三氯化硼纯化尾气处理装置的制作方法

本实用新型涉及一种三氯化硼纯化尾气处理装置。

背景技术：

电子级高纯三氯化硼主要用作半导体硅的掺杂源，广泛应用于半导体集成电路IC、液晶显示器LCD、半导体发光器件LED以及太阳能电池PV等行业。近年来，随着全球石油等能源资源逐渐减少和环境污染，温室效应对气候的影响，世界各国大力发展清洁能源以及节能技术，重点关注低碳经济。在此背景之下，我国的太阳能电池和半导体发光器件及相关产业得到了迅猛发展，电子级高纯三氯化硼市场非常广阔。在电子工业用高纯三氯化硼纯化过程中,存在尾气排放问题，电子工业用高纯三氯化硼净化装置排出的尾气主要成分为三氯化硼，如果直接对外放空，三氯化硼与空气中的水分发生剧烈反应，可形成白色的腐蚀性浓厚烟雾，放出具有刺激性的氯化氢气体，对环境造成恶劣影响。

技术实现要素：

本实用新型的目的是针对以上不足之处，提供了一种三氯化硼纯化尾气处理装置。

本实用新型解决技术问题所采用的方案是：一种三氯化硼纯化尾气处理装置，包括处理罐，处理罐上部设置有尾气入口、废气出口、加水口、处理罐下端周侧设置有一卸料口，硼酸卸料口处经封板封闭，处理罐周侧于硼酸卸料口上方设置有盐酸排出口。

进一步的，所述处理罐上端面设置有伸长管，伸长管周侧由上至下依次设置尾气入口、废气出口，伸长管顶部设置有封盖，加水口设置在处理罐上端面。

进一步的，封盖A中部设置通孔A，伸长管内设置导气管，导气管下端伸入处理罐内上部，导气管上端连接通孔并由通A孔穿出，导气管上部周侧连接尾气入口，导气管上端设置封盖B, 封盖B中部设置通孔B，通孔B内穿设有疏通棒，疏通棒上设置有外螺纹，疏通棒上套设与其螺纹配合的密封螺母，密封螺母抵靠封盖B上侧面，旋紧后将通孔B密封。

进一步的，处理罐上端面上设置有压力表接口。

进一步的，伸长管上端外周设置法兰A，法兰上设置有均布有螺栓孔A，封盖A外周设置有与螺栓孔A相配的的螺栓孔B，螺栓孔A、螺栓孔B一一对应设置，封盖A与伸长管外周的法兰A经螺栓连接，封盖A与法兰A之间设置有密封圈。

进一步的，处理罐上部周侧设置有玻璃管液位计，玻璃管液位计最下端不低于盐酸排出口。

进一步的，卸料口外周设置法兰B，法兰B上设置有均布有螺栓孔C，板外周设置有与螺栓孔C相配的的螺栓孔D，螺栓孔C、螺栓孔D一一对应设置，封板与卸料口外周的法兰B经螺栓连接，封板与法兰B之间设置有密封圈。

进一步的，处理罐下部周侧竖直设置有一玻璃观察窗口。

与现有技术相比，本实用新型有以下有益效果：结构简单，设计合理，能对电子工业用高纯三氯化硼纯化过程中排出的尾气进行处理，避免对环境造成影响。

附图说明

下面结合附图对本实用新型专利进一步说明。

图1是本装置的结构示意图；

图2是图1的侧视图；

图3是本装置的内部结构示意图。

图中：

1-疏通棒；2-密封螺母；3-封盖A；4-伸长管；5-加水口；6-压力表接口；7-处理罐；8-玻璃管液位计接口；9-盐酸排出口；10-玻璃观察窗口；11-硼酸卸料口；12-封板；13-尾气入口；14-废气出口；15-导气管；16-盐酸；17-固体硼酸。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施方式对本实用新型进一步说明。

如图1-3所示，一种三氯化硼纯化尾气处理装置，包括处理罐，处理罐上部设置有尾气入口、废气出口、加水口、处理罐下端周侧设置有一卸料口，硼酸卸料口处经封板封闭，处理罐周侧于硼酸卸料口上方设置有盐酸排出口，盐酸排出口在硼酸卸料口之上，可防止被硼酸（固体）堵塞。

在本实施例中，所述处理罐上端面设置有伸长管，伸长管周侧由上至下依次设置尾气入口、废气出口，伸长管顶部设置有封盖A，加水口设置在处理罐上端面。

在本实施例中，封盖A中部设置通孔A，伸长管内设置导气管，导气管下端伸入处理罐内上部，导气管上端连接通孔并由通A孔穿出，导气管上部周侧连接尾气入口，导气管上端设置封盖B, 封盖B中部设置通孔B，通孔B内穿设有疏通棒，疏通棒上设置有外螺纹，疏通棒上套设与其螺纹配合的密封螺母，密封螺母抵靠封盖B上侧面，旋紧后将通孔B密封，在尾气处理过程中，导气管与水接触部位容易被硼酸（固体）堵塞，因此在处理装置顶部设有疏通棒，定期对导气管进行疏通。

在本实施例中，处理罐上端面上设置有压力表接口。

在本实施例中，伸长管上端外周设置法兰A，法兰上设置有均布有螺栓孔A，封盖A外周设置有与螺栓孔A相配的的螺栓孔B，螺栓孔A、螺栓孔B一一对应设置，封盖A与伸长管外周的法兰A经螺栓连接，封盖A与法兰A之间设置有密封圈，同理封盖B也通过一样的法兰结构与导气管上端经螺栓连接。

在本实施例中，处理罐上部周侧设置有玻璃管液位计，可直接观察盐酸的液位情况，玻璃管液位计最下端不低于盐酸排出口。

在本实施例中，卸料口外周设置法兰B，法兰B上设置有均布有螺栓孔C，板外周设置有与螺栓孔C相配的的螺栓孔D，螺栓孔C、螺栓孔D一一对应设置，封板与卸料口外周的法兰B经螺栓连接，封板与法兰B之间设置有密封圈。

在本实施例中，处理罐下部周侧竖直设置有一玻璃观察窗口，以便及时对硼酸进行卸料，玻璃观察窗的最高点不高于盐酸排出口。

在本实施例中，因三氯化硼分解后的盐酸有较强的腐蚀性，装置采用FRPP材料制作。

本装置利用三氯化硼遇水分解成盐酸和硼酸的特性，采取将三氯化硼尾气排入水中的方法，使三氯化硼分解成盐酸和硼酸后再作处理。但是，硼酸在水中的溶解度较小，硼酸在水中饱和后以固态沉淀在容器底部，同时盐酸和硼酸在同一个容器内，必须分开回收利用。

使用时，将三氯化硼尾气直接由尾气入口排入装有水的处理罐，使三氯化硼与水反应分解成盐酸和硼酸，在尾气处理过程中，硼酸（固体）沉入处理罐底部，硼酸（固体）之上为盐酸（液体），未被反应的少量三氯化硼和其它气体从伸长管上的废气出口排出，当盐酸浓度达到30%（市场需求浓度）时，从盐酸排出口排出回收，然后由加水口再加入自来水继续与三氯化硼尾气进行反应。随着尾气处理过程的继续，沉入处理罐底部的硼酸（固体）达到最高位置时（最高点超过玻璃观察窗口），首先从盐酸排出口排尽硼酸（固体）以上的盐酸，然后拆下封板，打开硼酸卸料口，将硼酸（固体）装袋回收。

上列较佳实施例，对本实用新型的目的、技术方案和优点进行了进一步详细说明，所应理解的是，以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。