一种化学气相沉积炉的尾气处理装置的制作方法

1.本实用新型属于气相沉积技术领域，特别涉及一种化学气相沉积炉的尾气处理装置。


背景技术：

2.炭-炭复合材料是碳纤维增强碳基体的一种高性能复合材料，具有强度高、耐腐蚀、可设计性强等特点，在航天、航空、交通等诸多领域已得到广泛应用，并随着社会的发展和科技的进步，对炭-炭复合材料产品的质量有了更高的要求。
3.化学气相沉积技术是应用气态物质在固体表面发生化学反应并产生固态沉积物的一种工艺，它大致包含三步：(1)形成挥发性物质；(2)把上述物质转移至沉积区域；(3)在固体上产生化学反应并产生固态物质。化学气相沉积是一种被广泛应用于生产炭-炭复合材料的工艺方法。现有的气相沉积炉中通常设有工件放置台，工件放置在工件放置台上，通过气相沉积炉底部进气管路向沉积炉内通入碳源气体，碳源气体以一定的流量、流速直接通入到炉体内，并发生热解后形成基体碳沉积于工件的内部或表面。
4.然而，气相沉积炉工作时产生的尾气中含有大量焦油，这些焦油排放到大气中会对环境造成污染。


技术实现要素：

5.为了解决现有技术中存在的问题，本实用新型提供一种化学气相沉积炉的尾气处理装置。
6.本技术实施例提供一种化学气相沉积炉的尾气处理装置，包括壳体和上盖，所述壳体内设有冷凝腔室，所述壳体的顶部设有与所述冷凝腔室连通的开口，所述上盖盖设在所述开口上，所述壳体的相对两侧分别设有与所述冷凝腔室连通的进气口和排气口；
7.所述上盖的朝向所述冷凝腔室的一面上设有冷凝板，所述冷凝板朝所述冷凝腔室内延伸，且所述冷凝板位于所述进气口与所述排气口之间。
8.本技术实施例的化学气相沉积炉的尾气处理装置，在上盖的朝向冷凝腔室的一面上设有冷凝板，冷凝板朝冷凝腔室内延伸，使由进气口进入到冷凝腔室内的尾气中的焦油遇到冷凝板而冷却凝液，从而附着并汇集在冷凝板上，从而去除尾气中的焦油。
9.并且，由于冷凝板设置在上盖上，故需要清洗冷凝板时只需将上盖打开，使冷凝板从冷凝腔室内分离即可清洗，清洗起来较为方便。
10.作为一种可实现的方式，本技术实施例的化学气相沉积炉的尾气处理装置，所述冷凝腔室的底部设有接油盘。
11.这样，冷凝板上汇集的焦油在重力的作用下由冷凝板掉落到接油盘中，由接油盘收集这些焦油。
12.作为一种可实现的方式，本技术实施例的化学气相沉积炉的尾气处理装置，所述壳体的侧壁上设有连通所述冷凝腔室的插口，所述接油盘由所述插口插入到所述冷凝腔室
中。
13.这样，接油盘能够很方便的由插口插入到冷凝腔室中以及由冷凝腔室中抽出，当接油盘内的容纳的焦油过多时，通过将接油盘抽出能够便于倒掉焦油以及清洗接油盘。
14.作为一种可实现的方式，本技术实施例的化学气相沉积炉的尾气处理装置，所述冷凝板的形状为波浪形板。
15.波浪线板使得冷凝板与尾气有更大的接触面积，使尾气中的焦油更加充分的冷却凝结。
16.作为一种可实现的方式，本技术实施例的化学气相沉积炉的尾气处理装置，所述冷凝板的数量为多个，多个所述冷凝板之间呈间隔排布。
17.多个冷凝板能够同时与尾气接触，使尾气中的焦油更加充分的冷却凝结，提高焦油去除效率。
18.作为一种可实现的方式，本技术实施例的化学气相沉积炉的尾气处理装置，所述冷凝板的末端的两侧设有均设有导油斜面。
19.所述导油斜面能够使凝结在冷凝板末端的焦油更易汇聚以及更易掉落至接油盘中。
20.作为一种可实现的方式，本技术实施例的化学气相沉积炉的尾气处理装置，所述壳体的相对两侧分别设有扩散斗和聚气斗；
21.所述扩散斗的大径端连通所述冷凝腔室，所述扩散斗的小径端设有所述进气口；
22.所述聚气斗的大径端连通所述冷凝腔室，所述聚气斗的小径端设有所述排气口。
