新型数控提拉式镀膜机的制作方法

文档序号:18074540发布日期:2019-07-03 04:08阅读:371来源:国知局
新型数控提拉式镀膜机的制作方法

本实用新型属于镀膜机领域,尤其涉及一种新型数控提拉式镀膜机。



背景技术:

浸渍提拉镀膜机又称垂直提拉机,是一款专门为液相制备薄膜材料而设计的精密仪器,可在不同液体中浸渍提拉生长薄膜。提拉速度、提拉高度、浸渍时间、镀膜次数、镀膜间隔时间均连续可调;对镀膜基质无特殊要求,运行稳定,可极大提高实验精度与实验效率。适用于硅片、晶片、玻璃、陶瓷、金属等所有固体材料表面涂覆工艺。

镀膜过程中对运行的平稳性要求非常高,运行中存在的机械振动影响薄膜的均匀性和厚度,进而影响到镀膜的质量,目前的提拉式镀膜机重点都在于通过对提拉部件的改进来减少提拉过程中的振动,进而来高平稳性,而底座承载整个提拉式镀膜机,提拉式镀膜机自身产生的振动都会传递到底座上,通过在底座上设置减振结构可以削弱振动,提高镀膜的平稳性。



技术实现要素:

为了克服现有技术的缺陷,本实用新型所要解决的技术问题在于提出一种新型数控提拉式镀膜机,平稳性高。

为达此目的,本实用新型采用以下技术方案:

本实用新型提供的新型数控提拉式镀膜机,包括提拉式镀膜机体、及至少一个的可调减振底座,至少一个的可调减振底座固定在提拉式镀膜机体的底部一个或者多个底角处,可调减振底座包括具有减少水平振动和垂直振动的减振组件,以及与减振组件螺接的基座。

本实用新型优选地技术方案在于,减振组件包括与基座螺接的第一连接块、用于减少垂直振动的弹簧、以及用于减少水平振动的水平减振体,第一连接块内部的上方开设有容置水平减振体的凹槽,水平减振体的下部位于凹槽内,且与凹槽内滑动配合,弹簧的底端与凹槽内底部相抵或固定,弹簧的顶端与水平振动体的底端相抵或固定。

本实用新型优选地技术方案在于,水平减振体包括第二连接块、滑块、以及导轨,第二连接块内部的下方开设有空腔,空腔上方的第二连接块上开设有容置槽,容置槽与空腔相连通,容置槽的开口朝上且贯穿第二连接块的上壁,导轨固定在空腔内,滑块的一部分位于空腔内,且与导轨滑动配合,滑块的另一部分位于容置槽内,且其上表面与第二连接块的上表面处于同一水平面,滑块的顶端与提拉式镀膜机体的底部固定连接,滑块与容置槽的各个侧壁之间均填充有气囊。

本实用新型优选地技术方案在于,滑块包括滑动部和连接部,空腔为十字形空腔,滑动部呈工字型,连接部位于滑动部的上方且与滑动部一体成型,连接部的侧壁与气囊接触。

本实用新型优选地技术方案在于,基座的顶部开设有螺纹孔,第一连接块呈圆柱体状,且其外圈固定有外螺纹,外螺纹与螺纹孔螺纹配合。

本实用新型优选地技术方案在于,基座的底部胶接有防滑橡胶垫。

本实用新型优选地技术方案在于,还包括移动件,提拉式镀膜机体底部的四个角均固定有移动件。

本实用新型优选地技术方案在于,移动件包括调节座、连接杆、以及万向轮,连接杆的顶端螺接在调节座上,连接杆的底端与万向轮相连接。

本实用新型的有益效果为:

本实用新型提供的新型数控提拉式镀膜机,从水平方向和垂直方向削弱提拉式镀膜机体自身产生的机械振动,提高镀膜过程中的平稳性,并且减振组件与基座之间通过螺接的方式连接,可以根据实际使用需求调节基座与提拉式镀膜机体之间的距离。通过弹簧削弱垂直方向的振动,通过气囊削弱水平方向的振动。通过十字形空腔、导轨、以及滑块的结合,使得滑块能在水平方向上前后左右滑动,结合气囊,起到对水平方向上的前后左右方向的振动削弱的效果。旋拧基座即可调节基座与提拉式镀膜机体之间的距离,进而调节提拉式镀膜机体的高度,适用不同工作需求。设有移动件,方便移动,并且与可调减振底座的配合,在提高设备稳定性的同时也方便移动设备,防滑橡胶垫提高本设备的整体稳定性。

附图说明

图1是本实用新型的立体结构示意图;

图2是本实用新型可调减振底座的剖视结构示意图;

图3是本实用新型第一连接块的俯视结构示意图;

图4是本实用新型的部分主视结构示意图。

图中:

