一种涂覆桶外形的防溅水结构的制作方法

1.本发明涉及半导体生产技术领域，尤其涉及一种涂覆桶外形的防溅水结构。


背景技术：

2.晶圆(wafer)是制造半导体器件的基础性原材料。极高纯度的半导体经过拉晶、切片等工序制备成为晶圆，晶圆经过一系列半导体制造工艺形成极微小的电路结构，再经切割、封装、测试成为芯片，广泛应用到各类电子设备当中。
3.近年来，随着光电产业的迅猛发展，高集成和高性能的半导体晶圆需求也越来越大，晶圆切割技术对提高成品率和封装效率有着重要影响。晶圆切割方式有很多，主要用激光切割技术。不管哪种切割技术，操作过程中都会产生一些污染物。
4.清洁晶圆时，晶圆在载台上高速转动，由于离心力将晶圆上的水甩到四周。清洗晶圆的时候又要防止水跑到外面去污染其他机构，又要防止水回打到晶圆上，所以需要采用防溅设备进行防溅。现在晶圆加工中，晶圆清洗防飞溅有很多方式，比较常见的用防水帘还有防护罩。防水帘属于易耗品要定期更换，防水帘的防水效果不佳，水容易打到晶圆上。现在市面上的清洁晶圆的防护罩的加工工艺和结构都比较复杂，加工成本比较高。
5.因此，有必要研究一种涂覆桶外形的防溅水结构来应对现有技术的不足，以解决或减轻上述一个或多个问题。


技术实现要素：

6.有鉴于此，本发明提供了一种涂覆桶外形的防溅水结构，能够用于晶圆清洗过程，防止水溅，避免污染物影响晶圆的后续操作。
7.本发明提供一种涂覆桶外形的防溅水结构，其特征在于，所述防溅水结构包括：所述防溅水结构包括：一体成型的桶体组件以及用于实现上防溅和桶盖作用的上罩组件；
8.所述桶体组件，包括：
9.内空结构且上下开口的桶体，用于将放置晶圆的载台罩设在其内；
10.倾斜板，设置在所述桶体的底部，用于与所述载台外表面密封式接触连接；
11.驱动连通口，设置在所述倾斜板上，用于安装喷水设备；
12.桶下排水口，设置在所述倾斜板的最低处，用于下排水；
13.所述上罩组件包括：
14.上罩结构，上下开口式结构，下端与所述桶体组件的上端可拆卸固接；
15.上罩盖板，一端与所述上罩结构一端壁铰接，另一端与所述上罩结构另一端壁可开合扣接；
16.上防溅板，设置在所述上罩结构的底部内壁；
17.上排水口，设置在所述上防溅板上，用于上排水。
18.如上所述的方面和任一可能的实现方式，进一步提供一种实现方式，所述上罩组件的侧壁设有水雾抽取接口，用于与外部抽取设备连接实现水雾的抽出。
19.如上所述的方面和任一可能的实现方式，进一步提供一种实现方式，所述桶体的侧壁上设有内外水气对接板，所述内外水气对接板与所述桶体侧壁可拆卸连接。
20.如上所述的方面和任一可能的实现方式，进一步提供一种实现方式，所述桶体为圆柱形，所述倾斜板沿所述圆柱形桶体的内壁设置，且为环形。
21.如上所述的方面和任一可能的实现方式，进一步提供一种实现方式，所述桶体为圆柱形和方形的组合形，所述倾斜板沿所述圆柱形桶体的内壁设置，且为环形或半环形与方形的组合形。
22.如上所述的方面和任一可能的实现方式，进一步提供一种实现方式，所述方形的长小于所述圆柱形的直径。
23.如上所述的方面和任一可能的实现方式，进一步提供一种实现方式，所述上罩盖板为透明板。
24.如上所述的方面和任一可能的实现方式，进一步提供一种实现方式，所述上罩结构为方形。
25.如上所述的方面和任一可能的实现方式，进一步提供一种实现方式，所述上防溅板为外方内圆的类环形。
26.如上所述的方面和任一可能的实现方式，进一步提供一种实现方式，当所述防溅水结构用于晶圆涂胶时，所述倾斜板上还设有喷嘴加湿器，用于对设于所述驱动连通口的喷胶设备进行加湿。
