转轮的隔间密封装置的制作方法

文档序号:30601555发布日期:2022-07-01 21:44阅读:95来源:国知局
转轮的隔间密封装置的制作方法

1.本实用新型涉及一种转轮的隔间密封装置,特别涉及一种具有能进行高温脱附的效果,而适用于半导体产业、光电产业或化学相关产业的转轮装置或是类似设备。


背景技术:

2.现有在半导体产业、光电产业或化学相关产业中所使用的转轮装置大部份都设有两个隔间区域或是三个隔间区域,而不管是两个隔间区域或是三个隔间区域的设计,其中一个隔间区域必是用来进行脱附使用,且用来进行脱附使用的温度大都是介于正常的180℃至220℃之间。
3.而转轮装置在使用一段时间后,常有高沸点物质不易脱附而残留于转轮上,使得转轮的使用效能降低,因此,就需要提高脱附的温度来达到将高沸点物质进行脱除。
4.但是,现用的转轮装置的隔间区域的密封结构设计无法耐受超过240℃以上的温度,尤其是如果该隔间区域的脱附温度要提升到240℃至300℃之间的话,该隔间区域内的密封结构就容易出现毁损或是破损,使得无法进行高温脱附。
5.因此,有鉴于上述缺失,希望能提出一种具有能进行高温脱附效果的转轮的隔间密封装置,令使用者可轻易操作组装,潜心研思、设计组制,以提供使用者便利性,为本实用新型所欲研发的创作动机。


技术实现要素:

