技术总结
本实用新型的一种LCD工艺中的成像用丙烯酸显影液的再生系统，主要包括：并联设置的第一过滤器单元和第二过滤器单元；其显影废液进口处分别设有流入压力传感器；其再生液出口处分别设有排出压力传感器；其显影废液进口分别与显影废液储罐相连接，其再生液出口，分别与再生显影液储罐相连接；其再生液出口分别设有浊度测量管，通过浊度计后再与显影废液储罐相连接；其显影废液进口还分别与清洗液储罐相连接。本实用新型可使显影废液连续再生，提高了生产效率；实现一组过滤单元运行时另一组过滤单元进行在线反冲洗；减少了过滤器更换维护费用，提高了显影液的再生效率。提高了显影液的再生效率。提高了显影液的再生效率。
技术研发人员：金太周
受保护的技术使用者：上海三盼半导体设备有限公司
技术研发日：2020.08.05
技术公布日：2021/7/5