23.尾气由进气口通过扩散斗扩散，使尾气在冷凝腔室内更均匀的分布，并与冷凝板更充分接触，焦油去除后的尾气由聚气斗汇聚并由排气口排出。
附图说明
24.为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作一简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
25.图1是本技术实施例提供的化学气相沉积炉的尾气处理装置的结构示意图；
26.图2是本技术实施例提供的化学气相沉积炉的尾气处理装置的爆炸示意图一；
27.图3是本技术实施例提供的化学气相沉积炉的尾气处理装置的爆炸示意图二；
28.图4是本技术实施例提供的化学气相沉积炉的尾气处理装置中上盖的仰视图；
29.图5是图2中a处的放大示意图。
30.附图标记说明：
31.1-壳体；11-冷凝腔室；12-扩散斗；13-聚气斗；2-上盖；3-冷凝板；31-导油斜面；4-接油盘。
具体实施方式
32.为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描
述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
33.参见图1-5所示，本技术实施例提供一种化学气相沉积炉的尾气处理装置，包括壳体1和上盖2，壳体1内设有冷凝腔室11，壳体1的顶部设有与冷凝腔室11连通的开口，上盖2盖设在开口上，壳体1的相对两侧分别设有与冷凝腔室11连通的进气口和排气口；
34.上盖2的朝向冷凝腔室11的一面上设有冷凝板3，冷凝板3朝冷凝腔室11内延伸，且冷凝板3位于进气口与排气口之间。
35.本技术实施例的化学气相沉积炉的尾气处理装置，在上盖2的朝向冷凝腔室11的一面上设有冷凝板3，冷凝板3朝冷凝腔室11内延伸，使由进气口进入到冷凝腔室11内的尾气中的焦油遇到冷凝板3而冷却凝液，从而附着并汇集在冷凝板3上，从而去除尾气中的焦油。
36.并且，由于冷凝板3设置在上盖2上，故需要清洗冷凝板3时只需将上盖2打开，使冷凝板3从冷凝腔室11内分离即可清洗，清洗起来较为方便。
37.本技术实施例中，冷凝腔室11的底部设有接油盘4。这样，冷凝板3上汇集的焦油在重力的作用下由冷凝板3掉落到接油盘4中，由接油盘4收集这些焦油。
38.本技术实施例中，壳体1的侧壁上设有连通冷凝腔室11的插口，接油盘4由插口插入到冷凝腔室11中。这样，接油盘4能够很方便的由插口插入到冷凝腔室11中以及由冷凝腔室11中抽出，当接油盘4内的容纳的焦油过多时，通过将接油盘4抽出能够便于倒掉焦油以及清洗接油盘4。
39.本技术实施例中，冷凝板3的形状为波浪形板。波浪线板使得冷凝板3与尾气有更大的接触面积，使尾气中的焦油更加充分的冷却凝结。
40.本技术实施例中，冷凝板3的数量为多个，多个冷凝板3之间呈间隔排布。多个冷凝板3能够同时与尾气接触，使尾气中的焦油更加充分的冷却凝结，提高焦油去除效率。
41.本技术实施例中，冷凝板3的末端的两侧设有均设有导油斜面31。导油斜面31能够使凝结在冷凝板3末端的焦油更易汇聚以及更易掉落至接油盘4中。
42.本技术实施例中，壳体1的相对两侧分别设有扩散斗12和聚气斗13；扩散斗12的大径端连通冷凝腔室11，扩散斗12的小径端设有进气口；聚气斗13的大径端连通冷凝腔室11，聚气斗13的小径端设有排气口。
43.尾气由进气口通过扩散斗12扩散，使尾气在冷凝腔室11内更均匀的分布，并与冷凝板3更充分接触，焦油去除后的尾气由聚气斗13汇聚并由排气口排出。
44.最后应说明的是：以上各实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的范围。