连接管，所述第二连接管内部设有止回阀，所述滑柱顶部设有液压杆，所述液压杆顶部固定设有顶板，所述顶板底部固定设有支撑杆，所述第一连接管内部设有电磁阀。

在一个优选地实施方式中，所述沉淀箱底部设有出水管，所述出水管一端设有反渗透纯水机，所述反渗透纯水机输出端设有输送管。

在一个优选地实施方式中，所述输送管一端设有ph调节池，所述ph调节池输出端设有除氟过滤器。

在一个优选地实施方式中，所述沉淀箱与固定杆固定连接，所述滑柱与密封滑筒滑动连接。

在一个优选地实施方式中，所述透水孔横截面形状设置为漏斗形，三个所述药剂管均贯穿沉淀箱且分别延伸至初级处理室、中级处理室和尾处理室内部。

在一个优选地实施方式中，两个所述第一连接管均贯穿沉淀箱且延伸至初级处理室和中级处理室内部，两个所述第二连接管均贯穿沉淀箱且延伸至中级处理室和尾处理室内部。

在一个优选地实施方式中，所述滑柱贯穿沉淀箱且延伸至外部，所述液压杆输出轴与滑柱固定连接。

在一个优选地实施方式中，所述支撑杆与沉淀箱固定连接，所述透水孔数量设置为多个。

本实用新型的技术效果和优点：

1、通过设置高效多项沉淀机构，采用化学沉淀法进行过滤，对内部的污水进行挤压，污水与添加的钙盐、铝盐、镁盐和磷酸盐混合，挤压时废水通过横截面形状设置为漏斗形的透水孔时发生挤压混合效果，同时搅拌扇叶在升降过程中与废水发生反向作用，使得搅拌扇叶发生转动，通过第一连接管将沉淀后的污水经过第一过滤器后通过第二连接管输送到中级处理室，采用混凝沉淀法对内部的二次废水进行二次沉淀，之后将过滤后的废水输送到第二过滤器内部进行第二次过滤，采用化学混凝沉淀法对内部的废水进行后续处理，能够有效的对废水依次多项沉淀操作，提升了去除氢氟酸的效率，提高添加剂与废水的混合效率，进一步提升沉淀效果；

2、通过设置反渗透纯水机、ph调节池和除氟过滤器，废水通过出水管输送到反渗透纯水机内部进行微滤、吸附、超滤、反渗透、紫外杀菌和超纯化处理，之后将过滤后的废水输送至ph调节池内部进行ph调试，之后将水输送至除氟过滤器内部进行最后的微过滤，可以进一步取出废水中的氢氟酸，提升除氟效率，提高过滤效果，保证后续废水的回收使用。

附图说明

图1为本实用新型的整体结构示意图。

图2为本实用新型的图1中a部局部结构示意图。

图3为本实用新型的图1中b部局部结构示意图。

图4为本实用新型的轴承和搅拌扇叶结构示意图。

图5为本实用新型的挤压盘立体示意图。

附图标记为：1底座、2固定杆、3高效多项沉淀机构、4沉淀箱、5第一隔板、6第二隔板、7初级处理室、8中级处理室、9尾处理室、10密封滑筒、11滑柱、12挤压盘、13透水孔、14轴承、15搅拌扇叶、16药剂管、17进水管、18第一过滤器、19第二过滤器、20第一连接管、21第二连接管、22止回阀、23液压杆、24顶板、25支撑杆、26电磁阀、27出水管、28反渗透纯水机、29输送管、30ph调节池、31除氟过滤器。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

如附图1-5所示的一种新型半导体厂用酸废水回收设备，包括底座1，所述底座1顶部固定设有固定杆2，所述固定杆2顶部设有高效多项沉淀机构3；

所述高效多项沉淀机构3包括沉淀箱4，所述沉淀箱4内部固定设有第一隔板5，所述第一隔板5底部设有第二隔板6，所述第一隔板5顶部设有初级处理室7，所述第一隔板5和第二隔板6之间设有中级处理室8，所述第二隔板6底部设有尾处理室9，所述第一隔板5和第二隔板6内部均设有密封滑筒10，所述密封滑筒10内部设有滑柱11，所述滑柱11外侧固定设有挤压盘12，所述挤压盘12表面设有透水孔13，所述挤压盘12底部设有轴承14，所述轴承14外侧固定设有搅拌扇叶15，所述沉淀箱4一侧设有三个药剂管16，所述沉淀箱4另一侧设有进水管17，所述进水管17底部设有第一过滤器18，所述第一过滤器18底部设有第二过滤器19，所述第一过滤器18和第二过滤器19输入端均设有第一连接管20，所述第一过滤器18和第二过滤器19输出端均设有第二连接管21，所述第二连接管21内部设有止回阀22，所述滑柱11顶部设有液压杆23，所述液压杆23顶部固定设有顶板24，所述顶板24底部固定设有支撑杆25，所述第一连接管20内部设有电磁阀26；

