模涂敷机和涂敷膜的制造方法与流程

本发明涉及一种模涂敷机（diecoater）和涂敷膜的制造方法。

背景技术：
以往，作为一种涂敷装置，公知有在模具（die）中具有用于喷射涂敷液的狭缝和用于将涂敷液供给到该狭缝中的模腔的模涂敷机。该模涂敷机通过向模腔供给涂敷液、从该模腔向狭缝挤出涂敷液并且使膜等基材靠近该狭缝而相对于狭缝移动，从而在该基材上涂敷涂敷液。在这种模涂敷机中，有时因涂敷膜的厚度（膜厚）在狭缝的整个长边方向上产生偏差而不能获得均匀的厚度的涂敷膜。因此，提出有如下技术：模涂敷机包括：模腔，其用于向长边方向的涂敷宽度为恒定的狭缝供给涂敷液；供给部，其用于向该模腔供给涂敷液；以及排出部，其用于从该模腔排出涂敷液，该模涂敷机通过调整从该模腔排出的涂敷液的排出流量而使来自狭缝的喷射量在整个上述长边方向上均匀，使涂敷膜的厚度在整个上述长边方向上均匀（专利文献1）。专利文献1：日本特开2009－28685号公报另外，在包括专利文献1那样的模涂敷机在内的通常的模涂敷机中，根据用途等，有时以各种不同的涂敷宽度对基材进行涂敷。例如，当用相同的涂敷宽度对宽度较宽的基材进行涂敷和对宽度较窄的基材进行涂敷时，由于在对宽度较宽的基材进行的涂敷中会产生没有被涂敷的较多的材料（基材）损耗，为了避免这样的损耗，有时会根据所涂敷的基材来改变涂敷宽度。但是，在这种情况下，若在一个模涂敷机中以使涂敷宽度改变的方式使用该模涂敷机，则会产生无法预测的膜厚偏差。因此，以往，需要使用涂敷宽度不同的多个模涂敷机。另外，在上述专利文献1那样的模涂敷机中，即使在改变了涂敷宽度的情况下，在改变了涂敷宽度之后，模腔内的涂敷液的压力偏差会立即发生较大的变化而产生较大的膜厚偏差。因此，在该模涂敷机中，无论如何都无法采用使涂敷宽度改变的结构。

技术实现要素：
本发明鉴于上述问题点而将课题设为提供一种能够使狭缝的长边方向上的涂敷宽度适当改变并获得在整个该长边方向上膜厚偏差较小的涂敷膜的模涂敷机和涂敷膜的制造方法。本发明的发明人们对上述课题进行了认真研究，明确了以下情况。即，当使狭缝的长边方向上的涂敷宽度改变时，涂敷液的在每单位涂敷宽度的狭缝中通过的通过流量变化，从而形成在基材上的涂敷膜的在整个上述长边方向（涂敷膜的宽度方向）上的膜厚（膜厚的平均值）发生变化。具体而言，在以规定的涂敷宽度对向模腔供给的涂敷液的供给流量和自模腔排出的涂敷液的排出流量进行设定之后，当使涂敷宽度减小时，上述通过流量变大，与改变涂敷宽度之前相比，整个上述长边方向上的膜厚变大。另一方面，当使涂敷宽度增大时，上述通过流量变小，与改变涂敷宽度之前相比，整个上述长边方向上的膜厚变小。因此，为了将涂敷膜的膜厚设定为在改变涂敷宽度的前后恒定，在使涂敷宽度减小后的情况下，需要使供给流量小于改变前的供给流量来进行涂敷，以便使上述通过流量在改变涂敷宽度的前后恒定，另一方面，在使涂敷宽度增大后的情况下，需要使供给流量比改变涂敷宽度前的供给流量增大来进行涂敷，以便使上述通过流量在改变涂敷宽度的前后恒定。但是，当如此设定时，在使涂敷宽度减小后的情况下，与使涂敷宽度减小之前相比，通过模腔的涂敷液的流动方向下游侧相对于上游侧的压力损失变大。由此，涂敷膜中的、通过上述下游侧的喷射而形成的部分薄于其他部分。另一方面，在使涂敷宽度增大后的情况下，与使涂敷宽度增大之前相比，上述压力损失变小，从而涂敷膜中的、通过上述下游侧的喷射而形成的部分厚于其他部分。这样明确了：当使涂敷宽度改变时，通过狭缝的通过流量在上述长边方向上产生偏差而产生涂敷膜的在上述长边方向上的膜厚偏差。基于该见解，本发明的发明人们进一步进行了认真研究，发现了：在使涂敷宽度减小时，通过使上述通过流量在改变涂敷宽度的前后恒定，并且使上述供给流量和排出流量小于改变涂敷宽度前的供给流量和排出流量，能够抑制上述压力损失在改变涂敷宽度的前后发生变化。另外，在使涂敷宽度增大时，通过使上述通过流量在改变涂敷宽度的前后恒定，并且使上述供给流量和排出流量大于改变涂敷宽度前的供给流量和排出流量，能够抑制上述压力损失在改变涂敷宽度的前后发生变化。即，发现了：通过使上述通过流量在改变涂敷宽度的前后恒定，并且从改变涂敷宽度前开始就使上述供给流量和排出流量变化，从而即使使涂敷宽度适当改变，也能够抑制上述压力损失在改变涂敷宽度的前后发生变化，由此，能够使涂敷液的通过流量的在上述长边方向上的偏差较小。另外，在使涂敷宽度改变时的每单位涂敷宽度的通过流量的变化、通过流量的在上述长边方向上的偏差表现为涂敷膜的在整个上述长边方向上的膜厚的变化、涂敷膜的在上述长边方向上的厚度的偏差。因此，发现了：在如上述那样使涂敷宽度改变时，通过检测涂敷膜的厚度，并根据所得到的检测结果来控制上述供给流量和上述排出流量，能够使上述涂敷液的通过流量的在上述长边方向上的偏差在改变涂敷宽度的前后较小，完成了本发明。