一种阳极层离子源工况下的线材处理装置的制作方法

1.本技术涉及一种真空处理设备，尤其是涉及一种阳极层离子源工况下的线材处理装置。


背景技术：

2.在镀膜设备中，经常配置阳极层离子源（下文简称：离子源），用于镀膜前对基板的预清洗、优化界面并提高靶材的结合力。
3.相关技术中记载的一种平板式镀膜设备，参照图1，包括固定在真空腔室1上的离子源2、平行于离子源2设置的载板3以及用于驱动载板3移经离子源2的传输机构，基板固定在载板3上；离子源2上的有效工作区域4为一个跑道形的环状区域，传输机构驱使载板3经过有效工作区域4，进而实现离子源2对载板3上基片的轰击以及刻蚀。
4.但在最近的市场应用中，出现了对线材6（或带状、条状工件）的镀膜需求，相应的也产生了镀膜前对线材6进行离子源清洗的需求；参照图2，相关技术中的一种对线材6进行离子源清洗的方法为，利用相关技术中的平板式镀膜设备，使单根或多根线材6在传输机构的驱动作用下在平行于离子源2的表面沿垂直于有效工作区域4的长度方向经过有效工作区域4，进而实现对线材6的单面即线材6靠近离子源2的表面进行离子源清洗，若需要对线材6整体进行离子源清洗，则需要在进行单侧清洗后对线材6进行翻面或同时需要两个分别设置在线材6两侧的离子源2。
5.针对上述相关技术方案，发明人发现：线材经过有效工作区域时，有效工作区域上有线材实际经过的范围比例非常小，有效工作区域上仅有线材经过的部分才能得到离子源的充分利用，大大降低了离子源的有效利用率。