所述沉淀箱4与固定杆2固定连接，所述滑柱11与密封滑筒10滑动连接；

所述透水孔13横截面形状设置为漏斗形，三个所述药剂管16均贯穿沉淀箱4且分别延伸至初级处理室7、中级处理室8和尾处理室9内部；

两个所述第一连接管20均贯穿沉淀箱4且延伸至初级处理室7和中级处理室8内部，两个所述第二连接管21均贯穿沉淀箱4且延伸至中级处理室8和尾处理室9内部；

所述滑柱11贯穿沉淀箱4且延伸至外部，所述液压杆23输出轴与滑柱11固定连接；

所述支撑杆25与沉淀箱4固定连接，所述透水孔13数量设置为多个。

实施方式具体为：使用时通过进水管17将废水输送泵至沉淀箱4内部设有初级处理室7内部，通过一个药剂管16将钙盐、铝盐、镁盐、磷酸盐、氯化钙和复合铁盐作混凝剂，高分子pam作絮凝剂输送至初级处理室7内部，采用化学沉淀法进行过滤，之后打开液压杆23，液压杆23带动挤压盘12在初级处理室7内部进行上下移动，对内部的污水进行挤压，污水与添加的钙盐、铝盐、镁盐和磷酸盐混合，挤压时废水通过横截面形状设置为漏斗形的透水孔13时发生挤压混合效果，同时搅拌扇叶15在升降过程中与废水发生反向作用，使得搅拌扇叶15发生转动，之后初级处理室7内部的废水发生沉淀效果，之后打开电磁阀26，通过第一连接管20将沉淀后的污水经过第一过滤器18后通过第二连接管21输送到中级处理室8，之后通过药剂管16向中级处理室8内部添加铁盐和铝盐两大类混凝剂，采用混凝沉淀法对内部的二次废水进行二次沉淀，之后将过滤后的废水输送到第二过滤器19内部进行第二次过滤，之后通过药剂管16向尾处理室9内部添加钙盐和磷酸盐，采用化学混凝沉淀法对内部的废水进行后续处理，能够有效的对废水依次多项沉淀操作，提升了去除氢氟酸的效率，提高添加剂与废水的混合效率，进一步提升沉淀效果。

如附图1所示的一种新型半导体厂用酸废水回收设备，还包括反渗透纯水机28、ph调节池30和除氟过滤器31，所述沉淀箱4底部设有出水管27，所述出水管27一端设有反渗透纯水机28，所述反渗透纯水机28输出端设有输送管29；

所述输送管29一端设有ph调节池30，所述ph调节池30输出端设有除氟过滤器31。

实施方式具体为：之后将处理后的废水通过出水管27输送到反渗透纯水机28内部进行微滤、吸附、超滤、反渗透、紫外杀菌和超纯化处理，之后将过滤后的废水输送至ph调节池30内部进行ph调试，之后将水输送至除氟过滤器31内部进行最后的微过滤，可以进一步取出废水中的氢氟酸，提升除氟效率，提高过滤效果，保证后续废水的回收使用。

本实用新型工作原理：

参照说明书附图1-5，通过设置高效多项沉淀机构3，使用时通过进水管17将废水输送泵至沉淀箱4内部设有初级处理室7内部，通过一个药剂管16将钙盐、铝盐、镁盐、磷酸盐、氯化钙和复合铁盐作混凝剂，高分子pam作絮凝剂输送至初级处理室7内部，采用化学沉淀法进行过滤，之后打开液压杆23，液压杆23带动挤压盘12在初级处理室7内部进行上下移动，对内部的污水进行挤压，污水与添加的钙盐、铝盐、镁盐和磷酸盐混合，挤压时废水通过横截面形状设置为漏斗形的透水孔13时发生挤压混合效果，同时搅拌扇叶15在升降过程中与废水发生反向作用，使得搅拌扇叶15发生转动，之后初级处理室7内部的废水发生沉淀效果，之后打开电磁阀26，通过第一连接管20将沉淀后的污水经过第一过滤器18后通过第二连接管21输送到中级处理室8，之后通过药剂管16向中级处理室8内部添加铁盐和铝盐两大类混凝剂，采用混凝沉淀法对内部的二次废水进行二次沉淀，之后将过滤后的废水输送到第二过滤器19内部进行第二次过滤，之后通过药剂管16向尾处理室9内部添加钙盐和磷酸盐，采用化学混凝沉淀法对内部的废水进行后续处理，能够有效的对废水依次多项沉淀操作，提升了去除氢氟酸的效率，提高添加剂与废水的混合效率，进一步提升沉淀效果；

参照说明书附图1，通过设置反渗透纯水机28、ph调节池30和除氟过滤器31，之后将处理后的废水通过出水管27输送到反渗透纯水机28内部进行微滤、吸附、超滤、反渗透、紫外杀菌和超纯化处理，之后将过滤后的废水输送至ph调节池30内部进行ph调试，之后将水输送至除氟过滤器31内部进行最后的微过滤，可以进一步取出废水中的氢氟酸，提升除氟效率，提高过滤效果，保证后续废水的回收使用。

最后应说明的几点是：首先，在本申请的描述中，需要说明的是，除非另有规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，可以是机械连接或电连接，也可以是两个元件内部的连通，可以是直接相连，“上”、“下”、“左”、“右”等仅用于表示相对位置关系，当被描述对象的绝对位置改变，则相对位置关系可能发生改变；

其次：本实用新型公开实施例附图中，只涉及到与本公开实施例涉及到的结构，其他结构可参考通常设计，在不冲突情况下，本实用新型同一实施例及不同实施例可以相互组合；

最后：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。