即，本发明提供一种模涂敷机，其包括：狭缝，其用于喷射涂敷液；以及模腔，其沿着上述狭缝的长边方向配置，用于向上述狭缝供给涂敷液，该模涂敷机用于自上述狭缝向基材上喷射涂敷液而在该基材上形成涂敷膜，该模涂敷机的特征在于，该模涂敷机以能够使上述狭缝的上述长边方向上的涂敷宽度改变的方式构成，该模涂敷机包括：供给部，其用于向上述模腔的在上述长边方向上的第1侧供给上述涂敷液；以及排出部，其用于使上述涂敷液从上述长边方向上的第2侧排出，该模涂敷机构成为一边使由上述供给部供给到上述模腔的涂敷液的一部分通过上述狭缝一边利用上述排出部将剩余的涂敷液排出，并且，该模涂敷机包括：检测部，其能够对形成在上述基材上的涂敷膜的厚度进行检测；以及控制部，在使上述涂敷宽度改变时，该控制部能够根据上述检测部的检测结果来控制由上述供给部供给的上述涂敷液的供给流量和由上述排出部排出的上述涂敷液的排出流量。采用该结构的模涂敷机，在使涂敷宽度减小时，能够根据涂敷膜的厚度的检测结果来将涂敷液的每单位宽度的通过流量控制为在改变涂敷宽度的前后恒定，并且能够将上述供给流量和排出流量控制为小于改变涂敷宽度前的供给流量和排出流量。由此，能够抑制在模腔中的移动的涂敷液的在第2侧（下游侧）相对于第1侧（上游侧）的压力损失在改变涂敷宽度的前后发生变化。另外，在使涂敷宽度增大时，能够根据涂敷膜的厚度的检测结果来将上述通过流量控制为在改变涂敷宽度的前后恒定，并且能够将上述供给流量和上述排出流量控制为大于改变涂敷宽度前的供给流量和排出流量。由此，能够抑制上述压力损失在改变涂敷宽度的前后发生变化。这样，由于具有上述检测部和控制部，从而即使使涂敷宽度适当改变，也能够抑制上述压力损失在改变涂敷宽度的前后发生变化，能够使通过狭缝的涂敷液的通过流量（喷射流量）的在该狭缝的长边方向（涂敷膜的宽度方向）上的偏差较小。因此，能够使狭缝的长边方向上的涂敷宽度适当改变，并获得在整个该长边方向上膜厚偏差较小的涂敷膜。另外，优选的是，上述模涂敷机构成为，上述控制部根据上述检测部的检测结果以如下方式进行控制：在上述涂敷膜的厚度大于改变上述涂敷宽度前的涂敷膜的厚度时，将通过上述狭缝的上述涂敷液的每单位涂敷宽度的通过流量控制为在改变上述涂敷宽度的前后恒定，并且将上述供给流量和上述排出流量控制为小于改变涂敷宽度前的供给流量和排出流量，在上述涂敷膜的厚度小于改变涂敷宽度前的涂敷膜的厚度时，将上述通过流量控制为在改变上述涂敷宽度的前后恒定，并且将上述供给流量和上述排出流量控制为大于改变涂敷宽度前的供给流量和排出流量。采用该结构，能够更可靠地抑制自狭缝喷射的涂敷液的喷射量的在上述长边方向上的偏差。另外，优选的是，在上述模涂敷机中，上述涂敷液是如下的涂敷液：在剪切速度为20（1/s）～2000（1/s）的范围内测量涂敷液的粘度时，得到的关于粘度μ[Pa·s]、零剪切粘度μ0[Pa·s]及剪切速度γ[1/s]的计算式μ=μ0·γn-1中，n为0.99～1.01的范围以外的数值。此处，与上述n为0.99～1.01的范围以内的数值的涂敷液相比，剪切速度越大，上述n为0.99～1.01的范围以外的数值的涂敷液的粘度的增加或降低的程度越大而易于使自狭缝喷射的涂敷液的喷射量在长边方向上产生偏差。但是，由于上述模涂敷机即使在使用喷射量这样易于产生偏差的涂敷液的情况下也能够抑制涂敷液的喷射量的偏差，因此有用。另外，优选的是，在上述模涂敷机中，上述涂敷液是从橡胶系溶液、丙烯酸系溶液、硅系溶液、尿烷系溶液、乙烯基烷基醚系溶液、聚乙烯醇系溶液、聚乙烯基吡咯烷酮系溶液、聚丙烯酰胺系溶液以及纤维素系溶液中选择的任一种以上的溶液。本发明提供一种涂敷膜的制造方法，其用于在基材上制作涂敷膜，其特征在于，该制造方法包括如下的涂敷工序：使用具有用于喷射涂敷液的狭缝和用于向该狭缝供给涂敷液的模腔的模涂敷机，向上述模腔的在长边方向上的第1侧供给上述涂敷液，一边使供给来的涂敷液的一部分通过上述狭缝一边使剩余的涂敷液从上述模腔的在上述长边方向上的第2侧排出，从而将上述涂敷液的一部分从上述狭缝喷射到上述基材上，在上述涂敷工序中，通过如下方式从上述狭缝喷射上述涂敷液的一部分而在基材上制作涂敷膜：在使上述涂敷宽度以变小的方式改变时，使通过上述狭缝的上述涂敷液的每单位涂敷宽度的通过流量在改变该涂敷宽度的前后恒定，并且使向上述第1侧供给的上述涂敷液的供给流量和从上述第2侧排出的上述涂敷液的排出流量小于改变该涂敷宽度前的供给流量和排出流量，在使上述涂敷宽度以变大的方式改变时，使上述通过流量在改变该涂敷宽度的前后恒定，并且使上述供给流量和上述排出流量大于改变该涂敷宽度前的供给流量和排出流量。如上所述，采用本发明，能够使狭缝的长边方向上的涂敷宽度适当改变，并获得在整个该长边方向上膜厚偏差较小的涂敷膜。附图说明图1是表示本发明的一实施方式的模涂敷机的概略结构图。图2是模头（diehead）的概略立体图。图3A是图2的模具的概略侧视图。图3B是图2的模具的概略俯视图。图4A是图3的模具的概略分解侧视图。图4B是图4A的第1模块（dieblock）的概略俯视图。图4C是图4A的垫片的概略俯视图。图4D是图4A的第2模块的概略俯视图。图5A是表示模腔、狭缝及垫片的一实施方式的概略俯视图。图5B是表示模腔、狭缝及垫片的一实施方式的概略俯视图。图6是表示本实施方式的模涂敷机正在进行涂敷的状态的概略局部侧视图。图7是示意性地表示涂敷宽度较大的情况下的模腔周边的概略俯视图。图8是示意性地表示涂敷宽度较小的情况下的模腔周边的概略俯视图。具体实施方式下面，参照附图说明本发明的模涂敷机和涂敷膜的制造方法的实施方式。