6.本实用新型的主要目的,在于提供一种转轮的隔间密封装置,主要包括有一转轮装置及两个隔间密封装置,该转轮装置由一框体及一转轮所组成,而该两个隔间密封装置分别装设于该框体一面的脱附区进入隔间内及该框体另一面的脱附区脱出隔间内,且通过将该轮面隔间密封结构及该隔间密封结构各自分为多段,以方便通过维修孔来送入该脱附区进入隔间内或该脱附区脱出隔间内进行组装,并于每段轮面隔间密封结构上结合一高温轮面密封结构,及每段周边隔间密封结构上结合一高温周边密封结构,使具有能进行高温脱附的效果,进而增加整体的实用性。
7.本实用新型的另一目的,在于提供一种转轮的隔间密封装置,其中每段轮面隔间密封结构上所结合的高温轮面密封结构在组装时,能让每段轮面隔间密封结构的高温轮面密封结构互相紧靠以形成密封状态,而该高温轮面密封结构由一第一板体、一第一固定框、一第一片体、一第二片体及至少两个轮面螺件所组成,该第一片体设于该第一板体与该第一固定框之间,而该第二片体设于该第一固定框的另一侧,且该轮面螺件分别穿设该第一板体、第一片体、第一固定框及第二片体后,锁合固定于每段轮面隔间密封结构的第一固定板上,而该第一固定板紧靠于每段轮面隔间密封结构的壳板的一侧上,并通过该高温轮面密封结构的第一片体及第二片体来抵向该转轮的轮面处,并留有微小间隙但不接触该转轮的轮面,让每段轮面隔间密封结构能通过该高温轮面密封结构来具有耐受高温的能力,进而增加整体的保护性。
8.本实用新型的另一目的,在于提供一种转轮的隔间密封装置,其中每段周边隔间密封结构上所结合的高温周边密封结构在组装时,能让每段周边隔间密封结构的高温周边密封结构互相紧靠以形成密封状态,而该高温周边密封结构由一板体、一固定框、一第一夹板、一第二夹板、一第一片体、一第三夹板、一第四夹板、一第二片体及至少两个周边螺件所组成,该第一片体设于该第一夹板与第二夹板之间,而该第二片体设于该第三夹板及第四夹板之间,且该板体设于该第一夹板的一侧,另该固定框设于该第二夹板与该第三夹板之间,且该周边螺件分别穿设该板体、第一夹板、第一片体、第二夹板、固定框、第三夹板、第二片体及第四夹板后,锁合固定于每段周边隔间密封结构的第三固定板上,而该第三固定板紧靠于每段周边隔间密封结构的外壳板的一侧上,并通过该高温周边密封结构的第一片体及第二片体来抵向该转轮的轮面处,并留有微小间隙但不接触该转轮的轮面,让每段周边隔间密封结构能通过该高温周边密封结构来具有耐受高温的能力,进而增加整体的使用性。
9.为了能够更进一步了解本实用新型的特征、特点和技术内容,请参阅以下有关本实用新型的详细说明与附图,附图仅提供参考与说明,非用于限制本实用新型。
附图说明
10.图1为本实用新型转轮装置的立体示意图;
11.图2为本实用新型框体的另一面具有脱附区脱出隔间的平面示意图;
12.图3为本实用新型框体的一面具有脱附区进入隔间的平面示意图;
13.图4为本实用新型隔间密封装置的轮面隔间密封结构的立体示意图;
14.图5为本实用新型隔间密封装置的轮面隔间密封结构的侧面示意图;
15.图6为本实用新型隔间密封装置的周边隔间密封结构的立体示意图;
16.图7为本实用新型隔间密封装置的周边隔间密封结构的侧面示意图。
17.【附图标记】
18.10:转轮装置;11:框体;12:转轮;121:轮面;131:脱附区进入隔间;132:脱附区脱出隔间;141:冷却区输出隔间;142:冷却区进入隔间;20:隔间密封装置;21:轮面隔间密封结构;211:壳板;212:第一夹固板;213:第一固定板;214:第二夹固板;215:第二固定板;216:第二固定框;217:轮面橡胶体;218:第二贴板;22:周边隔间密封结构; 221:外壳板;222:第三固定板;223:第三夹固板;224:内壳板;225:第四固定板;226:第四夹固板;227:周边橡胶体;30:高温轮面密封结构;31:第一板体;32:第一固定框;33:第一片体;34:第二片体;40:高温周边密封结构;41:板体;42:固定框;43:第一夹板;44:第二夹板;45:第三片体;46:第三夹板;47:第四夹板;48:第四片体;501:第一夹固螺件;502:第二夹固螺件;503:第三夹固螺件;504:第四夹固螺件;505:第五夹固螺件;61:轮面螺件;62:周边螺件;70:角钢。
具体实施方式
19.请参阅图1至图7,为本实用新型实施例的示意图。而本实用新型的转轮的隔间密封装置的最佳实施方式是运用于半导体产业、光电产业或化学相关产业的转轮装置10或是类似设备,以具有能进行高温脱附的效果。
20.而本实用新型的转轮的隔间密封装置,主要包括有一转轮装置10及两个隔间密封
装置20(如图1至图3所示),该转轮装置10由一框体11 及一转轮12所组成,其中该转轮12为沸石转轮或是其他材质的转轮。另该转轮12设于该框体11内,该框体11设有两面,且该框体11的两面分别各设有上半框体及下半框体(图未示),而该框体11的一面设有一脱附区进入隔间131(如图3所示),其中该脱附区进入隔间131位于上半框体,另该框体11的另一面设有一脱附区脱出隔间132(如图1及图2所示),其中该脱附区脱出隔间132位于上半框体。而上述框体11的一面除了脱附区进入隔间131外,还设有一冷却区输出隔间141(如图3所示)及一吸附区输出隔间,其中该吸附区输出隔间位于该下板框体(图未示),且该框体11的另一面除了脱附区脱出隔间132外,还设有一冷却区进入隔间142(如图1及图2所示)及一吸附区进入隔间,其中该吸附区进入隔间位于该下板框体(图未示)。
21.而本实用新型的两个隔间密封装置20分别装设于该框体11一面的脱附区进入隔间131内及该框体11另一面的脱附区脱出隔间132内,其中该隔间密封装置20由轮面隔间密封结构21及周边隔间密封结构22所组合而成,而该轮面隔间密封结构21及该周边隔间密封结构22各自分为多段(如图1至图2所示),其中该多段为至少二段或是二段以上(如三段、四段、五段等),不以本实用新型的附图及说明书为限。且主要是配合该框体11一面的脱附区进入隔间131及该框体11另一面的脱附区脱出隔间 132所设计空间大小来分段,以方便来送入该脱附区进入隔间131内或该脱附区脱出隔间132内进行组装,并于每段轮面隔间密封结构21上结合一高温轮面密封结构30(如图4及图5所示),及每段周边隔间密封结构 22上结合一高温周边密封结构40(如图6及图7所示),使具有能进行高温脱附的效果。
