一种芯片加工清洗装置的制作方法

文档序号:27402012发布日期:2021-11-15 23:32阅读:93来源:国知局
一种芯片加工清洗装置的制作方法

1.本实用新型涉及芯片清洗技术领域,具体为一种芯片加工清洗装置。


背景技术:

2.在半导体芯片制作过程中,芯片的制作步骤为:先将铜片切割成所需矩形规格,再将铜片上下表面和边缘进行打磨,打磨后对芯片进行清洗,清洗后对铜片进行弯折,最后在铜片上焊接引脚。
3.现有的芯片加工清洗装置对芯片的固定效果不佳,从而影响芯片进行清理,且芯片清洗一般都在放置在高级纯水中进行清理,清洗用的纯水一般清洗一遍后直接排出从而造成资源的浪费,不能对纯水进行重复利用。


技术实现要素:

4.本实用新型的目的在于:为了解决芯片加工清洗装置对芯片的固定效果不佳和不能对纯水进行重复利用的问题,提供一种芯片加工清洗装置。
5.为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种芯片加工清洗装置,包括清洗箱,所述清洗箱内部一侧安装有超声波清洗头,所述清洗箱的底端固定安装有第一吸盘,所述第一吸盘的外壁安装有报警灯,所述第一吸盘的内部设置有第二吸盘,所述第一吸盘的内部顶端安装有压力传感器,所述清洗箱的外壁固定连接有过滤箱,所述过滤箱的顶端安装有水泵,所述过滤箱的内壁固定连接有第一弹簧,所述过滤箱的内部位于第一弹簧的一侧滑动连接有活性炭过滤板,所述活性炭过滤板的内壁滑动连接有固定块,所述固定块的底端固定连接有第二弹簧,所述过滤箱的外壁滑动连接有移动杆。
6.优选地,所述水泵的输出端通过水管与清洗箱固定连接,所述水泵的输入端通过水管与过滤箱内部固定连接。
7.优选地,所述清洗箱的通过单向电磁阀连接到过滤箱的内部,所述过滤箱的外壁固定连接有单向电磁阀。
8.优选地,所述活性炭过滤板的两端固定连接有滑块,所述活性炭过滤板通过两端滑块与过滤箱滑动连接。
9.优选地,所述活性炭过滤板一端滑块内壁开设有与固定块相匹配的滑槽,所述固定块的外壁固定连接有限位块,所述固定块通过外壁限位块与活性炭过滤板一端滑块内壁滑槽滑动连接。
10.与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:
11.1.本实用新型通过设置第一吸盘、第二吸盘、压力传感器和报警灯,打开清洗箱顶端的箱盖,然后将需要清洗的芯片放置在多组第一吸盘的顶端,然后启动外界控制装置控制第一吸盘和第二吸盘对芯片进行固定,当压力传感器检测到第一吸盘和第二吸盘内部压力过高时,压力传感器产生电信号输送到报警灯,报警灯接收到外界的电信号时进行闪烁,告诉外界工作人员停止对第一吸盘和第二吸盘内部进行抽真空,避免第一吸盘和第二吸盘
内部压力过高,容易导致芯片损坏,从而造成资源的浪费,同时通过第二吸盘增加对芯片的接触面积,使芯片固定的更稳,有效的解决了芯片加工清洗装置对芯片的固定效果不佳的问题;
12.2.本实用新型通过设置活性炭过滤板、第一弹簧、固定块和移动杆,通过往清洗箱顶端的进水口往清洗箱内部输送纯水,然后启动多组超声波清洗头对清洗箱内部芯片进行清洗,当清洗箱内部清洗完成,打开清洗箱一端的单向电磁阀往过滤箱内部进行输送清洗后的纯水,通过活性炭过滤板将纯水中的杂物进行过滤,通过水泵将过滤后的纯水输送到清洗箱内部,当需要将活性炭过滤板进行拆卸时,通过人工挤压两组移动杆,两组移动杆向一端移动挤压固定块,将两组固定块挤压到活性炭过滤板一端滑块内壁滑槽中,使活性炭过滤板不再受到外界的力挤压第一弹簧,第一弹簧不再受到外界的挤压力进行复原推动活性炭过滤板向过滤箱外部移动,从而方便工作人员将活性炭过滤板拆卸下来进行更换,避免活性炭过滤板达到饱和影响之后的过滤效果,有效的解决了不能对纯水进行重复利用的问题。
附图说明
13.图1为本实用新型的结构示意图;
14.图2为本实用新型的第一吸盘和第二吸盘结构示意图;
15.图3为本实用新型的过滤箱剖视图;
16.图4为本实用新型的图3中a处放大图。
17.图中:1、清洗箱;2、超声波清洗头;3、第一吸盘;4、报警灯;5、过滤箱;6、水泵;7、压力传感器;8、第二吸盘;9、第一弹簧;10、活性炭过滤板;11、移动杆;12、第二弹簧;13、固定块。
具体实施方式
18.下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
19.在本实用新型的描述中,需要说明的是,术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本实用新型和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本实用新型的限制。此外,术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示相对重要性。在本实用新型的描述中,需要说明的是,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“相连”、“连接”、“设置”应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或一体地连接;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言,可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。下面根据本实用新型的整体结构,对其实施例进行说明。
20.本实用新型中提到的水泵(gd40