首先，说明本发明的模涂敷机的实施方式。如图1所示，本实施方式的模涂敷机1包括：模具2，其用于将供给来的涂敷液5（参照图6）喷射到基材51上；多个垫片（例如参照垫片3、垫片4、图7、图8），其涂敷宽度互不相同，且能够相对于模具2进行装卸；供给部31，其用于向模具2供给涂敷液5；排出部33，其用于使涂敷液5从模具2排出；容纳部35，其用于容纳涂敷液5；配管37，其用于将上述的模具2、多个垫片、供给部31、排出部33以及容纳部35连结起来；检测部61，其用于对形成在基材51上的涂敷膜55的厚度进行检测；以及控制部63，其根据检测部61的检测结果来控制由供给部31供给的涂敷液5的供给流量和由排出部33排出的涂敷液5的排出流量。此外，在图1中，实线箭头表示涂敷液5的流动。另外，如图1～图3所示，模具2包括：狭缝10，其用于喷射涂敷液5（参照图6）；以及模腔22，其沿着该狭缝10的长边方向（图3B的左右方向，以下，有时简称为长边方向。）配置，用于向狭缝10供给涂敷液5。更具体而言，如图2～4所示，模具2包括以在其前端部形成狭缝10的方式相对地配置的第1模块（dieblock）2a和第2模块2b。在第1模块2a中，沿着上述长边方向形成有凹部，通过用第2模块2b封闭该凹部而形成模腔22。模腔22与狭缝10相连通，自模腔22向狭缝10供给涂敷液5。另外，如图3A、图3B所示，模腔22的在短边方向上的长度形成为在整个长边方向上恒定，模腔22的高度也形成为在整个该长边方向上恒定。此外，用于形成模腔22的凹部也可以形成在第2模块2b中。另外，也可以在第1模块2a和第2模块2b中分别形成凹部并通过以相对的方式配置该第1模块2a和第2模块2b来形成由上述凹部合起来而成的模腔22。如图3A、图3B所示，狭缝10的在短边方向上的长度形成为在整个该长边方向上恒定，狭缝10的开口的高度也形成为在整个该长边方向上恒定。此外，也可以如图5A所示那样，在从上方看来时，模腔22以自模腔22的第1端部22a（第1侧）起越朝向第2端部（第2侧）22b去而越接近作为狭缝10的开口缘的涂敷液5的喷射口的方式形成为相对于上述长边方向倾斜，并且，在从上方看来时，狭缝10以自上述第1端部22a侧起越朝向第2端部22b侧去而短边方向的长度越小的方式形成。通过如此形成模腔22和狭缝10，从而自模腔22的第1端部22a侧起越朝向第2端部22b侧去、即越远离后述的供液口25，涂敷液5越能够在更小的压力下通过狭缝10。由此，能够使通过狭缝10的涂敷液的通过流量的偏差在整个上述长边方向上更小。另外，也可以如图5B所示那样，从上方看来时，模腔22以自模腔22的第1端部22a侧起越朝向第2端部22b侧去而模腔22的短边方向的长度越小的方式形成，并且，从上方看来时，狭缝10以短边方向的长度在整个长边方向上恒定的方式形成。通过如此形成模腔22和狭缝10，从而与图3B及图4B所示的情况相比，由于能够自第1端部22a起越朝向第2端部22b去而越提高涂敷液5的内压，因此能够使通过狭缝10的涂敷液的通过流量的偏差在整个上述长边方向上更小。另外，通过将从模涂敷机1所具有的多个垫片中选择的任意一个垫片安装于模具2，能够使狭缝10的涂敷宽度改变。例如，仅将从模涂敷机1所具有的垫片3（参照图2～图4、图7）和垫片4（参照图8）中选择的垫片3安装于模具2。如图4C所示，垫片3具有沿着上述长边方向延伸的矩形状的基端部3a和与该基端部3a构成直角且从该基端部3a的两端向模具2前端延伸的一对矩形状的延伸部3b，上述基端部3a和延伸部3b在整体上形成大致コ字状。另外，垫片3具有自各延伸部3b的前端起与基端部3a平行地向内侧突出的一对矩形状的突出部3c，各延伸部3b和突出部3c在整体上形成为大致L字状。一对突出部3c的间隔决定了涂敷宽度，由突出部3c的在上述长边方向上的突出长度来决定作为后述的涂敷宽度的W1（和W2）（参照图7、图8）。另外，在模腔22和狭缝10为上述图5所示那样的形状的情况下，只要使用形状与上述形状相对应的垫片3（和垫片4）即可。另外，垫片3被夹持在模具2中的第1模块2a和第2模块2b之间。如下文所述，在该垫片3被第1模块2a和第2模块2b夹持的状态下，利用未图示的螺栓等将该垫片3连同该第1模块2a和第2模块2b一起固定，从而将该垫片3安装在模具2中。另外，通过取下上述螺栓并使第1模块2a和第2模块2b分开，从而从模具2上拆下垫片3。这样一来，能够从模具2上拆下垫片3，并以与上述相同的方式将除了涂敷宽度为小于W1的W2之外、其他方面与垫片3相同的垫片4（参照图8）安装在模具2中，由此，能够使狭缝10的涂敷宽度从W1改变为W2。另外，与此相反，也能够通过拆下垫片4而安装垫片3来使涂敷宽度从W2改变为W1。此外，也可以构成为：从涂敷宽度互不相同的三个以上的垫片中选择任意一个垫片，将选择的垫片夹持在第1模块2a和第2模块2b之间，从而使狭缝10的涂敷宽度改变。并且，通过在上述第1模块2a和第2模块2b夹持例如垫片3的状态下利用未图示的螺栓等将上述第1模块2a和第2模块2b连同该垫片3一起固定，从而在该模具2的内侧形成有模腔22和涂敷液5的从该模腔22通向狭缝10的流路。