技术实现要素：

6.为了提高离子源的有效利用率，本技术提供一种阳极层离子源工况下的线材处理装置。
7.本技术提供的一种阳极层离子源工况下的线材处理装置采用如下的技术方案：
8.一种阳极层离子源工况下的线材处理装置，包括离子源，离子源上开设有环形跑道形状的有效工作区域；还包括两个能够围绕自身轴线定轴转动的线辊，两个线辊分别设置在有效工作区域的长度方向的两端；线材缠绕在两个线辊之间，且线材的位于两线辊之间的至少一个线段与有效工作区域的其中一个直线段部分重合。
9.通过采用上述技术方案，驱动线辊围绕自身轴线定轴转动时，线材的一端不断从线辊上脱出且线材的后续线段不断进入到有效工作区域中，在此过程中，由于线材的位于两线辊之间的至少一个线段与有效工作区域的其中一个直线段部分重合，进而有效工作区域中的至少一个直线段部分能够得到完全充分的利用，相比于垂直于有效工作区域的长度方向经过有效工作区域，本技术的线材走线方式大大增加了有效工作区域的实际利用范围，进而提高了离子源的有效利用率。
10.可选的，线材在两个线辊之间往复缠绕并在两个线辊之间形成两条清洗线段，两条清洗线段之间存在过渡线段，至少一个清洗线段与有效工作区域的其中一个直线段部分重合。
11.通过采用上述技术方案，提供了一种线材在两个线辊之间的绕线方式，线辊转动的过程中，线材的一端不断从线辊上脱出且线材的后续线段不断进入到有效工作区域中，进而实现线材在离子源内部的持续输送。
12.可选的，两条清洗线段相互平行且两条清洗线段之间的距离等于有效工作区域的宽度，两条清洗线段分别与有效工作区域的两个中相应的直线段部分重合。
13.通过采用上述技术方案，使得有效工作区域的两个直线段均能够得到线材的充分利用，进一步提高了离子源的有效利用率。
14.可选的，过渡线段存在有偶数条。
15.通过采用上述技术方案，线材在两个线辊之间输送时，经过单个离子源即可完成线材两侧表面的完全清洗，而不需要两个离子源或对线材进行翻面，节约了离子源的设置并方便了线材的离子源清洗。
16.可选的，过渡线段存在有两条。
17.通过采用上述技术方案，使得过渡线段数量为满足设置要求的最小值，方便了线材的绕线以及线辊的转动。
18.可选的，线辊上开设有多个供线材嵌入的卡线槽。
19.通过采用上述技术方案，防止线材在线辊上发生沿线辊轴向的移动而导致过渡线段与有效工作区域的直线段部分发生错位。
20.综上所述，本技术具有以下技术效果：
21.1.通过设置了离子源、有效工作区域以及线辊，线材的位于两线辊之间的至少一个线段与有效工作区域的其中一个直线段部分重合，进而有效工作区域中的至少一个直线段部分能够得到完全充分的利用，相比于垂直于有效工作区域的长度方向经过有效工作区域，本技术的线材走线方式大大增加了有效工作区域的实际利用范围，进而提高了离子源的有效利用率；
22.2.通过使得线材在两个线辊之间形成两个清洗线段以及偶数条的过渡线段，线材在两个线辊之间输送时，经过单个离子源即可完成线材两侧表面的完全清洗，而不需要两个离子源或对线材进行翻面，节约了离子源的设置并方便了线材的离子源清洗。
附图说明
23.图1是相关技术中的一种平板式镀膜设备的整体结构示意图，图中的箭头为载板的移动方向；
24.图2是相关技术的一种平板式镀膜设备对线材进行处理时的结构示意图，图中的箭头为线材的传输方向；
25.图3是实施例一中的线材处理装置的整体机构示意图，图中仅示出一个离子源，图中的箭头为线材的传输方向；
26.图4是实施例二中的线材处理装置的整体机构示意图，图中仅示出一个离子源，图中的箭头为线材的传输方向；
27.图5是实施例三中的线材处理装置的整体机构示意图，图中的箭头为线材的传输方向；
28.图6是实施例四中的线材处理装置的整体机构示意图，图中的箭头为线材的传输方向。
29.图中，1、真空腔室；2、离子源；3、载板；4、有效工作区域；5、线辊；51、卡线槽；6、线材；61、清洗线段；62、过渡线段。
具体实施方式
30.以下结合附图对本技术作进一步详细说明。
31.参照图3，本技术提供了一种阳极层离子源工况下的线材处理装置，包括固定在真空腔室1上的离子源2，离子源2上开设有环形跑道形状的有效工作区域4，有效工作区域4的长度方向的两端分别设置有一个线辊5，两个线辊5相互平行且两个线辊5的轴线形成的公共平面与离子源2所在表面平行，线辊5的轴线与有效工作区域4的长度方向垂直。
32.实施例一：
33.参照图3，线材6缠绕在两个线辊5之间，并在两个线辊5之间形成单股清洗线段61，清洗线段61的延伸方向与线辊5轴线垂直并与有效工作区域4的两个中的一个直线段部分重合；离子源2设置有两个，线材6位于两个离子源2之间以满足对线材6两侧表面的同时清洗。
34.相比于相关技术中线材6垂直于有效工作区域4的长度方向经过有效工作区域4，本实施例中的线材6走线方式大大增加了有效工作区域4的实际利用范围，即有效工作区域4的两个中的一个直线段部分总有线材6经过，进而提高了离子源2的有效利用率。
35.实施例二：
36.参照图4，本实施例与实施例一的区别在于，线材6在两个线辊5之间形成两个相互平行的清洗线段61，两个清洗线段61之间的距离等于有效工作区域4的宽度，且两个清洗线段61分别与有效工作区域4的两个中相应的直线段部分重合，两个清洗线段61之间自然形成一个过渡线段62，过渡线段62进而相对于有效工作区域4的长度方向倾斜延伸。
37.转动线辊5进而使得线材6的一端不断从线辊5上脱出且线材6的后续线段不断进入到有效工作区域4中，进而实现线材6在离子源2内部的持续输送；本实施例使得有效工作区域4的两个直线段部分均有线材6的经过，进一步提高了离子源2的有效利用率。
38.实施例三：
39.参照图5，本实施例与实施例二的区别在于，过渡线段62存在有偶数条且多个过渡线段62在两个线辊5之间呈锯齿状分布，离子源2设置有一个，在本实施例中过渡线段62的数量具体为四条。
40.进而使得线材6相对的两侧表面能够分别朝向有效工作区域4上两个中的一个直线段部分，线材6在两个线辊5之间输送时，经过单个离子源2即可完成线材6两侧表面的完全清洗，而不需要两个离子源2或对线材6进行翻面，节约了离子源2的设置并方便了线材6的离子源清洗。
41.实施例四：
42.参照图6，本实施例与实施例三的区别在于，过渡线段62设置有两条且两条过渡线
段62形成“v”形的线段形状，两条过渡线段62以及两条清洗线段61进而共同形成“m”形的线材6线段形状；进而使得过渡线段62数量为满足设置要求的最小值，方便了线材6的绕线以及线辊5的转动。
43.此外，在线辊5上开设有多个供线材6嵌入的卡线槽51，使得线材6能够较为稳定地在两个线辊5之间传输，防止线材6在线辊5上发生沿线辊5轴向的移动而导致过渡线段62与有效工作区域4的直线段部分发生错位。
44.本具体实施例仅仅是对本技术的解释，其并不是对本技术的限制，本领域技术人员在阅读完本说明书后可以根据需要对本实施例做出没有创造性贡献的修改，但只要在本技术的权利要求范围内都受到专利法的保护。