一种多重过滤装置的制作方法

本实用新型属于剥离液生产设备领域，特别涉及一种多重过滤装置。

背景技术：

随着国内半导体，液晶面板及光电产业的持续发展，带动了相关所用化学品的发展；剥离液是在半导体及液晶面板等领域常用的化学品，在电子化学品制备领域的关键在于控制并达到其所要求的含杂质量和颗粒度；在剥离液生产过程中会通过过滤工序去除一部分的杂质，在现有的过滤装置中存在过滤不彻底的问题。

技术实现要素：

(一)要解决的技术问题

为了解决现有技术的上述问题，本实用新型提供一种过滤彻底的多重过滤装置。

(二)技术方案

为了达到上述目的，本实用新型采用的主要技术方案包括：

一种多重过滤装置，包括剥离液装置、第一球阀、第二球阀、第一过滤装置、第二过滤装置、第三过滤装置、第四过滤装置、废水缓存罐、液位控制阀、第一回流泵、第二回流泵和超纯水装置，所述剥离液装置的一端通过第一球阀与第一过滤装置相连接，所述第三过滤装置通过第一球阀与剥离液装置相连接，所述剥离液装置的另一端通过第二球阀与液位控制阀相连接，所述第一过滤装置与第二过滤装置相连接，所述第三过滤装置与第四过滤装置相连接，所述第二过滤装置和第四过滤装置均与液位控制阀相连接，所述第一回流泵、第二回流泵和超纯水装置均与液位控制阀相连接，所述第一过滤装置、第二过滤装置、第三过滤装置和第四过滤装置均与废水缓存罐相连接。

上述的多重过滤装置中，所述第一过滤装置、第二过滤装置、第三过滤装置和第四过滤装置上均设有压力表。

上述的多重过滤装置中，所述第一过滤装置与第一球阀相连接处设有第三球阀，所述第三过滤装置与第一球阀相连接处设有第四球阀，所述第一过滤装置与第二过滤装置相连接处设有第五球阀，所述第三过滤装置和第四过滤装置相连接处设有第六球阀，所述第一过滤装置、第二过滤装置、第三过滤装置和第四过滤装置与废水缓存罐相连接处均设有第七球阀。

上述的多重过滤装置中，还包括流量阀，所述流量阀与液位控制阀相连接。

上述的多重过滤装置中，所述第二过滤装置和液位控制阀相连接处设有第一止回阀，所述第四过滤装置和液位控制阀相连接处设有第二止回阀。

(三)有益效果

本实用新型的有益效果是：通过设置多个过滤装置，且相互相连接，有利于对剥离液进行多重过滤工序，通过设置第一球阀和第二球阀，有利于控制剥离液进液的状态；通过设置废水缓存装置，有利于回收过滤出的废水，避免污染环境；通过设置超纯水装置，有利于清洗装置。

附图说明

图1为本实用新型多重过滤装置的结构示意图。

【附图标记说明】

1：剥离液装置；

2：第一球阀；

3：第二球阀；

4：第一过滤装置；

5：第二过滤装置；

6：第三过滤装置；

7：第四过滤装置；

8：废水缓存罐；

9：液位控制阀；

10：第一回流泵；

11：第二回流泵；

12：超纯水装置；

13：压力表；

14：第三球阀；

15：第四球阀；

16：第五球阀；

17：第六球阀；

18：第七球阀；

19：流量阀；

20：第一止回阀；

21：第二止回阀。

具体实施方式

为了更好的解释本实用新型实用新型，以便于理解，下面结合附图，通过具体实施方式，对本实用新型实用新型作详细描述。

本实用新型最关键的构思在于：通过设置多个过滤装置，且相互相连接，设置废水缓存装置、超纯水装置、第一球阀和第二球阀。

请参照图1所示，一种多重过滤装置，

包括剥离液装置、第一球阀、第二球阀、第一过滤装置、第二过滤装置、第三过滤装置、第四过滤装置、废水缓存罐、液位控制阀、第一回流泵、第二回流泵和超纯水装置，所述剥离液装置的一端通过第一球阀与第一过滤装置相连接，所述第三过滤装置通过第一球阀与剥离液装置相连接，所述剥离液装置的另一端通过第二球阀与液位控制阀相连接，所述第一过滤装置与第二过滤装置相连接，所述第三过滤装置与第四过滤装置相连接，所述第二过滤装置和第四过滤装置均与液位控制阀相连接，所述第一回流泵、第二回流泵和超纯水装置均与液位控制阀相连接，所述第一过滤装置、第二过滤装置、第三过滤装置和第四过滤装置均与废水缓存罐相连接。

本实用新型所述的多重过滤装置的工作原理：各个球阀在初始状态为关闭状态，首先开启剥离液装置后，再开启第一球阀，将剥离液输送至第一过滤装置、第二过滤装置、第三过滤装置和第四过滤装置中进行过滤，过滤出的废水输送至废水缓存罐中，过滤工序完成后的剥离液输送至装置外；开启第一回流泵和第二回流泵将脱重塔中的剥离液，再开启第二球阀，打回第一过滤装置、第二过滤装置、第三过滤装置和第四过滤装置中进行过滤后输送出装置外；完成过滤工序后，开启超纯水装置，超纯水装置中的水分打入第一过滤装置、第二过滤装置、第三过滤装置和第四过滤装置中进行清理后再排出装置外。