具体而言，通过利用相对的第1模块2a的内表面和第2模块2b的内表面及垫片3进行划分而形成有涂敷液的流路，在该流路的前端形成有狭缝10，该狭缝10的高度与垫片3的厚度相同。模腔22的在狭缝10的长边方向上的第1端部22a与形成于第1模块2a的供液口25相连通，从而能够从供给部31向模腔22供给涂敷液5。上述长边方向上的第2端部22b与形成于第2模块2b的排液口27相连通，从而能够从模腔22向排出部33排出涂敷液5。此外，排液口27也可以形成于第1模块2a。并且，模涂敷机1包括：供给部31，其用于向模腔22的在上述长边方向上的第1端部22a供给涂敷液5；以及排出部33，其用于使涂敷液5从上述长边方向上的第2端部22b排出，该模涂敷机1构成为：使从供给部31供给的涂敷液5的一部分从模腔22向狭缝10移动而通过该狭缝并且使剩余的涂敷液5在模腔22中从第1端部22a向第2端部22b移动，并利用排出部33将该剩余的涂敷液5排出。供给部31具有泵31a和流量计31b，从由例如罐体等构成的涂敷液5的容纳部35向供液口25供给涂敷液。另外，排出部33包括泵33a和流量计33b，从排液口27排出涂敷液5并向容纳部35输送该涂敷液5。即，利用供给部31和排出部33使涂敷液5相对于模腔22循环。将利用供给部31的流量计31b检测的供给流量的检测结果和利用排出部33的流量计33b检测的排出流量的检测结果发送到控制部63。检测部61能够对形成在基材51上的涂敷膜55的膜厚（厚度）进行检测。另外，检测部61向控制部63发送检测结果。作为该检测部61，可列举出例如串联（in-line）厚度计。该串联厚度计以与形成在基材51上的涂敷膜55非接触地相对的方式配置，用于测量涂敷膜55的膜厚并将测量结果发送到控制部61。另外，优选检测部61构成为至少能够检测涂敷膜55的在上述长边方向上的第1端部22a侧的厚度和第2端部22b侧（参照图3）的厚度。作为这样的检测部61可列举出固定式的检测部和移动式的检测部。例如具有多个上述固定式的检测部，沿着上述宽度方向在与涂敷膜55非接触地相对的位置配置有该多个检测部。另外，将上述多个检测部61的检测结果发送到控制部63。另外，固定式的检测部既可以沿着上述长边方向如图1所示那样配置有两个，也可以沿着上述长边方向配置有三个以上。例如具有一个上述移动式的检测部，该一个检测部一边沿着上述长边方向在与涂敷膜55非接触地相对的位置移动一边检测（扫描）涂敷膜55的厚度。与上述同样，将该检测部的检测结果发送到控制部63。在图1所示的方式中，检测部61是固定式且具有两个，能够检测涂敷膜55的在上述长边方向上的第1端部22a侧和第2端部22b侧（参照图3）的厚度。在使涂敷宽度改变时，控制部63能够根据检测部61的检测结果来控制由供给部31向第1端部22a供给的涂敷液5的供给流量和由排出部33从第2端部22b排出的涂敷液的排出流量。能够利用泵31a使上述供给流量变化，能够利用泵33a使上述排出流量变化。另外，能够通过使上述供给流量和上述排出流量件之差变化而调整整个涂敷宽度上的通过流量（以下，称为全部通过流量。）（供给流量－排出流量=全部通过流量）。即，上述全部通过流量相当于来自狭缝10的涂敷液5的全部喷射流量。另外，能够通过将上述全部通过流量除以单位涂敷宽度而计算出来上述通过流量。另外，能够分别利用流量计31b、33b检测上述供给流量、上述排出流量及上述通过流量的变化量。作为控制部63，可列举出例如具有中央处理装置（CPU）的控制部。在图1的方式中，控制部63根据各检测部61的检测结果来计算涂敷膜55的在上述长边方向上的膜厚的平均值。另外，控制部63存储所计算出的平均值和由检测部检测出的厚度。另外，在使涂敷宽度改变时，控制部63根据从检测部61发送来的检测结果来计算改变该涂敷宽度后的、涂敷膜55的在上述长边方向上的膜厚的平均值。并且，在改变该涂敷宽度后的膜厚的平均值大于改变该涂敷宽度前的膜厚的平均值时（相当于使涂敷宽度减小后的情况。），控制部63以使通过狭缝10的涂敷液5的每单位涂敷宽度的通过流量在改变该涂敷宽度的前后恒定的方式并且以使供给部31的供给流量小于改变该涂敷宽度前的供给流量的方式进行控制。由此，能够使改变涂敷宽度后的膜厚的平均值接近改变该涂敷膜前的膜厚的平均值。并且，由于在该状态不变的情况下，上述第2端部22b侧（下游侧）的膜厚会变得小于改变该涂敷宽度前的上述第2端部22b侧（下游侧）的膜厚，因此，控制部63以使上述通过流量为恒定并且使供给部31的供给流量和排出部33的排出流量小于改变该涂敷宽度前的供给流量和排出流量的方式进行控制。此外，对于用于使供给部31的供给流量和排出部33的排出流量这两者减小的控制，既可以仅根据第2端部22b侧的检测部61的检测结果来执行，也可以根据第2端部22b侧的检测部61的检测结果和第1端部22a侧（上游侧）的检测部61的检测结果之间的偏差来执行。另一方面，在改变该涂敷宽度后的膜厚的平均值小于改变该涂敷宽度前的膜厚的平均值时（相当于使涂敷宽度增大后的情况。），控制部63以使通过狭缝10的涂敷液5的每单位涂敷宽度的通过流量在改变该涂敷宽度的前后恒定的方式并且以使供给部31的供给流量大于改变该涂敷宽度前的供给流量的方式进行控制。