27.如上所述的方面和任一可能的实现方式，进一步提供一种实现方式，所述桶体组件和所述上罩结构均采用玻璃珠喷砂表面处理。
28.如上所述的方面和任一可能的实现方式，进一步提供一种实现方式，所述桶体顶部内沿设有加固内圈，用于增加强度、加固桶体，防止桶体变形。
29.与现有技术相比，上述技术方案中的一个技术方案具有如下优点或有益效果：涂覆桶外形的防溅水结构，加工简单，成本低，既可以防止水跑到外面也防止水打到产品上去；
30.上述技术方案中的另一个技术方案具有如下优点或有益效果：不易积水，能够将桶体上下的水流及时排除桶外。
31.当然，实施本发明的任一产品并不一定需要同时达到以上所述的所有技术效果。
附图说明
32.为了更清楚地说明本发明实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。
33.图1是本发明一个实施例提供的涂覆桶外形的防溅水结构的上罩整体开盖立面图；
34.图2是本发明一个实施例提供的涂覆桶外形的防溅水结构的上罩整体立面图；
35.图3是本发明一个实施例提供的上罩开盖立面图；
36.图4是本发明一个实施例提供的涂覆桶外形的防溅水结构立面图；
37.图5是本发明一个实施例提供的涂覆桶外形的防溅水结构内侧剖面图；
38.图6是本发明一个实施例提供的涂覆桶外形的防溅水结构俯视图。
39.其中，图中：
40.1、上罩结构；2、上罩盖板；3、水雾抽取接口；4、桶体；5、桶下排水管；6、内外水气对接板；7、搭扣；8、把手；9、铰链；10、透明亚克力板； 11、上罩挡水内沿；12、上罩排水接口；13、驱动连通管；14、加固内圈； 15、倾斜板；16、桶挡水内沿；17、载台安装口；18、喷嘴加湿器。
具体实施方式
41.为了更好的理解本发明的技术方案，下面结合附图对本发明实施例进行详细描述。
42.应当明确，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本发明保护的范围。
43.在本发明实施例中使用的术语是仅仅出于描述特定实施例的目的，而非旨在限制本发明。在本发明实施例和所附权利要求书中所使用的单数形式的“一种”、“所述”和“该”也旨在包括多数形式，除非上下文清楚地表示其他含义。
44.本发明的涂覆桶形防溅水结构包括一体封闭焊接的圆柱形的桶体4，桶体 4为上下开口的内空结构，表面光滑，一体封闭焊接可以减少零件组装产生的间隙，防止漏水。本发明相对于市面上的防护罩成本低，加工安装都比较简单牢固。
45.如图1-2所示，桶体的上端设有上罩结构1和上罩盖板2，上罩结构1 与桶体的上端部连接，上罩盖板2设置在上罩结构1的上端部，通过上罩盖板2实现桶体的打开和关闭。上罩结构1下端段呈方形，前壁为长方形壁板。两侧壁均包括两部分，下部是和前壁等高的长方形壁板，上部是梯形壁板，长方形壁板和梯形壁板一体成型。后壁也包括两部分，一部分为竖直设置的与前壁等高的长方形壁板，另一部分是倾斜设置的长方形壁板，倾斜设置的长方形壁板与侧壁的梯形壁板的短斜边连接。后壁整体高度高于前壁。上罩盖板2通过与梯形壁板的长斜边、前壁的上端边以及后壁的上端边连接，倾斜地设置在上罩结构1的顶部。上罩盖板2的顶端通过两组以上的铰链9与后壁铰接。上罩盖板2的下端通过两组以上的塔扣7与前壁板扣接。上罩盖板2的下端中间位置设有把手8，用于实现上罩盖板2的打开和关闭。上罩结构1和上罩盖板2均为一体成型结构，两者铰接实现上罩盖板2相对于上罩结构1的开启和关闭，组装简单，牢固耐用，且方便。