从上述描述可知，通过设置多个过滤装置，且相互相连接，有利于对剥离液进行多重过滤工序，通过设置第一球阀和第二球阀，有利于控制剥离液进液的状态；通过设置废水缓存装置，有利于回收过滤出的废水，避免污染环境；通过设置超纯水装置，有利于清洗装置。

进一步的，所述第一过滤装置、第二过滤装置、第三过滤装置和第四过滤装置上均设有压力表。

从上述描述可知，通过在第一过滤装置、第二过滤装置、第三过滤装置和第四过滤装置上均设有压力表，有利于检测第一过滤装置、第二过滤装置、第三过滤装置和第四过滤装置内的压力状态。

进一步的，所述第一过滤装置与第一球阀相连接处设有第三球阀，所述第三过滤装置与第一球阀相连接处设有第四球阀，所述第一过滤装置与第二过滤装置相连接处设有第五球阀，所述第三过滤装置和第四过滤装置相连接处设有第六球阀，所述第一过滤装置、第二过滤装置、第三过滤装置和第四过滤装置与废水缓存罐相连接处均设有第七球阀。

从上述描述可知，通过在第一过滤装置与第一球阀相连接处设有第三球阀，所述第三过滤装置与第一球阀相连接处设有第四球阀，所述第一过滤装置与第二过滤装置相连接处设有第五球阀，所述第三过滤装置和第四过滤装置相连接处设有第六球阀，所述第一过滤装置、第二过滤装置、第三过滤装置和第四过滤装置与废水缓存罐相连接处均设有第七球阀，有利于控制剥离液的流动状态。

进一步的，还包括流量阀，所述流量阀与液位控制阀相连接。

从上述描述可知，通过还包括流量阀，所述流量阀与液位控制阀相连接，有利于检测管道内的流量状态。

进一步的，所述第二过滤装置和液位控制阀相连接处设有第一止回阀，所述第四过滤装置和液位控制阀相连接处设有第二止回阀。

从上述描述可知，通过在第二过滤装置和液位控制阀相连接处设有第一止回阀，所述第四过滤装置和液位控制阀相连接处设有第二止回阀，有利于防止剥离液倒流。

请参照图1所示，本实用新型的实施例一为：

一种多重过滤装置，包括剥离液装置1、第一球阀2、第二球阀3、第一过滤装置4、第二过滤装置5、第三过滤装置6、第四过滤装置7、废水缓存罐8、液位控制阀9、第一回流泵10、第二回流泵11和超纯水装置12，所述剥离液装置1的一端通过第一球阀2与第一过滤装置4相连接，所述第三过滤装置6通过第一球阀2与剥离液装置1相连接，所述剥离液装置1的另一端通过第二球阀3与液位控制阀9相连接，所述第一过滤装置4与第二过滤装置5相连接，所述第三过滤装置6与第四过滤装置7相连接，所述第二过滤装置5和第四过滤装置7均与液位控制阀9相连接，所述第一回流泵10、第二回流泵11和超纯水装置12均与液位控制阀9相连接，所述第一过滤装置4、第二过滤装置5、第三过滤装置6和第四过滤装置7均与废水缓存罐8相连接。

所述第一过滤装置4、第二过滤装置5、第三过滤装置6和第四过滤装置7上均设有压力表13，所述第一过滤装置4与第一球阀2相连接处设有第三球阀14，所述第三过滤装置6与第一球阀2相连接处设有第四球阀15，所述第一过滤装置4与第二过滤装置5相连接处设有第五球阀16，所述第三过滤装置6和第四过滤装置7相连接处设有第六球阀17，所述第一过滤装置4、第二过滤装置5、第三过滤装置6和第四过滤装置7与废水缓存罐8相连接处均设有第七球阀18，还包括流量阀19，所述流量阀19与液位控制阀9相连接，所述第二过滤装置5和液位控制阀9相连接处设有第一止回阀20，所述第四过滤装置7和液位控制阀9相连接处设有第二止回阀21。

装置之间均采用管道连接，管道采用1.6k1级别的管道，公称直径为25，装置与装置之间相连接处采用法兰连接，设置第一球阀2，便于控制剥离液进入第一过滤装置4、第二过滤装置5、第三过滤装置6和第四过滤装置7中；设置第二球阀3，便于控制第一回流泵10和第二回流泵11中的剥离液打回过滤装置中，设置第三球阀14，便于控制剥离液进入第一过滤装置4中的状态；设置第四球阀15，便于控制剥离液进入第三过滤装置6中的状态；设置第五球阀16，便于控制剥离液进入第二过滤装置5中；设置第六球阀17，便于控制剥离液进入第四过滤装置7中；设置第七球阀18，便于控制剥离液进入废水缓存罐8的状态；第一过滤装置4、第二过滤装置5、第三过滤装置6和第四过滤装置7的顶部均设有放空管，便于将装置内的空气排出，第一回流泵10和第二回流泵11为脱重塔中的回流泵。

综上所述，本实用新型提供的一种多重过滤装置，通过设置多个过滤装置，且相互相连接，有利于对剥离液进行多重过滤工序，通过设置第一球阀和第二球阀，有利于控制剥离液进液的状态；通过设置废水缓存装置，有利于回收过滤出的废水，避免污染环境；通过设置超纯水装置，有利于清洗装置。

以上所述仅为本实用新型的实施例，并非因此限制本实用新型的专利范围，凡是利用本实用新型说明书及附图内容所作的等同变换，或直接或间接运用在相关的技术领域，均同理包括在本实用新型的专利保护范围内。