由此，能够使改变涂敷宽度后的膜厚的平均值接近改变前的膜厚的平均值。并且，由于在该状态不变的情况下，上述第2端部22b侧的膜厚会变得大于改变该涂敷宽度前的第2端部22b侧的膜厚，因此，控制部63以使上述通过流量为恒定并且增大供给部31的供给流量和排出部33的排出流量的方式进行控制。此外，对于用于使供给部31的供给流量和排出部33的排出流量这两者增大的控制，既可以仅根据第2端部22b侧的检测部61的检测结果来执行，也可以根据第2端部22b侧的检测结果和第1端部22a侧的检测部61的检测结果之间的偏差来执行。另外，控制部63构成为根据上述流量计31b、33b的检测结果来计算上述供给流量、排出流量及上述通过流量，并根据该计算结果来使由泵31a产生的上述供给流量和由泵33a产生的上述排出流量变化。采用本实施方式的模涂敷机，在使涂敷宽度减小时，能够根据涂敷膜的厚度的检测结果来将上述通过流量控制为在改变涂敷宽度的前后恒定，并且将上述供给流量和排出流量控制为小于改变该涂敷宽度前的供给流量和排出流量。由此，能够抑制在模腔22中移动的涂敷液5的第2端部22b侧（下游侧）相对于第1端部22a侧（上游侧）的压力损失在改变涂敷宽度的前后发生变化。另外，在使涂敷宽度增大时，能够根据涂敷膜的厚度的检测结果来将上述通过流量控制为在改变涂敷宽度的前后恒定，并且将上述供给流量和上述排出流量控制为大于改变涂敷宽度前的供给流量和排出流量。由此，能够抑制上述压力损失在改变涂敷宽度的前后发生变化。这样，由于具有检测部61和控制部63，从而即使使涂敷宽度适当改变，也能够抑制上述压力损失在改变该涂敷宽度的前后发生变化，能够使通过狭缝10的涂敷液的通过流量的在该狭缝10的长边方向（涂敷膜的宽度方向）上的偏差较小。因此，能够使狭缝10的长边方向上的涂敷宽度适当改变，并获得在整个该长边方向上膜厚偏差较小的涂敷膜。本实施方式的模涂敷机1能够适合使用满足如下条件的涂敷液5：使用流变仪（HAAKE公司制造，レオストレス（RheoStress）RS1），在涂敷时的浓度和温度条件下，在剪切速度20（1/s）～2000（1/s）的范围内测量涂敷液的粘度时，得到的关于粘度μ[Pa·s]、零剪切粘度μ0[Pa·s]及剪切速度γ[1/s]的计算式μ=μ0·γn-1中，n为0.99～1.01的范围以外的数值。即，本实施方式的模涂敷机1能够适合使用剪切速度变化时粘度变化程度较大那样的涂敷液。另外，本实施方式的模涂敷机1能够更适合使用上述n为0.95～1.05的范围以外的数值的那样的涂敷液5。与上述n为0.99～1.01的范围以内的数值的涂敷液相比，剪切速度越大，上述n为0.99～1.01的范围以外的数值的涂敷液的粘度的增加或降低的程度越大而易于使自狭缝10喷射的涂敷液5的喷射量在长边方向上产生偏差。但是，由于本实施方式的模涂敷机1即使在使用喷射量这样易于产生偏差的涂敷液的情况下，也能够抑制自狭缝10喷射的喷射量的偏差，因此有用。作为这样的涂敷液5，可列举出例如聚合物溶液，作为该聚合物溶液，可列举出例如橡胶系溶液、丙烯酸系溶液、硅系溶液、尿烷系溶液、乙烯基烷基醚系溶液、聚乙烯醇系溶液、聚乙烯吡咯烷酮系溶液、聚丙烯酰胺系溶液以及纤维素系溶液等。另外，在本实施方式的模涂敷机1中，优选控制部63根据检测部61的检测结果以如下方式进行控制：在涂敷膜55的厚度大于改变涂敷宽度前的涂敷膜55的厚度时，将通过狭缝10的涂敷液5的每单位涂敷宽度的通过流量控制为在改变该涂敷宽度的前后恒定，并且将上述供给流量和上述排出流量控制为小于改变该涂敷宽度前的供给流量和排出流量，另一方面，在涂敷膜55的厚度小于改变涂敷宽度前的涂敷膜55的厚度时，将上述通过流量控制为在改变该涂敷宽度的前后恒定，并且将上述供给流量和上述排出流量控制为大于改变该涂敷宽度前的供给流量和排出流量。即，本实施方式的模涂敷机1优选构成为：在使涂敷宽度小于改变该涂敷宽度前的涂敷宽度时（例如从图7的W1变小为图8的W2时），使上述通过流量在改变该涂敷宽度的前后恒定，并且使上述供给流量和上述排出流量小于改变该涂敷宽度前的供给流量和排出流量，另一方面，在使涂敷宽度大于改变该涂敷宽度前的涂敷宽度时（例如从图8的W2变大为图7的W1时），使上述通过流量在改变该涂敷宽度的前后恒定，并且使上述供给流量和上述排出流量大于改变该涂敷宽度前的供给流量和排出流量。采用该结构，能够更可靠地抑制自狭缝10喷射的涂敷液5的喷射量的在上述长边方向上的偏差。下面，说明使用了上述模涂敷机1的涂敷膜的制造方法。在本实施方式的涂敷膜的制造方法中，使用具有用于喷射涂敷液5（参照图6）的狭缝10和用于向该狭缝10供给涂敷液的模腔22的上述模涂敷机1，自狭缝10喷射涂敷液5而在基材51（参照图6）上制作涂敷膜55（参照图6）。另外，该涂敷膜的制造方法包括如下的涂敷工序：向模腔22的在长边方向上的第1端部（第1侧）22a供给涂敷液5，使供给来的涂敷液5的一部分通过狭缝10并且使剩余的涂敷液5从模腔22的在上述长边方向上的第2端部（第2侧）22b排出，从而将涂敷液5的一部分从狭缝10喷射到基材51上。