46.上罩结构1的一个侧壁上开设有水雾抽取接口，用于通过管路与外部抽取设备连接，从而将桶内的水雾抽出。
47.桶体4的侧边设有一个与桶体内部连通的方形空间，该方形空间的底部设有痛下排水管5，用于将多余的废水排除桶体。该方形空间的外侧壁设有内外水气对接板6，用于实现桶体内部和桶体外部的水气对接。
48.如图3所示，上罩盖板2的底部设有上罩挡水内沿11，上罩挡水内沿11 能够对桶体内部溅起的水花进行一定的阻挡，防止其溅到上罩结构内以及上罩盖板上。由于上罩结构1为方形，桶体4为圆形，上罩结构的宽度不小于桶体4的直径，所以上罩结构的四个端角相对于桶体4是突出来的，在一个或多个端角处设有上罩排水接口12，用于将溅入上罩结构内的
水或雾气冷却掉落后的水进行排除。
49.如图4-6所示，桶体4的底部，沿桶体内壁，设有倾斜板15，该倾斜板 15由桶体到方形空间的桶下排水管5处有一个小的倾斜，可以使桶壁上的水留下后沿倾斜板15流到痛下排水管5处进而排除，防止积水。倾斜板15的内圈形成桶挡水内沿16，能够缩小溅水通过面的面积，从而防止水溅到晶圆上。
50.桶体侧壁处的方形空间内还设有驱动连通管13，驱动连通管13内设置有旋转臂，旋转臂用于固定喷水装置或喷胶装置，在进行晶圆清洗时设置喷水装置，在用于晶圆涂胶时设置喷胶装置。
51.桶体顶部沿桶体壁设有加固内圈14，用于增加强度、加固桶体，防止桶体变形。
52.操作员可以打开塔扣7，通过把手8打开上罩盖板，方便维修或者察看。另外，上罩盖板2可以是透明亚克力板10，这就使得操作员可以在不打开上罩盖板的情况下观察里面的情况。
53.本发明的一个特点就是涂覆桶采用了特殊的玻璃珠喷砂表面处理，表面产生薄氧化层防止生锈。处理前可以把相关的焊斑点打平，防止砂眼产生。喷砂是一种表面处理工艺，喷砂介质很多，不同的喷砂工艺对喷砂介质的选择十分重要，本技术选用玻璃珠作为喷砂介质，桶体材质为不锈钢，玻璃珠喷砂表面处理主要可以将焊接时的砂眼去除，表面除锈，相对其他的喷砂介质，玻璃珠使桶表面更光滑美观。
54.喷砂是利用压缩空气带动磨料的高速运行，速度可达200m/s，这样高速的砂料击打在工件表面，可以清理不同工件的表面，发生除锈、去氧化皮、使表面产生粗糙度等效果，可以增强金属表面参与压应力，去除表层拉应力，提高抗疲劳作用。也可以利用为修饰一些金属表面状况，例如玻璃、不锈钢、铝合金、服装等饰品的美化。
55.工作时，装有晶圆的载台设置在桶体内部，载台高速转动，载台上的水由于离心力飞溅到涂覆桶的桶壁上。桶壁上的水沿倾斜板15从高处往低处流，流到涂覆桶底面最低处的桶下排水管5进而排出。
56.内外水气对接板6用于快插，在内外水气对接板6设置在桶体的方形结构外端壁上，内外水气对接板6上设置有快插接头，能够实现内外水气对接板6相对于内外水管的快插快卸，实现里外水跟气的连通交换。内外水气对接板6与桶体之间为密封连接，防止漏水。清洗时，桶外水管通过内外水气对接板6上的快插接头连接桶内的水管实现清洗；桶内的喷水旋转臂气缸上的气管通过内外水气对接板6与桶外的气管连接。
57.上罩组件用于防止水往上飞溅出去，水飞溅到内壁上流到上罩组件底面，上罩挡水内沿11防止水流出打到产品上。水从上罩排水接口12流出，最后跟涂覆桶桶下排水管5一起排出。由于载台高速转动产生负压引起水雾气，上罩组件的水雾抽取接口3连通至负压抽尘管道，可以将产生的水雾抽走，接口下方有一个倾斜的接水盘，防止抽取水雾时产生水滴在产品上。