22.另每段轮面隔间密封结构21由一壳板211、一第一夹固板212、一第一固定板213、一第二夹固板214、一第二固定板215、一第二固定框216、一轮面橡胶体217、一第二贴板218、至少两个第一夹固螺件501及至少两个第二夹固螺件502所组成(如图4及图5所示),该第一固定板213 及第一夹固板212设于该壳板211的一侧,而该第一夹固板212的一侧压合该第一固定板213的一侧,且该第一夹固板212的另一侧弯折抵靠于该壳板211的一侧上,该第一夹固螺件501穿设过第一夹固板212与壳板211 的一侧,以进行锁合固定,其中该第一夹固螺件501为螺栓或螺丝的其中任一种,另该第二固定板215及第二夹固板214设于该壳板211的另一侧,该第二夹固板214的一侧压合该第二固定板215的一侧,而该第二夹固板 214的另一侧弯折抵靠于该壳板211的另一侧上,且该第二夹固螺件502 穿设过第二夹固板214与壳板211的另一侧,以进行锁合固定,其中该第二夹固螺件502为螺栓或螺丝的其中任一种,另该第二固定框216由该轮面橡胶体217包覆其三面,该第二固定框216一侧的轮面橡胶体217贴附于该第二固定板215上,而该第二固定框216另一侧的轮面橡胶体217贴附于该第二贴板218上,其中该轮面橡胶体217呈u形状,且该具有u形状的轮面橡胶体217的一端面抵靠于该转轮12的轮面121处。
23.再者,每段轮面隔间密封结构21上所结合的高温轮面密封结构30于组装时,能让每段轮面隔间密封结构21的高温轮面密封结构30互相紧靠以形成密封状态,而该高温轮面密封结构30由一第一板体31、一第一固定框32、一第一片体33、一第二片体34及至少两个轮面螺件61所组成 (如图4及图5所示),该第一片体33设于该第一板体31与该第一固定框32之间,而该第二片体34设于该第一固定框32的另一侧,且该轮面螺件61分别穿设该第一板体31、第一片体33、第一固定框32及第二片体34后,锁合固定于每段轮面隔间密封结构21的第一固定板213上,其中该轮面螺件61为螺栓或螺丝的其中任一种,而该第一固定板213紧
靠于每段轮面隔间密封结构21的壳板211的一侧上,并通过该高温轮面密封结构30的第一片体33及第二片体34来抵向该转轮12的轮面121处,并留有微小间隙,但不接触该转轮12的轮面121,通常微小间隙是2~5mm 左右,以转轮12转动时不会碰触为准,其中该第一片体33与第二片体34 为聚四氟乙烯(polytetrafluoroethylene,ptfe)材质、玻璃纤维材质、金属材质的其中任一或组合所制成,让每段轮面隔间密封结构21能通过该高温轮面密封结构30来具有耐受高温的能力。
24.另每段周边隔间密封结构22由一外壳板221、一第三固定板222、一第三夹固板223、一内壳板224、一第四固定板225、一第四夹固板226、一周边橡胶体227、至少两个第三夹固螺件503、至少两个第四夹固螺件 504及至少两个第五夹固螺件505所组成(如图6及图7所示),该外壳板 221抵靠于该内壳板224上,而该第三夹固螺件503穿过该外壳板221与该内壳板224,以进行螺合固定,其中该第三夹固螺件503为螺栓或螺丝的其中任一种,另该第三固定板222及第三夹固板223设于该外壳板221 的一侧,该第三夹固板223的一侧压合该第三固定板222的一侧,而该第三夹固板223的另一侧弯折抵靠于该外壳板221的一侧上,且该第四夹固螺件504穿设过第三夹固板223与外壳板221的一侧,以进行锁合固定,其中该第四夹固螺件504为螺栓或螺丝的其中任一种,另该第四固定板 225及第四夹固板226设于该内壳板224的一侧,该周边橡胶体227设于该内壳板224与该第四固定板225之间,而该周边橡胶体227的一侧延伸于外并为分岔状,其中该周边橡胶体227的一侧所延伸于外的分岔状抵靠于一角钢70处,另该第四夹固板226的一侧压合该第四固定板225的一侧,而该第四夹固板226的另一侧弯折抵靠于该内壳板224的一侧上,且该第五夹固螺件505穿设过第四夹固板226与内壳板224的一侧,以进行锁合固定,其中该第五夹固螺件505为螺栓或螺丝的其中任一种。
25.再者,每段周边隔间密封结构22上所结合的高温周边密封结构40在组装时,能让每段周边隔间密封结构22的高温周边密封结构40互相紧靠以形成密封状态,而该高温周边密封结构40由一板体41、一固定框42、一第一夹板43、一第二夹板44、一第三片体45、一第三夹板46、一第四夹板47、一第四片体48及至少两个周边螺件62所组成(如图6及图7 所示),该第三片体45设于该第一夹板43与第二夹板44之间,而该第四片体48设于该第三夹板46及第四夹板47之间,且该板体41设于该第一夹板43的一侧,另该固定框42设于该第二夹板44与该第三夹板46之间,且该两个周边螺件62分别穿设该板体41、第一夹板43、第三片体45、第二夹板44、固定框42、第三夹板46、第四片体48及第四夹板47后,锁合固定于每段周边隔间密封结构22的第三固定板222上,其中该周边螺件62为螺栓或螺丝的其中任一种,而该第三固定板222紧靠于每段周边隔间密封结构22的外壳板221的一侧上,并通过该高温周边密封结构40 的第三片体45及第四片体48来抵向该转轮12的轮面121处,并留有微小间隙,但不接触该转轮12的轮面121,通常微小间隙是2~5mm左右,以转轮12转动时不会碰触为准,其中该第三片体45与第四片体48为聚四氟乙烯(polytetrafluoroethylene,ptfe)材质、玻璃纤维材质、金属材质的其中任一或组合所制成,让每段周边隔间密封结构22能通过该高温周边密封结构40来具有耐受高温的能力。
26.以上所述的具体实施例,对本实用新型的目的、技术方案和有益效果进行了进一步详细说明,应理解的是,以上所述仅为本实用新型的具体实施例而已,并不用于限制本实用新型,凡在本实用新型的精神和原则之内,所做的任何修改、等同替换、改进等,均应包含
在本实用新型的保护范围之内。
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