另外，在该涂敷工序中，通过如下方式从狭缝10喷射涂敷液5的一部分而在基材51上形成涂敷膜：在使涂敷宽度以变小的方式改变（这里为从W1改变为W2）时，使通过狭缝10的涂敷液5的每单位涂敷宽度的通过流量在改变该涂敷宽度的前后恒定，并且使向第1端部22a供给的涂敷液5的供给流量和从第2端部22b的排出涂敷液5的排出流量小于改变该涂敷宽度前的供给流量和排出流量，在使涂敷宽度以变大的方式改变（这里为从W2改变为W1）时，使上述通过流量在改变该涂敷宽度的前后恒定，并使上述供给流量和上述排出流量大于改变该涂敷宽度前的供给流量和排出流量。作为基材51，能够使用带状的具有挠性的基材，例如，能够使用从三乙酰纤维素（TAC）等纤维素树脂、聚对苯二甲酸乙二醇酯（PET）等聚酯树脂、聚醚砜树脂、聚砜树脂、聚碳酸酯树脂、聚酰胺树脂、聚酰亚胺树脂、聚乙烯（PE）等聚烯烃树脂、环状聚烯烃树脂（降冰片烯树脂）、（甲基）丙烯酸树脂、聚芳酯树脂、聚苯乙烯树脂、聚乙烯醇（PVA）树脂中选择的任意一种以上的树脂或者使用由从上述树脂中选择的两个以上的树脂的共聚体、混合物等形成的膜。另外，例如，如图6所示，能够使基材51在由辊构件53支承的同时相对于模具2移动。上述制造方法例如使用如下那样构成的模涂敷机1：将从上述那样能够相对于模具2（即，第1模块2a和第2模块2b之间）进行装卸的、涂敷宽度互不相同的多个垫片（这里为垫片3和垫片4）中选择的任意一个垫片安装在上述的第1模块2a和第2模块2b之间，从而能够使狭缝10的涂敷宽度改变。另外，通过在模具2中安装垫片3，如图7所示，从而将涂敷宽度设定为W1，将此时的上述供给流量设定为Fa1，将上述排出流量设定为Fb1，将全部通过流量设定为Fc1。此时，上述通过流量设定为Fc1/W1。在该状态下，通过从模具2上拆下垫片3并安装垫片4来代替垫片3，以从W1变小为W2的方式使涂敷宽度改变。此时，当上述检测部61检测涂敷膜55的膜厚时，控制部63根据该检测结果来对改变该涂敷宽度后的涂敷膜55的膜厚的平均值进行计算。当改变该涂敷宽度后的膜厚的平均值大于改变该涂敷宽度前的膜厚的平均值时，控制部63使排出流量恒定为Fb1并且使供给流量小于Fa1，从而使全部通过流量从Fc1变为Fc2。此时，通过狭缝10的作为上述全部通过流量的Fc2设定为Fc2=W2×Fc1/W1，使得上述通过流量（每单位涂敷宽度的通过流量）与Fc1/W1相同。由此，使上述通过流量在改变该涂敷宽度的前后恒定。并且，由于在该状态不变的情况下，上述第2端部22b侧（下游侧）的膜厚会变小，因此，控制部63一边使全部通过流量恒定为Fc2并且使供给流量最终变小为Fa2一边使排出流量从Fb1变小为Fb2。即，如图8所示，控制部61根据检测部61的检测结果，使上述供给流量从改变该涂敷宽度前的Fa1变化为Fa2并使上述排出流量从改变该涂敷宽度前的Fb1变化为Fb2，从而使上述通过流量在改变该涂敷宽度的前后恒定并且使上述供给流量和上述排出流量小于改变该涂敷宽度前的供给流量和排出流量。并且，在如上所述那样使上述通过流量恒定并且使上述排出流量小于改变该涂敷宽度前的排出流量的状态下，向模腔22的在上述长边方向上的第1端部22a供给涂敷液5。另外，使供给来的涂敷液5的一部分通过狭缝10并且使剩余的涂敷液5从模腔22的第1端部22a向上述长边方向上的第2端部22b移动，一边自第2端部22b排出涂敷液5，一边将涂敷液5自狭缝10喷射到基材51上。这样，在使涂敷宽度以变小的方式改变时，使上述通过流量在改变该涂敷宽度的前后恒定，并且使上述供给流量和上述排出流量小于改变该涂敷宽度前的供给流量和排出流量，从而能够抑制在模腔22中的移动的涂敷液5的第2端部22b侧相对于第1端部22a侧的压力损失在改变涂敷宽度的前后发生变化。另一方面，与上述相反，首先，通过将垫片4安装于模具2中，从而如图8所示那样将涂敷宽度设定为W2，将此时的上述供给流量设定为Fa2，将上述排出流量设定为Fb2，将全部通过流量设定为Fc2。在该状态下，通过从模具2上拆下垫片4并安装垫片3来代替垫片4，从而使涂敷宽度以从W2变大为W2的方式改变。此时，当上述检测部61检测涂敷膜55的膜厚时，控制部63根据该检测结果来对改变该涂敷宽度后的涂敷膜55的膜厚的平均值进行计算。当改变该涂敷宽度后的膜厚的平均值小于改变该涂敷宽度前的膜厚的平均值时，控制部63使排出流量恒定为Fb2并且使供给流量大于Fa2，从而使全部通过流量从Fc2变为Fc1。此时，自模腔22流向狭缝10的作为上述全部通过流量的Fc1设定为Fc1＝W1×Fc2/W2，使得上述通过流量（每单位涂敷宽度的通过流量）与Fc2/W2相同。由此，使上述通过流量在改变该涂敷宽度的前后恒定。并且，由于在该状态不变的情况下，上述第2端部22b侧（下游侧）的膜厚会变大，因此，控制部63一边使全部通过流量恒定为Fc1并且使供给流量最终变大为Fa1一边使排出流量从Fb2变大为Fb1。即，如图7所示，控制部61根据检测部61的检测结果，使上述供给流量从改变该涂敷宽度前的Fa2变化为Fa1并使上述排出流量从改变该涂敷宽度前的Fb2变化为Fb1，从而使上述通过流量在改变该涂敷宽度的前后恒定并且使上述供给流量和上述排出流量大于改变该涂敷宽度前的供给流量和排出流量。