58.桶体4底部设有载台安装口17，载台安装口的形状和载台匹配，载台从载台安装口17中伸入桶体4内部，晶圆放置于载台上，通过设于驱动连通管 13内的喷水装置向晶圆喷水，在载台的高速运转下清洗用水向桶体四周飞溅，由防溅水涂覆桶实现对清洗用水的约束，实现相对于外部的防溅，且不会二次溅射到晶圆上。
59.桶体侧边方形空间处设有喷嘴加湿器18，喷嘴加湿器18和驱动连通管13的设置位
置相对，分别处于方形空间的两端处。喷嘴加湿器18用于在涂胶过程中对安装在驱动连通管13内的涂胶装置上的喷胶嘴加湿。
60.本专利的防溅水结构能够用于晶圆清洗过程的防飞溅，晶圆放在中间的载台上，涂覆桶固定在模组上，能够在模组的作用下上下移动。清洗时，模组带动涂覆桶上移，桶挡水内沿16卡在载台边缘充当挡板，密封防漏水。桶顶端跟上罩组件契合。驱动连通管13内的喷水旋转臂喷水清洗，结束之后，桶再下移，打开上罩盖板2将晶圆取出。涂胶过程和清洗过程雷同，不做详细阐述。
61.喷水旋转臂和涂胶旋转臂可以采用相同的旋转臂以及采用常规旋转臂，本发明不做详细阐述。
62.本发明设计适用于半导体行业的晶圆清洗或者晶圆涂胶，清洗时能够避免污染物影响晶圆的后续操作。
63.以上对本技术实施例所提供的一种涂覆桶外形的防溅水结构，进行了详细介绍。以上实施例的说明只是用于帮助理解本技术的方法及其核心思想；同时，对于本领域的一般技术人员，依据本技术的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处，综上所述，本说明书内容不应理解为对本技术的限制。
64.如在说明书及权利要求书当中使用了某些词汇来指称特定组件。本领域技术人员应可理解，硬件制造商可能会用不同名词来称呼同一个组件。本说明书及权利要求书并不以名称的差异来作为区分组件的方式，而是以组件在功能上的差异来作为区分的准则。如在通篇说明书及权利要求书当中所提及的“包含”、“包括”为一开放式用语，故应解释成“包含/包括但不限定于”。“大致”是指在可接收的误差范围内，本领域技术人员能够在一定误差范围内解决所述技术问题，基本达到所述技术效果。说明书后续描述为实施本技术的较佳实施方式，然所述描述乃以说明本技术的一般原则为目的，并非用以限定本技术的范围。本技术的保护范围当视所附权利要求书所界定者为准。
65.还需要说明的是，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的商品或者系统不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种商品或者系统所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个
……”
限定的要素，并不排除在包括所述要素的商品或者系统中还存在另外的相同要素。
66.应当理解，本文中使用的术语“和/或”仅仅是一种描述关联对象的关联关系，表示可以存在三种关系，例如，a和/或b，可以表示：单独存在a，同时存在a和b，单独存在b这三种情况。另外，本文中字符“/”，一般表示前后关联对象是一种“或”的关系。
67.上述说明示出并描述了本技术的若干优选实施例，但如前所述，应当理解本技术并非局限于本文所披露的形式，不应看作是对其他实施例的排除，而可用于各种其他组合、修改和环境，并能够在本文所述申请构想范围内，通过上述教导或相关领域的技术或知识进行改动。而本领域人员所进行的改动和变化不脱离本技术的精神和范围，则都应在本技术所附权利要求书的保护范围内。