1、提拉式镀膜机体;2、可调减振底座;21、减振组件;211、第一连接块;212、弹簧;213、水平减振体;2131、第二连接块;2132、滑块;21321、滑动部;21322、连接部;2134、气囊;2135、空腔;2136、容置槽;2137、导轨;214、凹槽;22、基座;23、螺纹孔;24、外螺纹;3、防滑橡胶垫;4、移动件;41、调节座;42、连接杆;43、万向轮。

具体实施方式

下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本实用新型的技术方案。

如图1至图4所示,本实施例中提供的新型数控提拉式镀膜机,包括提拉式镀膜机体1、及四个可调减振底座2,四个可调减振底座2固定在提拉式镀膜机体1底部的四个底角处,可调减振底座2包括具有减少水平振动和垂直振动的减振组件21以及与减振组件21螺接的基座22,从水平方向和垂直方向削弱提拉式镀膜机体1自身产生的机械振动,提高镀膜过程中的平稳性,并且减振组件21与基座22之间通过螺接的方式连接,可以根据实际使用需求调节基座22与提拉式镀膜机体1之间的距离。

为了有效削弱提拉式镀膜机体1自身产生的垂直方向的振动,进一步地,减振组件21包括与基座22螺接的第一连接块211、用于减少垂直振动的弹簧212、以及用于减少水平振动的水平减振体213,第一连接块211内部的上方开设有容置水平减振体213的凹槽214,水平减振体213的下部位于凹槽214内,且与凹槽214内滑动配合,弹簧212的底端与凹槽214内底部相抵或固定,弹簧212的顶端与水平振动体的底端相抵或固定,提拉式镀膜机体1自身产生垂直振动力传递到减振组件21时,振动力传递到弹簧212处,水平减振体213向下滑动,压缩弹簧212,弹簧212存储部分能量,起到缓冲减振作用,削弱垂直方向的振动。

为了有效削弱提拉式镀膜机体1自身产生的水平方向的振动,进一步地,水平减振体213包括第二连接块2131、滑块2132、以及导轨2137,第二连接块2131内部的下方开设有空腔2135,空腔2135上方的第二连接块2131上开设有容置槽2136,容置槽2136与空腔2135相连通,容置槽2136的开口朝上且贯穿第二连接块2131的上壁,导轨2137固定在空腔内,滑块2132的一部分位于空腔2135内,且与导轨2137滑动配合,滑块2132的另一部分位于容置槽2136内,且其上表面与第二连接块2131的上表面处于同一水平面,滑块2132的顶端与提拉式镀膜机体1的底部固定连接,滑块2132与容置槽2136的4个侧壁之间均填充有气囊2134,提拉式镀膜机体1自身产生水平振动力传递到减振组件21时,振动力传递到滑块2132处,使得滑块2132水平滑动,压缩气囊2134,通过气囊2134起到缓冲减振作用,削弱水平方向的振动。

为了可以削弱水平方向上的前后左右方向的振动,进一步地,滑块2132包括滑动部21321和连接部21322,空腔2135为十字形空腔,滑动部21321呈工字型,连接部21322位于滑动部21321的上方且与滑动部21321一体成型,连接部21322的侧壁与气囊2134接触,导轨2137分布固定在空腔的四个内角处,通过十字形空腔2135、导轨2137、以及滑块2132的结合,使得滑块2132能在水平方向上前后左右滑动,结合气囊2134,起到对水平方向上的前后左右方向的振动削弱的效果并且对滑块2132起到复位作用。

为了方便调节提拉式镀膜机体1的高度,进一步地,基座22的顶部开设有螺纹孔23,第一连接块211呈圆柱体状,且其外圈固定有外螺纹24,通过外螺纹24与螺纹孔23螺纹配合,旋拧基座22即可调节基座22与提拉式镀膜机体1之间的距离,进而调节提拉式镀膜机体1的高度,适用不同工作需求。

为了提高本设备的整体稳定性,进一步地,基座22的底部胶接有防滑橡胶垫3,防滑橡胶垫3起到防滑效果,提高本设备的整体稳定性。

为了方便移动提拉式镀膜机体1,进一步地,还包括移动件4,提拉式镀膜机体1底部的四个角均固定有移动件4,移动件4包括调节座41、连接杆42、以及万向轮43,连接杆42的顶端螺接在调节座41上,连接杆42的底端与万向轮43相连接,当需要移动提拉式镀膜机体1时,将旋拧基座22,使得基座22向上运动离开地面,然后即可推动提拉式镀膜机体1,当需要固定提拉式镀膜机体1时,反方向旋拧基座22,使得基座22向下运动靠近地面,直至抵靠在地面上,起到稳固效果,并且万向轮43可根据实际需求调节其与地面之间的距离。

本说明书中未作详细描述的内容属于本领域专业技术人员公知的现有技术。本实用新型是通过优选实施例进行描述的,本领域技术人员知悉,在不脱离本实用新型的精神和范围的情况下,可以对这些特征和实施例进行各种改变或等效替换。本实用新型不受此处所公开的具体实施例的限制,其他落入本申请的权利要求内的实施例都属于本实用新型保护的范围。

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