并且，在如上所述那样使上述通过流量恒定并且使上述排出流量大于改变该涂敷宽度前的排出流量的状态下，向模腔22的在上述长边方向上的第1端部22a供给涂敷液5。另外，使供给来的涂敷液5的一部分通过狭缝10并且使剩余的涂敷液5从模腔22的第1端部22a向上述长边方向上的第2端部22b移动，一边自第2端部22b排出涂敷液5，一边将涂敷液5自狭缝10喷射到基材51上。这样，在使涂敷宽度以变大的方式改变时，使上述通过流量在改变该涂敷宽度的前后恒定，并且使上述供给流量和上述排出流量大于改变该涂敷宽度前的供给流量和排出流量，从而能够抑制在模腔22中的通过的涂敷液5的第2端部22b侧相对于第1端部22a侧的压力损失在改变该涂敷宽度的前后发生变化。采用本实施方式的制造方法，即使使涂敷宽度适当改变，也能够抑制在模腔中的移动的涂敷液的第2侧（下游侧）相对于第1侧（上游侧）的压力损失在改变该涂敷宽度的前后发生变化。由此，能够使通过狭缝10的涂敷液的通过流量的在上述长边方向上的偏差较小。因此，能够使狭缝10的长边方向上的涂敷宽度适当改变，并获得在整个该长边方向上膜厚偏差较小的涂敷膜。以上说明了本发明的模涂敷机和涂敷膜的制造方法，但本发明并不限定于上述实施方式，而能够在本发明所谋求的范围内适当地进行设计改变。例如，在上述实施方式中，列举出了使自模腔22排出的涂敷液5在模腔22中循环的结构，但除此之外，也能够采用用于将排出后涂敷液5回收的结构。另外，在上述实施方式中，采用了能够通过从多个垫片中选择一个垫片来使狭缝10的涂敷宽度改变那样的结构，但只要能够使狭缝10的涂敷宽度改变，则也能够采用其他结构。实施例下面，列举实施例来更详细地说明本发明，但本发明并不限定于下述实施例。使用与图1所示的模涂敷机相同的模涂敷机，与图6所示的方式同样地对与模涂敷机相对地移动的基材进行了涂敷。另外，将基材的输送速度设定为30m/min，将涂敷时的温度设定为23℃，以使涂敷膜的平均膜厚为23μm的方式进行了涂敷。使用了将丙烯酸系粘合剂溶解于甲苯和乙酸乙酯的混合液中而成的涂敷液。该丙烯酸系粘合剂的性质如下：使用流变仪（HAAKE公司制造，レオストレス（RheoStress）RS1)，在涂敷时的温度23℃的条件下，在剪切速度20（1/s）～2000（1/s）的范围内测量丙烯酸系粘合剂的粘度，得到的关于粘度μ[Pa·s]、零剪切粘度μ0[Pa·s]及剪切速度γ[1/s]的计算式μ=μ0·γn-1中，零剪切粘度μ0＝40Pa·s，n=0.37。使用了通过将带状的作为挠性基材的PET膜（三菱树脂公司制造，产品名为ダイヤホイル，宽度为900mm，厚度为38μm）卷绕成卷状而成的基材。另外，如下述所示那样设定了狭缝的涂敷宽度、向模腔供给的涂敷液的供给流量、自模腔排出的涂敷液的排出流量及涂敷液的全部通过流量，从狭缝向基材上喷射涂敷液而形成了涂敷膜。然后，测量了所得到的涂敷膜的膜厚偏差。具体而言，利用光干涉式膜厚计在基材宽度方向以1mm的间距对所得到的涂敷膜的厚度进行测量，将测量结果的最大值和最小值之差[mm]计算为膜厚偏差。此外，在表1中，排出流量为“0”的情况表示涂敷液没有从排液口排出。表1膜厚偏差（%）如表1所示，在涂敷宽度为400mm的情况下，在不排出涂敷液时（No.1），膜厚偏差极大，但在排出涂敷液时（No.2～No.7），膜厚偏差远小于No.1的膜厚偏差。另外，在排出流量过大时，膜厚偏差反而存在变大的倾向，在排出流量为1.5L/min时（No.3），膜厚偏差最小。结果发现：在涂敷宽度为400mm的情况下，将涂敷条件设定为No.3的条件最佳。接下来，将涂敷宽度从400mm改变为600mm。此时，将排出流量仍然设为与上述No.3的条件相同的1.5L/min。另外，将供给流量设为5.1L/min。通过这样设置而将全部通过流量设定为3.6L/min（No.10），使得每单位涂敷宽度（100mm）的通过流量为与涂敷宽度为400mm时的通过流量相同的0.6L。结果，与No.3相比，膜厚偏差变大。因此，使全部通过流量恒定为3.6L/min并且增大了排出流量（No.11～No.13）时，膜厚偏差变小。另外，在排出流量过大时，膜厚偏差反而存在变大的倾向（No.14），在排出流量为2.5L/min时（No.12），膜厚偏差最小。结果发现：在涂敷宽度为600mm的情况下，将涂敷条件设定为No.12的条件最佳。另一方面，使全部通过流量恒定为3.6L/min并且减小了排出流量（No.9）时，与No.10相比，膜厚偏差进一步变大。接下来，将涂敷宽度从400mm改变为800mm。此时，将排出流量仍然设为与上述No.3的条件相同的1.5L/min。另外，将供给流量设为6.3L/min。通过这样设置而将全部通过流量设定为4.8L/min（No.17），使得每单位涂敷宽度（100mm）的通过流量为与涂敷宽度为400mm时的通过流量相同的0.6L。结果，与No.3相比，膜厚偏差变大。因此，使全部通过流量恒定为4.8L/min并且增大排出流量（No.18～No.22）时，膜厚偏差变小。另外，在排出流量过大时，膜厚偏差反而存在变大的倾向（No.21、No.22），在排出流量为3L/min时（No.20），膜厚偏差最小。