30)可在市场或者私人订购所得。
21.请参阅图1

4,一种芯片加工清洗装置,包括清洗箱1,清洗箱1内部一侧安装有超声波清洗头2,清洗箱1的底端固定安装有第一吸盘3,第一吸盘3的外壁安装有报警灯4,第一吸盘3的内部设置有第二吸盘8,第一吸盘3 的内部顶端安装有压力传感器7,清洗箱1的外壁固定连接有过滤箱5,过滤箱5的顶端安装有水泵6,过滤箱5的内壁固定连接有第一弹簧9,过滤箱5 的内部位于第一弹簧9的一侧滑动连接有活性炭过滤板10,活性炭过滤板10 的内壁滑动连接有固定块13,固定块13的底端固定连接有第二弹簧12,过滤箱5的外壁滑动连接有移动杆11。
22.请着重参阅图1,水泵6的输出端通过水管与清洗箱1固定连接,水泵6 的输入端通过水管与过滤箱5内部固定连接,便于使过滤箱5内部纯水进行循环。
23.请着重参阅图1和图3,清洗箱1的通过单向电磁阀连接到过滤箱5的内部,过滤箱5的外壁固定连接有单向电磁阀,便于清洗箱1内部纯水进入到过滤箱5内部,便于过滤箱5内部杂物排出的外界。
24.请着重参阅图3,活性炭过滤板10的两端固定连接有滑块,活性炭过滤板10通过两端滑块与过滤箱5滑动连接,便于活性炭过滤板10进行安装拆卸。
25.请着重参阅图4,活性炭过滤板10一端滑块内壁开设有与固定块13相匹配的滑槽,固定块13的外壁固定连接有限位块,固定块13通过外壁限位块与活性炭过滤板10一端滑块内壁滑槽滑动连接,便于固定块13进行移动。
26.工作原理:首先,打开清洗箱1顶端的箱盖,然后将需要清洗的芯片放置在多组第一吸盘3的顶端,然后启动外界控制装置控制第一吸盘3和第二吸盘8对芯片进行固定,当压力传感器7检测到第一吸盘3和第二吸盘8内部压力过高时,压力传感器7产生电信号输送到报警灯4,报警灯4接收到外界的电信号时进行闪烁,告诉外界工作人员停止对第一吸盘3和第二吸盘8 内部进行抽真空,避免第一吸盘3和第二吸盘8内部压力过高,容易导致芯片损坏,从而造成资源的浪费,同时通过第二吸盘8增加对芯片的接触面积,使芯片固定的更稳,然后关闭清洗箱1的顶盖,通过清洗箱1顶端的进水口往清洗箱1内部输送纯水,然后启动多组超声波清洗头2对清洗箱1内部芯片进行清洗,当清洗箱1内部清洗完成,打开清洗箱1一端的单向电磁阀往过滤箱5内部进行输送清洗后的纯水,通过活性炭过滤板10将纯水中的杂物进行过滤,通过水泵6将过滤后的纯水输送到清洗箱1内部,当需要将活性炭过滤板10进行拆卸时,通过人工挤压两组移动杆11,两组移动杆11向一端移动挤压固定块13,将两组固定块13挤压到活性炭过滤板10一端滑块内壁滑槽中,使活性炭过滤板10不再受到外界的力挤压第一弹簧9,第一弹簧 9不再受到外界的挤压力进行复原推动活性炭过滤板10向过滤箱5外部移动,从而方便工作人员将活性炭过滤板10拆卸下来进行更换,避免活性炭过滤板 10达到饱和影响之后的过滤效果。
27.对于本领域技术人员而言,显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节,而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下,能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此,无论从哪一点来看,均应将实施例看作是示范性的,而且是非限制性的,本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定,因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。
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