结果发现：在涂敷宽度为800mm的情况下，将涂敷条件设定为No.20的条件最佳。另一方面，使全部通过流量恒定为4.8L/min并且减小了排出流量（No.16）时，与No.17相比，膜厚偏差进一步变大。接下来，将涂敷宽度从600mm改变为800mm。此时，将排出流量仍然设为与上述No.12的条件相同的2.5L/min。另外，将供给流量设为7.3L/min。通过这样设置而将全部通过流量设定为4.8L/min（No.19），使得每单位涂敷宽度（100mm）的通过流量为与涂敷宽度为600mm时的通过流量相同的0.6L。结果，与No.12相比，膜厚偏差变大。因此，使全部通过流量恒定为4.8L/min并且增大了排出流量（No.20）时，膜厚偏差变小。另外，在排出流量过大时，膜厚偏差反而存在变大的倾向（No.21、No.22），在排出流量为3L/min时（No.20），膜厚偏差最小。结果发现：在涂敷宽度为800mm的情况下，将涂敷条件设定为No.20的条件最佳。另一方面，使全部通过流量恒定为4.8L/min并且减小了排出流量（No.16～No.18）时，与No.19相比，膜厚偏差进一步变大。由以上结果可知：在使涂敷宽度增大后的情况下，通过使每单位涂敷宽度的通过流量恒定并且增大排出流量，能够抑制膜厚偏差。另一方面，与上述相反，如表1所示，在涂敷宽度为800mm的情况下，在不排出涂敷液时（No.15），膜厚偏差极大，但在排出了涂敷液时（No.16～No.22），膜厚偏差远小于No.15的膜厚偏差。另外，在排出流量过大时，膜厚偏差反而存在变大的倾向，在排出流量为3L/min时（No.20），膜厚偏差最小。结果发现：在涂敷宽度为800mm的情况下，将涂敷条件设定为No.20的条件最佳。接下来，将涂敷宽度从800mm改变为600mm。此时，将排出流量仍然设为与上述No.20的条件相同的3L/min。另外，将供给流量设为6.6L/min。通过这样设置而将全部通过流量设定为3.6L/min（No.13），使得每单位涂敷宽度（100mm）的通过流量为与涂敷宽度为800mm时的通过流量相同的0.6L。结果，与No.20相比，膜厚偏差变大。因此，使全部通过流量恒定为3.6L/min并且减小排出流量（No.11、No.12）时，膜厚偏差变小。另外，在排出流量过小时，膜厚偏差反而存在变大的倾向（No.9、No.10），在排出流量为2.5L/min时（No.12），膜厚偏差最小。结果发现：在涂敷宽度为600mm的情况下，将涂敷条件设定为No.12的条件最佳。另一方面，使全部通过流量恒定为3.6L/min并且增大排出流量（No.14）时，与No.13相比，膜厚偏差进一步变大。接下来，将涂敷宽度从800mm改变为400mm。此时，将排出流量仍然设为与上述No.20的条件相同的3L/min。另外，将供给流量设为5.4L/min。通过这样设置而将全部通过流量设定为2.4L/min（No.6），使得每单位涂敷宽度（100mm）的通过流量为与涂敷宽度为800mm时的通过流量相同的0.6L。结果，与No.20相比，膜厚偏差变大。因此，使全部通过流量恒定为2.4L/min并且减小排出流量（No.2～No.5）时，膜厚偏差变小。另外，在排出流量过小时，膜厚偏差反而存在变大的倾向（No.2），在排出流量为1.5L/min时（No.3），膜厚偏差最小。结果发现：在涂敷宽度为400mm的情况下，将涂敷条件设定为No.3的条件最佳。另一方面，使全部通过流量恒定为2.4L/min并且增大排出流量（No.7）时，与No.6相比，膜厚偏差进一步变大。接下来，将涂敷宽度从600mm改变为400mm。此时，将排出流量仍然设为与上述No.12的条件相同的2.5L/min。另外，将供给流量设为4.9L/min。通过这样设置而将全部通过流量设定为2.4L/min（No.5），使得每单位涂敷宽度（100mm）的通过流量为与涂敷宽度为600mm时的通过流量相同的0.6L。结果，与No.12相比，膜厚偏差变大。因此，使全部通过流量恒定为2.4L/min并且减小了排出流量（No.3、No.4）时，膜厚偏差变小。另外，在排出流量过小时，膜厚偏差反而存在变大的倾向（No.2），在排出流量为1.5L/min时（No.3），膜厚偏差最小。结果发现：在涂敷宽度为400mm的情况下，将涂敷条件设定为No.3的条件最佳。另一方面，在使全部通过流量恒定为2.4L/min并且增大了排出流量（No.6、No.7）时，与No.5相比，膜厚偏差进一步变大。由以上结果可知：在使涂敷宽度减小后的情况下，通过使每单位涂敷宽度的通过流量恒定并且减小排出流量，能够抑制膜厚偏差。另外，可知：通过检测涂敷膜的膜厚并根据该膜厚的检测结果来控制供给流量和排出流量，能够抑制膜厚偏差。附图标记说明1、模涂敷机；2、模具；2a、2b、模块；3、4、垫片；10、狭缝；22、模腔；22a、第1端部（第1侧）；22b、第2端部（第2侧）；25、供液口；27、排液口；31、供给部；31a、泵；31b、流量计；33、排出部；33a、泵；33b、流量计；51、基材；55、涂敷膜；61、检测部；6、控制部。